JPH06204659A - 回路基板の製造方法及び前記回路基板と電気回路部品との接続方法 - Google Patents
回路基板の製造方法及び前記回路基板と電気回路部品との接続方法Info
- Publication number
- JPH06204659A JPH06204659A JP4347422A JP34742292A JPH06204659A JP H06204659 A JPH06204659 A JP H06204659A JP 4347422 A JP4347422 A JP 4347422A JP 34742292 A JP34742292 A JP 34742292A JP H06204659 A JPH06204659 A JP H06204659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating material
- circuit board
- electrically insulating
- electrically
- electrically conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing of the conductive pattern
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4007—Surface contacts, e.g. bumps
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回路基板に電気回路部品を接続するための電
気的導電部材を所望の突出量と形状で、より簡単に形成
する製造方法及び回路基板と電気回路部品との接続方法
を提供することにある。 【構成】 本発明による回路基板の製造方法は、第1の
電気的絶縁材料の面の少なくとも一部分に一定の膜厚で
第2の電気的絶縁材料を設ける工程と、前記第2の電気
的絶縁材料の所望の領域に複数の穴を設け、前記第1の
電気的絶縁材料の面に設けられた回路パターンの一部を
露出する工程と、前記穴に前記電気的導電部材を埋設
し、前記第2の電気的絶縁材料の表面より突出させる工
程と、前記第2の電気的絶縁材料の少なくとも一部を所
望の膜厚だけ除去する工程と、を少なくとも有してい
る。
気的導電部材を所望の突出量と形状で、より簡単に形成
する製造方法及び回路基板と電気回路部品との接続方法
を提供することにある。 【構成】 本発明による回路基板の製造方法は、第1の
電気的絶縁材料の面の少なくとも一部分に一定の膜厚で
第2の電気的絶縁材料を設ける工程と、前記第2の電気
的絶縁材料の所望の領域に複数の穴を設け、前記第1の
電気的絶縁材料の面に設けられた回路パターンの一部を
露出する工程と、前記穴に前記電気的導電部材を埋設
し、前記第2の電気的絶縁材料の表面より突出させる工
程と、前記第2の電気的絶縁材料の少なくとも一部を所
望の膜厚だけ除去する工程と、を少なくとも有してい
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、回路基板の製造方法お
よび電気回路部品の回路基板への接続方法に関する。
よび電気回路部品の回路基板への接続方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、樹脂・セラミック・金属回路基
板,リードフレームと電気回路部品との接続はコネクタ
ー方法、はんだ付け方法、ワイヤボンディング方法、T
AB(Tape Automated Bondin
g)方法、CCB(Controlled Colla
psed Bonding)方法、異方性導電膜を用い
る方法、ゼブラゴムを用いる方法等が知られている。と
ころが、これらの方法においては、隣接する接続部同士
が接触しないようにする為の最小ピッチが比較的大きい
ため、接続部同士のピッチとして小さいものが要求され
る場合(例えば数+μm程度)には対応できないという
問題があった。更に、これらの方法では配線長が長くな
るために抵抗値の増大、浮遊容量の増大、L成分の増大
を招く、またたとえ配線長が短くてもρ(電気抵抗率Ω
・cm)の値が大きいために抵抗値が増大し電気的特性
上問題があった。特に高周波電気回路では顕著であっ
た。
板,リードフレームと電気回路部品との接続はコネクタ
ー方法、はんだ付け方法、ワイヤボンディング方法、T
AB(Tape Automated Bondin
g)方法、CCB(Controlled Colla
psed Bonding)方法、異方性導電膜を用い
る方法、ゼブラゴムを用いる方法等が知られている。と
ころが、これらの方法においては、隣接する接続部同士
が接触しないようにする為の最小ピッチが比較的大きい
ため、接続部同士のピッチとして小さいものが要求され
る場合(例えば数+μm程度)には対応できないという
問題があった。更に、これらの方法では配線長が長くな
るために抵抗値の増大、浮遊容量の増大、L成分の増大
を招く、またたとえ配線長が短くてもρ(電気抵抗率Ω
・cm)の値が大きいために抵抗値が増大し電気的特性
上問題があった。特に高周波電気回路では顕著であっ
た。
【0003】このような問題点を解決すべく、絶縁保持
体中に複数の導電部材を相互に絶縁して保持させた構成
をなす電気的接続部材、又は絶縁保持体の内部及び/又
は保持体面上で配線されており、接続導電部材の両端が
前記保持体の両面に保持体の面と同一もしくは突出して
露出している構成をなす電気的接続部材を用いて電気回
路部品同士を電気的に接続する方法が提案されている
(特開昭63−224164号公報、特開昭63−21
6351号公報、特開平02−049385号公報、U
SP4,926,549等)。
体中に複数の導電部材を相互に絶縁して保持させた構成
をなす電気的接続部材、又は絶縁保持体の内部及び/又
は保持体面上で配線されており、接続導電部材の両端が
前記保持体の両面に保持体の面と同一もしくは突出して
露出している構成をなす電気的接続部材を用いて電気回
路部品同士を電気的に接続する方法が提案されている
(特開昭63−224164号公報、特開昭63−21
6351号公報、特開平02−049385号公報、U
SP4,926,549等)。
【0004】図6(a),(b)は、このような1つの
電気的接続部材を用いた電気回路部品間の電気的接続を
示す模式図であり、図中1は電気的接続部材、2,3は
接続すべき電気回路部品を示す。電気的接続部材1は、
金属又は合金からなる複数の棒状の導電部材4を、各々
の導電部材4同士を電気的に絶縁して、電気的絶縁材料
からなる薄板上の保持体5中に保持した構成をなし、導
電部材4の両端を各々バンプ8及び9として電気回路部
品2及び3側に突出してある(図6(a)参照)。
電気的接続部材を用いた電気回路部品間の電気的接続を
示す模式図であり、図中1は電気的接続部材、2,3は
接続すべき電気回路部品を示す。電気的接続部材1は、
金属又は合金からなる複数の棒状の導電部材4を、各々
の導電部材4同士を電気的に絶縁して、電気的絶縁材料
からなる薄板上の保持体5中に保持した構成をなし、導
電部材4の両端を各々バンプ8及び9として電気回路部
品2及び3側に突出してある(図6(a)参照)。
【0005】そして、一方の電気回路部品2の接続部6
と導電部材4のバンプ8とを、また、他方の電気回路部
品3の接続部7と導電部材4のバンプ9とを各々例えば
押圧により圧着する。また、熱圧着、超音波加熱法等に
よって金属化および/又は合金化する事により接続し、
電気回路部品2,3同士を電気的に接続する(図6
(b)参照)。
と導電部材4のバンプ8とを、また、他方の電気回路部
品3の接続部7と導電部材4のバンプ9とを各々例えば
押圧により圧着する。また、熱圧着、超音波加熱法等に
よって金属化および/又は合金化する事により接続し、
電気回路部品2,3同士を電気的に接続する(図6
(b)参照)。
【0006】ところで上記電気的接続部材1を製造する
方法として図7(a)〜(e)に示す方法が提案されて
いる。この方法は、まず、導電材製の銅箔10上に前記
保持体5となる感光性樹脂11を塗布する(図7(a)
参照)。次に、後工程で前記導電部材4を埋設する所定
の位置を露光、現像することにより、感光性樹脂11に
穴12を形成して銅箔10を露出させる。次いで、温度
を上げて感光性樹脂11を硬化させる(図7(b)参
照)。そして穴12内の近傍の銅箔10のエッチングを
行い穴12の下部に凹部13を形成する(図7(c)参
照)。
方法として図7(a)〜(e)に示す方法が提案されて
いる。この方法は、まず、導電材製の銅箔10上に前記
保持体5となる感光性樹脂11を塗布する(図7(a)
参照)。次に、後工程で前記導電部材4を埋設する所定
の位置を露光、現像することにより、感光性樹脂11に
穴12を形成して銅箔10を露出させる。次いで、温度
を上げて感光性樹脂11を硬化させる(図7(b)参
照)。そして穴12内の近傍の銅箔10のエッチングを
行い穴12の下部に凹部13を形成する(図7(c)参
照)。
【0007】その後、銅箔10に対する金等のめっき処
理を行う事により、凹部13及び穴12内に導電部材4
を充填していき、凹部13内に前記バンプ9を形成し、
また感光性樹脂11の上面にバンプ8を形成する(図7
(d)参照)。
理を行う事により、凹部13及び穴12内に導電部材4
を充填していき、凹部13内に前記バンプ9を形成し、
また感光性樹脂11の上面にバンプ8を形成する(図7
(d)参照)。
【0008】その後、銅箔10を金属エッチングによっ
て除去する事により、前記電気的接続部材1が完成する
(図7(e)参照)。
て除去する事により、前記電気的接続部材1が完成する
(図7(e)参照)。
【0009】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記の図6に示す様な電気的接続部材を用いて電気回路部
品の接続部同士を接続する方法では、電気的接続部材の
両方の面を接続しなければならなくなることから1接続
カ所について、2カ所の接続が必要となり接続信頼性が
減ずるという問題がある。また電気的接続部材の両方の
面を個別に接続する場合、2回の接続が必要となり工数
の増大となり強いてはコストが増大する。
記の図6に示す様な電気的接続部材を用いて電気回路部
品の接続部同士を接続する方法では、電気的接続部材の
両方の面を接続しなければならなくなることから1接続
カ所について、2カ所の接続が必要となり接続信頼性が
減ずるという問題がある。また電気的接続部材の両方の
面を個別に接続する場合、2回の接続が必要となり工数
の増大となり強いてはコストが増大する。
【0010】さらに上記の図7に示すような電気的接続
部材の製造方法によって導電部材を感光性樹脂から突出
させる突出量は銅エッチング工程と金メッキ工程の2工
程によるために、両方のバンプを均一に突出させること
がむずかしくなる。またバンプ形状が両方の面とも均一
な形状でなくなると接続の信頼性がなくなるという問題
点が生ずる。
部材の製造方法によって導電部材を感光性樹脂から突出
させる突出量は銅エッチング工程と金メッキ工程の2工
程によるために、両方のバンプを均一に突出させること
がむずかしくなる。またバンプ形状が両方の面とも均一
な形状でなくなると接続の信頼性がなくなるという問題
点が生ずる。
【0011】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、回路基板に電気回路部品接続用の突起物(バ
ンプ)を所望の突出量と形状で、より簡単に形成する方
法を提供するとともに、容易に信頼性良く電気回路部品
を回路基板に接続する方法を提供することを目的とす
る。
のであり、回路基板に電気回路部品接続用の突起物(バ
ンプ)を所望の突出量と形状で、より簡単に形成する方
法を提供するとともに、容易に信頼性良く電気回路部品
を回路基板に接続する方法を提供することを目的とす
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
された回路基板の製造方法は、第1の電気的絶縁材料の
面の少なくとも一部分に一定の膜厚で第2の電気的絶縁
材料を設ける工程と、前記第2の電気的絶縁材料の所望
の領域に複数の穴を設け、前記第1の電気的絶縁材料の
面に設けられた回路パターンの一部を露出する工程と、
前記穴に前記電気的導電部材を埋設し、前記第2の電気
的絶縁材料の表面より突出させる工程と、前記第2の電
気的絶縁材料の少なくとも一部を所望の膜厚だけ除去す
る工程と、を少なくとも有している。
された回路基板の製造方法は、第1の電気的絶縁材料の
面の少なくとも一部分に一定の膜厚で第2の電気的絶縁
材料を設ける工程と、前記第2の電気的絶縁材料の所望
の領域に複数の穴を設け、前記第1の電気的絶縁材料の
面に設けられた回路パターンの一部を露出する工程と、
前記穴に前記電気的導電部材を埋設し、前記第2の電気
的絶縁材料の表面より突出させる工程と、前記第2の電
気的絶縁材料の少なくとも一部を所望の膜厚だけ除去す
る工程と、を少なくとも有している。
【0013】本発明の請求項4に記載された回路基板と
電気回路部品との接続方法は、第1の電気的絶縁材料の
面の少なくとも一部分に一定の膜厚で第2の電気的絶縁
材料を設ける工程と、前記第2の電気的絶縁材料の所望
の領域に複数の穴を設け、前記第1の電気的絶縁材料の
面に設けられた回路パターンの一部を露出する工程と、
前記穴に前記電気的導電部材を埋設し、前記第2の電気
的絶縁材料の表面より突出させる工程と、前記第2の電
気的絶縁材料の少なくとも一部を所望の膜厚だけ除去す
る工程と、前記第1の電気的絶縁材料の少なくとも1つ
以上の前記電気的導電部材と少なくとも1つ以上の電気
回路部品との接続を金属化及び/又は合金化する工程
と、を少なくとも有している。
電気回路部品との接続方法は、第1の電気的絶縁材料の
面の少なくとも一部分に一定の膜厚で第2の電気的絶縁
材料を設ける工程と、前記第2の電気的絶縁材料の所望
の領域に複数の穴を設け、前記第1の電気的絶縁材料の
面に設けられた回路パターンの一部を露出する工程と、
前記穴に前記電気的導電部材を埋設し、前記第2の電気
的絶縁材料の表面より突出させる工程と、前記第2の電
気的絶縁材料の少なくとも一部を所望の膜厚だけ除去す
る工程と、前記第1の電気的絶縁材料の少なくとも1つ
以上の前記電気的導電部材と少なくとも1つ以上の電気
回路部品との接続を金属化及び/又は合金化する工程
と、を少なくとも有している。
【0014】本発明の回路基板の製造方法による電気的
導電部材は、互いに電気的に絶縁状態の複数の導電部材
で1つの電気的接続部をなしている。
導電部材は、互いに電気的に絶縁状態の複数の導電部材
で1つの電気的接続部をなしている。
【0015】本発明の回路基板の製造方法による第1の
電気的絶縁材料の面より露出している電気的導電部材
は、所定の電気回路パターンに対応する位置に設けられ
ている。
電気的絶縁材料の面より露出している電気的導電部材
は、所定の電気回路パターンに対応する位置に設けられ
ている。
【0016】本発明の回路基板と電気回路部品との接続
方法による電気的導電部材は、互いに電気的に絶縁状態
の複数の導電部材で1つの電気的接続部をなしている。
方法による電気的導電部材は、互いに電気的に絶縁状態
の複数の導電部材で1つの電気的接続部をなしている。
【0017】本発明の回路基板と電気回路部品との接続
方法による電気的導電部材は、所定の電気回路パターン
に対応する位置に設けられている。
方法による電気的導電部材は、所定の電気回路パターン
に対応する位置に設けられている。
【0018】
【実施例】(実施例1)本発明に係る実施例を図1およ
び図2に基づいて説明する。図1は回路基板の製造方法
の実施例を示すものであり、図2は電気回路部品と回路
基板との接続方法の実施例を示すものであり、ともに断
面図である。
び図2に基づいて説明する。図1は回路基板の製造方法
の実施例を示すものであり、図2は電気回路部品と回路
基板との接続方法の実施例を示すものであり、ともに断
面図である。
【0019】以下本実施例をより詳細に説明する。
【0020】図1(a)に示すようにガラス布基材エポ
キシ樹脂銅張積層板である両面回路基板101を用意す
る。回路基板101は両面に回路パターン102、10
3を有している。回路パターンは最小パターン幅0.1
5mm、最小パターンピッチ0.3mm、厚さ18μm
の銅箔である。なおここでは銅スルーホール、はんだレ
ジストは説明に使用しないので省略してある。
キシ樹脂銅張積層板である両面回路基板101を用意す
る。回路基板101は両面に回路パターン102、10
3を有している。回路パターンは最小パターン幅0.1
5mm、最小パターンピッチ0.3mm、厚さ18μm
の銅箔である。なおここでは銅スルーホール、はんだレ
ジストは説明に使用しないので省略してある。
【0021】次に図1(b)に示すように厚さ30μm
のネガ型感光性エポキシ樹脂シート104を回路パター
ン102側に貼りつける。その後図1(c)に示すよう
にフォトマスクを介して紫外線を照射し(露光)、現像
を行う。本実施例の場合光が曝された部分に現像後エポ
キシ樹脂が残り、光を照射していない部分は現像により
エポキシ樹脂が除去され穴105を形成し、銅箔パター
ン102を露出させる。次に図1(d)に示すように金
めっき工程により穴に金を埋設し電気的絶縁材料である
保持体としてのエポキシ樹脂シート104の面から突出
するまでめっきを続けフォトリソ径でバンプ107を有
する回路基板101が製造できる。なおバンプはフォト
リソ部で径60μm、外径80μm、高さ30μmであ
った。図1(d)に本実施例の回路基板を示す。またさ
らにバンプ107の高さ、量を要する場合さらに図1
(d)で得た回路基板101を高エネルギー線、例えば
酸素プラズマエッチングによりエポキシ樹脂シート10
4を15μmになるまでエッチングして薄くし、みかけ
のバンプ高さを45μmにコントロールして回路基板1
01を作製した。プラズマエッチング条件は以下のとお
りである。200W,2Torr,500sccm,5
分で行った。なお金めっきの際、銅箔回路パターン10
3に金めっきがされないように公知のレジストを102
側につけて行った。又エポキシ樹脂シートもエッチング
の際102側の回路基板にもダメージを与えないように
レジスト処理を行った。
のネガ型感光性エポキシ樹脂シート104を回路パター
ン102側に貼りつける。その後図1(c)に示すよう
にフォトマスクを介して紫外線を照射し(露光)、現像
を行う。本実施例の場合光が曝された部分に現像後エポ
キシ樹脂が残り、光を照射していない部分は現像により
エポキシ樹脂が除去され穴105を形成し、銅箔パター
ン102を露出させる。次に図1(d)に示すように金
めっき工程により穴に金を埋設し電気的絶縁材料である
保持体としてのエポキシ樹脂シート104の面から突出
するまでめっきを続けフォトリソ径でバンプ107を有
する回路基板101が製造できる。なおバンプはフォト
リソ部で径60μm、外径80μm、高さ30μmであ
った。図1(d)に本実施例の回路基板を示す。またさ
らにバンプ107の高さ、量を要する場合さらに図1
(d)で得た回路基板101を高エネルギー線、例えば
酸素プラズマエッチングによりエポキシ樹脂シート10
4を15μmになるまでエッチングして薄くし、みかけ
のバンプ高さを45μmにコントロールして回路基板1
01を作製した。プラズマエッチング条件は以下のとお
りである。200W,2Torr,500sccm,5
分で行った。なお金めっきの際、銅箔回路パターン10
3に金めっきがされないように公知のレジストを102
側につけて行った。又エポキシ樹脂シートもエッチング
の際102側の回路基板にもダメージを与えないように
レジスト処理を行った。
【0022】なお今回図1(e)のように酸素プラズマ
エッチングによりエポキシ樹脂シートをエッチングした
が、高エネルギー線で例えばエキシマレーザによる方
法、又YAG、CO2 等による方法またこれら乾式エッ
チングによる以外湿式エッチング例えば硝酸溶液、硫酸
溶液、各種溶剤による方法でもよい。
エッチングによりエポキシ樹脂シートをエッチングした
が、高エネルギー線で例えばエキシマレーザによる方
法、又YAG、CO2 等による方法またこれら乾式エッ
チングによる以外湿式エッチング例えば硝酸溶液、硫酸
溶液、各種溶剤による方法でもよい。
【0023】また基板材質は本実施例ではNEMA規格
のG10、FR−4クラスを使用したが、CEM−3、
紙エポキシ、紙フェノール基板等樹脂基板でもよい。
のG10、FR−4クラスを使用したが、CEM−3、
紙エポキシ、紙フェノール基板等樹脂基板でもよい。
【0024】図2は図1(d)で得た回路基板101に
電気回路部品である半導体素子を接続する図であり図1
(a)は接続前、図1(b)は接続後の状態を示すもの
である。先ず図1(d)で得た回路基板101とアルミ
ニウムでできた接続部112を複数個有し、接続部11
2以外はSiNのパッシベーション膜113で覆われて
いる半導体素子111を用意する。半導体素子111の
接続部112と回路基板101のバンプ107を半導体
素子111の外形と回路基板のパターンをパターン認識
装置を用いて位置決めを行い(図2(a))、押圧によ
り半導体素子111の接続部112と回路基板101の
バンプを電気的に圧着接続した(図2(b))。なお押
圧装置はバネで押圧した(不図示)。また図1(e)に
示す回路基板101を同様に位置決めを行い熱圧着によ
りAu/Al接合を行い電気的に接続した。Au/Al
接合は回路基板の熱ダメージを考慮し150〜350℃
の範囲で作業を行った。
電気回路部品である半導体素子を接続する図であり図1
(a)は接続前、図1(b)は接続後の状態を示すもの
である。先ず図1(d)で得た回路基板101とアルミ
ニウムでできた接続部112を複数個有し、接続部11
2以外はSiNのパッシベーション膜113で覆われて
いる半導体素子111を用意する。半導体素子111の
接続部112と回路基板101のバンプ107を半導体
素子111の外形と回路基板のパターンをパターン認識
装置を用いて位置決めを行い(図2(a))、押圧によ
り半導体素子111の接続部112と回路基板101の
バンプを電気的に圧着接続した(図2(b))。なお押
圧装置はバネで押圧した(不図示)。また図1(e)に
示す回路基板101を同様に位置決めを行い熱圧着によ
りAu/Al接合を行い電気的に接続した。Au/Al
接合は回路基板の熱ダメージを考慮し150〜350℃
の範囲で作業を行った。
【0025】なお1接続部に2バンプ接続したところも
良好な接続を得た。また圧着、熱圧着の両方を併用して
もよい。すなわち圧着状態で電気測定を行い、半導体素
子111が良好であれば熱圧着し、不良であれば半導体
素子111をとりかえ、別の半導体素子111をリペア
してもよい。
良好な接続を得た。また圧着、熱圧着の両方を併用して
もよい。すなわち圧着状態で電気測定を行い、半導体素
子111が良好であれば熱圧着し、不良であれば半導体
素子111をとりかえ、別の半導体素子111をリペア
してもよい。
【0026】(実施例2)実施例2は実施例1と回路基
板の材質と製法の点で異なる。
板の材質と製法の点で異なる。
【0027】すなわち、図3(a)に示すようにアルミ
ナセラミックの材質で片面に銀パターンを有している回
路基板121を用意する。回路パターン122は最小線
幅0.15μm,最小ピッチ0.3mm,厚さ20〜2
5μmであった。
ナセラミックの材質で片面に銀パターンを有している回
路基板121を用意する。回路パターン122は最小線
幅0.15μm,最小ピッチ0.3mm,厚さ20〜2
5μmであった。
【0028】次に図3(b)に示すように、パターン1
22を有している側の回路基板121上にスピンナーに
より液状ネガ型感光性ポリイミド樹脂123を塗布し、
プリベイクを行う。
22を有している側の回路基板121上にスピンナーに
より液状ネガ型感光性ポリイミド樹脂123を塗布し、
プリベイクを行う。
【0029】次に図3(c)に示すように実施例1と同
様に露光、現像を行い穴124を形成しパターン122
を露出させる。その後電解金めっきを行い穴に金125
を埋設しポリイミド樹脂123から金を30μm突出さ
せバンプ126を形成させ所望の回路基板を得る。なお
バンプ径はフォトリソ部で径60μm,外径で80μm
であった。
様に露光、現像を行い穴124を形成しパターン122
を露出させる。その後電解金めっきを行い穴に金125
を埋設しポリイミド樹脂123から金を30μm突出さ
せバンプ126を形成させ所望の回路基板を得る。なお
バンプ径はフォトリソ部で径60μm,外径で80μm
であった。
【0030】また、バンプの高さ、量が不足の場合図3
(e)に示すようにポリイミド樹脂を除去してもよい。
除去方法は実施例1で示した方法でもよいし、機械的に
剥してもよい。
(e)に示すようにポリイミド樹脂を除去してもよい。
除去方法は実施例1で示した方法でもよいし、機械的に
剥してもよい。
【0031】なお、基板材質はアルミナセラミック以外
の高純度アルミナセラミック基板、SiN基板、SiC
基板等のセラミック基板、ガラス基板、シリコン基板等
でもよい。シリコン基板の場合は表層にSiO2 絶縁膜
を設ける必要がある。
の高純度アルミナセラミック基板、SiN基板、SiC
基板等のセラミック基板、ガラス基板、シリコン基板等
でもよい。シリコン基板の場合は表層にSiO2 絶縁膜
を設ける必要がある。
【0032】また基板上のパターンは本実施例では銀パ
ターンを用いたが、Au,Cu,Al,Ni,W,M
o,In,Sn等パターンでもよいし複数の金属層およ
び/又は合金でもよい。又本実施例では液状感光性ポリ
イミド樹脂を使用したがポリイミド樹脂シートを用いて
貼りつけてもよい。その場合穴124はエキシマレー
ザ、YAGレーザ等の高エネルギー線を用いて穴124
を形成してもよい。
ターンを用いたが、Au,Cu,Al,Ni,W,M
o,In,Sn等パターンでもよいし複数の金属層およ
び/又は合金でもよい。又本実施例では液状感光性ポリ
イミド樹脂を使用したがポリイミド樹脂シートを用いて
貼りつけてもよい。その場合穴124はエキシマレー
ザ、YAGレーザ等の高エネルギー線を用いて穴124
を形成してもよい。
【0033】また本実施例では1層セラミック基板を用
いたが、内側に回路パターンを有する多層基板を用いて
もよい。
いたが、内側に回路パターンを有する多層基板を用いて
もよい。
【0034】次に図3(d)又は(e)で得た回路基板
121を実施例1で示したと同様な半導体素子111を
用いて同様な方法で半導体素子111と回路基板121
を接続した。
121を実施例1で示したと同様な半導体素子111を
用いて同様な方法で半導体素子111と回路基板121
を接続した。
【0035】(実施例3)実施例3を図4、図5に示す
(ともに断面図である)。実施例1と異なる点は回路基
板101は3層の多層基板図4(a)を用いた点、回路
基板101の製法として両面に感光性エポキシ樹脂シー
ト104を貼り付け両面にバンプ107を設けた点、め
っきが金めっきではなくはんだめっきであるため、穴1
05に埋設された材料がはんだ132であり従ってバン
プ107もはんだである点、又回路基板101はバンプ
形成後回路パターン102側の1部分にエポキシ樹脂シ
ート104を除去した点が異なり、その他は実施例1に
同じである。
(ともに断面図である)。実施例1と異なる点は回路基
板101は3層の多層基板図4(a)を用いた点、回路
基板101の製法として両面に感光性エポキシ樹脂シー
ト104を貼り付け両面にバンプ107を設けた点、め
っきが金めっきではなくはんだめっきであるため、穴1
05に埋設された材料がはんだ132であり従ってバン
プ107もはんだである点、又回路基板101はバンプ
形成後回路パターン102側の1部分にエポキシ樹脂シ
ート104を除去した点が異なり、その他は実施例1に
同じである。
【0036】できた回路基板を図4(b)に示す。
【0037】図4(b)に示した基板を用いて電気回路
部品をはんだ付けした後の図を図5に示す。電気回路部
品は半導体素子をパッケージングした半導体装置133
でリードピッチは0.3mmで144pinのQFPで
あり、1.0mm×0.5mmの大きさのチップ抵抗1
34、1005の大きさのチップコンデンサー135で
ある。はんだ付けは公知のリフローはんだ付けを行っ
た。
部品をはんだ付けした後の図を図5に示す。電気回路部
品は半導体素子をパッケージングした半導体装置133
でリードピッチは0.3mmで144pinのQFPで
あり、1.0mm×0.5mmの大きさのチップ抵抗1
34、1005の大きさのチップコンデンサー135で
ある。はんだ付けは公知のリフローはんだ付けを行っ
た。
【0038】また図5は、半導体装置133のリード1
36には接続のための適正量が必要なために1つの接続
部にはんだ132による接続部を2か所設けたことを説
明する説明図である。
36には接続のための適正量が必要なために1つの接続
部にはんだ132による接続部を2か所設けたことを説
明する説明図である。
【0039】本第3実施例ではエポキシ樹脂シートを、
また第2実施例ではポリイミド樹脂を用いたが樹脂種類
にはこだわることなく、シリコーン系樹脂、アクリル系
樹脂、ポリカーボネート樹脂、フッ素系樹脂、メラミン
系樹脂、ウレタン系樹脂でもよい。
また第2実施例ではポリイミド樹脂を用いたが樹脂種類
にはこだわることなく、シリコーン系樹脂、アクリル系
樹脂、ポリカーボネート樹脂、フッ素系樹脂、メラミン
系樹脂、ウレタン系樹脂でもよい。
【0040】以上第1実施例〜第3実施例を用いて説明
したように本実施例は回路基板上の導体パターン上にパ
ターンとは導通状態であって個々に絶縁状態に設けた導
電材料である凸状の突起物のバンプを形成せしめるもの
である。当該バンプは電気回路部品の接続部を電気的に
接続するものであり、バンプの均一な突出形状、突出量
が接続の信頼性に寄与する。本実施例ではそれらバンプ
の均一な突出形状、突出量を自由にコントロールするこ
とを可能にするものである。すなわち図7に示す電気的
接続部材は両方の面に均一な形状を作るために工程数が
多かったが、それに比し本発明は工程数が少ないために
比較的均一なバンプ形状を作り易い。またバンプの形状
を変えるためにはバンプの穴径を変化させれば良い。
したように本実施例は回路基板上の導体パターン上にパ
ターンとは導通状態であって個々に絶縁状態に設けた導
電材料である凸状の突起物のバンプを形成せしめるもの
である。当該バンプは電気回路部品の接続部を電気的に
接続するものであり、バンプの均一な突出形状、突出量
が接続の信頼性に寄与する。本実施例ではそれらバンプ
の均一な突出形状、突出量を自由にコントロールするこ
とを可能にするものである。すなわち図7に示す電気的
接続部材は両方の面に均一な形状を作るために工程数が
多かったが、それに比し本発明は工程数が少ないために
比較的均一なバンプ形状を作り易い。またバンプの形状
を変えるためにはバンプの穴径を変化させれば良い。
【0041】ところが図8の(a)(b)の例に示すよ
うに穴径Aを穴径Bのように大きくした場合、導電部材
の突出形状が変化し、すなわちBの場合バンプの中央部
が凹状になり突出量はさほど大きくならないような状態
になる。そこでこの様にバンプの穴径を変化させても突
出量がさほど変わらない場合、1接続部に複数(2ケ以
上)の導電部材を設ければ良い。さらに突出量又は突出
高さを大きくしたい場合は導電材料形成後に電気絶縁材
料又は電気絶縁シートの一部又は全てをエッチングによ
り除去すれば良い。本実施例によれば接続部に接続され
る電気回路部品の接続部の形状、大きさが異なる場合、
顕著に効果がある。
うに穴径Aを穴径Bのように大きくした場合、導電部材
の突出形状が変化し、すなわちBの場合バンプの中央部
が凹状になり突出量はさほど大きくならないような状態
になる。そこでこの様にバンプの穴径を変化させても突
出量がさほど変わらない場合、1接続部に複数(2ケ以
上)の導電部材を設ければ良い。さらに突出量又は突出
高さを大きくしたい場合は導電材料形成後に電気絶縁材
料又は電気絶縁シートの一部又は全てをエッチングによ
り除去すれば良い。本実施例によれば接続部に接続され
る電気回路部品の接続部の形状、大きさが異なる場合、
顕著に効果がある。
【0042】また本実施例は上述の回路基板の導電材料
であるバンプと電気回路部品の接続部とを接続するもの
である。
であるバンプと電気回路部品の接続部とを接続するもの
である。
【0043】接続は押圧により圧着で接続しても良い
し、金属化および/又は合金化により接続せしめてもよ
い。
し、金属化および/又は合金化により接続せしめてもよ
い。
【0044】押圧による場合は繰り返しの接続が可能と
なりリペアができる点で有利である。
なりリペアができる点で有利である。
【0045】金属化および/又は合金化の場合は接続後
に押圧による押圧装置が不要であり又確実に信頼性良く
接続でき接続信頼性が増す。
に押圧による押圧装置が不要であり又確実に信頼性良く
接続でき接続信頼性が増す。
【0046】まとめると、本実施例は均一な形状の電気
回路部品接続用のバンプが形成でき、またバンプ形状、
バンプ突出量を自由にコントロールすることができるた
め適正量のバンプを有する回路基板ができる。
回路部品接続用のバンプが形成でき、またバンプ形状、
バンプ突出量を自由にコントロールすることができるた
め適正量のバンプを有する回路基板ができる。
【0047】従ってこの回路基板を用いて電気回路部品
を接続した場合、信頼性良いものが得られる。またこの
回路基板を用いて接続した場合次の有利な点が挙げられ
る。
を接続した場合、信頼性良いものが得られる。またこの
回路基板を用いて接続した場合次の有利な点が挙げられ
る。
【0048】すなわち、回路基板のパターンを微細にす
ることにより微細接続ができる。
ることにより微細接続ができる。
【0049】また本実施例による接続の場合、電気回路
部品の接続部と回路基板のパターンとの距離が短いため
電気抵抗値が小さくなり又浮遊容量が小さくなるために
特に高周波電気回路では伝送特性の良い電気特性の良い
接合体が得られる。
部品の接続部と回路基板のパターンとの距離が短いため
電気抵抗値が小さくなり又浮遊容量が小さくなるために
特に高周波電気回路では伝送特性の良い電気特性の良い
接合体が得られる。
【0050】また電気回路部品の接続部は導電材料を介
して回路基板のパターンに接続されていることにより、
導電材料の高さを高くすると熱応力が緩和される。この
効果は電気回路部品と回路基板の熱膨張差が大になれば
なる程効果が大きくなる。
して回路基板のパターンに接続されていることにより、
導電材料の高さを高くすると熱応力が緩和される。この
効果は電気回路部品と回路基板の熱膨張差が大になれば
なる程効果が大きくなる。
【0051】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明による回路基
板の製造方法は均一形状、量、高さのバンプを有する回
路基板が容易にできるとともに、バンプの量のコントロ
ール可能な製造方法である。
板の製造方法は均一形状、量、高さのバンプを有する回
路基板が容易にできるとともに、バンプの量のコントロ
ール可能な製造方法である。
【0052】従ってこの回路基板に電気回路部品を接続
する方法にあっては接続信頼性の良い接続が可能となり
品質の良い電気回路装置を得ることができる。
する方法にあっては接続信頼性の良い接続が可能となり
品質の良い電気回路装置を得ることができる。
【0053】また回路基板と電気回路部品との熱膨張差
を導電材料で吸収可能なことより品質の良い電気回路装
置を得ることができる。
を導電材料で吸収可能なことより品質の良い電気回路装
置を得ることができる。
【0054】さらにバンプを微細にすることが可能なこ
とにより高密度な接合が可能となる。また接続部間の接
続距離(=導電部材)が短いことより電気特性の良い電
気回路装置が得られることは言うまでもない。
とにより高密度な接合が可能となる。また接続部間の接
続距離(=導電部材)が短いことより電気特性の良い電
気回路装置が得られることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】回路基板の製造方法を説明する断面概念図であ
る。
る。
【図2】回路基板と電気回路部品との接続方法を説明す
る断面概念図である。
る断面概念図である。
【図3】第2実施例の回路基板と半導体素子とを接続す
る断面概念図である。
る断面概念図である。
【図4】第3実施例の回路基板の断面概念図である。
【図5】回路基板と半導体装置との接続を示す一実施例
の説明図である。
の説明図である。
【図6】電気的接続部材の従来例である。
【図7】電気的接続部材の製造方法の従来例である。
【図8】電気的導電部材の突出形状の説明図である。
1 電気的接続部材 2 電気回路部品 3 電気回路部品 4 導電部材 5 保持体 6 接続部 7 接続部 8 バンプ 9 バンプ 10 銅箔 11 感光性樹脂 12 穴 13 凹部 101 回路基板 102 回路パターン 103 回路パターン 104 ネガ型感光性エポキシ樹脂シート 105 穴 107 バンプ 111 半導体素子 112 接続部 121 回路基板 122 パターン 123 ポリイミド樹脂 124 穴 125 金 126 バンプ 132 はんだ 133 半導体装置 134 チップ抵抗 135 チップコンデンサー 136 リード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 榊 隆 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 寺山 芳実 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内
Claims (6)
- 【請求項1】 第1の電気的絶縁材料中に埋設された複
数の電気的導電部材を有し、前記電気的導電部材の一端
が前記第1の電気的絶縁材料の一方の面において露出し
ており、また、前記電気的導電部材の他端が前記第1の
電気的絶縁材料の他方の面において露出している回路基
板の製造方法において、 前記第1の電気的絶縁材料の面の少なくとも一部分に一
定の膜厚で第2の電気的絶縁材料を設ける工程と、 前記第2の電気的絶縁材料の所望の領域に複数の穴を設
け、前記第1の電気的絶縁材料の面に設けられた回路パ
ターンの一部を露出する工程と、 前記穴に前記電気的導電部材を埋設し、前記第2の電気
的絶縁材料の表面より突出させる工程と、 前記第2の電気的絶縁材料の少なくとも一部を所望の膜
厚だけ除去する工程と、 を少なくとも有することを特徴とする回路基板の製造方
法。 - 【請求項2】 前記電気的導電部材は、互いに電気的に
絶縁状態の複数の導電部材で1つの電気的接続部をなす
ことを特徴とする請求項1に記載の回路基板の製造方
法。 - 【請求項3】 前記第2の電気的絶縁材料の面より露出
している電気的導電部材は、所定の電気回路パターンに
対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項
1乃至請求項2に記載の回路基板の製造方法。 - 【請求項4】 第1の電気的絶縁材料中に埋設された複
数の電気的導電部材を有し、前記電気的導電部材の一端
が前記第1の電気的絶縁材料の一方の面において露出し
ており、また、前記電気的導電部材の他端が前記第1の
電気的絶縁材料の他方の面において露出している回路基
板と、 少なくとも1以上の接続部を有し、該接続部において前
記電気的導電部材の内の少なくとも1つの一端と接続さ
れる少なくとも1つ以上の電気回路部品と、 の接続方法において、 前記第1の電気的絶縁材料の面の少なくとも一部分に一
定の膜厚で第2の電気的絶縁材料を設ける工程と、 前記第2の電気的絶縁材料の所望の領域に複数の穴を設
け、前記第1の電気的絶縁材料の面に設けられた回路パ
ターンの一部を露出する工程と、 前記穴に前記電気的導電部材を埋設し、前記第2の電気
的絶縁材料の表面より突出させる工程と、 前記第2の電気的絶縁材料の少なくとも一部を所望の膜
厚だけ除去する工程と、 前記第1の電気的絶縁材料の少なくとも1つ以上の前記
電気的導電部材と少なくとも1つ以上の電気回路部品と
の接続を金属化及び/又は合金化する工程と、 を少なくとも有することを特徴とする回路基板と電気回
路部品との接続方法。 - 【請求項5】 前記電気的導電部材は、互いに電気的に
絶縁状態の複数の導電部材で1つの電気的接続部をなす
ことを特徴とする請求項4に記載の回路基板と電気回路
部品との接続方法。 - 【請求項6】 前記第2の電気的絶縁材料の面より露出
している電気的導電部材は、所定の電気回路パターンに
対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項
4乃至請求項5に記載の回路基板と電気回路部品との接
続方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4347422A JPH06204659A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 回路基板の製造方法及び前記回路基板と電気回路部品との接続方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4347422A JPH06204659A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 回路基板の製造方法及び前記回路基板と電気回路部品との接続方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204659A true JPH06204659A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18390124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4347422A Pending JPH06204659A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 回路基板の製造方法及び前記回路基板と電気回路部品との接続方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204659A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000174434A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Nippon Mektron Ltd | 回路基板の製造法 |
| JP2003204152A (ja) * | 1999-05-27 | 2003-07-18 | Hoya Corp | 両面配線板の製造方法 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4347422A patent/JPH06204659A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000174434A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Nippon Mektron Ltd | 回路基板の製造法 |
| JP2003204152A (ja) * | 1999-05-27 | 2003-07-18 | Hoya Corp | 両面配線板の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI222201B (en) | Method of producing multilayered circuit board for semiconductor device | |
| US7911805B2 (en) | Multilayer wiring element having pin interface | |
| JP3938921B2 (ja) | 半導体ic内蔵モジュールの製造方法 | |
| KR100389314B1 (ko) | 도금인입선 없는 인쇄회로기판의 제조방법 | |
| JP3988227B2 (ja) | 半導体チップ搭載用基板の製造法および半導体装置 | |
| KR0157060B1 (ko) | 실장기판 | |
| JPH08148828A (ja) | 薄膜多層回路基板およびその製造方法 | |
| US7615477B2 (en) | Method of fabricating a BGA package having decreased adhesion | |
| US6340840B1 (en) | Lead frame and production method thereof, and semiconductor device and fabrication method thereof | |
| JPH06204659A (ja) | 回路基板の製造方法及び前記回路基板と電気回路部品との接続方法 | |
| JPH06204651A (ja) | 回路基板と電気回路部品との接続方法 | |
| JP2717198B2 (ja) | プリント配線板におけるバンプの形成方法 | |
| JP2930763B2 (ja) | 回路部品搭載用中間基板及びその製造法 | |
| JPH06334067A (ja) | 多層プリント配線板とその製造方法 | |
| JP3172267B2 (ja) | 大規模配線基板及びその製造方法 | |
| JP2869590B2 (ja) | 回路部品搭載用中間基板及びその製造法 | |
| JP3497774B2 (ja) | 配線基板とその製造方法 | |
| JPH08330472A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
| JP2000058705A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
| JPH04314382A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
| JP2002151618A (ja) | ビルドアッププリント配線板およびその製造方法 | |
| JPH0638464B2 (ja) | 薄い可撓性基板構造体 | |
| JPH11509991A (ja) | 恒久的接続のために電気回路の上に隆起した金属接点を作成する方法 | |
| JPH11233917A (ja) | 積層基板の製造方法 | |
| JP3233294B2 (ja) | プリント配線板及びその製造方法 |