JPH06207617A - 静圧空気軸受 - Google Patents
静圧空気軸受Info
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- JPH06207617A JPH06207617A JP286993A JP286993A JPH06207617A JP H06207617 A JPH06207617 A JP H06207617A JP 286993 A JP286993 A JP 286993A JP 286993 A JP286993 A JP 286993A JP H06207617 A JPH06207617 A JP H06207617A
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- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 13
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっ
ても回転軸が円滑に回転する静圧空気軸受を提供する。 【構成】軸受部１４に、回転軸１２と軸受部１４との隙
間１６に圧力エアを供給するエア供給孔１８、１８…を
略中央部の円周上に形成し、エア供給孔１８から供給さ
れる圧力エアの圧力によって、回転軸１２のラジアル剛
性を保持する。軸受部１４の上端部１４Ａ、及び下端部
１４Ｂに、エア供給孔２２、２２…、２４、２４…を形
成する。エア供給孔２２からの圧力エアを、上スラスト
板２６と軸受部１４との隙間２８に供給し、また、エア
供給孔２４からのエアを下スラスト板３０と軸受部１４
との隙間３２に供給して、回転軸１２のモーメント剛性
を保持する。回転軸１２によれば、回転軸１２の円筒
度、及び直角度が悪い場合であっても、エア供給孔１８
からのエア圧を求心力を保持させるためだけに用いるよ
うにしている。
ても回転軸が円滑に回転する静圧空気軸受を提供する。 【構成】軸受部１４に、回転軸１２と軸受部１４との隙
間１６に圧力エアを供給するエア供給孔１８、１８…を
略中央部の円周上に形成し、エア供給孔１８から供給さ
れる圧力エアの圧力によって、回転軸１２のラジアル剛
性を保持する。軸受部１４の上端部１４Ａ、及び下端部
１４Ｂに、エア供給孔２２、２２…、２４、２４…を形
成する。エア供給孔２２からの圧力エアを、上スラスト
板２６と軸受部１４との隙間２８に供給し、また、エア
供給孔２４からのエアを下スラスト板３０と軸受部１４
との隙間３２に供給して、回転軸１２のモーメント剛性
を保持する。回転軸１２によれば、回転軸１２の円筒
度、及び直角度が悪い場合であっても、エア供給孔１８
からのエア圧を求心力を保持させるためだけに用いるよ
うにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は静圧空気軸受に係り、特
に直角度測定機等の測定物固定用のテーブルを回転自在
に支持する静圧空気軸受に関する。
に直角度測定機等の測定物固定用のテーブルを回転自在
に支持する静圧空気軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の静圧空気軸受は図６に示
すように、回転軸１と軸受部２とから構成される。前記
軸受部２には、回転軸１と軸受部２との隙間３に圧力エ
アを供給する複数のエア供給孔４Ａ、４Ａ…、４Ｂ、４
Ｂ…が回転軸１の軸方向における上部・下部の円周上に
形成される。
すように、回転軸１と軸受部２とから構成される。前記
軸受部２には、回転軸１と軸受部２との隙間３に圧力エ
アを供給する複数のエア供給孔４Ａ、４Ａ…、４Ｂ、４
Ｂ…が回転軸１の軸方向における上部・下部の円周上に
形成される。
【０００３】これにより、回転軸１は、エア供給孔４
Ａ、４Ａ…、４Ｂ、４Ｂ…から供給される圧力エアの圧
力によって、モーメント剛性Ｆ（回転軸１の倒れに対す
る剛性）と、ラジアル剛性Ｒ（軸受部２に対する回転軸
１の求心力剛性）とが所定の強度で保持される。また、
軸受部２の上端部２Ａ、及び下端部２Ｂには、それぞれ
エア供給孔５Ａ、５Ａ…、５Ｂ、５Ｂ…が形成される。
前記エア供給孔５Ａ、５Ａ…からの圧力エアは、上スラ
スト板６Ａと上端部２Ａとの隙間７に供給される。ま
た、エア供給孔５Ｂ、５Ｂ…からの圧力エアは、下スラ
スト板６Ｂと下端部２Ｂとの隙間８に供給される。
Ａ、４Ａ…、４Ｂ、４Ｂ…から供給される圧力エアの圧
力によって、モーメント剛性Ｆ（回転軸１の倒れに対す
る剛性）と、ラジアル剛性Ｒ（軸受部２に対する回転軸
１の求心力剛性）とが所定の強度で保持される。また、
軸受部２の上端部２Ａ、及び下端部２Ｂには、それぞれ
エア供給孔５Ａ、５Ａ…、５Ｂ、５Ｂ…が形成される。
前記エア供給孔５Ａ、５Ａ…からの圧力エアは、上スラ
スト板６Ａと上端部２Ａとの隙間７に供給される。ま
た、エア供給孔５Ｂ、５Ｂ…からの圧力エアは、下スラ
スト板６Ｂと下端部２Ｂとの隙間８に供給される。
【０００４】これにより、回転軸１は、エア供給孔５
Ａ、５Ａ…、５Ｂ、５Ｂ…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性Ｆが所定の強度で保持され、軸
受部２に対して非接触で回転自在に支持される。また、
前記静圧空気軸受が真円度測定機に適用された場合に
は、前記スラスト板６Ａの上部に測定物固定用の図中二
点鎖線で示すテーブル９が搭載される。
Ａ、５Ａ…、５Ｂ、５Ｂ…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性Ｆが所定の強度で保持され、軸
受部２に対して非接触で回転自在に支持される。また、
前記静圧空気軸受が真円度測定機に適用された場合に
は、前記スラスト板６Ａの上部に測定物固定用の図中二
点鎖線で示すテーブル９が搭載される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
静圧空気軸受は、軸受部２の上部・下部に形成されたエ
ア供給孔４Ａ、４Ａ…、４Ｂ、４Ｂ…から供給される圧
力エアで回転軸１を支持しているので、回転軸１の円筒
度、及び直角度が悪い場合には、回転軸１の上部・下部
においてエア圧のバランスが崩れる。これにより、回転
軸１は振れながら回転するという欠点がある。
静圧空気軸受は、軸受部２の上部・下部に形成されたエ
ア供給孔４Ａ、４Ａ…、４Ｂ、４Ｂ…から供給される圧
力エアで回転軸１を支持しているので、回転軸１の円筒
度、及び直角度が悪い場合には、回転軸１の上部・下部
においてエア圧のバランスが崩れる。これにより、回転
軸１は振れながら回転するという欠点がある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっ
ても回転軸が円滑に回転する静圧空気軸受を提供するこ
とを目的とする。
もので、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっ
ても回転軸が円滑に回転する静圧空気軸受を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、回転軸と軸受部との隙間に圧力エアを供給し
て回転軸を非接触で回転自在に支持する静圧空気軸受に
於いて、前記軸受部には、前記回転軸の軸方向における
略中央部の円周上に、回転軸と軸受部との隙間に圧力エ
アを供給する第１のエア供給孔と、前記軸受部の上端部
に、回転軸の上端部に固着されたスラスト板と軸受部の
上端部との隙間に圧力エアを供給する第２のエア供給孔
と、がそれぞれ所定の間隔で複数形成されたことを特徴
としている。
する為に、回転軸と軸受部との隙間に圧力エアを供給し
て回転軸を非接触で回転自在に支持する静圧空気軸受に
於いて、前記軸受部には、前記回転軸の軸方向における
略中央部の円周上に、回転軸と軸受部との隙間に圧力エ
アを供給する第１のエア供給孔と、前記軸受部の上端部
に、回転軸の上端部に固着されたスラスト板と軸受部の
上端部との隙間に圧力エアを供給する第２のエア供給孔
と、がそれぞれ所定の間隔で複数形成されたことを特徴
としている。
【０００８】
【作用】本発明によれば、軸受部に形成された第１のエ
ア供給孔から供給される圧力エアの圧力によって回転軸
のラジアル剛性（求心力剛性）のみを保持するように
し、また軸受部に形成された第２のエア供給孔から供給
される圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛性
（倒れ剛性）を保持するようにした。
ア供給孔から供給される圧力エアの圧力によって回転軸
のラジアル剛性（求心力剛性）のみを保持するように
し、また軸受部に形成された第２のエア供給孔から供給
される圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛性
（倒れ剛性）を保持するようにした。
【０００９】即ち、本発明の特徴は、前記第１のエア供
給孔を回転軸の軸方向における略中央部の円周上に形成
することにより、従来の静圧空気軸受用回転軸の上部・
下部において生じるエア圧のバランスの崩れを防止し
た。これにより、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場
合であっても回転軸は円滑に回転する。
給孔を回転軸の軸方向における略中央部の円周上に形成
することにより、従来の静圧空気軸受用回転軸の上部・
下部において生じるエア圧のバランスの崩れを防止し
た。これにより、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場
合であっても回転軸は円滑に回転する。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る静圧空気
軸受の好ましい実施例について詳説する。図１は本発明
に係る静圧空気軸受１０の断面図であり、この静圧空気
軸受１０は回転軸１２と軸受部１４とから構成される。
軸受部１４には、回転軸１２と軸受部１４との隙間１６
に圧力エアを供給する複数のエア供給孔１８、１８…が
回転軸１２の軸方向における略中央部の円周上に形成さ
れる。また、前記エア供給孔１８、１８…は図２に示す
ように、回転軸１２の回転中心軸２０に向けて放射状
に、且つ所定の間隔で形成されている。
軸受の好ましい実施例について詳説する。図１は本発明
に係る静圧空気軸受１０の断面図であり、この静圧空気
軸受１０は回転軸１２と軸受部１４とから構成される。
軸受部１４には、回転軸１２と軸受部１４との隙間１６
に圧力エアを供給する複数のエア供給孔１８、１８…が
回転軸１２の軸方向における略中央部の円周上に形成さ
れる。また、前記エア供給孔１８、１８…は図２に示す
ように、回転軸１２の回転中心軸２０に向けて放射状
に、且つ所定の間隔で形成されている。
【００１１】これにより、回転軸１２は、エア供給孔１
８、１８…から供給される圧力エアの圧力によって、ラ
ジアル剛性Ｒ（回転軸１２の求心力剛性）が所定の強度
で保持されている。また、図１に示すように軸受部１４
の上端部１４Ａ、及び下端部１４Ｂには、それぞれエア
供給孔２２、２２…、２４、２４…が形成される。エア
供給孔２２（２４）、２２（２４）…は図３に示すよう
に、回転軸１２を囲むように所定の間隔で形成される。
一方、エア供給孔２２、２２…からの圧力エアは図１に
示すように、回転軸１２の上端部１２Ａに固着された上
スラスト板２６と軸受部１４の上端部１４Ａとの隙間２
８に供給される。また、エア供給孔２４、２４…からの
圧力エアは、回転軸１２の下端部１２Ｂに固着された下
スラスト板３０と軸受部１４の下端部１４Ｂとの隙間３
２に供給される。
８、１８…から供給される圧力エアの圧力によって、ラ
ジアル剛性Ｒ（回転軸１２の求心力剛性）が所定の強度
で保持されている。また、図１に示すように軸受部１４
の上端部１４Ａ、及び下端部１４Ｂには、それぞれエア
供給孔２２、２２…、２４、２４…が形成される。エア
供給孔２２（２４）、２２（２４）…は図３に示すよう
に、回転軸１２を囲むように所定の間隔で形成される。
一方、エア供給孔２２、２２…からの圧力エアは図１に
示すように、回転軸１２の上端部１２Ａに固着された上
スラスト板２６と軸受部１４の上端部１４Ａとの隙間２
８に供給される。また、エア供給孔２４、２４…からの
圧力エアは、回転軸１２の下端部１２Ｂに固着された下
スラスト板３０と軸受部１４の下端部１４Ｂとの隙間３
２に供給される。
【００１２】これにより、回転軸１２は、エア供給孔２
２、２２…、２４、２４…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性Ｆ（回転軸１２の倒れに対する
剛性）が所定の強度で保持され、軸受部１４に対して非
接触で回転自在に支持される。一方、前記上スラスト板
２６の上部には、テーブル３４の水平位置及び傾斜角度
を調整する装置３６が搭載されている。この装置３６に
よれば、水平調整ねじ３８、及び傾斜調整ねじ４０を適
宜に回すことにより、テーブル３４上に固定された図中
二点鎖線で示すワークピース４２の水平位置及び傾斜角
度を調整すことができる。
２、２２…、２４、２４…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性Ｆ（回転軸１２の倒れに対する
剛性）が所定の強度で保持され、軸受部１４に対して非
接触で回転自在に支持される。一方、前記上スラスト板
２６の上部には、テーブル３４の水平位置及び傾斜角度
を調整する装置３６が搭載されている。この装置３６に
よれば、水平調整ねじ３８、及び傾斜調整ねじ４０を適
宜に回すことにより、テーブル３４上に固定された図中
二点鎖線で示すワークピース４２の水平位置及び傾斜角
度を調整すことができる。
【００１３】次に、前記の如く構成された静圧空気軸受
１０の作用について説明する。この静圧空気軸受１０の
回転軸１２は図１に示したように、軸受部１４に形成さ
れたエア供給孔１８、１８…から供給される圧力エアの
圧力によってラジアル剛性Ｒのみが保持され、また、軸
受部１４に形成されたエア供給孔２２、２２…とエア供
給孔２４、２４…とから供給される圧力エアの圧力によ
ってモーメント剛性Ｆが保持されて回転する。
１０の作用について説明する。この静圧空気軸受１０の
回転軸１２は図１に示したように、軸受部１４に形成さ
れたエア供給孔１８、１８…から供給される圧力エアの
圧力によってラジアル剛性Ｒのみが保持され、また、軸
受部１４に形成されたエア供給孔２２、２２…とエア供
給孔２４、２４…とから供給される圧力エアの圧力によ
ってモーメント剛性Ｆが保持されて回転する。
【００１４】本実施例の静圧空気軸受１０によれば、回
転軸１２の円筒度、及び直角度が悪い場合であっても、
エア供給孔１８、１８…からのエア圧を求心力を保持さ
せるためだけに用いるようにしたので、従来の静圧空気
軸受用回転軸のように回転軸の円筒度、直角度が悪い場
合に上下のエア圧のバランスが崩れて回転軸が振れて回
転するようなことはない。
転軸１２の円筒度、及び直角度が悪い場合であっても、
エア供給孔１８、１８…からのエア圧を求心力を保持さ
せるためだけに用いるようにしたので、従来の静圧空気
軸受用回転軸のように回転軸の円筒度、直角度が悪い場
合に上下のエア圧のバランスが崩れて回転軸が振れて回
転するようなことはない。
【００１５】これにより、回転軸１２の円筒度、及び直
角度が悪い場合でも、回転軸１２は円滑に回転する。図
４、図５は、エア供給孔１８（２２、２４）の周りに形
成されたエア通過溝４４、４６の実施例を示す。図４に
示したエア通過溝４４は、環状溝部４８と、この環状溝
部４８とエア供給孔１８（２２、２４）とを連通する放
射状溝部５０、５０…とから形成される。また、図５に
示したエア通過溝４６は、「王」字状に形成される。
角度が悪い場合でも、回転軸１２は円滑に回転する。図
４、図５は、エア供給孔１８（２２、２４）の周りに形
成されたエア通過溝４４、４６の実施例を示す。図４に
示したエア通過溝４４は、環状溝部４８と、この環状溝
部４８とエア供給孔１８（２２、２４）とを連通する放
射状溝部５０、５０…とから形成される。また、図５に
示したエア通過溝４６は、「王」字状に形成される。
【００１６】図４、図５のようにエア供給孔１８（２
２、２４）の周りにエア通過溝４４、４６を形成するこ
とにより、エア供給孔１８（２２、２４）から供給され
る圧力エアの圧力分布を広い範囲で略均等にすることが
できるので、エア供給孔１８（２２、２４）から圧力エ
アを直接供給するよりも、回転軸１２とスラスト板２
６、３０とを安定して非接触で保持することができる。
２、２４）の周りにエア通過溝４４、４６を形成するこ
とにより、エア供給孔１８（２２、２４）から供給され
る圧力エアの圧力分布を広い範囲で略均等にすることが
できるので、エア供給孔１８（２２、２４）から圧力エ
アを直接供給するよりも、回転軸１２とスラスト板２
６、３０とを安定して非接触で保持することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る静圧空
気軸受によれば、軸受部に形成された第１のエア供給孔
から供給される圧力エアの圧力によって回転軸のラジア
ル剛性を保持するようにし、また回転軸のモーメント剛
性は、第２のエア供給孔から供給される圧力エアの圧力
によって保持するようにしたので、回転軸の円筒度、及
び直角度が悪い場合であっても回転軸は円滑に回転す
る。
気軸受によれば、軸受部に形成された第１のエア供給孔
から供給される圧力エアの圧力によって回転軸のラジア
ル剛性を保持するようにし、また回転軸のモーメント剛
性は、第２のエア供給孔から供給される圧力エアの圧力
によって保持するようにしたので、回転軸の円筒度、及
び直角度が悪い場合であっても回転軸は円滑に回転す
る。
【図１】本発明に係る静圧空気軸受の実施例を示す断面
図
図
【図２】図１におけるＡ−Ａ矢視図
【図３】図１におけるＢ−Ｂ線上に沿う断面図
【図４】本発明に係る静圧空気軸受のエア供給孔の第１
実施例を示す平面図
実施例を示す平面図
【図５】本発明に係る静圧空気軸受のエア供給孔の第２
実施例を示す平面図
実施例を示す平面図
【図６】従来の静圧空気軸受の実施例を示す断面図
１０…静圧空気軸受 １２…回転軸 １４…軸受部 １６、２８、３２…隙間 １８、２２、２４…エア供給孔 ２０…回転中心軸 ２６、３０…スラスト板
Claims (1)
- 【請求項１】 回転軸と軸受部との隙間に圧力エアを供
給して回転軸を非接触で回転自在に支持する静圧空気軸
受に於いて、 前記軸受部には、 前記回転軸の軸方向における略中央部の円周上に、回転
軸と軸受部との隙間に圧力エアを供給する第１のエア供
給孔と、 前記軸受部の上端部に、回転軸の上端部に固着されたス
ラスト板と軸受部の上端部との隙間に圧力エアを供給す
る第２のエア供給孔と、 がそれぞれ所定の間隔で複数形成されたことを特徴とす
る静圧空気軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05002869A JP3138995B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 静圧空気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05002869A JP3138995B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 静圧空気軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06207617A true JPH06207617A (ja) | 1994-07-26 |
| JP3138995B2 JP3138995B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=11541369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05002869A Expired - Fee Related JP3138995B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 静圧空気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3138995B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286037A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Foundation For Advancement Of Science & Technology | 可変絞り形静圧軸受 |
| JP2011112144A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エアスピンドル及びエア供給装置 |
| CN103542241A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
| CN114789333A (zh) * | 2021-01-24 | 2022-07-26 | 王金龙 | 一种用压力风进行中心定位的功能应用 |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP05002869A patent/JP3138995B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286037A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Foundation For Advancement Of Science & Technology | 可変絞り形静圧軸受 |
| JP2011112144A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エアスピンドル及びエア供給装置 |
| CN103542241A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
| CN103542241B (zh) * | 2013-09-25 | 2016-06-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
| CN114789333A (zh) * | 2021-01-24 | 2022-07-26 | 王金龙 | 一种用压力风进行中心定位的功能应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3138995B2 (ja) | 2001-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |