JPH062160Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この考案は、不活性ガス雰囲気中に被照射物を搬送しつ
つ搬送途中で電子線を照射するようにした電子線照射装
置に関する。

（ロ）従来の技術 たとえば、被照射物に塗料を塗布し、これに電子線を照
射し、ラジカル重合反応により前記塗料を硬化する場
合、前述のラジカル重合反応を促進するために照射雰囲
気の酸素濃度を低下させるのが好ましい。

このため、従来で照射室内にＮ₂ガスなどの不活性ガス
を導入し、照射雰囲気の酸素濃度を低下させるととも
に、被照射物の照射位置への搬送及び搬出用としてベル
トコンベアからなる搬送装置を用いていた。

ところが、単純に不活性ガスを導入するのみでは、照射
室の搬入口や搬出口を介し、ベルトコンベアのベルトの
上下面や被照射物に纏わりついて空気が流入し、所望の
照射雰囲気にするのが困難である。

（ハ）考案が解決しようとする問題点 この対策として、鋼線や鋼帯などで形成されたネットベ
ルトを使用したネットベルトコンベアを用いて被照射物
を搬送し、その上方より不活性ガスを吹付けることによ
り、被照射物などに纏りつく空気を照射部位に近づけ
ず、同部位における酸素濃度を低下させ重合反応に充分
な照射雰囲気を作るようにすることが本考案者らによっ
て考えられている。

第３図は前述のネットベルトコンベアを用いた電子線照
射装置の一例を示す図である。

このネットベルトコンベア２２は、その大部分が電子線
照射装置２３の照射室２４内に設けられており、その搬
送路を構成するネットベルト２５は、電子線照射によっ
て発生するＸ線を可能な限り短かい寸法で外部へ漏洩さ
せないように、照射室２４内の各所に設けられた遮蔽体
２６のスリット２７を通過させてあり、それぞれのスリ
ット２７に合わせて上下に湾曲して動かされる。特に上
向きに湾曲する部分は、ネットベルト２５上面の両側端
部がガイドプーリ２８によって下方に押えられて、ネッ
トベルト２５が浮き上がることが抑制されている。この
ガイドプーリ２８によって形成されるネットベルト２５
の上り傾斜部２５ａの下面側にはガイドレール２９が設
けられており、ネットベルト２５はそのガイドレール２
９の上面を滑りながら移動する。さらに遮蔽体構造を簡
単にするため、ネットベルトコンベア２２は一つの駆動
軸３０によって一軸駆動される構成である。

ところが上記構成において、ネットベルト２５の上り傾
斜部２５ａはガイドレール２９上を滑っているので、レ
ール滑り摩擦抵抗とガイドプーリ２８による抵抗とによ
って一軸駆動によって加わるテンションが不規則に変化
し、同時にネットベルト２５自体の伸びが大きくなり、
これによって上り傾斜部25ａのネットベルト２５には上
下に不規則な微振動が発生する。この微振動は、ネット
ベルト２５上の被搬送物である被照射物、特に軽量のも
のを上り傾斜部２５ａで滑らす結果となり、また蛇行や
回転させたりあるいはガイドプーリ２８に接触させるこ
とになり、全く被照射物を搬送しない状態を発生させる
ことがあった。

この考案は上記の事情に鑑みてなされたもので、搬送路
途中に形成されるネットベルトの上向きの傾斜部で発生
するネットベルトの微振動の発生を抑制することを目的
とする。

（ニ）問題点を解決するための手段 この考案の電子線照射装置は、搬送路がネットベルトで
構成され搬送方向に向って上向きに傾斜している傾斜部
を少なくとも一ケ所有するネットベルトコンベアであ
り、少なくともその傾斜部の傾斜開始位置にてネットベ
ルトの両側端部をネットベルトの表裏方向から挟む案内
車とネットベルトの駆動速度に同期して回転する駆動車
とを具備したことを特徴とする。

（ホ）作用 案内車と駆動車とがネットベルトを挟み、かつ駆動車が
ネットベルトの駆動速度と同期して回転するので、ネッ
トベルトが上向きの傾斜部に加わるテンション及び全体
のネットベルトに加わる抵抗を断ち切り、前記部分に発
生する微振動を抑制するよう作用する。

（ヘ）実施例 以下この考案の実施例を図面にて詳述するが、この考案
は以下の実施例に限定されるものではない。

第１図において、ネットベルトコンベア１は電子線照射
装置２の照射室３内に設置されている。この実施例にお
ける電子線照射装置２は、電子線を走査しないエリアビ
ーム形で、照射室３の上部に設けられる真空チャンバ４
内の加速部４１にて電子を発生・加速し、照射窓５を介
して照射室３内のネットベルトコンベア１上に搬送され
るたとえばガラスエポキシやベーク製の基板などの被照
射物６に電子を照射する構成である。照射室３内は、電
子線照射によって発生するＸ線を、照射室３の被照射物
６の搬入口７や搬出口８から直接に外部へ漏洩させない
ように、複数の遮蔽体９で仕切られている。そしてネッ
トベルトコンベア１の搬送路１０は遮蔽体９のスリット
９ａや高さに合わせて、適当な傾斜角を有して上下に湾
曲されている。

ネットベルトコンベア１は、たとえば鋼線にて形成され
るネットベルト１１と、搬送方向に向かって上向きに傾
斜する傾斜部１１ａを形成するために、その傾斜部１１
ａの傾斜開始位置１２にてネットベルト１１上面の両側
端部を下方に押さえる案内車（以下ガイドプーリと記
す）１３と、ガイドプーリ１３と対向するネットベルト
１１下面側に設けられる駆動車１４と、傾斜部１１ａの
傾斜終了位置１５にてネットベルト１１下面の両側端部
を上方に押し上げる駆動車１６と、駆動車１６と対向す
るネットベルト１１上面側に設けられるガイドプーリ１
７とネットベルト１１下面の両側端部を上方に支えて下
向きに湾曲する搬送路部分を形成させるガイドプーリ１
８と、たとえばインバータにより回転数が制御されるモ
ータ（図示しない）に接続されてネットベルト１１を駆
動する駆動軸１９と、ネットベルト１１下面に接触する
状態に設けられる複数本のガイドレール２０とで構成さ
れる。

ガイドプーリ１３および駆動車１４と駆動車１６および
ガイドプーリ１７とは、第２図に示すように、それぞれ
ネットベルト１１が水平位置から所定の傾斜角度たとえ
ば９°で上昇する傾斜部１１ａの傾斜開始位置１２と傾
斜終了位置１５とで、ネットベルト１１の両側端部をそ
の表裏方向から挟んでいる。駆動車１４，１６は、その
外周面つまりネットベルト１１に圧接される部分に、回
転した際にネットベルト１１の網目に係合する歯となる
凸部を有している。そして駆動軸１９の回転速度つまり
はネットベルト１１の駆動速度と同期して回転するよう
に、駆動車１４，１６はたとえば駆動軸１９の駆動用の
モータと同期して回転するよう回転数が抑制されるモー
タ（図示しない）によって回転駆動される。これによっ
て、ネットベルト１１にかかる駆動軸１９からのテンシ
ョン及びガイドレール１５などからの全体のネットベル
ト１１にかかる抵抗を断ち切り、傾斜部１１ａをテンシ
ョンのかからない状態（テンションフリー）とする。従
って、傾斜部１１ａに発生する不規則な微振動を抑制す
る。２１は不活性ガスの吹出口である。

以上の構成において、駆動軸１９が回転されると、ネッ
トベルト１１は搬入口７から搬出口８の方向に向って移
動する。ネットベルト１１に載置された軽量の被照射物
６がこれによって順次搬入口７側から搬出口８側に搬送
される。そして被照射物６は傾斜部１１ａを通って、照
射窓５直下において電子線を照射され、搬出口８から搬
出される。

なおネットベルトとしては、上記実施例の他に、帯状の
鋼板を連続する波状に形成し、その波状に成形された鋼
板の波状頭部を互いにピンなどで連結してネットベルト
にしたものであってもよい。

また、それぞれの駆動車とこれらと協動するガイドプー
リとは、駆動車ネットベルトの表面側に設けられ、ガイ
ドプーリがその裏面側に設けられる構成であってもよ
い。実施例のようにそれぞれの駆動車が裏面側に設けら
れる構成においては、ネットベルト両側端部のみでな
く、ネットベルトの幅方向に、両側端部の駆動車と同軸
にて複数の駆動車を設けるものであってもよい。この場
合、ネットベルトの幅方向の弛みを、両側端部の駆動車
の間に設けられるそれぞれの駆動車によって除去するこ
とができ、より安定に軽量の被照射物を搬送することが
できる。

さらに、傾斜部の途中においても、ネットベルトの両側
端部を案内車と駆動車とで挟むように構成すれば、テン
ションフリーとなる部分が増し、抵抗が低減されてより
円滑な搬送を可能とし、ネットベルト自体の伸びが小さ
くなって、メンテナンス頻度が低減できる。

そして上記実施例においては、エリアビーム形電子線照
射装置における例を示したが、電子線を走査して照射す
るスキャンビーム形電子線照射装置に使用してもよい。

（ト）考案の効果 この考案によれば、搬送路が上向きに湾曲されている部
分で発生する微振動を抑制することができるので、照射
室を大きくすることなく軽量の被照射物でも円滑に搬送
することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例構成図、第２図は実施例の要
部拡大斜視図、第３図はこの考案に関連のある電子線照
射装置の構成図である。 １……ネットコンベア、 ４……真空チャンバ、６……被照射物、 １０……搬送路、１１……ネットベルト、 １１ａ……傾斜部、１２……傾斜開始位置、 １３……案内車、１４……駆動車。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送路を搬送される被照射物に、その搬送
   途中で、かつ不活ガス雰囲気中にて電子線を照射する真
   空チャンバを具備する電子線照射装置において、 前記搬送路がネットベルトで構成され搬送方向に向って
   上向きに傾斜している傾斜部を少なくとも一ケ所有する
   ネットベルトコンベアであり、少なくともその傾斜部の
   傾斜開始位置にてネットベルトの両側端部をネットベル
   トの表裏方向から挟む案内車とネットベルトの駆動速度
   に同期して回転する駆動車とを具備したことを特徴とす
   る電子線照射装置。