JPH0621195A - Board holder conveyer - Google Patents
Board holder conveyerInfo
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- JPH0621195A JPH0621195A JP19910392A JP19910392A JPH0621195A JP H0621195 A JPH0621195 A JP H0621195A JP 19910392 A JP19910392 A JP 19910392A JP 19910392 A JP19910392 A JP 19910392A JP H0621195 A JPH0621195 A JP H0621195A
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Landscapes
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- Manipulator (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は真空処理装置、特に、
インライン式真空処理装置に用いられる基板ホルダー搬
送装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum processing apparatus, and more particularly to
The present invention relates to a substrate holder transfer device used in an in-line type vacuum processing device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、例えば半導体素子や電子機器部品
等の製造装置として、成膜やエッチング等の処理を行う
真空処理装置の前後に、処理すべき基板を保持した基板
ホルダーの仕込室と取出室を連設し、レール上を走行可
能に設けられたキャリアに２つの基板ホルダーを対向し
て取り付けた基板ホルダー搬送装置により、基板ホルダ
ーを仕込室から真空処理室を介して取出室へと搬送し、
２つの基板ホルダーに保持した基板を同時に処理するよ
うにしたインライン式真空処理装置が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, as a manufacturing device for semiconductor elements, electronic equipment parts, etc., before and after a vacuum processing apparatus for carrying out processing such as film formation and etching, a substrate holder holding a substrate to be processed is taken out from a loading chamber. A substrate holder transfer device in which two substrate holders are installed facing each other on a carrier that is installed in a row and can run on rails, and the substrate holder is transferred from the preparation chamber to the extraction chamber via the vacuum processing chamber. Then
An in-line type vacuum processing apparatus is known in which substrates held by two substrate holders are processed at the same time.
【０００３】ところで、この装置の基板ホルダー搬送装
置は図３に示されており、同図において、一対のレール
１ａ、１ｂ上を走行するキャリア２の両端部には基板ホ
ルダー３ａ、３ｂがそれぞれ平行になるように垂直に対
向して立設されている。そして、その基板ホルダー３
ａ、３ｂには基板４が裏板５によって保持されている。
なお、図中、２ａ、２ｂはキャリア２のローラである。By the way, the substrate holder transfer device of this device is shown in FIG. 3, in which the substrate holders 3a and 3b are parallel to both ends of the carrier 2 which runs on a pair of rails 1a and 1b. It stands upright so as to face vertically. And the substrate holder 3
A substrate 4 is held by a back plate 5 on a and 3b.
In the figure, 2a and 2b are rollers of the carrier 2.
【０００４】このような基板ホルダー搬送装置において
は、キャリア２がレール１ａ、１ｂ上を図３の紙面に垂
直な方向に走行すると、２つの基板ホルダー３ａ、３ｂ
も同方向に同時に移送される。In such a substrate holder transfer device, when the carrier 2 travels on the rails 1a and 1b in the direction perpendicular to the plane of FIG. 3, the two substrate holders 3a and 3b.
Are simultaneously transferred in the same direction.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来の基板ホルダー搬
送装置は、上記のようにキャリア２がレール１ａ、１ｂ
上を図３の紙面に垂直な方向に走行すると、２つの基板
ホルダー３ａ、３ｂも同方向に同時に移送されるため、
基板４は同一条件でしか成膜、エッチング、加熱が受け
られなくなる問題があった。In the conventional substrate holder transfer device, the carrier 2 has the rails 1a and 1b as described above.
When traveling in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 3, the two substrate holders 3a and 3b are simultaneously transferred in the same direction,
There is a problem that the substrate 4 cannot be subjected to film formation, etching and heating under the same conditions.
【０００６】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、２つの基板ホルダーにそれぞれ保持された基板を
同一または別個の条件下で成膜、エッチング、加熱等の
処理を受けることの可能な基板ホルダー搬送装置を提供
することである。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to allow substrates respectively held by two substrate holders to be subjected to treatments such as film formation, etching and heating under the same or different conditions. Another object of the present invention is to provide a simple substrate holder transfer device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の基板ホルダー搬送装置は、レール上を走
行するキャリアを平行に２つ設け、２つのキャリアに、
それぞれ基板を保持する基板ホルダーを取り付け、２つ
のキャリアまたは基板同志を互いに結合し、また結合を
解除できる接続リンクを設けたことを特徴とするもので
ある。In order to achieve the above-mentioned object, the substrate holder transfer device of the present invention is provided with two carriers that run on rails in parallel,
It is characterized in that a substrate holder for holding a substrate is attached, and two carriers or two substrates are coupled to each other and a connection link for releasing the coupling is provided.
【０００８】[0008]
【作用】この発明においては、接続リンクにより２つの
キャリアまたは基板ホルダー同志を互いに結合すれば、
従来と同様に２つの基板ホルダーを一緒に移送でき、各
基板ホルダーごとに保持された基板は同一の条件下で処
理される。また、接続リンクによる結合を解除すれば、
２つのキャリアをそれぞれ独立にレール上を走行させる
ことができ、２つの基板ホルダーもそれに伴って独立に
移送される。そのため、各基板ホルダーごとに保持され
た基板は別個の条件下で成膜、エッチング、加熱等の処
理を受けることが可能になる。In the present invention, if the two carriers or the substrate holders are connected to each other by the connecting link,
As in the conventional case, the two substrate holders can be transferred together, and the substrates held by each substrate holder are processed under the same conditions. Also, if you cancel the connection by the connection link,
The two carriers can be independently run on the rails, and the two substrate holders are also independently transferred accordingly. Therefore, the substrate held by each substrate holder can be subjected to treatments such as film formation, etching and heating under different conditions.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例は図１および図２
に示されており、これらの図において、真空槽１０の上
部に３本のレール１１ａ、１１ｂ、１１ｃがそれぞれ平
行に配置され、その左側のレール１１ａと中間のレール
１１ｂとの上を左側キャリア１２ａが走行するように配
設され、また、中間のレール１１ｂと右側のレール１１
ｃとの上を右側キャリア１２ｂが走行するように配設さ
れている。左側キャリア１２ａのラック１３ａは左側駆
動用モータ１４ａによって回転する左側ピニオンギア１
５ａと歯合し、また、右側キャリア１２ｂのラック１３
ｂは右側駆動用モータ１４ｂによって回転する右側ピニ
オンギア１５ｂと歯合している。左側キャリア１２ａに
は左側基板ホルダー１６ａが吊下され、その左側基板ホ
ルダー１６ａには基板１７が保持されている。また、右
側キャリア１２ｂには右側基板ホルダー１６ｂが吊下さ
れ、その右側基板ホルダー１６ｂには基板１７が保持さ
れている。更に、左右の基板ホルダー１６ａ、１６ｂの
上部に、両者を結合する接続リンク１８が着脱可能に設
けられている。なお、図中、１９はヒーター、２０はヒ
ーターサポート、２１はＲＦ電極である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. An embodiment of the present invention is shown in FIGS.
In these figures, three rails 11a, 11b and 11c are arranged in parallel at the upper part of the vacuum chamber 10, and the left side carrier 12a is placed on the left side rail 11a and the middle rail 11b. Are arranged so as to run, and the middle rail 11b and the right rail 11 are
The right carrier 12b is arranged so as to travel above c and c. The rack 13a of the left carrier 12a is a left pinion gear 1 rotated by a left driving motor 14a.
5a and the rack 13 of the right carrier 12b.
b is meshed with the right pinion gear 15b rotated by the right driving motor 14b. A left substrate holder 16a is suspended from the left carrier 12a, and a substrate 17 is held on the left substrate holder 16a. A right side substrate holder 16b is hung on the right side carrier 12b, and a substrate 17 is held on the right side substrate holder 16b. Further, a connection link 18 that connects the left and right substrate holders 16a and 16b is detachably provided on the upper portion. In the figure, 19 is a heater, 20 is a heater support, and 21 is an RF electrode.
【００１０】このような実施例において、図１のように
左右の基板ホルダー１６ａ、１６ｂを接続リンク１８で
互いに結合させ、いずれか一方の駆動用モータ、例え
ば、左側駆動用モータ１４ａを作動させると、左側ピニ
オンギア１５ａが回転し、これし歯合するラック１３ａ
を介して左側キャリア１２ａがレール上を走行し、そし
て、その走行に対応して左側基板ホルダー１６ａと共に
右側基板ホルダー１６ｂも一緒に走行されるようにな
る。なお、このとき、右側駆動用モータ１４ｂと右側ピ
ニオンギア１５ｂの間にクラッチを介在させるか、右側
ピニオンギア１５ｂとラック１３ｂとの歯合を解除する
機構を設け、また、接続リンク１８わはずすと、左側駆
動用モータ１４ａの作動により、左側ピニオンギア１５
ａが回転し、これと歯合するラック１３ａを介して左側
キャリア１２ａが走行し、そして、その走行に対応して
左側基板ホルダー１６ａが搬送されるようになる。ま
た、右側駆動用モータ１４ｂの作動により、右側ピニオ
ンギア１５ｂが回転し、これと歯合するラック１３ｂを
介して右側キャリア１２ｂが走行し、そして、その走行
に対応して右側基板ホルダー１６ｂが搬送されるように
なる。その場合、左側基板ホルダー１６ａと右側基板ホ
ルダー１６ｂとの搬送はそれぞれ独立し、各搬送速度も
制御可能になっている。In such an embodiment, as shown in FIG. 1, the left and right substrate holders 16a and 16b are connected to each other by a connecting link 18, and either one of the driving motors, for example, the left driving motor 14a is operated. The left pinion gear 15a rotates, and the rack 13a meshes with the left pinion gear 15a.
The left-side carrier 12a travels on the rails via the rails, and the left-side substrate holder 16a and the right-side substrate holder 16b also travel along with the traveling. At this time, a clutch is interposed between the right driving motor 14b and the right pinion gear 15b, or a mechanism for releasing the engagement between the right pinion gear 15b and the rack 13b is provided, and the connection link 18 is removed. , The left side pinion gear 15 is activated by the operation of the left side driving motor 14a.
a rotates, and the left carrier 12a travels through the rack 13a that meshes with this, and the left substrate holder 16a is transported in correspondence with the travel. Further, the right side pinion gear 15b is rotated by the operation of the right side drive motor 14b, the right side carrier 12b travels through the rack 13b meshing with the right side pinion gear 15b, and the right side substrate holder 16b is conveyed corresponding to the running. Will be done. In that case, the left substrate holder 16a and the right substrate holder 16b are transported independently of each other, and each transport speed can be controlled.
【００１１】ところで、上記実施例では左側基板ホルダ
ー１６ａと右側基板ホルダー１６ｂとは吊下されている
が、キャリアの上に左側基板ホルダーを立設した構成に
してもよい。また、接続リンク１８はキャリアに設ける
ようにしてもよい。更に、上記実施例はＣＶＤ装置だけ
でなく、スパッタ装置、エッチング装置、熱処理装置等
にも利用できる。By the way, in the above embodiment, the left side substrate holder 16a and the right side substrate holder 16b are suspended, but the left side substrate holder may be erected on the carrier. Further, the connection link 18 may be provided on the carrier. Further, the above-described embodiment can be applied not only to the CVD device but also to a sputtering device, an etching device, a heat treatment device, and the like.
【００１２】[0012]
【発明の効果】この発明は、上記のように２つのキャリ
アを一緒に、またはそれぞれ独立にレール上を走行さ
せ、２つの基板ホルダーをそれに伴って一緒に、または
独立に移送できるようにしているので、各基板ホルダー
ごとに保持された基板は同一または別個の条件下で成
膜、エッチング、加熱等の処理を受けることが可能にな
る。As described above, according to the present invention, the two carriers can be moved together or independently on the rail so that the two substrate holders can be transferred together or independently. Therefore, the substrate held by each substrate holder can be subjected to processing such as film formation, etching and heating under the same or different conditions.
【図１】この発明の実施例の断面図FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図FIG. 2 is a view on arrow AA of FIG.
【図３】従来の基板ホルダー搬送装置の説明図FIG. 3 is an explanatory view of a conventional substrate holder transfer device.
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ・・・・・・レール １２ａ・・・・・左側キャリア １２ｂ・・・・・右側キャリア １３ａ、１３ｂ・・・・・ラック １４ａ・・・・・左側駆動用モータ １４ｂ・・・・・右側駆動用モータ １５ａ・・・・・左側ピニオンギア １５ｂ・・・・・右側ピニオンギア １６ａ・・・・・左側基板ホルダー １６ｂ・・・・・右側基板ホルダー １７・・・・・・基板 １８・・・・・・接続リンク 11a, 11b, 11c ... Rail 12a. Left carrier 12b. Right carrier 13a, 13b .. Rack 14a .. Left drive motor 14b .. ... right drive motor 15a ... left pinion gear 15b ... right pinion gear 16a ... left board holder 16b ... right board holder 17 ... Substrate 18 ... Connection link
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 康男 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 一山 政博 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 諏訪 秀則 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 須藤 哲 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 小形 英之 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yasuo Shimizu 2500 Hagizono, Chigasaki City, Kanagawa Japan Vacuum Technology Co., Ltd. (72) Inventor Hidenori Suwa 2500 Hagizono, Chigasaki City, Kanagawa Japan Vacuum Technology Co., Ltd. (72) Inventor Satoshi Sudo 2500, Hagien, Chigasaki City, Kanagawa Japan Vacuum Technology Co., Ltd. Japan Vacuum Technology Co., Ltd., 2500 Hagien, Chigasaki City, Japan
Claims (1)
設け、２つのキャリアに、それぞれ基板を保持する基板
ホルダーを取り付け、２つのキャリアまたは基板同志を
互いに結合し、または結合を解除できる接続リンクを設
けたことを特徴とする基板ホルダー搬送装置。1. A connection in which two carriers traveling on a rail are provided in parallel and a substrate holder for holding a substrate is attached to each of the two carriers, and the two carriers or the substrates can be connected to each other or released from each other. A substrate holder transfer device having a link.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19910392A JPH0621195A (en) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | Board holder conveyer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19910392A JPH0621195A (en) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | Board holder conveyer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621195A true JPH0621195A (en) | 1994-01-28 |
Family
ID=16402179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19910392A Pending JPH0621195A (en) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | Board holder conveyer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621195A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990013761A1 (en) * | 1989-04-28 | 1990-11-15 | Michael Schenk | Component, in particular a camshaft, and a process for manufacturing it |
| US12372271B2 (en) | 2014-09-24 | 2025-07-29 | Bestway Inflatables & Materials Corp. | PTC heater |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP19910392A patent/JPH0621195A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990013761A1 (en) * | 1989-04-28 | 1990-11-15 | Michael Schenk | Component, in particular a camshaft, and a process for manufacturing it |
| US12372271B2 (en) | 2014-09-24 | 2025-07-29 | Bestway Inflatables & Materials Corp. | PTC heater |
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