JPH06213275A - 完成されたエアパッド - Google Patents
完成されたエアパッドInfo
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- JPH06213275A JPH06213275A JP4321403A JP32140392A JPH06213275A JP H06213275 A JPH06213275 A JP H06213275A JP 4321403 A JP4321403 A JP 4321403A JP 32140392 A JP32140392 A JP 32140392A JP H06213275 A JPH06213275 A JP H06213275A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高度の信頼性を有し、従来の欠点を克服する
ため直線設計の完成されたエアパッドを得ること。 【構成】 両側端面２３、２４のある体部２２と、この
体部２２には上記面２３、２４の１つに圧力空気を供給
する複数個のオリフィス３１を備える完全なエアパッド
において、このエアパッドは圧力空気を供給され、面２
３、２４の他の面上に位置する少なくとも１つの補償オ
リフィス３２から成る完成されたエアパッド。
ため直線設計の完成されたエアパッドを得ること。 【構成】 両側端面２３、２４のある体部２２と、この
体部２２には上記面２３、２４の１つに圧力空気を供給
する複数個のオリフィス３１を備える完全なエアパッド
において、このエアパッドは圧力空気を供給され、面２
３、２４の他の面上に位置する少なくとも１つの補償オ
リフィス３２から成る完成されたエアパッド。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は両側端面のある体部から
成る完成されたエアパッド、特に計測器械あるいは工作
機械例えばプリント回路板鑽孔用ボール盤のテーブルを
支持する完成されたエアパッドに関する。
成る完成されたエアパッド、特に計測器械あるいは工作
機械例えばプリント回路板鑽孔用ボール盤のテーブルを
支持する完成されたエアパッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】上述の形式のパッドは摩擦係数が小さい
こと、直線的なパッドの設計が可能であること等の理由
により人手で物を動かす場合の摺動面などに広く使われ
ている。摺動面の精度はパッドと摺動面との間の隙間に
よって異なり、荷重が大きくなると隙間は小さくなる。
荷重が小さく空気圧が低いと荷重の変動が小さくても隙
間は大きく変動する。工作機械、計測器械等に２〜３バ
ールの空気圧をパッドに適用する場合単位面積当りの荷
重を増加するために極めて重いテーブルを製作すること
が試みられたが強力な駆動力を要するので高価なものに
つく。非常に大型のテーブルの場合でも加速あるいは減
速するときパッドにかかる荷重は変化が大きく、然もテ
ーブルによって異なる。従ってパッドにかかる荷重を一
時的に減らすと隙間は大きく変りテーブルも変ってく
る。さらに加工物の保持装置、加工工具によっても変化
することが起り得る。
こと、直線的なパッドの設計が可能であること等の理由
により人手で物を動かす場合の摺動面などに広く使われ
ている。摺動面の精度はパッドと摺動面との間の隙間に
よって異なり、荷重が大きくなると隙間は小さくなる。
荷重が小さく空気圧が低いと荷重の変動が小さくても隙
間は大きく変動する。工作機械、計測器械等に２〜３バ
ールの空気圧をパッドに適用する場合単位面積当りの荷
重を増加するために極めて重いテーブルを製作すること
が試みられたが強力な駆動力を要するので高価なものに
つく。非常に大型のテーブルの場合でも加速あるいは減
速するときパッドにかかる荷重は変化が大きく、然もテ
ーブルによって異なる。従ってパッドにかかる荷重を一
時的に減らすと隙間は大きく変りテーブルも変ってく
る。さらに加工物の保持装置、加工工具によっても変化
することが起り得る。
【０００３】設計的な１つの提案として、加速、減速に
連動して作動するダンパとパッドとを連結することが挙
げられる。然しながらこの場合は他の要素即ち工具が荷
重に影響を与えるためパッドはそこまで補償できない。
他の提案は２軸方向にうごくテーブルの摺動面にグラナ
イト（ｇｒａｎｉｔｅ）の中間プレートを入れ同じくグ
ラナイトの摺動面上を動くようにすることである。中間
プレートの延長部分に沢山のオリフィスを設け摺動面に
予荷重を与えるようにする。
連動して作動するダンパとパッドとを連結することが挙
げられる。然しながらこの場合は他の要素即ち工具が荷
重に影響を与えるためパッドはそこまで補償できない。
他の提案は２軸方向にうごくテーブルの摺動面にグラナ
イト（ｇｒａｎｉｔｅ）の中間プレートを入れ同じくグ
ラナイトの摺動面上を動くようにすることである。中間
プレートの延長部分に沢山のオリフィスを設け摺動面に
予荷重を与えるようにする。
【０００４】然しながら上述の予荷重を与える方法には
幾つかの欠点がある。その１つは、予荷重は比較的低い
ため荷重の変動に対する補償は非常に限定されるという
ことである。第２に、加圧の要素が大きなスペースを取
ることとオリフィスを同一の面に設けるのでその数がど
うしても制限されることである。最後に加圧の要素と加
圧源とを結ぶ導管を多く必要とする。このように上記の
ものは効率が良くないばかりでなく複雑であり高価なも
のになる。
幾つかの欠点がある。その１つは、予荷重は比較的低い
ため荷重の変動に対する補償は非常に限定されるという
ことである。第２に、加圧の要素が大きなスペースを取
ることとオリフィスを同一の面に設けるのでその数がど
うしても制限されることである。最後に加圧の要素と加
圧源とを結ぶ導管を多く必要とする。このように上記の
ものは効率が良くないばかりでなく複雑であり高価なも
のになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明は高度の
信頼性を有し、上述した従来の欠点を克服するため直線
設計の完成されたエアパッドを得ることを目的とする。
信頼性を有し、上述した従来の欠点を克服するため直線
設計の完成されたエアパッドを得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、両側端面のあ
る体部と、該体部には上記面の１つに圧力空気を供給す
る複数個のオリフィスを備え、且つ圧力空気を供給さ
れ、前記面の他の面上に位置する少なくとも１つの補償
オリフィスから成る完成されたエアパッドによって上記
の目的を達成しようとするものである。
る体部と、該体部には上記面の１つに圧力空気を供給す
る複数個のオリフィスを備え、且つ圧力空気を供給さ
れ、前記面の他の面上に位置する少なくとも１つの補償
オリフィスから成る完成されたエアパッドによって上記
の目的を達成しようとするものである。
【０００７】
【実施例】図１および２において符号１０は工作機械例
えばプリント回路板９を鑽孔するボール盤に適用した本
発明によるベッドを示す。ベッド１０は通常グラナイト
（ｇｒａｎｉｔｅ）で作られテーブル１１に固定した摺
動面を有し公知の治具１２で回路板９を取り付ける。テ
ーブル１１はベッド１０に取り付けられたねじ１３で所
定のＹ軸に沿って動きサーボモータで選択的に回転す
る。テーブル１１（図３）は凹所を有する構造でフィニ
ッシュシートで覆われている。テーブル１１の下側には
２つの長手方向のバー１４（図２）があり、その中間に
ねじ棒１３があってナット１６が嵌合している。バー１
４は夫々一対のエアパッド１７を有しベッド１０の垂直
壁１８の表面に沿って摺動する。反対方向に作動される
ことによりバー１４のパッド１７は自動的に補償され
る。
えばプリント回路板９を鑽孔するボール盤に適用した本
発明によるベッドを示す。ベッド１０は通常グラナイト
（ｇｒａｎｉｔｅ）で作られテーブル１１に固定した摺
動面を有し公知の治具１２で回路板９を取り付ける。テ
ーブル１１はベッド１０に取り付けられたねじ１３で所
定のＹ軸に沿って動きサーボモータで選択的に回転す
る。テーブル１１（図３）は凹所を有する構造でフィニ
ッシュシートで覆われている。テーブル１１の下側には
２つの長手方向のバー１４（図２）があり、その中間に
ねじ棒１３があってナット１６が嵌合している。バー１
４は夫々一対のエアパッド１７を有しベッド１０の垂直
壁１８の表面に沿って摺動する。反対方向に作動される
ことによりバー１４のパッド１７は自動的に補償され
る。
【０００８】テーブル１１の４隅には夫々エアパッド１
９がありベッド１０の上案内面２１を正確に移動する。
テーブル１１と治具１２の重量はパッド１９に対して上
記重量の１／４に等しいスラストを生じる。テーブル１
１がある量の加速、減速で動くときナット１６の接続点
Ｍにおいて夫々の方向に力Ｆを生じる。テーブル１１の
重心Ｃと点Ｍとの間のモーメントにより力Ｆはパッド１
９の側面に伝わるスラストを生じ、これはパッド１９の
重量から差し引かれ反対側に加算される。さらに、回路
板９は加工物保持装置もしくは工具と係合するとき瞬間
的に力がパッド１９に加わり、マシンヘッドに関してテ
ーブル１１の位置の関数として４つのパッドに分配さ
れ、加工中パッド１９は異なるスラストを受けることに
なる。
９がありベッド１０の上案内面２１を正確に移動する。
テーブル１１と治具１２の重量はパッド１９に対して上
記重量の１／４に等しいスラストを生じる。テーブル１
１がある量の加速、減速で動くときナット１６の接続点
Ｍにおいて夫々の方向に力Ｆを生じる。テーブル１１の
重心Ｃと点Ｍとの間のモーメントにより力Ｆはパッド１
９の側面に伝わるスラストを生じ、これはパッド１９の
重量から差し引かれ反対側に加算される。さらに、回路
板９は加工物保持装置もしくは工具と係合するとき瞬間
的に力がパッド１９に加わり、マシンヘッドに関してテ
ーブル１１の位置の関数として４つのパッドに分配さ
れ、加工中パッド１９は異なるスラストを受けることに
なる。
【０００９】パッド１９は円筒形あるいはプリズムの形
をしており、さらに具体的には平行な管を有する体部２
２（図３）で、反対側に平行な面２３、２４を有してい
る。底面２３は対向辺が互いに平行な４つの浅い溝２５
を有してほゞ矩形をなし（図４）各隅は少し欠けてい
る。体部２２は平行な面２３、２４の間に縦方向の導管
２６、３本の横方向の導管２７、２８、２９（図５）を
有している。これらの中導管２８は外側に開口し別の導
管（図示せず）で空気源に結合され、導管２７、２９は
矩形の短辺に沿って位置している。底面２３は４つのオ
リフィス３１を有し（図４）夫々の軸は面２３に垂直で
直径は約０．２５ｍｍあり、体部２２に設けられた円筒
形インサート３０に鑽孔される。インサート３０は夫々
溝２５が形成する矩形の中間にあり面２３と案内面２１
との間に隙間を作る。また、２つのオリフィス３１が導
管２８に連通しており、さらに他の２つのオリフィス３
１が導管２７、２９と導管２６とが交わる点に設けられ
ている。
をしており、さらに具体的には平行な管を有する体部２
２（図３）で、反対側に平行な面２３、２４を有してい
る。底面２３は対向辺が互いに平行な４つの浅い溝２５
を有してほゞ矩形をなし（図４）各隅は少し欠けてい
る。体部２２は平行な面２３、２４の間に縦方向の導管
２６、３本の横方向の導管２７、２８、２９（図５）を
有している。これらの中導管２８は外側に開口し別の導
管（図示せず）で空気源に結合され、導管２７、２９は
矩形の短辺に沿って位置している。底面２３は４つのオ
リフィス３１を有し（図４）夫々の軸は面２３に垂直で
直径は約０．２５ｍｍあり、体部２２に設けられた円筒
形インサート３０に鑽孔される。インサート３０は夫々
溝２５が形成する矩形の中間にあり面２３と案内面２１
との間に隙間を作る。また、２つのオリフィス３１が導
管２８に連通しており、さらに他の２つのオリフィス３
１が導管２７、２９と導管２６とが交わる点に設けられ
ている。
【００１０】体部２２の頂面２４には少なくとも１個の
補償オリフィス３２がある（図５）４個のオリフィス３
２は夫々軸が面２４に垂直で直径がほゞオリフィス３１
と同じである（図４）。オリフィス３２はオリフィス３
１と離間しており溝２５で形成される矩形の４隅に夫々
位置している。補償オリフィス３２はパッド１９の補償
または予荷重のためのプレート３４を有するマイクロパ
ッド３３に設けられている。プレート３４は真円の表面
３５を有する円形で、オリフィス３２と同心の導管３７
を有する円筒形のシャンク３６と一体構造である。導管
３７はオリフィス３２と円筒形チャンバ３８を連通す
る。シャンク３６は円筒形チャンバ３８に摺動自在に嵌
合し円筒形チャンバ３８は底部で導管２７あるいは２９
に連通している。シャンク３６はＯ−リング４１を収容
する環状溝３９を有しチャンバ３８をシールしている。
２対のマイクロパッド３３はベッド１０の長手方向の取
り付けられた２本のバー４３の面４２と協同する。ベッ
ド１０にはバー４３を支持するほゞ等間隔に設けた複数
個のリブ４４を取り付けてある（図１）。リブ４４の厚
さはプレート３４の軸方向のごく僅かな動きを与えるた
め体部２２とプレート３４の合計の厚さよりも若干大き
くしてある。パッド１９に圧縮空気を入れたときチャン
バ３８内の空気圧によるスラスト、即ち面３５と４２の
間の隙間を通ってくる圧縮空気によるスラストがマイク
ロパッド３３の上昇量を越えないようにシャンク３６の
断面を決めてある。一方、面３５の寸法は４つのマイク
ロパッドがパッド１９に支持される静止荷重の１／３か
ら２／３の範囲のスラストを発生するように決めてあ
る。
補償オリフィス３２がある（図５）４個のオリフィス３
２は夫々軸が面２４に垂直で直径がほゞオリフィス３１
と同じである（図４）。オリフィス３２はオリフィス３
１と離間しており溝２５で形成される矩形の４隅に夫々
位置している。補償オリフィス３２はパッド１９の補償
または予荷重のためのプレート３４を有するマイクロパ
ッド３３に設けられている。プレート３４は真円の表面
３５を有する円形で、オリフィス３２と同心の導管３７
を有する円筒形のシャンク３６と一体構造である。導管
３７はオリフィス３２と円筒形チャンバ３８を連通す
る。シャンク３６は円筒形チャンバ３８に摺動自在に嵌
合し円筒形チャンバ３８は底部で導管２７あるいは２９
に連通している。シャンク３６はＯ−リング４１を収容
する環状溝３９を有しチャンバ３８をシールしている。
２対のマイクロパッド３３はベッド１０の長手方向の取
り付けられた２本のバー４３の面４２と協同する。ベッ
ド１０にはバー４３を支持するほゞ等間隔に設けた複数
個のリブ４４を取り付けてある（図１）。リブ４４の厚
さはプレート３４の軸方向のごく僅かな動きを与えるた
め体部２２とプレート３４の合計の厚さよりも若干大き
くしてある。パッド１９に圧縮空気を入れたときチャン
バ３８内の空気圧によるスラスト、即ち面３５と４２の
間の隙間を通ってくる圧縮空気によるスラストがマイク
ロパッド３３の上昇量を越えないようにシャンク３６の
断面を決めてある。一方、面３５の寸法は４つのマイク
ロパッドがパッド１９に支持される静止荷重の１／３か
ら２／３の範囲のスラストを発生するように決めてあ
る。
【００１１】体部２２の頂面２４には導管２６、２８に
達するねじ孔４６を設けてあり、テーブル１１を結合す
る部材４８がねじ込まれている。部材４８はヘッド４９
を有し、ヘッド４９には大径ヘッド５３を有するスタッ
ド５２の端部５１をねじ込むねじ孔がある。
達するねじ孔４６を設けてあり、テーブル１１を結合す
る部材４８がねじ込まれている。部材４８はヘッド４９
を有し、ヘッド４９には大径ヘッド５３を有するスタッ
ド５２の端部５１をねじ込むねじ孔がある。
【００１２】テーブル１１はその４隅にパッド１９に結
合される中空シリンダ５６を有する内ねじを切ったスリ
ーブ５４を有している。シリンダ５６は外側にねじを切
ってあり上方にスリーブ５４にねじ込むソケットヘッド
５７を有する。シリンダ５６はピン５２を収容し底面５
８の中央にピン５２のねじ端部５１を挿通する孔を設け
てある。シリンダ５６の壁５８とピン５２のヘッド５３
との間には皿ばね（ベレビルワッシャ）５９が入れてあ
りテーブル１１、治具１２および通常の運転状態におい
て加わるスラストに耐える程度のものになっている。部
材４８のヘッド４９の上面は半球形でシリンダ５６の底
面５８に同心に形成された円錐面に係合する。パッド１
９とテーブル１１の間には結合自在な球形継手を設けて
ある。
合される中空シリンダ５６を有する内ねじを切ったスリ
ーブ５４を有している。シリンダ５６は外側にねじを切
ってあり上方にスリーブ５４にねじ込むソケットヘッド
５７を有する。シリンダ５６はピン５２を収容し底面５
８の中央にピン５２のねじ端部５１を挿通する孔を設け
てある。シリンダ５６の壁５８とピン５２のヘッド５３
との間には皿ばね（ベレビルワッシャ）５９が入れてあ
りテーブル１１、治具１２および通常の運転状態におい
て加わるスラストに耐える程度のものになっている。部
材４８のヘッド４９の上面は半球形でシリンダ５６の底
面５８に同心に形成された円錐面に係合する。パッド１
９とテーブル１１の間には結合自在な球形継手を設けて
ある。
【００１３】補償エアパッド１９の作動要領は次の通り
である。機械が休止している間は各パッド１９の体部２
２の面２３はベッド１０の案内面２１と継手４８〜５６
によって接触を保たれ、マイクロパッド３３は圧縮空気
に支持されないためプレート３４とバー４３との間に隙
間を保持して下降した位置にある。パッド１９に圧縮空
気が供給されるとチャンバ３８内の空気がシャンク３８
に働き直ちにプレート３４をバー４３に向って押し（図
３）オリフィス３１から出た圧縮空気は底面２３と案内
面２１との間に隙間を作りパッド１９は案内面２１から
浮き上がる。一方、圧縮空気はマイクロパッド３３のオ
リフィス３２から導管３７に入り（図３、６）プレート
３４の面３５がー４３の底面４２と接触しないようにす
る。このようにして補償隙間は面３５と４２の間に形成
され、この隙間にはテーブル１１とパッド１９の重量に
加えて所定の大きさのスラストが生成されてより大きな
荷重に耐える。
である。機械が休止している間は各パッド１９の体部２
２の面２３はベッド１０の案内面２１と継手４８〜５６
によって接触を保たれ、マイクロパッド３３は圧縮空気
に支持されないためプレート３４とバー４３との間に隙
間を保持して下降した位置にある。パッド１９に圧縮空
気が供給されるとチャンバ３８内の空気がシャンク３８
に働き直ちにプレート３４をバー４３に向って押し（図
３）オリフィス３１から出た圧縮空気は底面２３と案内
面２１との間に隙間を作りパッド１９は案内面２１から
浮き上がる。一方、圧縮空気はマイクロパッド３３のオ
リフィス３２から導管３７に入り（図３、６）プレート
３４の面３５がー４３の底面４２と接触しないようにす
る。このようにして補償隙間は面３５と４２の間に形成
され、この隙間にはテーブル１１とパッド１９の重量に
加えて所定の大きさのスラストが生成されてより大きな
荷重に耐える。
【００１４】既知の通りエアパッドによるスラストはオ
リフィスを出る空気とパッドの実効面積によって決ま
り、パッドに供給される空気圧力に逆比例して変化し、
隙間の大きさはパッド上の荷重によって変化する。図７
の曲線６１は４バールの空気圧力を供給したときパッド
１９と同じ寸法の隙間の大きさを荷重の関数としてｍｍ
で示したものである。ただし補償マイクロパッド３３は
含まれていない。図に見られる如く隙間の寸法変化の１
０ｋｇを越える荷重に対して最小であり１０ｋｇ以下で
は急速に１／１０ｍｍのオーダ以下になる。曲線６２は
スラスト予荷重がおよそ１０ｋｇのときの４個のマイク
ロパッド３３により補償されたパッド１９の隙間寸法を
示す。図に見る如く隙間寸法の変化は荷重がゼロに近づ
いたときでも加速、減速が激しいときでも最小であり、
テーブル１１には何ら変化がなく、あらゆる作業条件、
荷重状態においても完全に安定を保持している。図７は
又荷重の関数として荷重と隙間との比をパッドの剛性と
してｋｇ／ｍｍで右側のスケールに表した２つの曲線に
よって示している。なお曲線６３は補償しないパッドの
剛性を、曲線６４は補償パッドの剛性を示す。図に見ら
れるように補償パッドで殆ど１４ｋｇの荷重で補償が得
られるのに対して、補償パッドと同じ剛性を得るために
は補償しないパッドには少なくとも約２０ｋｇの荷重を
かけねばならないことが解る。
リフィスを出る空気とパッドの実効面積によって決ま
り、パッドに供給される空気圧力に逆比例して変化し、
隙間の大きさはパッド上の荷重によって変化する。図７
の曲線６１は４バールの空気圧力を供給したときパッド
１９と同じ寸法の隙間の大きさを荷重の関数としてｍｍ
で示したものである。ただし補償マイクロパッド３３は
含まれていない。図に見られる如く隙間の寸法変化の１
０ｋｇを越える荷重に対して最小であり１０ｋｇ以下で
は急速に１／１０ｍｍのオーダ以下になる。曲線６２は
スラスト予荷重がおよそ１０ｋｇのときの４個のマイク
ロパッド３３により補償されたパッド１９の隙間寸法を
示す。図に見る如く隙間寸法の変化は荷重がゼロに近づ
いたときでも加速、減速が激しいときでも最小であり、
テーブル１１には何ら変化がなく、あらゆる作業条件、
荷重状態においても完全に安定を保持している。図７は
又荷重の関数として荷重と隙間との比をパッドの剛性と
してｋｇ／ｍｍで右側のスケールに表した２つの曲線に
よって示している。なお曲線６３は補償しないパッドの
剛性を、曲線６４は補償パッドの剛性を示す。図に見ら
れるように補償パッドで殆ど１４ｋｇの荷重で補償が得
られるのに対して、補償パッドと同じ剛性を得るために
は補償しないパッドには少なくとも約２０ｋｇの荷重を
かけねばならないことが解る。
【００１５】以上説明したエアパッドに対して変更、例
えば支持オリフィス、補償オリフィスの数を変更するこ
と、パッド１９を補償しないパッド１７に変更を加える
こと、マイクロパッド３３を円形以外のものにするこ
と、パッド１９を他の精密機械例えば計測機械のテーブ
ルに適用すること、あるいは摺動部材に変更を加えるこ
と等の変更をなし得ることは当業者にとっては明白であ
る。
えば支持オリフィス、補償オリフィスの数を変更するこ
と、パッド１９を補償しないパッド１７に変更を加える
こと、マイクロパッド３３を円形以外のものにするこ
と、パッド１９を他の精密機械例えば計測機械のテーブ
ルに適用すること、あるいは摺動部材に変更を加えるこ
と等の変更をなし得ることは当業者にとっては明白であ
る。
【００１６】
【発明の効果】本発明によるエアパッドは、補償なしの
エアパッドに比べパッド１９はテーブルの重量を軽減
し、その結果比例的にモーターの大きさも低減されパッ
ドに供給される空気圧力も増大される。のみならず、加
速、減速あるいは工具保持装置、工具、隙間寸法の変更
による如何なる変化も多かれ少なかれ削減される。なお
真空による予荷重装置に比べても本発明によるパッドは
補償オリフィス３１、３２に同じ空気源から空気を供給
することによりさらに効果的な補償が得られる、という
本発明特有の効果を奏する。
エアパッドに比べパッド１９はテーブルの重量を軽減
し、その結果比例的にモーターの大きさも低減されパッ
ドに供給される空気圧力も増大される。のみならず、加
速、減速あるいは工具保持装置、工具、隙間寸法の変更
による如何なる変化も多かれ少なかれ削減される。なお
真空による予荷重装置に比べても本発明によるパッドは
補償オリフィス３１、３２に同じ空気源から空気を供給
することによりさらに効果的な補償が得られる、という
本発明特有の効果を奏する。
【図１】本発明のエアパッドを適用したプリント回路板
鑽孔用ボール盤テーブルの側面図。
鑽孔用ボール盤テーブルの側面図。
【図２】図１のテーブルの正面図。
【図３】図２の部分拡大断面の詳細図。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線の方向に見たパッドの平面
図。
図。
【図５】図３のＶ−Ｖ線の方向に見たパッドの部分断面
図。
図。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線の方向に見た拡大断面図。
【図７】パッドの性能曲線。
１０ ベッド １１ テーブル １７ エアパッド １９ エアパッド ２２ 体部 ２５ 浅い溝 ２６、２７、２８、２９ 導管 ３０ 円筒形インサート ３１ オリフィス ３２ 補償オリフィス ３３ マイクロパッド ３６ シャンク ３９ 環状溝 ４８ 継手 ５６ 継手
Claims (14)
- 【請求項１】 両側端面（２３、２４）のある体部（２
２）と該体部（２２）には上記面（２３、２４）の１つ
に圧力空気を供給する複数個のオリフィス（３１）を備
える完成されたエアパッドにおいて、該エアパッドは圧
力空気を供給され、前記面（２３、２４）の他の面上に
位置する少なくとも１つの補償オリフィス（３２）から
成ることを特徴とするエアパッド。 - 【請求項２】 請求項１に記載のエアパッドにおいて、
前記補償オリフィス（３２）は前記体部（２２）に対し
て可動なマイクロパッド（３３）の上に位置し前記補償
オリフィス（３２）の軸に平行であるエアパッド。 - 【請求項３】 請求項２に記載のエアパッドにおいて、
前記マイクロパッド（３３）は前記体部（２２）に形成
されシート（３８）上を摺動する円筒形シャンク（３
６）と一体のプレート（３４）を有するエアパッド。 - 【請求項４】 請求項３に記載のエアパッドにおいて、
前記シャンク（３６）は前記シート（３８）をシールす
るシール（４１）を収容する環状溝（３９）を有するエ
アパッド。 - 【請求項５】 請求項４に記載のエアパッドにおいて、
前記オリフィス（３１）および前記シート（３８）は前
記体部（２２）に設けられた共通の導管（２６〜２９）
を通じて圧縮空気を供給され、前記プレート（３４）は
エアパッドの荷重の１／３〜２／３の予荷重に適した寸
法を有する面（３５）を備えるエアパッド。 - 【請求項６】 請求項３から５の何れかに記載のエアパ
ッドにおいて、前記シャンク（３６）の断面は圧縮空気
により前記マイクロパッド（３３）を面（４２）に向っ
て動かしうる寸法を有するエアパッド。 - 【請求項７】 前記請求項の何れか１つに記載のエアパ
ッドにおいて、前記体部（２２）は円筒形もしくはプリ
ズムの形状をなし、基部は前記面（２３、２４）であ
り、且つ前記オリフィス（３１）と同じ数の補償オリフ
ィス（３２）を有し該補償オリフィス（３２）は前記オ
リフィス（３１）とほゞ同一の直径であるエアパッド。 - 【請求項８】 請求項７に記載のエアパッドにおいて、
前記体部（２２）は平行な導管を有し補償オリフィス
（３２）と交互に配列された４つのオリフィス（３１）
を有するエアパッド。 - 【請求項９】 請求項８に記載のエアパッドにおいて、
前記オリフィス（３１）は前記面（２３、２４）の１つ
の中夫々の側の中間に配置され前記補償オリフィス（３
２）は前記面（２３、２４）の１つの中夫々の隅に配置
されるエアパッド。 - 【請求項１０】 前記請求項の何れか１つに記載のエア
パッドにおいて、第１部材（１１）と第２部材（１０）
とは相互に可動であり、前記体部（２２）は継手（４
８、５６）により前記第２部材（１１）に結合され、前
記第１部材（１０）は前記２つの面（２３、２４）に対
向する２つの面（２１、２２）を有するエアパッド。 - 【請求項１１】 請求項１０および１１に記載のエアパ
ッドにおいて、前記第１部材（１１）は工作機械のテー
ブルであり前記第２部材（１０）は固定された真直ぐな
摺動面（２１）を有し、前記面（２１、４２）の１つは
グラナイトのガイドブロック（１０）の上面（２１）で
あり、前記面（２１、４２）の他の面はリブ（４４）に
より前記ガイドブロック（１０）に取り付けられた一対
の平行な金属バー（４３）の上に形成されるエアパッ
ド。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載のエアパッドにおい
て、前記リブ（４４）は所定の間隔で前記ブロック（１
０）および金属バー（４３）に固着されている工具交換
装置。 - 【請求項１３】 請求項１０から１２の何れかに記載の
エアパッドにおいて、前記継手（４８、５６）は自在継
手であって前記体部（２２）に取り付けられた要素（４
８）と、前記第１部材（１１）に取り付けられた相手方
部材（５６）と、該部材（５６）を前記要素（４８）に
対して押圧する圧縮ばね（５９）から成る工具交換装
置。 - 【請求項１４】 請求項１３に記載のエアパッドにおい
て、前記要素（４８）および圧縮ばね（５９）は前記要
素（４８）の半球形ヘッド（４９）と部材（５６）の円
錐形面とから成る関節継手によって相互に結合され、前
記圧縮ばね（５９）は皿ばねであって前記部材（５６）
の円筒形空所と該円筒形空所に収容されたスタッド（５
２）との間に位置する工具交換装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT91A000857 | 1991-03-28 | ||
| ITTO910857A IT1251253B (it) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | Pattino pneumostatico perfezionato. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213275A true JPH06213275A (ja) | 1994-08-02 |
| JP2652495B2 JP2652495B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=11409705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4321403A Expired - Lifetime JP2652495B2 (ja) | 1991-11-08 | 1992-11-06 | エアパッド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5326177A (ja) |
| EP (1) | EP0541021B1 (ja) |
| JP (1) | JP2652495B2 (ja) |
| DE (1) | DE69210172T2 (ja) |
| IT (1) | IT1251253B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002365026A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Sigma Technos Kk | 基板検査装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101769336B (zh) * | 2009-01-05 | 2013-02-13 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 空气导轨 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01118225U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3393648A (en) * | 1965-12-28 | 1968-07-23 | Optomechanisms Inc | Air bearing table |
| US3582159A (en) * | 1970-05-11 | 1971-06-01 | Heald Machine Co | Machine bearing |
| US3855901A (en) * | 1973-10-15 | 1974-12-24 | Babcock & Wilcox Co | Broaching machine |
| US3973810A (en) * | 1974-10-23 | 1976-08-10 | Mordechai Montag | Hydrostatic gas bearing systems |
| JPS60196431A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-04 | Omron Tateisi Electronics Co | 空気軸受パツド |
| US4761876A (en) * | 1986-04-18 | 1988-08-09 | Dynamotion Corporation | High speed precision drilling system |
| US4802774A (en) * | 1987-10-14 | 1989-02-07 | Brown & Sharpe Manfacturing Co. | Gas bearing for guiding relative movement of precision machine parts |
| GB2248892A (en) * | 1990-09-20 | 1992-04-22 | Pilgrim Eng Dev | Fluid bearing |
-
1991
- 1991-11-08 IT ITTO910857A patent/IT1251253B/it active IP Right Grant
-
1992
- 1992-10-30 DE DE69210172T patent/DE69210172T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-10-30 EP EP92118696A patent/EP0541021B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-06 JP JP4321403A patent/JP2652495B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-06 US US07/972,974 patent/US5326177A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01118225U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002365026A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Sigma Technos Kk | 基板検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ITTO910857A1 (it) | 1993-05-08 |
| DE69210172T2 (de) | 1996-11-28 |
| DE69210172D1 (de) | 1996-05-30 |
| EP0541021B1 (en) | 1996-04-24 |
| ITTO910857A0 (it) | 1991-11-08 |
| JP2652495B2 (ja) | 1997-09-10 |
| EP0541021A1 (en) | 1993-05-12 |
| US5326177A (en) | 1994-07-05 |
| IT1251253B (it) | 1995-05-05 |
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