JPS58821B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS58821B2 JPS58821B2 JP52029009A JP2900977A JPS58821B2 JP S58821 B2 JPS58821 B2 JP S58821B2 JP 52029009 A JP52029009 A JP 52029009A JP 2900977 A JP2900977 A JP 2900977A JP S58821 B2 JPS58821 B2 JP S58821B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- coordinates
- observation
- observed
- position coordinates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡に関し、特に試料の複数箇所を選ん
で繰り返し観察するのに適した電子顕微鏡に関する。
で繰り返し観察するのに適した電子顕微鏡に関する。
電子顕微鏡を用いて生物試料を観察する場合においては
、試料中の種々の部分を観察した後、最初に観察した部
分をもう一度観察し、改めて検討したい場合がある。
、試料中の種々の部分を観察した後、最初に観察した部
分をもう一度観察し、改めて検討したい場合がある。
このような場合、従来の装置においては螢光面上に表示
される試料像を見ながら、試料位置変更用のつまみを手
動で回転させ、再び観察したい試料部分を捜し出すよう
にしている。
される試料像を見ながら、試料位置変更用のつまみを手
動で回転させ、再び観察したい試料部分を捜し出すよう
にしている。
このような装置においては試行錯誤で捜し出すため手間
がか＼ると共に、本来の観察しようとする試料部分を正
確に捜し出すことは困難である。
がか＼ると共に、本来の観察しようとする試料部分を正
確に捜し出すことは困難である。
本発明は、このような従来の電子顕微鏡の欠点に鑑みな
されたもので、最初に観察した試料部分の中から任意の
部分を選択して、必要に応じて自動的に再観察し得るよ
うにした電子顕微鏡を提供するものであり、以下図面に
基づき本発明の一実施例を詳述する。
されたもので、最初に観察した試料部分の中から任意の
部分を選択して、必要に応じて自動的に再観察し得るよ
うにした電子顕微鏡を提供するものであり、以下図面に
基づき本発明の一実施例を詳述する。
第１図は、本発明の基本的実施例を示すための図面であ
り、図面中１は、電子顕微鏡筐体である。
り、図面中１は、電子顕微鏡筐体である。
該筐体中には電子銃２より発生した電子線を収束するた
めの収束レンズ３、試料が載置される試料台４、対物レ
ンズ５、投影レンズ６及び試料像を映し出すための螢光
板７が配置されている。
めの収束レンズ３、試料が載置される試料台４、対物レ
ンズ５、投影レンズ６及び試料像を映し出すための螢光
板７が配置されている。
前記試料台４は、試料の観察部分を変更するため試料台
駆動用のＸ方向駆動パルスモータ−８によってＸ軸に沿
って移動し得るようにされているとＮもにＹ方向駆動用
パルスモータ−９によってＹ軸に沿って移動し得るよう
にされている。
駆動用のＸ方向駆動パルスモータ−８によってＸ軸に沿
って移動し得るようにされているとＮもにＹ方向駆動用
パルスモータ−９によってＹ軸に沿って移動し得るよう
にされている。
該両パルスモータ−８，９は中央演算処理装置１０より
供給され各々駆動回路１１．１２において増幅されたパ
ルス信号によって駆動される。
供給され各々駆動回路１１．１２において増幅されたパ
ルス信号によって駆動される。
１３は前記中央演算処理装置と駆動回路を接続するため
のインターフェースである。
のインターフェースである。
該中央演算処理装置はインターフェース１４ｆ：介して
操作卓１５に接続されている。
操作卓１５に接続されている。
該操作卓には、試料の観察位置座標のうち各々Ｘ方向位
置座標及びＸ方向位置座標を制御するため各々Ｘ方向位
置制御部１６及びＹ方向位置制御部１７’に有している
。
置座標及びＸ方向位置座標を制御するため各々Ｘ方向位
置制御部１６及びＹ方向位置制御部１７’に有している
。
１８は前記中央演算処理装置１０に接続された一時記憶
装置である。
装置である。
前記操作卓には記憶装置制御部１９が備えられている。
該記憶装置制御部１９は観察位置を変更していづて再観
察したいと思った部分があった場合に、その時の観察位
置座標Ｘ、Ｙを表わすデジタル信号を中央演算処理装置
１０より一時記憶装置１Ｂに供給することにより前記座
標を記憶させるための指令を与えると５もに、再観察時
に該記憶装置１８に記憶されていた観察位置座標Ｘ、Ｙ
を前記中央演算処理装置１０内に読み出させるための指
令を与える部分である。
察したいと思った部分があった場合に、その時の観察位
置座標Ｘ、Ｙを表わすデジタル信号を中央演算処理装置
１０より一時記憶装置１Ｂに供給することにより前記座
標を記憶させるための指令を与えると５もに、再観察時
に該記憶装置１８に記憶されていた観察位置座標Ｘ、Ｙ
を前記中央演算処理装置１０内に読み出させるための指
令を与える部分である。
更に該操作卓には、該記憶装置制御部１９によって伝達
された指令によって読み出された前記座標Ｘ、Ｙに対応
した試料部分が観察し得るよう前記中央演算処理装置よ
りの信号によって試料台４を自動的に所定位置まで移動
させるための指令を与える自動試料位置制御部２０を備
えている。
された指令によって読み出された前記座標Ｘ、Ｙに対応
した試料部分が観察し得るよう前記中央演算処理装置よ
りの信号によって試料台４を自動的に所定位置まで移動
させるための指令を与える自動試料位置制御部２０を備
えている。
演算処理装置１０は上述した如き操作卓１５よりの指命
信号に基づいて前記演算処理装置等が所定の動作を行な
わせしめるためのプログラムが記憶されているプログラ
ム記憶用の記憶装置２１に接続されている。
信号に基づいて前記演算処理装置等が所定の動作を行な
わせしめるためのプログラムが記憶されているプログラ
ム記憶用の記憶装置２１に接続されている。
更に該中央演算処理装置１０はインターフェース２２を
介して陰極線管制御回路２３及び該回路に接続された陰
極線管２４に接続されている。
介して陰極線管制御回路２３及び該回路に接続された陰
極線管２４に接続されている。
該陰極線管は、試料の観察位置が試料上のどのような位
置にあるのかを表示するためのものであり、陰極線管管
面上の各点と試料表面上の各点とが対応するようにされ
ており、観察位置座標に対応した陰極線管面上の点が輝
点として表示される。
置にあるのかを表示するためのものであり、陰極線管管
面上の各点と試料表面上の各点とが対応するようにされ
ており、観察位置座標に対応した陰極線管面上の点が輝
点として表示される。
詳細には、これら輝点のうち現在観察中の位置座標Ｘ。
、Ｙｏに対応した陰極線管面上の点は例えば点滅する輝
点として表示され、又、再観察のために一時記憶装置１
８に記憶された観察位置座標に対応する点は陰極線管面
上に中輝度の輝点として更に又再観察時に前記一時記憶
装置１８より中央演算処理装置１０に読み出されてきた
位置座標に対応する点は高輝度の輝点として表示される
。
点として表示され、又、再観察のために一時記憶装置１
８に記憶された観察位置座標に対応する点は陰極線管面
上に中輝度の輝点として更に又再観察時に前記一時記憶
装置１８より中央演算処理装置１０に読み出されてきた
位置座標に対応する点は高輝度の輝点として表示される
。
陰極線管制御回路２３は中央演算処理装置よりの信号に
基づいて、上記の如き輝点の表示を行なわせしめるため
のものであり、記憶手段及び輝点表示のための映像信号
発生手段等を有している。
基づいて、上記の如き輝点の表示を行なわせしめるため
のものであり、記憶手段及び輝点表示のための映像信号
発生手段等を有している。
上述した如き構成において、オペレーターは螢光板７を
観察しつ５、前記操作卓のＸ方向位置制御部１６及びＹ
方向位置制御部１７を操作する。
観察しつ５、前記操作卓のＸ方向位置制御部１６及びＹ
方向位置制御部１７を操作する。
その結果、該操作によって順次指定された試料部分が観
察されるように、中央演算処理装置１０よりのパルス信
号に基づいて前記試料台４が駆動され、螢光板７上に投
影された試料像は順次変化して行く。
察されるように、中央演算処理装置１０よりのパルス信
号に基づいて前記試料台４が駆動され、螢光板７上に投
影された試料像は順次変化して行く。
この時同時に陰極線管２４の管面上には、現在観察位置
を表わす第２図においてＡで示すような点滅する輝点が
表示され、該輝点も観察位置の移動につれて同図におい
て矢印Ｂで示すように陰極線管面上を移動して行く。
を表わす第２図においてＡで示すような点滅する輝点が
表示され、該輝点も観察位置の移動につれて同図におい
て矢印Ｂで示すように陰極線管面上を移動して行く。
オペレーターは螢光板７を観察し、再観察したい部分が
螢光板７上に投影された時に操作卓１５上の記憶装置制
御部１９を操作してこの時の観察位置座標を表わす信号
を一時記憶装置１８内に供給して記憶せしめる。
螢光板７上に投影された時に操作卓１５上の記憶装置制
御部１９を操作してこの時の観察位置座標を表わす信号
を一時記憶装置１８内に供給して記憶せしめる。
然る後、更にＸ方向位置制御部１６及びＹ方向位置制御
部１７を操作すれば更に試料台４が駆動されて試料上の
観察部分は変化して行く。
部１７を操作すれば更に試料台４が駆動されて試料上の
観察部分は変化して行く。
これに伴い陰極線管面上の点滅する輝点も中央演算処理
装置１０よりの信号に基づいて順次移動していく。
装置１０よりの信号に基づいて順次移動していく。
このとき、前述した再観察のために一時記憶装置１８内
に記憶された観察位置座標に対応する点は第２図におい
てＣで示すように中輝度の輝点Ｃとして表示される。
に記憶された観察位置座標に対応する点は第２図におい
てＣで示すように中輝度の輝点Ｃとして表示される。
このような操作を続行すれば、更に何点かの再観察しよ
うとする点の位置座標が一時記憶装置１８内に記憶され
、このとき陰極線管２４上にも第２図においてＣ□、Ｃ
２で示すようなこれら位置座標に対応した点が中輝度の
点として表示される。
うとする点の位置座標が一時記憶装置１８内に記憶され
、このとき陰極線管２４上にも第２図においてＣ□、Ｃ
２で示すようなこれら位置座標に対応した点が中輝度の
点として表示される。
斯くして、オペレーターは前記操作卓の記憶装置制御部
１９を操作して、再観察しようとする観察位置座標が既
に、一時記憶装置１８内に記憶された試料位置座標のう
ちのどれにあたるのかを指定する。
１９を操作して、再観察しようとする観察位置座標が既
に、一時記憶装置１８内に記憶された試料位置座標のう
ちのどれにあたるのかを指定する。
これにより該指定された位置座標に対応する陰極線管面
上に中輝度で示された輝点のうち指定された輝点が、高
輝度の輝点として表示され、この時同時に該指定された
点の位置座標が一時記憶装置１８から中央演算処理装置
１０内に読み出される。
上に中輝度で示された輝点のうち指定された輝点が、高
輝度の輝点として表示され、この時同時に該指定された
点の位置座標が一時記憶装置１８から中央演算処理装置
１０内に読み出される。
次いで、操作卓１５の自動試料位置制御部２０を操作し
て、観察位置座標が前記読み出された指定位置座標に一
致するまで中央演算処理装置１０より、水平、垂直、駆
動用パルスモータ−８，９にパルスを供給する。
て、観察位置座標が前記読み出された指定位置座標に一
致するまで中央演算処理装置１０より、水平、垂直、駆
動用パルスモータ−８，９にパルスを供給する。
その結果、観察位置座標は前記指定された座標に自動的
に変更され、この時同時に陰極線管面上の現在観察位置
を示す点滅する輝点は速やかに移動していき、高輝度の
輝点に一致することになる。
に変更され、この時同時に陰極線管面上の現在観察位置
を示す点滅する輝点は速やかに移動していき、高輝度の
輝点に一致することになる。
斯くして、螢光板７上には再観察しようとした影像が投
影され、該投影像を再度検討することができる。
影され、該投影像を再度検討することができる。
全く同様に、前記記憶装置制御部１９を操作して、他の
観察位置座標に対応した像を得ようとするときには、該
座標を中央演算処理装置１０内に読み出して来、更に自
動試料位置制御部２０を操作して指令を与えることによ
り、予め記憶された他の観察位置座標に対応した投影像
を再観察することができる。
観察位置座標に対応した像を得ようとするときには、該
座標を中央演算処理装置１０内に読み出して来、更に自
動試料位置制御部２０を操作して指令を与えることによ
り、予め記憶された他の観察位置座標に対応した投影像
を再観察することができる。
上述したように、本発明により最初に観察した試料部分
の中から任意の部分を選択して、自動的にしかも簡単に
再観察することができる電子顕微鏡が提供される。
の中から任意の部分を選択して、自動的にしかも簡単に
再観察することができる電子顕微鏡が提供される。
又、本発明においては記憶手段に記憶された位置座標と
現在観察中の位置座標とを互いに弁別可能に陰極線管に
輝点表示するようにしているので、現在観察している位
置座標を再観察すべきか否か判断するに際して、既に再
観察すべく記憶した観察位置との関係を直線的に把握し
ながら判断を行うことができ、又既に記憶した複数の座
標のうちから現在観察しようとしている座標の次にどの
座標位置の観察をすべきか選択する際には現在の観察位
置との相互関係を直観的に把握しながら選択を行うこと
ができる。
現在観察中の位置座標とを互いに弁別可能に陰極線管に
輝点表示するようにしているので、現在観察している位
置座標を再観察すべきか否か判断するに際して、既に再
観察すべく記憶した観察位置との関係を直線的に把握し
ながら判断を行うことができ、又既に記憶した複数の座
標のうちから現在観察しようとしている座標の次にどの
座標位置の観察をすべきか選択する際には現在の観察位
置との相互関係を直観的に把握しながら選択を行うこと
ができる。
尚、上述した実施例においては、観察位置座標のみを記
憶させて、該記憶された位置座標に基づいて再観察像を
得るようにしたが、実際の観察条件のなかには試料台の
高さや、試料台の傾き、成るいは観察倍率等も重要な役
割を有しているので、これらの条件も必要に応じて記憶
できるように構成し、再観察時にはこれら記憶されてい
た数値を読み出して各部を制御する様にすることが好ま
しい０
憶させて、該記憶された位置座標に基づいて再観察像を
得るようにしたが、実際の観察条件のなかには試料台の
高さや、試料台の傾き、成るいは観察倍率等も重要な役
割を有しているので、これらの条件も必要に応じて記憶
できるように構成し、再観察時にはこれら記憶されてい
た数値を読み出して各部を制御する様にすることが好ま
しい０
第１図は本発明の一実施例を例示するための図面であり
、第２図は第１図に示した実施例装置に於ける陰極線管
２４の表示画面を例示するための図面である。 １・・・・・・電子顕微鏡筐体、２・・・・・・電子銃
、３・・・・・・収束レンズ、４・・・・・・試料台、
５・・・・・・対物レンズ、６・・・・・・投影レンズ
、７・・・・・・螢光板、８・・・・・・Ｘ方向駆動用
パルスモータ−１９・・・・・・Ｙ方向駆動用パルスモ
ータ−１１０・・・・・・中央演算処理装置、１１゜１
２・・・・・・１駆動回路、１３，１４，２２・・・・
・・インターフェース、１５・・・・・・操作卓、１６
・・・・・・Ｘ方向位置制御部、１７・・・・・・Ｙ方
向位置制御部、１８・・・・・・１時記憶装置、１９・
・・・・・記憶装置制御部、２０・・・・・山動試料位
置制御部、２１・・・・・・プログラム記憶用記憶装置
、２３・・・・・・陰極線管制御回路、２４・・・・・
・陰極線管。
、第２図は第１図に示した実施例装置に於ける陰極線管
２４の表示画面を例示するための図面である。 １・・・・・・電子顕微鏡筐体、２・・・・・・電子銃
、３・・・・・・収束レンズ、４・・・・・・試料台、
５・・・・・・対物レンズ、６・・・・・・投影レンズ
、７・・・・・・螢光板、８・・・・・・Ｘ方向駆動用
パルスモータ−１９・・・・・・Ｙ方向駆動用パルスモ
ータ−１１０・・・・・・中央演算処理装置、１１゜１
２・・・・・・１駆動回路、１３，１４，２２・・・・
・・インターフェース、１５・・・・・・操作卓、１６
・・・・・・Ｘ方向位置制御部、１７・・・・・・Ｙ方
向位置制御部、１８・・・・・・１時記憶装置、１９・
・・・・・記憶装置制御部、２０・・・・・山動試料位
置制御部、２１・・・・・・プログラム記憶用記憶装置
、２３・・・・・・陰極線管制御回路、２４・・・・・
・陰極線管。
Claims (1)
- １試料台と、該試料台上に載置される試料の投影拡大像
を得るための電子光学手段と、前記試料の観察位置座標
を変化させるため試料台を駆動させるための駆動手段と
、該試料の観察位置座標を表すデジタル信号の供給によ
り該座標を記憶する記憶手段と、試料上の各観測位置座
標を画面上の各点に対応させて表示するための陰極線管
と、該陰極線管に前記記憶手段に記憶された位置座標と
現在観察中の位置座標とを互いに弁別可能に輝点表示す
るための手段と、前記記憶手段によって記憶された座標
を読み出して試料の観察座標がこの座標に一致するよう
に前記駆動手段を制御するための手段を備えることを特
徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52029009A JPS58821B2 (ja) | 1977-03-16 | 1977-03-16 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52029009A JPS58821B2 (ja) | 1977-03-16 | 1977-03-16 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53114344A JPS53114344A (en) | 1978-10-05 |
| JPS58821B2 true JPS58821B2 (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=12264399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52029009A Expired JPS58821B2 (ja) | 1977-03-16 | 1977-03-16 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58821B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020145529A1 (ko) * | 2019-01-09 | 2020-07-16 | 오스템임플란트 주식회사 | 변성 하이드로젤 및 이를 포함하는 치은 확장기 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594408U (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-12 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡 |
| JPS6249850U (ja) * | 1986-08-22 | 1987-03-27 | ||
| JPS63127062U (ja) * | 1987-02-10 | 1988-08-19 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5131168A (en) * | 1974-09-11 | 1976-03-17 | Hitachi Ltd | Denshikenbikyo no shiryoichifukugensochi |
-
1977
- 1977-03-16 JP JP52029009A patent/JPS58821B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020145529A1 (ko) * | 2019-01-09 | 2020-07-16 | 오스템임플란트 주식회사 | 변성 하이드로젤 및 이를 포함하는 치은 확장기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53114344A (en) | 1978-10-05 |
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