JPH06214036A - 多素子ｘ線検出器 - Google Patents
多素子ｘ線検出器Info
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- JPH06214036A JPH06214036A JP5019398A JP1939893A JPH06214036A JP H06214036 A JPH06214036 A JP H06214036A JP 5019398 A JP5019398 A JP 5019398A JP 1939893 A JP1939893 A JP 1939893A JP H06214036 A JPH06214036 A JP H06214036A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】骨塩定量測定装置などの平面スキャン方式のＸ
線撮影装置の多素子Ｘ線検出器として、小形化，低価格
化を図り、また、検出器中央付近のチャンネルと検出器
端付近のチャンネルとの間のＸ線検出特性の差を大幅に
なくす。 【構成】入射Ｘ線の強度に応じた強さの可視光を発光す
るシンチレータ２と可視光を電気信号に変換する光電変
換素子３とを組み合わせてなるＸ線検出素子アレイ１０
を複数配列して構成された多素子Ｘ線検出器において、
Ｘ線検出素子アレイ１０を同一平面上に直線状に配列
し、かつ各Ｘ線検出素子（チャンネル）をＸ線焦点方向
に向けた構成とする。
線撮影装置の多素子Ｘ線検出器として、小形化，低価格
化を図り、また、検出器中央付近のチャンネルと検出器
端付近のチャンネルとの間のＸ線検出特性の差を大幅に
なくす。 【構成】入射Ｘ線の強度に応じた強さの可視光を発光す
るシンチレータ２と可視光を電気信号に変換する光電変
換素子３とを組み合わせてなるＸ線検出素子アレイ１０
を複数配列して構成された多素子Ｘ線検出器において、
Ｘ線検出素子アレイ１０を同一平面上に直線状に配列
し、かつ各Ｘ線検出素子（チャンネル）をＸ線焦点方向
に向けた構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は骨塩定量測定装置や手荷
物検査装置などの平面スキャン方式のＸ線撮影装置のＸ
線検出器に好適な多素子Ｘ線検出器に関するものであ
る。
物検査装置などの平面スキャン方式のＸ線撮影装置のＸ
線検出器に好適な多素子Ｘ線検出器に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の多素子Ｘ線検出器は、シンチレー
タと光電変換素子とを組み合わせた複数チャンネルのＸ
線検出素子アレイを所定の個数、ポリゴン状に配置する
ことによって構成される。
タと光電変換素子とを組み合わせた複数チャンネルのＸ
線検出素子アレイを所定の個数、ポリゴン状に配置する
ことによって構成される。
【０００３】この従来の多素子Ｘ線検出器を図４〜図６
に示す。図４は全体を示す斜視図、図５は図４のＶ−Ｖ
線断面図、図６は図５の一部を拡大して示す図である。
これらの図において、１はＸ線ビーム、２はシンチレー
タ、３は光電変換素子（シリコンフォトダイオード）、
４は隔壁板、５は接着剤、７は基板、８は光反射板、９
は検出器ケース、１０はＸ線検出素子アレイ、１１はコ
リメータ、１２はコネクタ、１３は押さえ板、１４はパ
ッキング、１５は被検体、１６はＸ線管である。なお、
１００は従来の多素子Ｘ線検出器を示す。
に示す。図４は全体を示す斜視図、図５は図４のＶ−Ｖ
線断面図、図６は図５の一部を拡大して示す図である。
これらの図において、１はＸ線ビーム、２はシンチレー
タ、３は光電変換素子（シリコンフォトダイオード）、
４は隔壁板、５は接着剤、７は基板、８は光反射板、９
は検出器ケース、１０はＸ線検出素子アレイ、１１はコ
リメータ、１２はコネクタ、１３は押さえ板、１４はパ
ッキング、１５は被検体、１６はＸ線管である。なお、
１００は従来の多素子Ｘ線検出器を示す。
【０００４】図５に示すように、Ｘ線管１６からファン
状に放射されたＸ線ビーム１は被検体１５を透過した
後、Ｘ線検出器１００に入射される。Ｘ線検出器１００
の内部には、複数チャンネルのＸ線検出素子からなるＸ
線検出素子アレイ１０がＸ線管１６から見て直線状に配
列されている。図６において、各Ｘ線検出素子アレイ１
０では、入射してきたＸ線をシンチレータ２によってそ
の強度に応じた強さの光に変換し、更にその光を光電変
換素子３に入射させて電流に変換することによって、入
射Ｘ線強度に対応した電気信号を得ている。
状に放射されたＸ線ビーム１は被検体１５を透過した
後、Ｘ線検出器１００に入射される。Ｘ線検出器１００
の内部には、複数チャンネルのＸ線検出素子からなるＸ
線検出素子アレイ１０がＸ線管１６から見て直線状に配
列されている。図６において、各Ｘ線検出素子アレイ１
０では、入射してきたＸ線をシンチレータ２によってそ
の強度に応じた強さの光に変換し、更にその光を光電変
換素子３に入射させて電流に変換することによって、入
射Ｘ線強度に対応した電気信号を得ている。
【０００５】多素子Ｘ線検出器１００の１素子（Ｘ線検
出素子）は、所定の寸法に加工されたシンチレータ２
と、そのシンチレータ２と受光面を接するように組み合
わせた光電変換素子３によって構成される。
出素子）は、所定の寸法に加工されたシンチレータ２
と、そのシンチレータ２と受光面を接するように組み合
わせた光電変換素子３によって構成される。
【０００６】シンチレータ２の材質としては、シンチレ
ーション効率（入射したＸ線エネルギがどれだけ光エネ
ルギに変換できるかを示す値）、光の透過率（シンチレ
ータ２内部で発光した光がどれだけ減衰せずに光電変換
素子３の受光面に到達するかを示す値）、残光特性（入
射Ｘ線が消滅した後にシンチレータ２での発光が消滅す
るまでの時間や現象の仕方を示す値）などを考慮して選
択されており、通常はＢＧＯ、ＣｄＷＯ4などが使用さ
れる。
ーション効率（入射したＸ線エネルギがどれだけ光エネ
ルギに変換できるかを示す値）、光の透過率（シンチレ
ータ２内部で発光した光がどれだけ減衰せずに光電変換
素子３の受光面に到達するかを示す値）、残光特性（入
射Ｘ線が消滅した後にシンチレータ２での発光が消滅す
るまでの時間や現象の仕方を示す値）などを考慮して選
択されており、通常はＢＧＯ、ＣｄＷＯ4などが使用さ
れる。
【０００７】光電変換素子３としては、入射光を電流信
号に変える変換効率の高いものであること、またシンチ
レータ２の発光波長付近で感度が高い材料を使用する必
要があり、ＰＩＮ型構造シリコンフォトダイオード（Ｓ
ＰＤ）などが一般的に使用されている。また各Ｘ線検出
素子は、隔壁板４によってチャンネル毎に光電変換素子
３列（シリコンフォトダイオードアレイ）の受光面に対
して垂直に分離されている。
号に変える変換効率の高いものであること、またシンチ
レータ２の発光波長付近で感度が高い材料を使用する必
要があり、ＰＩＮ型構造シリコンフォトダイオード（Ｓ
ＰＤ）などが一般的に使用されている。また各Ｘ線検出
素子は、隔壁板４によってチャンネル毎に光電変換素子
３列（シリコンフォトダイオードアレイ）の受光面に対
して垂直に分離されている。
【０００８】隔壁板４は、各Ｘ線検出素子のシンチレー
タ２での発光が隣チャンネルに漏れ込むこと及びシンチ
レータ２に入射したＸ線によって発生するシンチレータ
２での散乱Ｘ線が隣チャンネルに漏れ込むことを防止
し、シンチレータ２内での発光をそのチャンネルの出力
として有効に利用するためのものである。この隔壁板４
としては、Ｘ線吸収係数の高い材料であるタングステン
あるいはモリブデン板の表面を研磨し、更に表面にアル
ミニウムを蒸着し光反射率を高めたものなどが使用され
ている。
タ２での発光が隣チャンネルに漏れ込むこと及びシンチ
レータ２に入射したＸ線によって発生するシンチレータ
２での散乱Ｘ線が隣チャンネルに漏れ込むことを防止
し、シンチレータ２内での発光をそのチャンネルの出力
として有効に利用するためのものである。この隔壁板４
としては、Ｘ線吸収係数の高い材料であるタングステン
あるいはモリブデン板の表面を研磨し、更に表面にアル
ミニウムを蒸着し光反射率を高めたものなどが使用され
ている。
【０００９】Ｘ線検出素子アレイ１０の製造方法の一例
としては、まず、所定厚さの板に加工したシンチレータ
材と１枚のウェハ上に数チャンネル分の素子を構成した
光電変換素子３、ここではシリコンフォトダイオードを
光透過率の高い透明な接着剤５を用いてそれぞれの中心
が一致するように貼り合わせる。
としては、まず、所定厚さの板に加工したシンチレータ
材と１枚のウェハ上に数チャンネル分の素子を構成した
光電変換素子３、ここではシリコンフォトダイオードを
光透過率の高い透明な接着剤５を用いてそれぞれの中心
が一致するように貼り合わせる。
【００１０】次に、このシンチレータ材とシリコンフォ
トダイオード３を貼り合わせたものに、シンチレータ材
が各チャンネル毎に分離するようにシリコンフォトダイ
オード３の受光面に対して垂直になるように溝を切る。
この溝加工は、シンチレータ材の両端に僅かに露出して
いるシリコンフォトダイオード３の信号電極板などのパ
ターンを位置の基準として行う。また溝深さは、シンチ
レータ材各部がシンチレータ２として完全に分離される
ようにするために、溝の底がシリコンフォトダイオード
３に達する程度の深さに設定する。最終的にはこの溝に
隔壁板４を挿入し両端面を接着剤で固定する。
トダイオード３を貼り合わせたものに、シンチレータ材
が各チャンネル毎に分離するようにシリコンフォトダイ
オード３の受光面に対して垂直になるように溝を切る。
この溝加工は、シンチレータ材の両端に僅かに露出して
いるシリコンフォトダイオード３の信号電極板などのパ
ターンを位置の基準として行う。また溝深さは、シンチ
レータ材各部がシンチレータ２として完全に分離される
ようにするために、溝の底がシリコンフォトダイオード
３に達する程度の深さに設定する。最終的にはこの溝に
隔壁板４を挿入し両端面を接着剤で固定する。
【００１１】Ｘ線検出素子アレイ１０の端チャンネルに
ついては、Ｘ線検出器素子アレイ１０をポリゴン状に配
置したときに各チャンネルの素子ピッチが同等になるよ
うに処置される。すなわち、Ｘ線検出素子アレイ１０の
中間部に挿入する隔壁板４の半分の厚さの隔壁板４をＸ
線検出素子アレイ１０の両端面に設置する。あるいは中
間部に挿入する隔壁板４と同じものを片側にのみ設置
し、隔壁板４を設置せずにシンチレータ２側面が露出し
ている側には、ポリゴン状に設置したときに隣のＸ線検
出素子アレイ１０の隔壁板４が接するようにして、端チ
ャンネルの素子ピッチを中間部チャンネルの素子ピッチ
と同じ素子ピッチを保つようになされている。
ついては、Ｘ線検出器素子アレイ１０をポリゴン状に配
置したときに各チャンネルの素子ピッチが同等になるよ
うに処置される。すなわち、Ｘ線検出素子アレイ１０の
中間部に挿入する隔壁板４の半分の厚さの隔壁板４をＸ
線検出素子アレイ１０の両端面に設置する。あるいは中
間部に挿入する隔壁板４と同じものを片側にのみ設置
し、隔壁板４を設置せずにシンチレータ２側面が露出し
ている側には、ポリゴン状に設置したときに隣のＸ線検
出素子アレイ１０の隔壁板４が接するようにして、端チ
ャンネルの素子ピッチを中間部チャンネルの素子ピッチ
と同じ素子ピッチを保つようになされている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】従来の多素子Ｘ線検出
器は、Ｘ線検出素子アレイ１０をポリゴン状に配列した
円弧型多素子Ｘ線検出器であり、Ｘ線検出素子アレイ１
０を配置する検出器ケース９はこのため円弧型に加工を
行う。そして、Ｘ線検出素子アレイ１０が配置されるケ
ース９の部分の表面は、更にポリゴン状に精密加工を施
すため、加工が複雑であり、十分な加工精度を得ること
も難しい。またＸ線検出素子アレイ１０の配列工程の際
の位置合わせについても十分な位置精度を得ることが困
難であった。
器は、Ｘ線検出素子アレイ１０をポリゴン状に配列した
円弧型多素子Ｘ線検出器であり、Ｘ線検出素子アレイ１
０を配置する検出器ケース９はこのため円弧型に加工を
行う。そして、Ｘ線検出素子アレイ１０が配置されるケ
ース９の部分の表面は、更にポリゴン状に精密加工を施
すため、加工が複雑であり、十分な加工精度を得ること
も難しい。またＸ線検出素子アレイ１０の配列工程の際
の位置合わせについても十分な位置精度を得ることが困
難であった。
【００１３】また、この従来の円弧型多素子Ｘ線検出器
を平面スキャン方式のＸ線撮影装置などに代用して搭載
した場合、Ｘ線検出素子アレイ１０を直線配列したもの
よりも形状が大きくなってしまい、ダウンサイジングを
図る点でも平面スキャン方式のＸ線撮影装置専用の多素
子Ｘ線検出器が要望されていた。
を平面スキャン方式のＸ線撮影装置などに代用して搭載
した場合、Ｘ線検出素子アレイ１０を直線配列したもの
よりも形状が大きくなってしまい、ダウンサイジングを
図る点でも平面スキャン方式のＸ線撮影装置専用の多素
子Ｘ線検出器が要望されていた。
【００１４】しかし、従来の円弧型多素子Ｘ線検出器に
搭載していたＸ線検出素子アレイ１０をそのまま用いて
直線状に配列し、直線型多素子Ｘ線検出器を構成したの
では、各Ｘ線検出素子がＸ線受光面に対して垂直な隔壁
板４によって隣チャンネルと分離されるよう作られてい
るため、検出器１００の端付近のチャンネルでは斜入射
するＸ線が隔壁板４によって遮断されて検出出力が低下
したり、また入射Ｘ線が強い場合は隔壁板４を介してク
ロストークを起こすという問題が生じる。このため入射
Ｘ線がほぼ直入射する検出器中央付近のチャンネルと、
入射角が大きく斜入射になる検出器端付近のチャンネル
とでは、Ｘ線検出特性に大きな違いが生じるという問題
があった。
搭載していたＸ線検出素子アレイ１０をそのまま用いて
直線状に配列し、直線型多素子Ｘ線検出器を構成したの
では、各Ｘ線検出素子がＸ線受光面に対して垂直な隔壁
板４によって隣チャンネルと分離されるよう作られてい
るため、検出器１００の端付近のチャンネルでは斜入射
するＸ線が隔壁板４によって遮断されて検出出力が低下
したり、また入射Ｘ線が強い場合は隔壁板４を介してク
ロストークを起こすという問題が生じる。このため入射
Ｘ線がほぼ直入射する検出器中央付近のチャンネルと、
入射角が大きく斜入射になる検出器端付近のチャンネル
とでは、Ｘ線検出特性に大きな違いが生じるという問題
があった。
【００１５】本発明の目的は、平面スキャン方式のＸ線
撮影装置に用いた場合において、小形化，低価格化が図
れ、また、各Ｘ線検出素子（チャンネル）間のＸ線検出
特性の差、特に、検出器中央付近のチャンネルと検出器
端付近のチャンネルとの間のＸ線検出特性の差を大幅に
なくすことのできる多素子Ｘ線検出器を提供することに
ある。
撮影装置に用いた場合において、小形化，低価格化が図
れ、また、各Ｘ線検出素子（チャンネル）間のＸ線検出
特性の差、特に、検出器中央付近のチャンネルと検出器
端付近のチャンネルとの間のＸ線検出特性の差を大幅に
なくすことのできる多素子Ｘ線検出器を提供することに
ある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、Ｘ線検出素
子アレイを同一平面上に直線状に配列し、かつ各Ｘ線検
出素子をＸ線管の焦点方向に向けることにより達成され
る。
子アレイを同一平面上に直線状に配列し、かつ各Ｘ線検
出素子をＸ線管の焦点方向に向けることにより達成され
る。
【００１７】
【作用】Ｘ線検出素子アレイを同一平面上に直線状に配
列したことにより、平面スキャン方式のＸ線撮影装置に
好適であり、加工精度，組立精度も十分に得られ、小形
化，低価格化が図れることになる。また、各Ｘ線検出素
子（チャンネル）をＸ線管の焦点方向に向けたことによ
り、Ｘ線の斜入射やクロストークがなくなり、平面スキ
ャン方式のＸ線撮影装置に用いた場合に、各Ｘ線検出素
子（チャンネル）間のＸ線検出特性の差、特に、検出器
中央付近のチャンネルと検出器端付近のチャンネルとの
間のＸ線検出特性の差が大幅になくなることになる。
列したことにより、平面スキャン方式のＸ線撮影装置に
好適であり、加工精度，組立精度も十分に得られ、小形
化，低価格化が図れることになる。また、各Ｘ線検出素
子（チャンネル）をＸ線管の焦点方向に向けたことによ
り、Ｘ線の斜入射やクロストークがなくなり、平面スキ
ャン方式のＸ線撮影装置に用いた場合に、各Ｘ線検出素
子（チャンネル）間のＸ線検出特性の差、特に、検出器
中央付近のチャンネルと検出器端付近のチャンネルとの
間のＸ線検出特性の差が大幅になくなることになる。
【００１８】これによれば、特に、骨塩定量測定装置な
どに見られるようにＸ線検出量から何らかの定量値を直
接的に求めたりする定量分析装置に適用した場合、スキ
ャン範囲内の定量分析値測定の位置依存性は解消され
る。
どに見られるようにＸ線検出量から何らかの定量値を直
接的に求めたりする定量分析装置に適用した場合、スキ
ャン範囲内の定量分析値測定の位置依存性は解消され
る。
【００１９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明による多素子Ｘ線検出器の一実施
例を示す断面図、図２は図１の一部を拡大して示す図で
ある。
する。図１は、本発明による多素子Ｘ線検出器の一実施
例を示す断面図、図２は図１の一部を拡大して示す図で
ある。
【００２０】これらの図において、１はＸ線ビーム、２
はシンチレータ、３は光電変換素子（シリコンフォトダ
イオード）、４は隔壁板、５は接着剤、７は基板、８は
光反射板、９は検出器ケース、１０はＸ線検出素子アレ
イ、１１はコリメータ、１２はコネクタ、１３は押さえ
板、１４はパッキング、１５は被検体、１６はＸ線管で
ある。なお、２００は本発明の多素子Ｘ線検出器を示
す。
はシンチレータ、３は光電変換素子（シリコンフォトダ
イオード）、４は隔壁板、５は接着剤、７は基板、８は
光反射板、９は検出器ケース、１０はＸ線検出素子アレ
イ、１１はコリメータ、１２はコネクタ、１３は押さえ
板、１４はパッキング、１５は被検体、１６はＸ線管で
ある。なお、２００は本発明の多素子Ｘ線検出器を示
す。
【００２１】図１に示すように、Ｘ線管１６からファン
状に放射されたＸ線ビーム１は被検体１５を透過した
後、Ｘ線検出器２００に入射される。Ｘ線検出器２００
の内部には、複数チャンネルのＸ線検出素子からなるＸ
線検出素子アレイ１０が同一平面上に直線状に配列され
ている。
状に放射されたＸ線ビーム１は被検体１５を透過した
後、Ｘ線検出器２００に入射される。Ｘ線検出器２００
の内部には、複数チャンネルのＸ線検出素子からなるＸ
線検出素子アレイ１０が同一平面上に直線状に配列され
ている。
【００２２】図２において、各Ｘ線検出素子アレイ１０
では、入射してきたＸ線をシンチレータ２によってその
強度に応じた強さの光に変換し、更にその光を光電変換
素子（シリコンフォトダイオード）３に入射させて電流
に変換することによって、入射Ｘ線強度に対応した電気
信号を得ている。
では、入射してきたＸ線をシンチレータ２によってその
強度に応じた強さの光に変換し、更にその光を光電変換
素子（シリコンフォトダイオード）３に入射させて電流
に変換することによって、入射Ｘ線強度に対応した電気
信号を得ている。
【００２３】多素子Ｘ線検出器２００の１素子（Ｘ線検
出素子）は、所定の寸法に加工されたシンチレータ２
と、そのシンチレータ２と受光面を接するようにして透
明な接着剤５により貼り付け、組み合わされた光電変換
素子３によって構成される。
出素子）は、所定の寸法に加工されたシンチレータ２
と、そのシンチレータ２と受光面を接するようにして透
明な接着剤５により貼り付け、組み合わされた光電変換
素子３によって構成される。
【００２４】ここで、シンチレータ材は、後に溝加工し
てチャンネル分離し、Ｘ線検出素子アレイ１０を配列す
る際に端チャンネル同士の素子ピッチを合わせ込むこと
を考慮して、シリコンフォトダイオード３の配列（シリ
コンフォトダイオードアレイ）よりも約１ｍｍ程度大き
なものを用いる。
てチャンネル分離し、Ｘ線検出素子アレイ１０を配列す
る際に端チャンネル同士の素子ピッチを合わせ込むこと
を考慮して、シリコンフォトダイオード３の配列（シリ
コンフォトダイオードアレイ）よりも約１ｍｍ程度大き
なものを用いる。
【００２５】各チャンネル間はシリコンフォトダイオー
ド３に達する溝で分離される。この溝は、それぞれＸ線
管１６の焦点方向に向けて（Ｘ線管１６の焦点方向に放
射状に）加工されている。この放射状の溝加工は、簡単
化のため、１つのＸ線検出素子アレイ１０中の溝加工は
斜めに全て平行等間隔に行ってもよい。これは、Ｘ線管
１６の焦点からＸ線検出素子アレイ１０までの距離はＸ
線検出素子アレイ１０のチャンネル毎のピッチより非常
に長いため、隣り合うチャンネルに入射するＸ線は平行
であると見なしてよいとしたことによる。
ド３に達する溝で分離される。この溝は、それぞれＸ線
管１６の焦点方向に向けて（Ｘ線管１６の焦点方向に放
射状に）加工されている。この放射状の溝加工は、簡単
化のため、１つのＸ線検出素子アレイ１０中の溝加工は
斜めに全て平行等間隔に行ってもよい。これは、Ｘ線管
１６の焦点からＸ線検出素子アレイ１０までの距離はＸ
線検出素子アレイ１０のチャンネル毎のピッチより非常
に長いため、隣り合うチャンネルに入射するＸ線は平行
であると見なしてよいとしたことによる。
【００２６】また、Ｘ線検出素子アレイ１０の端チャン
ネルについては、Ｘ線検出素子アレイ１０を直線状に配
置したとき、隣り合う２つのＸ線検出素子アレイ１０，
１０の接し合う端チャンネル同士の素子ピッチがほぼ等
しくなるように、２つのＸ線検出素子アレイ１０，１０
にそれぞれ溝加工した斜角度の平均斜角度で端チャンネ
ルの加工を行う。
ネルについては、Ｘ線検出素子アレイ１０を直線状に配
置したとき、隣り合う２つのＸ線検出素子アレイ１０，
１０の接し合う端チャンネル同士の素子ピッチがほぼ等
しくなるように、２つのＸ線検出素子アレイ１０，１０
にそれぞれ溝加工した斜角度の平均斜角度で端チャンネ
ルの加工を行う。
【００２７】このように分離された構造になったシンチ
レータ２の両端面、すなわち前記溝には隔壁板４が挿入
される。この隔壁板４は、各Ｘ線検出素子のシンチレー
タ２での発光が隣チャンネルに漏れ込むこと、シンチレ
ータ２に入射したＸ線によって発生するシンチレータ２
での散乱Ｘ線が隣チャンネルに漏れ込むことを防止し、
シンチレータ２内での発光をそのチャンネルの出力とし
て有効に利用するためのものである。この隔壁板４とし
ては、Ｘ線吸収係数の高い材料であるタングステンある
いはモリブデン板の表面を研磨し、更に表面にアルミニ
ウムを蒸着し光反射率を高めたものを用いる。
レータ２の両端面、すなわち前記溝には隔壁板４が挿入
される。この隔壁板４は、各Ｘ線検出素子のシンチレー
タ２での発光が隣チャンネルに漏れ込むこと、シンチレ
ータ２に入射したＸ線によって発生するシンチレータ２
での散乱Ｘ線が隣チャンネルに漏れ込むことを防止し、
シンチレータ２内での発光をそのチャンネルの出力とし
て有効に利用するためのものである。この隔壁板４とし
ては、Ｘ線吸収係数の高い材料であるタングステンある
いはモリブデン板の表面を研磨し、更に表面にアルミニ
ウムを蒸着し光反射率を高めたものを用いる。
【００２８】以上により、Ｘ線検出素子アレイ１０が同
一平面上に直線状に配列され、かつ各Ｘ線検出素子がＸ
線管１６の焦点方向に向けられた多素子Ｘ線検出器２０
０が構成されるもので、平面スキャン方式のＸ線撮影装
置に用いた場合、小形化，低価格化が図れ、また、各Ｘ
線検出素子（チャンネル）間のＸ線検出特性の差、特
に、検出器中央付近のチャンネルと検出器端付近のチャ
ンネルとの間のＸ線検出特性の差を大幅になくすことが
できる。
一平面上に直線状に配列され、かつ各Ｘ線検出素子がＸ
線管１６の焦点方向に向けられた多素子Ｘ線検出器２０
０が構成されるもので、平面スキャン方式のＸ線撮影装
置に用いた場合、小形化，低価格化が図れ、また、各Ｘ
線検出素子（チャンネル）間のＸ線検出特性の差、特
に、検出器中央付近のチャンネルと検出器端付近のチャ
ンネルとの間のＸ線検出特性の差を大幅になくすことが
できる。
【００２９】図３は、本発明の他の実施例の要部拡大断
面図である。この実施例では、上述実施例においてシン
チレータ２の両端面に設けた隔壁板４の代わりに、不透
明な樹脂による光遮蔽層６を設けたものである。ここで
は、光遮蔽層６は、溝加工により分離された構造になっ
たシンチレータ２表面にも設けられる。
面図である。この実施例では、上述実施例においてシン
チレータ２の両端面に設けた隔壁板４の代わりに、不透
明な樹脂による光遮蔽層６を設けたものである。ここで
は、光遮蔽層６は、溝加工により分離された構造になっ
たシンチレータ２表面にも設けられる。
【００３０】この光遮蔽層６は、内部のシンチレータ２
の発光が外部に漏れ出さないように設けるものである
が、シンチレータ２表面部分については直接入射Ｘ線に
当たる部分であるため、Ｘ線曝射による材質劣化の少な
いものを用いる。
の発光が外部に漏れ出さないように設けるものである
が、シンチレータ２表面部分については直接入射Ｘ線に
当たる部分であるため、Ｘ線曝射による材質劣化の少な
いものを用いる。
【００３１】この光遮蔽層６の材料としてはエポキシな
どの樹脂に色素を添加したものが適当である。光遮蔽層
６は、その目的から不透明色の材料でありシンチレータ
２内部での発光を効率良く利用するため光反射率の高い
ものが用いられ、また添加色素は白色系のものを樹脂に
均一に混入して各Ｘ線検出素子の特性のばらつきが抑え
られるようにされる。
どの樹脂に色素を添加したものが適当である。光遮蔽層
６は、その目的から不透明色の材料でありシンチレータ
２内部での発光を効率良く利用するため光反射率の高い
ものが用いられ、また添加色素は白色系のものを樹脂に
均一に混入して各Ｘ線検出素子の特性のばらつきが抑え
られるようにされる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｘ
線検出素子アレイを同一平面上に直線状に配列したこと
により、平面スキャン方式のＸ線撮影装置に好適であ
り、従来の円弧型配列の多素子Ｘ線検出器に比べて製作
が容易になり、加工精度，組立精度も十分に得られ、小
形化，低価格化が図れるという効果がある。また、各Ｘ
線検出素子（チャンネル）をＸ線管の焦点方向に向けた
ことにより、平面スキャン方式のＸ線撮影装置に用いた
場合に、各Ｘ線検出素子間のＸ線検出特性の差、特に、
検出器中央付近のチャンネルと検出器端付近のチャンネ
ルとの間のＸ線検出特性の差を大幅になくすことができ
るという効果もある。
線検出素子アレイを同一平面上に直線状に配列したこと
により、平面スキャン方式のＸ線撮影装置に好適であ
り、従来の円弧型配列の多素子Ｘ線検出器に比べて製作
が容易になり、加工精度，組立精度も十分に得られ、小
形化，低価格化が図れるという効果がある。また、各Ｘ
線検出素子（チャンネル）をＸ線管の焦点方向に向けた
ことにより、平面スキャン方式のＸ線撮影装置に用いた
場合に、各Ｘ線検出素子間のＸ線検出特性の差、特に、
検出器中央付近のチャンネルと検出器端付近のチャンネ
ルとの間のＸ線検出特性の差を大幅になくすことができ
るという効果もある。
【図１】本発明による多素子Ｘ線検出器の一実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】図１の一部を拡大して示す図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部拡大断面図である。
【図４】従来の多素子Ｘ線検出器を斜視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図５の一部を拡大して示す図である。
１ Ｘ線ビーム ２ シンチレータ ３ 光電変換素子（シリコンフォトダイオード） ４ 隔壁板 ５ 接着剤 ６ 光遮蔽層 ７ 基板 ８ 光反射板 ９ 検出器ケース １０ Ｘ線検出素子アレイ １１ コリメータ １２ コネクタ １３ 押さえ板 １４ パッキング １５ 被検体 １６ Ｘ線管
Claims (1)
- 【請求項１】入射したＸ線管からのＸ線の強度に応じた
強さの可視光を発光するシンチレータと受光面に入射し
た可視光を電気信号に変換する光電変換素子とを組み合
わせてなるＸ線検出素子アレイを複数配列して構成され
た多素子Ｘ線検出器において、前記Ｘ線検出素子アレイ
が同一平面上に直線状に配列され、かつ各Ｘ線検出素子
が前記Ｘ線管の焦点方向に向けられてなる多素子Ｘ線検
出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019398A JPH06214036A (ja) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | 多素子ｘ線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019398A JPH06214036A (ja) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | 多素子ｘ線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06214036A true JPH06214036A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11998172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5019398A Pending JPH06214036A (ja) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | 多素子ｘ線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06214036A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004028815A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Toshiba Corp | シンチレータブロックとその製造方法ならびにｘ線検出器およびｘ線ｃｔ装置 |
| US7479640B2 (en) | 2005-09-30 | 2009-01-20 | Fujifilm Corporation | Resolution-variable X-ray imaging device and X-ray CT apparatus |
| JP2017096899A (ja) * | 2015-11-28 | 2017-06-01 | キヤノン株式会社 | シンチレータプレート、放射線検出器及び放射線計測システム |
| CN111281406A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-06-16 | 东软医疗系统股份有限公司 | 闪烁体像素阵列、检测器子模块、模块、检测器及ct设备 |
| CN114088748A (zh) * | 2020-08-04 | 2022-02-25 | 梅特勒-托莱多有限责任公司 | 探测器阵列及包括所述探测器阵列的用于吸收成像的设备 |
-
1993
- 1993-01-13 JP JP5019398A patent/JPH06214036A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004028815A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Toshiba Corp | シンチレータブロックとその製造方法ならびにｘ線検出器およびｘ線ｃｔ装置 |
| US7479640B2 (en) | 2005-09-30 | 2009-01-20 | Fujifilm Corporation | Resolution-variable X-ray imaging device and X-ray CT apparatus |
| JP2017096899A (ja) * | 2015-11-28 | 2017-06-01 | キヤノン株式会社 | シンチレータプレート、放射線検出器及び放射線計測システム |
| CN111281406A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-06-16 | 东软医疗系统股份有限公司 | 闪烁体像素阵列、检测器子模块、模块、检测器及ct设备 |
| CN114088748A (zh) * | 2020-08-04 | 2022-02-25 | 梅特勒-托莱多有限责任公司 | 探测器阵列及包括所述探测器阵列的用于吸收成像的设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050712 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050714 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20051108 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |