JPH06215720A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06215720A JPH06215720A JP5007352A JP735293A JPH06215720A JP H06215720 A JPH06215720 A JP H06215720A JP 5007352 A JP5007352 A JP 5007352A JP 735293 A JP735293 A JP 735293A JP H06215720 A JPH06215720 A JP H06215720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- search
- electron microscope
- movement
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】電子顕微鏡において従来手作業で行っていた試
料の検索を、ＣＰＵを用いて試料台の移動を自動化し、
試料の検索効率の高い電子顕微鏡を提供することにあ
る。 【構成】試料５を装着した試料台４を透過電子線像の倍
率に連動した移動量で、Ｘ軸，Ｙ軸の２方向に自動的に
移動させる。試料台４の移動範囲，移動速度，加減速時
間等の駆動の条件を、条件表示ＣＲＴ１９に表示し、操
作部１８で駆動の条件を設定することで、指定範囲内の
試料５の検索を行えるように構成する。 【効果】従来手作業で行っていた試料の検索を自動化す
ることで、短時間で効率良く試料の検索が可能となり、
電子顕微鏡の操作性が飛躍的に向上する。
料の検索を、ＣＰＵを用いて試料台の移動を自動化し、
試料の検索効率の高い電子顕微鏡を提供することにあ
る。 【構成】試料５を装着した試料台４を透過電子線像の倍
率に連動した移動量で、Ｘ軸，Ｙ軸の２方向に自動的に
移動させる。試料台４の移動範囲，移動速度，加減速時
間等の駆動の条件を、条件表示ＣＲＴ１９に表示し、操
作部１８で駆動の条件を設定することで、指定範囲内の
試料５の検索を行えるように構成する。 【効果】従来手作業で行っていた試料の検索を自動化す
ることで、短時間で効率良く試料の検索が可能となり、
電子顕微鏡の操作性が飛躍的に向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡に係り、特
に試料台を移動させる駆動の手段を自動化して、試料の
検索に適した電子顕微鏡に関する。
に試料台を移動させる駆動の手段を自動化して、試料の
検索に適した電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に電子顕微鏡では所望の視野が試料
上の何処に存在するかを予め検索した後、所望の視野の
観察，分析をあらためて行う。検索の方法は電子顕微鏡
像を観察用蛍光板、または電気信号に変換後ＣＲＴモニ
タ上に表示し、電子顕微鏡像を観察しながら試料台をＸ
軸、またはＹ軸方向に手動で移動し、試料全体をくまな
く検索し、所望の視野を探しだす。近年電子顕微鏡のＣ
ＰＵ制御化と共に、電子顕微鏡の操作の自動化は大幅に
進み、特開平1−211844 号等に開示されるように、試料
検索の高効率化を図った手法はあるが、試料の検索はま
だ自動化されていない。
上の何処に存在するかを予め検索した後、所望の視野の
観察，分析をあらためて行う。検索の方法は電子顕微鏡
像を観察用蛍光板、または電気信号に変換後ＣＲＴモニ
タ上に表示し、電子顕微鏡像を観察しながら試料台をＸ
軸、またはＹ軸方向に手動で移動し、試料全体をくまな
く検索し、所望の視野を探しだす。近年電子顕微鏡のＣ
ＰＵ制御化と共に、電子顕微鏡の操作の自動化は大幅に
進み、特開平1−211844 号等に開示されるように、試料
検索の高効率化を図った手法はあるが、試料の検索はま
だ自動化されていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電子
顕微鏡において従来手作業で行っていた試料の検索を、
ＣＰＵを用いて試料台の移動を自動化し、効率良く検索
を行うことにある。また検索領域の指定，検索速度の指
定，所望の視野の座標位置の表示、および記憶、更に既
検索領域の表示を行うことで、試料の検索効率の高い電
子顕微鏡を提供することにある。
顕微鏡において従来手作業で行っていた試料の検索を、
ＣＰＵを用いて試料台の移動を自動化し、効率良く検索
を行うことにある。また検索領域の指定，検索速度の指
定，所望の視野の座標位置の表示、および記憶、更に既
検索領域の表示を行うことで、試料の検索効率の高い電
子顕微鏡を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
には、電子顕微鏡において、試料を装着した試料台をＸ
軸，Ｙ軸の２方向に移動させる駆動の手段と、前記試料
の座標位置、および前記試料台の駆動の条件、および前
記試料の観察条件を表示する第１の表示装置と、前記駆
動の条件を前記第１の表示装置を用いて選択、または設
定する手段と、前記試料の電子顕微鏡像を検索する手
段、即ち前記電子顕微鏡像を表示する第２の表示装置を
有し、前記第２の表示装置を用いて前記試料をくまなく
検索できる手段、即ち前記試料台を前記電子顕微鏡像の
倍率に連動した移動量で自動的に移動させる手段とを具
備していることである。
には、電子顕微鏡において、試料を装着した試料台をＸ
軸，Ｙ軸の２方向に移動させる駆動の手段と、前記試料
の座標位置、および前記試料台の駆動の条件、および前
記試料の観察条件を表示する第１の表示装置と、前記駆
動の条件を前記第１の表示装置を用いて選択、または設
定する手段と、前記試料の電子顕微鏡像を検索する手
段、即ち前記電子顕微鏡像を表示する第２の表示装置を
有し、前記第２の表示装置を用いて前記試料をくまなく
検索できる手段、即ち前記試料台を前記電子顕微鏡像の
倍率に連動した移動量で自動的に移動させる手段とを具
備していることである。
【０００５】
【作用】第１の表示装置をＣＲＴモニタ、第２の表示装
置を蛍光板を用いた例について述べると、試料台の移動
はＸ軸方向とＹ軸方向の移動機構を使用し、ＣＲＴモニ
タを用いて駆動の条件の指定、および検索の実行指示を
行うことで、自動的に試料台が移動を開始する。試料台
に装着した試料の電子顕微鏡像は移動中随時蛍光板に写
しだされ、試料上の所望の視野が発見できるまで、蛍光
板上の電子顕微鏡像を観察していれば良い。即ち手動に
よる試料台の移動の操作は一切無い。また試料台の移動
量は電子顕微鏡の倍率に連動して自動的に設定するた
め、試料の電子顕微鏡像は蛍光板上に必ず写しだされ
る。しかもＣＲＴモニタを用いて駆動の条件、即ち検索
領域の指定，検索速度の指定を行うことができるので、
多様な試料の検索に対応できる。更に試料台の移動経路
を表示することで、二重の検索を避けることができる。
また試料の検索中に、電子顕微鏡の倍率を変更しても自
動的に移動量を補正し、検索を停止すること無く試料の
検索を行うことができるため、試料の検索効率が飛躍的
に向上する。
置を蛍光板を用いた例について述べると、試料台の移動
はＸ軸方向とＹ軸方向の移動機構を使用し、ＣＲＴモニ
タを用いて駆動の条件の指定、および検索の実行指示を
行うことで、自動的に試料台が移動を開始する。試料台
に装着した試料の電子顕微鏡像は移動中随時蛍光板に写
しだされ、試料上の所望の視野が発見できるまで、蛍光
板上の電子顕微鏡像を観察していれば良い。即ち手動に
よる試料台の移動の操作は一切無い。また試料台の移動
量は電子顕微鏡の倍率に連動して自動的に設定するた
め、試料の電子顕微鏡像は蛍光板上に必ず写しだされ
る。しかもＣＲＴモニタを用いて駆動の条件、即ち検索
領域の指定，検索速度の指定を行うことができるので、
多様な試料の検索に対応できる。更に試料台の移動経路
を表示することで、二重の検索を避けることができる。
また試料の検索中に、電子顕微鏡の倍率を変更しても自
動的に移動量を補正し、検索を停止すること無く試料の
検索を行うことができるため、試料の検索効率が飛躍的
に向上する。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す電子顕微鏡の
構成図である。電子顕微鏡は電子銃１より放出した電子
線２を照射レンズ系３で収束し、試料台４に装着した試
料５に照射する。試料５を透過した電子線２は、結像レ
ンズ系６ａ，６ｂにより拡大され、蛍光板７上に電子顕
微鏡像を結像する。更に蛍光板移動機構８により蛍光板
７を移動することで、電子顕微鏡像をＴＶカメラ９に取
り込み、カメラコントローラ１０で画像を増幅し、観察
像表示ＣＲＴ１１に表示する。蛍光板７の下部には電子
顕微鏡像の写真撮影機構が付属しているが、図示は省略
する。
構成図である。電子顕微鏡は電子銃１より放出した電子
線２を照射レンズ系３で収束し、試料台４に装着した試
料５に照射する。試料５を透過した電子線２は、結像レ
ンズ系６ａ，６ｂにより拡大され、蛍光板７上に電子顕
微鏡像を結像する。更に蛍光板移動機構８により蛍光板
７を移動することで、電子顕微鏡像をＴＶカメラ９に取
り込み、カメラコントローラ１０で画像を増幅し、観察
像表示ＣＲＴ１１に表示する。蛍光板７の下部には電子
顕微鏡像の写真撮影機構が付属しているが、図示は省略
する。
【０００７】マイクロプロセッサ１４は移動機構制御回
路１５，レンズ系制御回路１６，プログラムメモリ１
７，操作部１８，条件表示ＣＲＴ１９に接続されてお
り、電子顕微鏡の制御は、マイクロプロセッサ１４を介
して行われる。
路１５，レンズ系制御回路１６，プログラムメモリ１
７，操作部１８，条件表示ＣＲＴ１９に接続されてお
り、電子顕微鏡の制御は、マイクロプロセッサ１４を介
して行われる。
【０００８】試料５の移動は、試料台４に連結したＸ軸
方向移動機構１２とＹ軸方向移動機構１３で行う。Ｘ軸
方向とＹ軸方向の２軸の合成により試料５上の全範囲の
観察が可能となる。移動機構制御回路１５はＸ軸方向移
動機構１２とＹ軸方向移動機構１３に対し、試料台４の
移動速度，加減速時間，移動座標位置、および移動開
始，移動停止を制御する。試料台４における制御の条件
設定は、条件表示CRT19に表示されるデータ入力区域で
設定を行う。データ入力区域は２１ｂ，２１ｃ，２１
ｄ，２１ｅに対応している。また試料台４の移動速度、
および移動開始、移動停止は、試料５に対して検索速
度，検索実行，検索停止に等しい。
方向移動機構１２とＹ軸方向移動機構１３で行う。Ｘ軸
方向とＹ軸方向の２軸の合成により試料５上の全範囲の
観察が可能となる。移動機構制御回路１５はＸ軸方向移
動機構１２とＹ軸方向移動機構１３に対し、試料台４の
移動速度，加減速時間，移動座標位置、および移動開
始，移動停止を制御する。試料台４における制御の条件
設定は、条件表示CRT19に表示されるデータ入力区域で
設定を行う。データ入力区域は２１ｂ，２１ｃ，２１
ｄ，２１ｅに対応している。また試料台４の移動速度、
および移動開始、移動停止は、試料５に対して検索速
度，検索実行，検索停止に等しい。
【０００９】条件表示ＣＲＴ１９に表示されるデータ入
力区域の選択、およびデータ入力は操作部１８で行う。
操作部１８にはデータを入力するための数値キースイッ
チ，入力した数値を登録する登録キースイッチ，データ
入力区域を選択する選択キースイッチが装備され、更に
観察モード切替，倍率切替，加速電圧切替を行うキース
イッチが装備されている。
力区域の選択、およびデータ入力は操作部１８で行う。
操作部１８にはデータを入力するための数値キースイッ
チ，入力した数値を登録する登録キースイッチ，データ
入力区域を選択する選択キースイッチが装備され、更に
観察モード切替，倍率切替，加速電圧切替を行うキース
イッチが装備されている。
【００１０】レンズ系制御回路１６は操作部１８で指定
した観察モード、または倍率になるように、照射レンズ
系３，結像レンズ系６ａ，６ｂを制御する。
した観察モード、または倍率になるように、照射レンズ
系３，結像レンズ系６ａ，６ｂを制御する。
【００１１】これらは全てマイクロプロセッサ１４を介
して行われるが、前述の移動機構制御回路１５の制御，
レンズ系制御回路１６の制御，操作部１８の制御，条件
表示ＣＲＴ１９への表示は、プログラムメモリ１７内に
予め格納した電子顕微鏡制御プログラム、および試料自
動検索プログラムに基づき実行される。
して行われるが、前述の移動機構制御回路１５の制御，
レンズ系制御回路１６の制御，操作部１８の制御，条件
表示ＣＲＴ１９への表示は、プログラムメモリ１７内に
予め格納した電子顕微鏡制御プログラム、および試料自
動検索プログラムに基づき実行される。
【００１２】ここで、条件表示ＣＲＴ１９に表示される
データ入力区域の選択とデータ入力を図２により詳述す
る。２０ａは条件表示ＣＲＴ１９の具体的な表示例であ
る。２０ｂは試料位置表示区域であり、試料５の位置を
グラフィックスで表示する。２１ａは試料の観察条件、
即ち観察モード，倍率，加速電圧を表示する区域であ
る。
データ入力区域の選択とデータ入力を図２により詳述す
る。２０ａは条件表示ＣＲＴ１９の具体的な表示例であ
る。２０ｂは試料位置表示区域であり、試料５の位置を
グラフィックスで表示する。２１ａは試料の観察条件、
即ち観察モード，倍率，加速電圧を表示する区域であ
る。
【００１３】データ入力区域は、試料の検索速度入力区
域２１ｂ，検索領域入力区域２１ｃ，検索実行、または
検索停止を指示する実行指示入力区域２１ｄ，試料の位
置座標を記憶するための記憶番号入力区域２１ｅで構成
され、操作部１８でデータ入力区域の選択キースイッチ
を押すことで順番に選択する。
域２１ｂ，検索領域入力区域２１ｃ，検索実行、または
検索停止を指示する実行指示入力区域２１ｄ，試料の位
置座標を記憶するための記憶番号入力区域２１ｅで構成
され、操作部１８でデータ入力区域の選択キースイッチ
を押すことで順番に選択する。
【００１４】検索速度入力区域２１ｂでは、検索速度を
操作部１８より入力することができ、試料面上で０.２
μｍ／ｓから９０.０μｍ／ｓに相当する速度を設定で
きる。検索領域入力区域２１ｃでは、操作部１８より現
在位置を中心としてＸ軸方向，Ｙ軸方向共に±２０μｍ
から±６０μｍに相当する検索領域、即ち４０μｍ×４
０μｍから１２０μｍ×１２０μｍの検索領域を設定で
きる。また試料面全域の検索の指定も可能である。
操作部１８より入力することができ、試料面上で０.２
μｍ／ｓから９０.０μｍ／ｓに相当する速度を設定で
きる。検索領域入力区域２１ｃでは、操作部１８より現
在位置を中心としてＸ軸方向，Ｙ軸方向共に±２０μｍ
から±６０μｍに相当する検索領域、即ち４０μｍ×４
０μｍから１２０μｍ×１２０μｍの検索領域を設定で
きる。また試料面全域の検索の指定も可能である。
【００１５】実行指示入力区域２１ｄでは、操作部１８
より登録キースイッチのみを押すことで検索実行とな
る。また検索実行中に再度登録キースイッチのみを押す
ことで一時的に検索停止となるが、再々度登録キースイ
ッチのみを押すことで検索の実行が継続される。
より登録キースイッチのみを押すことで検索実行とな
る。また検索実行中に再度登録キースイッチのみを押す
ことで一時的に検索停止となるが、再々度登録キースイ
ッチのみを押すことで検索の実行が継続される。
【００１６】記憶番号入力区域２１ｅでは０から１９ま
での記憶番号を操作部１８より入力することができ、試
料の位置座標を２０種類記憶することができる。本実施
例では試料の位置座標の記憶を２０種類としているが、
その上限は限定されるものではない。
での記憶番号を操作部１８より入力することができ、試
料の位置座標を２０種類記憶することができる。本実施
例では試料の位置座標の記憶を２０種類としているが、
その上限は限定されるものではない。
【００１７】２２ａは試料の検索経路表示であり、グラ
フィクスによる検索後の移動経路が表示される。
フィクスによる検索後の移動経路が表示される。
【００１８】２２ｂは試料現在位置表示であり、同様に
グラフィクスで表示される。
グラフィクスで表示される。
【００１９】次に試料自動検索プログラムから移動機構
制御回路１５に指定する試料台の移動指示経路、および
移動制御アルゴリズムを図３，図４により詳述する。２
３は検索中心位置である。検索中心位置２３は、検索実
行を指示する時点での視野座標に相当し、更に検索終了
時の試料台復帰座標に相当する。検索実行が指示される
と検索開始点２４ａの座標を次式で算出し、移動機構制
御回路１５に指定する。これを図４のフローチャート図
中でＡ２の処理に対応している。
制御回路１５に指定する試料台の移動指示経路、および
移動制御アルゴリズムを図３，図４により詳述する。２
３は検索中心位置である。検索中心位置２３は、検索実
行を指示する時点での視野座標に相当し、更に検索終了
時の試料台復帰座標に相当する。検索実行が指示される
と検索開始点２４ａの座標を次式で算出し、移動機構制
御回路１５に指定する。これを図４のフローチャート図
中でＡ２の処理に対応している。
【００２０】
【数１】
【００２１】ここで、Ｐｘ(０)は検索開始点２４ａのＸ
座標、Ｐｘは検索中心位置２３のＸ座標、ＬｘはＸ軸方
向の検索領域であり、検索領域入力区域２１ｃで設定す
る。Ｙ座標に関しても同様にＰｙ(０)は検索開始点２４
ａのＹ座標、Ｐｙは検索中心位置２３のＹ座標、Ｌｙは
Ｙ軸方向の検索領域であり、検索領域入力区域２１ｃで
設定する。
座標、Ｐｘは検索中心位置２３のＸ座標、ＬｘはＸ軸方
向の検索領域であり、検索領域入力区域２１ｃで設定す
る。Ｙ座標に関しても同様にＰｙ(０)は検索開始点２４
ａのＹ座標、Ｐｙは検索中心位置２３のＹ座標、Ｌｙは
Ｙ軸方向の検索領域であり、検索領域入力区域２１ｃで
設定する。
【００２２】検索速度入力区域２１ｂで指定した値に相
当する移動速度と加減速時間を、移動機構制御回路１５
に指定する。加減速時間は移動速度が零の状態から定常
状態になるまでの時間、または移動速度が定常状態から
零の状態になるまでの時間である。移動速度が試料面上
で１０μｍ／ｓの場合、加減速時間を１００ｍｓに設定
する。移動速度と加減速時間は初期移動時に一度だけ移
動機構制御回路１５に指定することで、条件が維持され
るようになっている。これを図４のフローチャート図中
でＡ３の処理に対応している。
当する移動速度と加減速時間を、移動機構制御回路１５
に指定する。加減速時間は移動速度が零の状態から定常
状態になるまでの時間、または移動速度が定常状態から
零の状態になるまでの時間である。移動速度が試料面上
で１０μｍ／ｓの場合、加減速時間を１００ｍｓに設定
する。移動速度と加減速時間は初期移動時に一度だけ移
動機構制御回路１５に指定することで、条件が維持され
るようになっている。これを図４のフローチャート図中
でＡ３の処理に対応している。
【００２３】移動開始の指示を移動機構制御回路１５に
指定することで、自動的に指定座標までの移動が行われ
る。検索開始点２４ａへの移動は移動機構制御回路１５
からＸ軸方向移動機構１２とＹ軸方向移動機構１３に対
し同時に駆動指示がだされる。（フローチャート図４で
はＡ４の処理に対応。） 検索開始点２４ａへの移動が終了したら、引き続き次移
動点Ｐ１の座標を次式で求め、移動機構制御回路１５に
指定する。（フローチャート図４ではＡ６の処理に対
応。）
指定することで、自動的に指定座標までの移動が行われ
る。検索開始点２４ａへの移動は移動機構制御回路１５
からＸ軸方向移動機構１２とＹ軸方向移動機構１３に対
し同時に駆動指示がだされる。（フローチャート図４で
はＡ４の処理に対応。） 検索開始点２４ａへの移動が終了したら、引き続き次移
動点Ｐ１の座標を次式で求め、移動機構制御回路１５に
指定する。（フローチャート図４ではＡ６の処理に対
応。）
【００２４】
【数２】
【００２５】ここで、Ｐｘ（１）はＰ１のＸ座標、Ｐｙ
（１）はＰ１のＹ座標である。移動開始の指示を移動機
構制御回路１５に指定することで、自動的に指定座標ま
での移動が行われ、Ｐ１への移動が終了したら、引き続
き次移動点Ｐ２の座標を次式で求め、移動機構制御回路
１５に指定する。次移動座標を指定するときＸ軸方向移
動機構１２とＹ軸方向移動機構１３は停止状態となる
が、加減速時間を含めて１５０ｍｓ程度であるため、連
続した移動イメージとなる。（フローチャート図４では
Ａ６の処理に対応。）
（１）はＰ１のＹ座標である。移動開始の指示を移動機
構制御回路１５に指定することで、自動的に指定座標ま
での移動が行われ、Ｐ１への移動が終了したら、引き続
き次移動点Ｐ２の座標を次式で求め、移動機構制御回路
１５に指定する。次移動座標を指定するときＸ軸方向移
動機構１２とＹ軸方向移動機構１３は停止状態となる
が、加減速時間を含めて１５０ｍｓ程度であるため、連
続した移動イメージとなる。（フローチャート図４では
Ａ６の処理に対応。）
【００２６】
【数３】
【００２７】ここで、Ｐｘ（２）はＰ２のＸ座標、Ｐｙ
（２）はＰ２のＹ座標である。移動開始の指示を移動機
構制御回路１５に指定することで、自動的に指定座標ま
での移動が行われ、Ｐ２への移動が終了したら、引き続
き次移動点Ｐ３の座標を繰返し求め、移動機構制御回路
１５に指定する。Δｙは透過電子線像の倍率に連動した
Ｙ軸方向の移動量であり、倍率を変更しても観察像のＹ
軸方向の移動量が蛍光板上で一定となるように設定す
る。移動量は移動前の観察像の一部を確認できるよう
に、観察像の重なりを考慮する。また透過電子線像の倍
率は、写真撮影機構を基準としているため、蛍光板上で
の倍率に対して補正が必要である。本実施例では観察像
の重なりを考慮し、蛍光板上で１２cmに相当する移動量
を設定し、倍率の補正値を１.３ とする。透過電子線像
の倍率をＭとした場合、Δｙは次式で求める。
（２）はＰ２のＹ座標である。移動開始の指示を移動機
構制御回路１５に指定することで、自動的に指定座標ま
での移動が行われ、Ｐ２への移動が終了したら、引き続
き次移動点Ｐ３の座標を繰返し求め、移動機構制御回路
１５に指定する。Δｙは透過電子線像の倍率に連動した
Ｙ軸方向の移動量であり、倍率を変更しても観察像のＹ
軸方向の移動量が蛍光板上で一定となるように設定す
る。移動量は移動前の観察像の一部を確認できるよう
に、観察像の重なりを考慮する。また透過電子線像の倍
率は、写真撮影機構を基準としているため、蛍光板上で
の倍率に対して補正が必要である。本実施例では観察像
の重なりを考慮し、蛍光板上で１２cmに相当する移動量
を設定し、倍率の補正値を１.３ とする。透過電子線像
の倍率をＭとした場合、Δｙは次式で求める。
【００２８】
【数４】
【００２９】検索開始点２４ａから検索終了点２４ｂに
おいて、次移動点のＸ座標、およびＹ座標の一般式をＰ
ｘ（ｎ），Ｐｙ（ｎ）とすると、次式で求めることがで
きる。
おいて、次移動点のＸ座標、およびＹ座標の一般式をＰ
ｘ（ｎ），Ｐｙ（ｎ）とすると、次式で求めることがで
きる。
【００３０】
【数５】
【００３１】ただしＰｙ（ｎ）がＬｙの範囲を超えない
座標となるようにｎを設定しなければならない。
座標となるようにｎを設定しなければならない。
【００３２】検索開始点２４ａから検索終了点２４ｂま
での移動が完了すると、試料台復帰座標、即ち検索中心
位置２３の座標と、移動開始の指示を移動機構制御回路
１５に指定することで、元の視野座標に移動し一連の試
料検索が完了する。（フローチャート図４ではＡ７，Ａ
８の処理に対応。） また、蛍光板移動機構８により蛍光板７を移動すること
で、電子顕微鏡像をＴＶカメラ９に取り込み、観察像表
示ＣＲＴ１１で試料検索を行うことが可能である。ただ
し蛍光板７の状態をプログラムで監視し、Ｙ軸方向の移
動量Δｙを観察像表示ＣＲＴ１１に対応するように換算
しなければならない。
での移動が完了すると、試料台復帰座標、即ち検索中心
位置２３の座標と、移動開始の指示を移動機構制御回路
１５に指定することで、元の視野座標に移動し一連の試
料検索が完了する。（フローチャート図４ではＡ７，Ａ
８の処理に対応。） また、蛍光板移動機構８により蛍光板７を移動すること
で、電子顕微鏡像をＴＶカメラ９に取り込み、観察像表
示ＣＲＴ１１で試料検索を行うことが可能である。ただ
し蛍光板７の状態をプログラムで監視し、Ｙ軸方向の移
動量Δｙを観察像表示ＣＲＴ１１に対応するように換算
しなければならない。
【００３３】本実施例によれば、蛍光板７上での試料検
索，観察像表示ＣＲＴ１１での試料検索のどちらにおい
ても、試料検索の自動化と効率向上を図るのに極めて好
適なものである。
索，観察像表示ＣＲＴ１１での試料検索のどちらにおい
ても、試料検索の自動化と効率向上を図るのに極めて好
適なものである。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、従来手作業で行ってい
た試料の検索を、ＣＰＵを用いて試料台の移動を自動化
したことで、短時間で効率良く試料の検索が可能とな
り、電子顕微鏡の操作性が飛躍的に向上する。本発明は
透過形電子顕微鏡を実施例として説明したが、走査形電
子顕微鏡に関しても同様に対応できる。
た試料の検索を、ＣＰＵを用いて試料台の移動を自動化
したことで、短時間で効率良く試料の検索が可能とな
り、電子顕微鏡の操作性が飛躍的に向上する。本発明は
透過形電子顕微鏡を実施例として説明したが、走査形電
子顕微鏡に関しても同様に対応できる。
【図１】本発明の一実施例を示す電子顕微鏡の構成図。
【図２】図１の条件表示用ＣＲＴの具体例を示す構成
図。
図。
【図３】試料自動検索プログラムによる試料台の移動経
路を示す構成図。
路を示す構成図。
【図４】移動制御アルゴリズムを示すフローチャート
図。
図。
１…電子銃、２…電子線、３…照射レンズ系、４…試料
台、５…試料、６ａ…結像レンズ系、７…蛍光板、８…
蛍光板移動機構、９…ＴＶカメラ、１０…カメラコント
ローラ、１１…観察像表示ＣＲＴ、１２…Ｘ軸方向移動
機構、１３…Ｙ軸方向移動機構、１４…マイクロプロセ
ッサ、１５…移動機構制御回路、１６…レンズ系制御回
路、１７…プログラムメモリ、１８…操作部、１９…条
件表示ＣＲＴ、２０ａ…条件表示用ＣＲＴ、２０ｂ…試
料位置表示区域、２２ａ…検索経路表示、２２ｂ…試料
現在位置表示、２３…検索中心位置、２４ａ…検索開始
点、２４ｂ…検索終了点。
台、５…試料、６ａ…結像レンズ系、７…蛍光板、８…
蛍光板移動機構、９…ＴＶカメラ、１０…カメラコント
ローラ、１１…観察像表示ＣＲＴ、１２…Ｘ軸方向移動
機構、１３…Ｙ軸方向移動機構、１４…マイクロプロセ
ッサ、１５…移動機構制御回路、１６…レンズ系制御回
路、１７…プログラムメモリ、１８…操作部、１９…条
件表示ＣＲＴ、２０ａ…条件表示用ＣＲＴ、２０ｂ…試
料位置表示区域、２２ａ…検索経路表示、２２ｂ…試料
現在位置表示、２３…検索中心位置、２４ａ…検索開始
点、２４ｂ…検索終了点。
Claims (4)
- 【請求項１】電子顕微鏡において、試料を装着した試料
台をＸ軸，Ｙ軸の２方向に移動させる駆動の手段と、前
記試料の座標位置、および前記試料台の駆動の条件、お
よび前記試料の観察条件を表示する第１の表示装置と、
前記駆動の条件を前記第１の表示装置を用いて選択、ま
たは設定する手段と、電子顕微鏡像を表示する第２の表
示装置を有し、前記第２の表示装置を用いて前記試料台
を電子顕微鏡像の倍率に連動した移動量で自動的に移動
させる手段とを具備していることを特徴とする電子顕微
鏡。 - 【請求項２】請求項１において、前記駆動の手段は、前
記試料台の移動速度の制御、および前記移動速度が設定
値になるまでの時間、または前記移動速度が零になるま
での時間、加減速時間の制御ができることを特徴とする
電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１において、前記駆動の条件は、前
記試料台の移動速度、前記試料台の移動範囲、前記試料
の検索領域、および前記試料の検索実行の指示とし、前
記第１の表示装置を用いて表示，選択、更に設定できる
ことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項４】請求項１又は２又は３において、前記第１
の表示装置と、前記第２の表示装置が同一であることを
特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5007352A JPH06215720A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5007352A JPH06215720A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06215720A true JPH06215720A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11663567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5007352A Pending JPH06215720A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06215720A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6878934B2 (en) | 2000-07-13 | 2005-04-12 | Hitachi, Ltd. | Method and device for observing a specimen in a field of view of an electron |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP5007352A patent/JPH06215720A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6878934B2 (en) | 2000-07-13 | 2005-04-12 | Hitachi, Ltd. | Method and device for observing a specimen in a field of view of an electron |
| US7012254B2 (en) * | 2000-07-13 | 2006-03-14 | Hitachi, Ltd. | Method and device for observing a specimen in a field of view of an electron microscope |
| US7022989B2 (en) | 2000-07-13 | 2006-04-04 | Hitachi, Ltd. | Method and device for observing a specimen in a field of view of an electron microscope |
| US7164129B2 (en) | 2000-07-13 | 2007-01-16 | Hitachi, Ltd. | Method and device for observing a specimen in a field of view of an electron microscope |
| US7544936B2 (en) | 2000-07-13 | 2009-06-09 | Hitachi, Ltd. | Method and device for observing a specimen in a field of view of an electron microscope |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2925647B2 (ja) | 顕微鏡変倍装置 | |
| CN117245225B (zh) | 激光打标方法、装置、终端设备以及存储介质 | |
| JP2873840B2 (ja) | 図形処理装置 | |
| US20050105174A1 (en) | Microscope system | |
| JPH07130319A (ja) | 走査電子顕微鏡及びその画像形成方法 | |
| JP3672970B2 (ja) | 非接触画像計測システム | |
| JPH06215720A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH0487148A (ja) | 試料移動経路指定自動分析装置 | |
| JP3483293B2 (ja) | 電子顕微鏡用画像処理装置 | |
| JP2822315B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2002191046A (ja) | 画像監視装置 | |
| JP2000122124A (ja) | 撮影補助装置 | |
| JP2007071835A (ja) | 画像測定装置用パートプログラム生成装置、画像測定装置用パートプログラム生成方法、及び画像測定装置用パートプログラム生成用プログラム | |
| JP2822314B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2000039564A (ja) | 拡大観察装置 | |
| JPH11201738A (ja) | ワーク画像の表示倍率変更方法及び画像測定装置 | |
| JP4158027B2 (ja) | Ｘ線透視検査装置 | |
| JPH09127426A (ja) | 拡大観察装置における駆動指令装置 | |
| JPH11203485A (ja) | 画像測定装置 | |
| JPH0915162A (ja) | 基板外観目視検査装置 | |
| JP2601727B2 (ja) | 液晶表示パネル検査装置 | |
| JPH10154040A (ja) | 画像処理装置 | |
| JPS58821B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3203508B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2508017B2 (ja) | 計算機の対話型パラメ−タ指定装置 |