JPH06204779A - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置の製造方法Info
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- JPH06204779A JPH06204779A JP35867192A JP35867192A JPH06204779A JP H06204779 A JPH06204779 A JP H06204779A JP 35867192 A JP35867192 A JP 35867192A JP 35867192 A JP35867192 A JP 35867192A JP H06204779 A JPH06204779 A JP H06204779A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】くし型電極を圧電性基板上で相互に並列接続し
た平面構造において、焦電効果によるくし型電極の損傷
を防止することのできる製造方法を提供する。 【構成】（ａ）圧電性基板上に金属膜からなり、複数の
弾性表面波装置を構成するくし型電極群および該くし型
電極群を短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形
成する工程と、（ｂ）前記圧電性基板を切断することに
より、前記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの
前記くし型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装
置の製造方法において、（ｃ）前記くし型電極群が、３
組以上のくし型電極および隣接していない該くし型電極
の信号側を相互に接続する接続パターンを含み、前記く
し型電極の接地側が相互に接続されており、（ｄ）前記
短絡パターンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前
記くし型電極群の接地側とを接続する接地短絡パターン
と、前記接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接
地側とを接続する信号短絡パターンを含む。
た平面構造において、焦電効果によるくし型電極の損傷
を防止することのできる製造方法を提供する。 【構成】（ａ）圧電性基板上に金属膜からなり、複数の
弾性表面波装置を構成するくし型電極群および該くし型
電極群を短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形
成する工程と、（ｂ）前記圧電性基板を切断することに
より、前記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの
前記くし型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装
置の製造方法において、（ｃ）前記くし型電極群が、３
組以上のくし型電極および隣接していない該くし型電極
の信号側を相互に接続する接続パターンを含み、前記く
し型電極の接地側が相互に接続されており、（ｄ）前記
短絡パターンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前
記くし型電極群の接地側とを接続する接地短絡パターン
と、前記接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接
地側とを接続する信号短絡パターンを含む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波フィルタな
どの弾性表面波装置の製造方法に関し、特には、圧電性
基板の焦電効果による局部的な蓄積電荷を抑制できる電
極構造に関するものである。
どの弾性表面波装置の製造方法に関し、特には、圧電性
基板の焦電効果による局部的な蓄積電荷を抑制できる電
極構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波装置は、圧電性基板上に形成
されたくし型電極（ＩＤＴ）などの電極により電気信号
を基板上を伝搬する表面波に変換して所望の電気特性を
得るものであり、小型で、無調整化が可能なため、移動
体通信機器などのフロントエンドや中間周波数用のフィ
ルタとして多く用いられている。
されたくし型電極（ＩＤＴ）などの電極により電気信号
を基板上を伝搬する表面波に変換して所望の電気特性を
得るものであり、小型で、無調整化が可能なため、移動
体通信機器などのフロントエンドや中間周波数用のフィ
ルタとして多く用いられている。
【０００３】弾性表面波装置の製造工程において、圧電
性基板の焦電効果のためにくし型電極上に電荷を生じ、
くし型電極間、あるいは、くし型電極と反射器間で放電
するため、電極パターンの損傷を生じることがある。こ
のような電荷の放電を防止するため、従来、くし型電極
間を短絡する短絡パターンが用いられていた。
性基板の焦電効果のためにくし型電極上に電荷を生じ、
くし型電極間、あるいは、くし型電極と反射器間で放電
するため、電極パターンの損傷を生じることがある。こ
のような電荷の放電を防止するため、従来、くし型電極
間を短絡する短絡パターンが用いられていた。
【０００４】図１は、従来の短絡パターンを用いた弾性
表面波装置の電極構造の一例である。圧電性基板１上に
は、複数の弾性表面波共振子を構成するくし型電極３お
よびその両端に一対の反射器４が設けられている。そし
て、ダイシングライン１０上には、くし型電極３の電極
間を短絡するための短絡パターン１１が設けられてい
る。ＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3、Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7等の圧電
単結晶からなる圧電性基板１上に上述の電極構造をアル
ミニウムなどの金属薄膜をパターニングすることで一括
して形成する。この工程では、くし型電極３間が短絡さ
れているため、焦電効果による破損を生じることはな
い。そののち、ダイシングライン１０に沿って、圧電性
基板１を切断することで、各弾性表面波装置に分割する
と同時に、短絡パターン１１を切断する。この切断によ
り、くし型電極３間の短絡が解放され、弾性表面波共振
子は正常に動作する。
表面波装置の電極構造の一例である。圧電性基板１上に
は、複数の弾性表面波共振子を構成するくし型電極３お
よびその両端に一対の反射器４が設けられている。そし
て、ダイシングライン１０上には、くし型電極３の電極
間を短絡するための短絡パターン１１が設けられてい
る。ＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3、Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7等の圧電
単結晶からなる圧電性基板１上に上述の電極構造をアル
ミニウムなどの金属薄膜をパターニングすることで一括
して形成する。この工程では、くし型電極３間が短絡さ
れているため、焦電効果による破損を生じることはな
い。そののち、ダイシングライン１０に沿って、圧電性
基板１を切断することで、各弾性表面波装置に分割する
と同時に、短絡パターン１１を切断する。この切断によ
り、くし型電極３間の短絡が解放され、弾性表面波共振
子は正常に動作する。
【０００５】一方、近年の移動体通信分野で使用される
弾性表面波フィルタには、低い挿入損失、広い通過帯域
などの電気的特性が要求されている。このため、くし型
電極を３個以上隣接して配置する構造を用いることがあ
る。例えば、図２に示すように、３個のくし型電極３を
近接して配置し、両側の２つのくし型電極３を圧電性基
板１上で接続パターン７により並列に接続し、その両外
側に反射器４を配置した平面構造が用いられている。他
の構造として、図３に示すように、複数の入力用くし型
電極３ｂと出力用くし型電極３ａを交互に配置したいわ
ゆるＩＩＤＴ構造が知られている。この場合も各くし型
電極３は接続パターン７ａ、７ｂにより並列に接続され
ている。また、これらを縦続接続した構造も有用であ
る。
弾性表面波フィルタには、低い挿入損失、広い通過帯域
などの電気的特性が要求されている。このため、くし型
電極を３個以上隣接して配置する構造を用いることがあ
る。例えば、図２に示すように、３個のくし型電極３を
近接して配置し、両側の２つのくし型電極３を圧電性基
板１上で接続パターン７により並列に接続し、その両外
側に反射器４を配置した平面構造が用いられている。他
の構造として、図３に示すように、複数の入力用くし型
電極３ｂと出力用くし型電極３ａを交互に配置したいわ
ゆるＩＩＤＴ構造が知られている。この場合も各くし型
電極３は接続パターン７ａ、７ｂにより並列に接続され
ている。また、これらを縦続接続した構造も有用であ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、３個以上のく
し型電極を近接配置し、隣接していないくし型電極を圧
電性基板上で相互に並列接続した構造においては、焦電
効果による損傷を防止するための短絡パターンを形成す
ることができない。例えば、図２に示した平面構造にお
いて、中央のくし型電極の接地側であるボンディングパ
ッド６ｂは、他のくし型電極の信号側を相互に接続する
接続パターン７に囲まれている。このため、中央のくし
型電極を短絡するための上述のような短絡パターンを設
けることはできなかった。
し型電極を近接配置し、隣接していないくし型電極を圧
電性基板上で相互に並列接続した構造においては、焦電
効果による損傷を防止するための短絡パターンを形成す
ることができない。例えば、図２に示した平面構造にお
いて、中央のくし型電極の接地側であるボンディングパ
ッド６ｂは、他のくし型電極の信号側を相互に接続する
接続パターン７に囲まれている。このため、中央のくし
型電極を短絡するための上述のような短絡パターンを設
けることはできなかった。
【０００７】本発明は、上記の課題を解決したもので、
その目的はくし型電極を圧電性基板上で相互に並列接続
した平面構造において、焦電効果によるくし型電極の損
傷を防止することのできる製造方法を提供することにあ
る。
その目的はくし型電極を圧電性基板上で相互に並列接続
した平面構造において、焦電効果によるくし型電極の損
傷を防止することのできる製造方法を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段および作用】本発明は、
（ａ）圧電性基板上に金属膜からなり、複数の弾性表面
波装置を構成するくし型電極群および該くし型電極群を
短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形成する工
程と、（ｂ）前記圧電性基板を切断することにより、前
記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし
型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造
方法において、（ｃ）前記くし型電極群が、３組以上の
くし型電極および隣接していない該くし型電極の信号側
を相互に接続する接続パターンを含み、前記くし型電極
の接地側が相互に接続されており、（ｄ）前記短絡パタ
ーンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前記くし型
電極群の接地側とを接続する接地短絡パターンと、前記
接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接地側とを
接続する信号短絡パターンを含むことを特徴とするもの
である。
（ａ）圧電性基板上に金属膜からなり、複数の弾性表面
波装置を構成するくし型電極群および該くし型電極群を
短絡する短絡パターンを含む電極パターンを形成する工
程と、（ｂ）前記圧電性基板を切断することにより、前
記短絡パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし
型電極群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造
方法において、（ｃ）前記くし型電極群が、３組以上の
くし型電極および隣接していない該くし型電極の信号側
を相互に接続する接続パターンを含み、前記くし型電極
の接地側が相互に接続されており、（ｄ）前記短絡パタ
ーンが、前記くし型電極の接地側と隣接する前記くし型
電極群の接地側とを接続する接地短絡パターンと、前記
接続パターンと隣接する前記くし型電極群の接地側とを
接続する信号短絡パターンを含むことを特徴とするもの
である。
【０００９】本発明によれば、形成される電極パターン
では、くし型電極の接地側が相互に接続されており、そ
の接地側が接地短絡パターンを介して隣接するくし型電
極群の接地側に接続され、同時にその隣接する接地側に
は信号短絡パターンを介して信号側接続する接続パター
ンにつながっている。したがって、電極パターン形成時
には、くし型電極間が短絡されているため焦電効果によ
り電荷が電極パターン上に蓄積することがなく、放電に
よりくし型電極が破損することもない。その後、圧電性
基板を切断する際に短絡パターンを切断しているので、
新たな工程を加えることなく、短絡パターンが解放され
て通常の動作が可能となる。また、くし型電極の接地側
が相互に接続されているため、焦電効果による電荷が局
部的に蓄積されることなく、電荷の放電によるくし型電
極の破壊が抑制される。
では、くし型電極の接地側が相互に接続されており、そ
の接地側が接地短絡パターンを介して隣接するくし型電
極群の接地側に接続され、同時にその隣接する接地側に
は信号短絡パターンを介して信号側接続する接続パター
ンにつながっている。したがって、電極パターン形成時
には、くし型電極間が短絡されているため焦電効果によ
り電荷が電極パターン上に蓄積することがなく、放電に
よりくし型電極が破損することもない。その後、圧電性
基板を切断する際に短絡パターンを切断しているので、
新たな工程を加えることなく、短絡パターンが解放され
て通常の動作が可能となる。また、くし型電極の接地側
が相互に接続されているため、焦電効果による電荷が局
部的に蓄積されることなく、電荷の放電によるくし型電
極の破壊が抑制される。
【００１０】前記本発明に加えて、（ｅ）前記くし型電
極をはさむように配置され、前記くし型電極の接地側に
接続された一対の反射器を前記くし型電極群が含み、
（ｆ）前記短絡パターンが前記反射器を介して接続され
ていることが望ましい。これにより、焦電効果による電
荷が反射器に蓄積されることなく、電荷の放電による反
射器の破壊が防止され、かつ、短絡パターンの配置設計
が容易となる。
極をはさむように配置され、前記くし型電極の接地側に
接続された一対の反射器を前記くし型電極群が含み、
（ｆ）前記短絡パターンが前記反射器を介して接続され
ていることが望ましい。これにより、焦電効果による電
荷が反射器に蓄積されることなく、電荷の放電による反
射器の破壊が防止され、かつ、短絡パターンの配置設計
が容易となる。
【００１１】
【実施例】本発明の第１の実施例である弾性表面波フィ
ルタの製造工程を電極パターンの概念を示す平面図であ
る図４を用いて以下詳細に説明する。
ルタの製造工程を電極パターンの概念を示す平面図であ
る図４を用いて以下詳細に説明する。
【００１２】３６°カットＬｉＴａＯ3単結晶からなる
圧電基板１の表面に弾性表面波フィルタを構成する電極
群２などからなるパターンをアルミニウム薄膜により通
常のフォトリソグラフ技術により形成する。この電極群
２は、隣接して配置された３組のくし型電極３と、これ
らくし型電極３の両外側に配置され、相互に接続された
金属ストリップからなるグレ−ティング反射器４などか
ら構成されている。くし型電極３は、通過中心周波数の
表面波波長から決まる周期構造の電極指と、その電極指
を信号側と接地側でそれぞれ集約するバスバー部５とか
ら構成されている。中央の入力用くし型電極３ｂは、信
号入力に用いられ、その電極の信号側は入力信号用ボン
ディングパッド６ａに、また接地側は入力接地用ボンデ
ィングパッド６ｂにそれぞれ接続されている。信号出力
に用いられる両側の出力用くし型電極３ａの信号側のバ
スバー部５ａは、入力接地用ボンディングパッド６ｂの
近傍に設けられた接続パターン７により相互に接続さ
れ、出力信号用ボンディングパッド６ｃにつながってい
る。また、このくし型電極３ａの接地側は、入力信号用
ボンディングパッド６ａに隣接して設けられた出力接地
用ボンディングパッド６ｄにそれぞれ接続されている。
そして、中央の入力用くし型電極３ｂの接地側とその両
側の出力用くし型電極３ａの接地側は、それぞれ電極指
により相互に接続されている。また、両側の出力用くし
型電極３ａの接地側は隣接する反射器４に電極指を介し
て接続されている。
圧電基板１の表面に弾性表面波フィルタを構成する電極
群２などからなるパターンをアルミニウム薄膜により通
常のフォトリソグラフ技術により形成する。この電極群
２は、隣接して配置された３組のくし型電極３と、これ
らくし型電極３の両外側に配置され、相互に接続された
金属ストリップからなるグレ−ティング反射器４などか
ら構成されている。くし型電極３は、通過中心周波数の
表面波波長から決まる周期構造の電極指と、その電極指
を信号側と接地側でそれぞれ集約するバスバー部５とか
ら構成されている。中央の入力用くし型電極３ｂは、信
号入力に用いられ、その電極の信号側は入力信号用ボン
ディングパッド６ａに、また接地側は入力接地用ボンデ
ィングパッド６ｂにそれぞれ接続されている。信号出力
に用いられる両側の出力用くし型電極３ａの信号側のバ
スバー部５ａは、入力接地用ボンディングパッド６ｂの
近傍に設けられた接続パターン７により相互に接続さ
れ、出力信号用ボンディングパッド６ｃにつながってい
る。また、このくし型電極３ａの接地側は、入力信号用
ボンディングパッド６ａに隣接して設けられた出力接地
用ボンディングパッド６ｄにそれぞれ接続されている。
そして、中央の入力用くし型電極３ｂの接地側とその両
側の出力用くし型電極３ａの接地側は、それぞれ電極指
により相互に接続されている。また、両側の出力用くし
型電極３ａの接地側は隣接する反射器４に電極指を介し
て接続されている。
【００１３】反射器４は、隣接する電極群２’の反射器
４’と接地短絡パターン８により接続されている。出力
用くし型電極３ａの信号側は、接続パターン７を介して
信号短絡パターン９ａにより隣接する電極群２’の反射
器４’に接続され、また、隣接する電極群２’の中央の
くし型電極の信号側は、その入力信号用ボンディングパ
ッドを介して信号短絡パターン９ｂにより反射器４に接
続されている。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ
同様の接続がなされている。
４’と接地短絡パターン８により接続されている。出力
用くし型電極３ａの信号側は、接続パターン７を介して
信号短絡パターン９ａにより隣接する電極群２’の反射
器４’に接続され、また、隣接する電極群２’の中央の
くし型電極の信号側は、その入力信号用ボンディングパ
ッドを介して信号短絡パターン９ｂにより反射器４に接
続されている。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ
同様の接続がなされている。
【００１４】これらのパターンを形成した後、破線で示
したのダイシングライン１０に沿って、圧電基板１を切
断しそれぞれの弾性表面波装置に分割する。この際、接
地短絡パターン８および信号短絡パターン９ａ、ｂを切
断している。これにより電極パターン形成工程におい
て、焦電効果による放電を防止できる。加えて、それぞ
れの弾性表面波装置に分割された後も、すべてのくし型
電極３ａ、ｂの接地側と反射器４が接続された状態であ
るので、反射器４とくし型電極３の接地側との間での放
電を防止でき、パタ−ンの損傷を防ぐことができる。な
お、ダイシングライン１０は、接地短絡パターン８およ
び信号短絡パターン９に直交する形状であるため、切断
後にパターンの残りによる不要な短絡を生じることはな
い。
したのダイシングライン１０に沿って、圧電基板１を切
断しそれぞれの弾性表面波装置に分割する。この際、接
地短絡パターン８および信号短絡パターン９ａ、ｂを切
断している。これにより電極パターン形成工程におい
て、焦電効果による放電を防止できる。加えて、それぞ
れの弾性表面波装置に分割された後も、すべてのくし型
電極３ａ、ｂの接地側と反射器４が接続された状態であ
るので、反射器４とくし型電極３の接地側との間での放
電を防止でき、パタ−ンの損傷を防ぐことができる。な
お、ダイシングライン１０は、接地短絡パターン８およ
び信号短絡パターン９に直交する形状であるため、切断
後にパターンの残りによる不要な短絡を生じることはな
い。
【００１５】第２の実施例における電極パターンの平面
図を図５に示す。この場合の電極群は、第１の実施例に
おける電極群２を２段縦続接続したものであり、隣接し
て配置されたそれぞれ３個のくし型電極３ａ、ｂ、ｃ、
ｄと、これらくし型電極の両外側に配置されたグレ−テ
ィング反射器４ａ、ｂなどから構成されている。１段目
の中央の入力用くし型電極３ｂは、信号入力に用いられ
る。その両側の出力用くし型電極３ａの信号側は接続パ
ターン７により、２段目の入力用くし型電極３ｃに接続
されている。２段目の中央の出力用くし型電極３ｄは出
力信号用ボンディングパッド６ｆに、また、くし型電極
３ｃ、ｄの接地側は接地用ボンディングパッド６ｅ、ｇ
にそれぞれ接続されている。そして、中央のくし型電極
３ｂ、ｄの接地側とその両側のくし型電極３ａ、ｃの接
地側は、それぞれ電極指により接続されている。また、
両側のくし型電極３ａ、ｃの接地側は隣接する反射器４
ａ、ｂに電極指を介して接続されている。
図を図５に示す。この場合の電極群は、第１の実施例に
おける電極群２を２段縦続接続したものであり、隣接し
て配置されたそれぞれ３個のくし型電極３ａ、ｂ、ｃ、
ｄと、これらくし型電極の両外側に配置されたグレ−テ
ィング反射器４ａ、ｂなどから構成されている。１段目
の中央の入力用くし型電極３ｂは、信号入力に用いられ
る。その両側の出力用くし型電極３ａの信号側は接続パ
ターン７により、２段目の入力用くし型電極３ｃに接続
されている。２段目の中央の出力用くし型電極３ｄは出
力信号用ボンディングパッド６ｆに、また、くし型電極
３ｃ、ｄの接地側は接地用ボンディングパッド６ｅ、ｇ
にそれぞれ接続されている。そして、中央のくし型電極
３ｂ、ｄの接地側とその両側のくし型電極３ａ、ｃの接
地側は、それぞれ電極指により接続されている。また、
両側のくし型電極３ａ、ｃの接地側は隣接する反射器４
ａ、ｂに電極指を介して接続されている。
【００１６】反射器４ａ、ｂは、隣接する電極群の反射
器と接地短絡パターン８により接続されている。１段目
と２段目を接続する接続パターン７は、信号短絡パター
ン９ａにより隣接する電極群の接地短絡パターン８を介
して反射器４ａに接続されている。また、中央のくし型
電極３ｂ、ｄの信号側は、そのボンディングパッド６
ａ、ｄを介して信号短絡パターン９ｂにより接地短絡パ
ターン８を介して反射器に接続されている。そして、隣
接する電極群間にもそれぞれ同様の接続がなされてい
る。
器と接地短絡パターン８により接続されている。１段目
と２段目を接続する接続パターン７は、信号短絡パター
ン９ａにより隣接する電極群の接地短絡パターン８を介
して反射器４ａに接続されている。また、中央のくし型
電極３ｂ、ｄの信号側は、そのボンディングパッド６
ａ、ｄを介して信号短絡パターン９ｂにより接地短絡パ
ターン８を介して反射器に接続されている。そして、隣
接する電極群間にもそれぞれ同様の接続がなされてい
る。
【００１７】これらのパターンを形成した後、第１の実
施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形成
工程において、焦電効果による放電を防止できるなど第
１の実施例と同様の効果が得られるとともに、２段の縦
続接続により優れた帯域外減衰量を得ることができる。
施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形成
工程において、焦電効果による放電を防止できるなど第
１の実施例と同様の効果が得られるとともに、２段の縦
続接続により優れた帯域外減衰量を得ることができる。
【００１８】第３の実施例における電極パターンの平面
図を図６に示す。１２８°カットＬｉＮｂＯ3単結晶か
らなる圧電基板１の表面にＩＩＤＴ構造の弾性表面波フ
ィルタを構成する電極群などからなる電極パターンをア
ルミニウム薄膜により通常のフォトリソグラフ技術によ
り形成する。この電極群は、隣接して配置された１０個
のくし型電極３ａ、ｂと、これらくし型電極の両外側に
配置され、相互に接続された金属ストリップからなるグ
レ−ティング反射器４などから構成されている。５組の
出力用くし型電極３ａと５組の入力用くし型電極３ｂは
交互に配置され、入力用くし型電極３ｂの信号側は、接
続パターン７ａにより相互に接続され、入力信号用ボン
ディングパッド６ａに接続されている。同様に出力用く
し型電極３ａの信号側は、接続パターン７ｂにより相互
に接続され、出力信号用ボンディングパッド６ｃに接続
されている。そして、入力用くし型電極３ｂの接地側と
出力用くし型電極３ａの接地側は、それぞれ電極指によ
り相互に接続されている。また、両端のくし型電極３の
接地側は隣接する反射器４に電極指を介して接続されて
いる。
図を図６に示す。１２８°カットＬｉＮｂＯ3単結晶か
らなる圧電基板１の表面にＩＩＤＴ構造の弾性表面波フ
ィルタを構成する電極群などからなる電極パターンをア
ルミニウム薄膜により通常のフォトリソグラフ技術によ
り形成する。この電極群は、隣接して配置された１０個
のくし型電極３ａ、ｂと、これらくし型電極の両外側に
配置され、相互に接続された金属ストリップからなるグ
レ−ティング反射器４などから構成されている。５組の
出力用くし型電極３ａと５組の入力用くし型電極３ｂは
交互に配置され、入力用くし型電極３ｂの信号側は、接
続パターン７ａにより相互に接続され、入力信号用ボン
ディングパッド６ａに接続されている。同様に出力用く
し型電極３ａの信号側は、接続パターン７ｂにより相互
に接続され、出力信号用ボンディングパッド６ｃに接続
されている。そして、入力用くし型電極３ｂの接地側と
出力用くし型電極３ａの接地側は、それぞれ電極指によ
り相互に接続されている。また、両端のくし型電極３の
接地側は隣接する反射器４に電極指を介して接続されて
いる。
【００１９】反射器４は、隣接する電極群の反射器４’
と接地短絡パターン８により接続されている。出力用く
し型電極３ａの信号側は、接続パターン７ｂ、出力信号
用ボンディングパッド６ｃを介して信号短絡パターン９
ａにより隣接する電極群の反射器４’に接続され、ま
た、入力用くし型電極３ｂの信号側は、接続パターン７
ａ、入力信号用ボンディングパッド６ａを介して信号短
絡パターン９ｂにより隣接する電極群の反射器に接続さ
れている。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ同様
の接続がなされている。
と接地短絡パターン８により接続されている。出力用く
し型電極３ａの信号側は、接続パターン７ｂ、出力信号
用ボンディングパッド６ｃを介して信号短絡パターン９
ａにより隣接する電極群の反射器４’に接続され、ま
た、入力用くし型電極３ｂの信号側は、接続パターン７
ａ、入力信号用ボンディングパッド６ａを介して信号短
絡パターン９ｂにより隣接する電極群の反射器に接続さ
れている。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ同様
の接続がなされている。
【００２０】これらのパターンを形成した後は、第１の
実施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形
成工程において、焦電効果による放電を防止できるなど
第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
実施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形
成工程において、焦電効果による放電を防止できるなど
第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００２１】第４の実施例における電極パターンの平面
図を図７に示す。この場合の電極群は、第３の実施例と
類似の電極群を２段縦続接続したものである。この電極
群は、隣接して配置されたそれぞれ１１個のくし型電極
３ａ、ｂ、ｃ、ｄと、くし型電極の両外側に配置された
グレ−ティング反射器４ａ、ｂなどから構成されてい
る。出力用くし型電極と入力用くし型電極は交互に配置
され、１段目の入力用くし型電極３ｂの信号側は、接続
パターン７ａにより相互に接続され、入力信号用ボンデ
ィングパッド６ａに接続されている。１段目の出力用く
し型電極３ａの信号側と２段目の入力用くし型電極３ｃ
は、接続パターン７ｂにより相互に接続されている。２
段目の出力用くし型電極３ｄの信号側は、接続パターン
７ｃにより相互に接続され、出力信号用ボンディングパ
ッド６ｆに接続されている。そして、入力用くし型電極
３ｂ、ｅの接地側と出力用くし型電極３ａ、ｄの接地側
は、それぞれ電極指により相互に接続されている。ま
た、両端のくし型電極３の接地側は隣接する反射器４
ａ、ｂにバスバー部を介して接続されている。
図を図７に示す。この場合の電極群は、第３の実施例と
類似の電極群を２段縦続接続したものである。この電極
群は、隣接して配置されたそれぞれ１１個のくし型電極
３ａ、ｂ、ｃ、ｄと、くし型電極の両外側に配置された
グレ−ティング反射器４ａ、ｂなどから構成されてい
る。出力用くし型電極と入力用くし型電極は交互に配置
され、１段目の入力用くし型電極３ｂの信号側は、接続
パターン７ａにより相互に接続され、入力信号用ボンデ
ィングパッド６ａに接続されている。１段目の出力用く
し型電極３ａの信号側と２段目の入力用くし型電極３ｃ
は、接続パターン７ｂにより相互に接続されている。２
段目の出力用くし型電極３ｄの信号側は、接続パターン
７ｃにより相互に接続され、出力信号用ボンディングパ
ッド６ｆに接続されている。そして、入力用くし型電極
３ｂ、ｅの接地側と出力用くし型電極３ａ、ｄの接地側
は、それぞれ電極指により相互に接続されている。ま
た、両端のくし型電極３の接地側は隣接する反射器４
ａ、ｂにバスバー部を介して接続されている。
【００２２】反射器４ａ、ｂは、隣接する電極群の反射
器４’と接地短絡パターン８により接続されている。２
段目の出力用くし型電極３ｄの信号側は接続パターン７
ｃおよび出力信号用ボンディングパッド６ｆを介して、
また、１段目の入力用くし型電極３ｂの信号側は接続パ
ターン７ａおよび入力信号用ボンディングパッド６ａを
介して、それぞれ信号短絡パターン９ｂにより隣接する
電極群の反射器４’に接続される。また、１段目の出力
用くし型電極３ｂの信号側と２段目の入力用くし型電極
３ｃの信号側を接続する接続パターン７ｂは、信号短絡
パターン９ａにより隣接する電極群の反射器に接続され
る。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ同様の接続
がなされている。
器４’と接地短絡パターン８により接続されている。２
段目の出力用くし型電極３ｄの信号側は接続パターン７
ｃおよび出力信号用ボンディングパッド６ｆを介して、
また、１段目の入力用くし型電極３ｂの信号側は接続パ
ターン７ａおよび入力信号用ボンディングパッド６ａを
介して、それぞれ信号短絡パターン９ｂにより隣接する
電極群の反射器４’に接続される。また、１段目の出力
用くし型電極３ｂの信号側と２段目の入力用くし型電極
３ｃの信号側を接続する接続パターン７ｂは、信号短絡
パターン９ａにより隣接する電極群の反射器に接続され
る。そして、隣接する電極群間にもそれぞれ同様の接続
がなされている。
【００２３】これらのパターンを形成した後、第１の実
施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形成
工程において、焦電効果による放電を防止できるなど第
１の実施例と同様の効果が得られるとともに、２段の縦
続接続により優れた帯域外減衰量を得ることができる。
施例と同様に製造を行う。これにより電極パターン形成
工程において、焦電効果による放電を防止できるなど第
１の実施例と同様の効果が得られるとともに、２段の縦
続接続により優れた帯域外減衰量を得ることができる。
【００２４】さらに、他の実施の態様としては、くし型
電極間にグレーティング反射器を設け、その金属ストリ
ップを介して各くし型電極の接地側を接続することもで
きる。圧電性基板として圧電単結晶を用いているが、Ｐ
ＺＴなどの圧電性焼結体、ＡｌＮ、ＺｎＯなどの圧電性
薄膜を非圧電性の基板上に形成したものを用いることも
できる。
電極間にグレーティング反射器を設け、その金属ストリ
ップを介して各くし型電極の接地側を接続することもで
きる。圧電性基板として圧電単結晶を用いているが、Ｐ
ＺＴなどの圧電性焼結体、ＡｌＮ、ＺｎＯなどの圧電性
薄膜を非圧電性の基板上に形成したものを用いることも
できる。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、（ａ）圧電性基板上に金属膜
からなり、複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極
群および該くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む
電極パターンを形成する工程と、（ｂ）前記圧電性基板
を切断することにより、前記短絡パターンを切断すると
ともにそれぞれの前記くし型電極群に分割する工程とを
含む弾性表面波装置の製造方法において、（ｃ）前記く
し型電極群が、３組以上のくし型電極および隣接してい
ない該くし型電極の信号側を相互に接続する接続パター
ンを含み、前記くし型電極の接地側が相互に接続されて
おり、（ｄ）前記短絡パターンが、前記くし型電極の接
地側と隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する
接地短絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記
くし型電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを
含むことを特徴とするものである。
からなり、複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極
群および該くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む
電極パターンを形成する工程と、（ｂ）前記圧電性基板
を切断することにより、前記短絡パターンを切断すると
ともにそれぞれの前記くし型電極群に分割する工程とを
含む弾性表面波装置の製造方法において、（ｃ）前記く
し型電極群が、３組以上のくし型電極および隣接してい
ない該くし型電極の信号側を相互に接続する接続パター
ンを含み、前記くし型電極の接地側が相互に接続されて
おり、（ｄ）前記短絡パターンが、前記くし型電極の接
地側と隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する
接地短絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記
くし型電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを
含むことを特徴とするものである。
【００２６】本発明によれば、電極パターン形成時に
は、くし型電極間が短絡されているため焦電効果により
電荷が電極パターン上に蓄積することがなく、放電によ
りくし型電極が破損することもない。その後、圧電性基
板を切断する際に短絡パターンを切断しているので、新
たな工程を加えることなく、短絡パターンが解放されて
通常の動作が可能となる。また、くし型電極の接地側が
相互に接続されているため、焦電効果による電荷が局部
的に蓄積されることなく、電荷の放電によるくし型電極
の破壊が抑制される。したがって、微細な電極幅のくし
型電極を有する弾性表面波装置装置を再現性よく、高い
歩留まりで製造することが可能となる。
は、くし型電極間が短絡されているため焦電効果により
電荷が電極パターン上に蓄積することがなく、放電によ
りくし型電極が破損することもない。その後、圧電性基
板を切断する際に短絡パターンを切断しているので、新
たな工程を加えることなく、短絡パターンが解放されて
通常の動作が可能となる。また、くし型電極の接地側が
相互に接続されているため、焦電効果による電荷が局部
的に蓄積されることなく、電荷の放電によるくし型電極
の破壊が抑制される。したがって、微細な電極幅のくし
型電極を有する弾性表面波装置装置を再現性よく、高い
歩留まりで製造することが可能となる。
【図１】従来技術である短絡パターンを用いた弾性表面
波装置の電極構造を説明するための平面図である。
波装置の電極構造を説明するための平面図である。
【図２】従来技術である３個のくし型電極を用いた弾性
表面波装置の電極構造を説明するための平面図である。
表面波装置の電極構造を説明するための平面図である。
【図３】従来技術である多数のくし型電極を用いた弾性
表面波装置の電極構造を説明するための平面図である。
表面波装置の電極構造を説明するための平面図である。
【図４】本発明による第１の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
【図５】本発明による第２の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
【図６】本発明による第３の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
【図７】本発明による第４の実施例に用いる弾性表面波
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
フィルタの電極パターンの概念を示す平面図である。
１ 圧電基板 ２ 電極群 ３ くし型電極 ４ 反射器 ５ バスバー部 ６ ボンディングパッド ７ 接続パターン ８ 接地短絡パターン ９ 信号短絡パターン １０ ダイシングライン
Claims (2)
- 【請求項１】 （ａ）圧電性基板上に金属膜からなり、
複数の弾性表面波装置を構成するくし型電極群および該
くし型電極群を短絡する短絡パターンを含む電極パター
ンを形成する工程と、 （ｂ）前記圧電性基板を切断することにより、前記短絡
パターンを切断するとともにそれぞれの前記くし型電極
群に分割する工程とを含む弾性表面波装置の製造方法に
おいて、 （ｃ）前記くし型電極群が、３組以上のくし型電極およ
び隣接していない該くし型電極の信号側を相互に接続す
る接続パターンを含み、前記くし型電極の接地側が相互
に接続されており、 （ｄ）前記短絡パターンが、前記くし型電極の接地側と
隣接する前記くし型電極群の接地側とを接続する接地短
絡パターンと、前記接続パターンと隣接する前記くし型
電極群の接地側とを接続する信号短絡パターンを含むこ
とを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。 - 【請求項２】 （ｅ）前記くし型電極をはさむように配
置され、前記くし型電極の接地側に接続された一対の反
射器を前記くし型電極群が含み、 （ｆ）前記短絡パターンが前記反射器を介して接続され
ていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35867192A JPH06204779A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35867192A JPH06204779A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204779A true JPH06204779A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18460523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35867192A Pending JPH06204779A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 弾性表面波装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204779A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6034578A (en) * | 1998-09-11 | 2000-03-07 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Surface acoustic wave device with closely spaced discharge electrodes electrically independent of the interdigital transducers |
| US6486752B1 (en) * | 1999-11-04 | 2002-11-26 | Oki Electric Industry Co, Ltd. | Surface acoustic wave filter pattern with grounding via connection lines to dicing lines |
| JP2005175927A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| JP2005331885A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 音響光学デバイスおよび音響光学デバイスの製造方法 |
| JP2006071957A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Sony Corp | 電子デバイス・チップ集合体、電子デバイス・チップ、回折格子−光変調装置集合体、及び、回折格子−光変調装置 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP35867192A patent/JPH06204779A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6034578A (en) * | 1998-09-11 | 2000-03-07 | Hitachi Media Electronics Co., Ltd. | Surface acoustic wave device with closely spaced discharge electrodes electrically independent of the interdigital transducers |
| US6486752B1 (en) * | 1999-11-04 | 2002-11-26 | Oki Electric Industry Co, Ltd. | Surface acoustic wave filter pattern with grounding via connection lines to dicing lines |
| JP2005175927A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| JP2005331885A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Fujitsu Ltd | 音響光学デバイスおよび音響光学デバイスの製造方法 |
| JP2006071957A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Sony Corp | 電子デバイス・チップ集合体、電子デバイス・チップ、回折格子−光変調装置集合体、及び、回折格子−光変調装置 |
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