JPH06218213A - 排気ガス処理用フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
排気ガス処理用フィルタ及びその製造方法Info
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- JPH06218213A JPH06218213A JP5029689A JP2968993A JPH06218213A JP H06218213 A JPH06218213 A JP H06218213A JP 5029689 A JP5029689 A JP 5029689A JP 2968993 A JP2968993 A JP 2968993A JP H06218213 A JPH06218213 A JP H06218213A
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- exhaust gas
- porous body
- gas treatment
- sialon
- filter
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Exhaust Gas After Treatment (AREA)
- Processes For Solid Components From Exhaust (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、排気ガス中の粒子状物質を効率的
に捕集して焼却させる高強度で耐久性に富んだ排気ガス
処理用フィルタ及びその製造方法を提供する。 【構成】 この排気ガス処理用フィルタの製造方法は、
TiN粉末とβサイアロン組成になる原料粉末とを混合
してスラリーを作製し、該スラリーをポリウレタンフォ
ームに含浸し、次いで、これを焼成してポリウレタンフ
ォームを焼失させ、TiNを含むサイアロンから成る多
孔体を作製する。その後、該多孔体の表面及び骨格表面
に1500℃の高温炉中でCVDによってSiC膜をコ
ーティングして排気ガス処理用フィルタを作製する。
に捕集して焼却させる高強度で耐久性に富んだ排気ガス
処理用フィルタ及びその製造方法を提供する。 【構成】 この排気ガス処理用フィルタの製造方法は、
TiN粉末とβサイアロン組成になる原料粉末とを混合
してスラリーを作製し、該スラリーをポリウレタンフォ
ームに含浸し、次いで、これを焼成してポリウレタンフ
ォームを焼失させ、TiNを含むサイアロンから成る多
孔体を作製する。その後、該多孔体の表面及び骨格表面
に1500℃の高温炉中でCVDによってSiC膜をコ
ーティングして排気ガス処理用フィルタを作製する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、エンジン、燃焼炉、
焼却炉等から排出される排気ガスを浄化処理するため、
排気系に組み込まれるケース内に配置される排気ガス処
理用フィルタ及びその製造方法に関する。
焼却炉等から排出される排気ガスを浄化処理するため、
排気系に組み込まれるケース内に配置される排気ガス処
理用フィルタ及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ディーゼルエンジンの排気ガスよ
りカーボン、煤、HC等のパティキュレート即ち粒子状
物質を捕集する排気ガス処理用フィルタの材料として
は、多孔質の壁を通過する時の捕集効果を狙ったウォー
ルタイプの排気ガス処理用フィルタ、また、3次元に網
目状になった多孔体を利用するも排気ガス処理用フィル
タ等が開示されている。
りカーボン、煤、HC等のパティキュレート即ち粒子状
物質を捕集する排気ガス処理用フィルタの材料として
は、多孔質の壁を通過する時の捕集効果を狙ったウォー
ルタイプの排気ガス処理用フィルタ、また、3次元に網
目状になった多孔体を利用するも排気ガス処理用フィル
タ等が開示されている。
【0003】従来、エンジンの排気ガスを処理する排気
ガス処理装置として、例えば、コーディエライト(2M
gO・2Al2 O3 ・5SiO2 )により作製された気
孔性のハニカム構造のフィルタを排気通路に並列に2組
配置したディーゼルエンジンの排気微粒子浄化装置が開
示されている。該ディーゼルエンジンの排気微粒子浄化
装置は、排気ガスを一方のハニカム構造のフィルタに通
し、該フィルタで排気ガス中のカーボンを濾過し、その
フィルタにカーボンが堆積して目詰まりした場合に、そ
のフィルタに排気ガスを流すのを遮断し、別のフィルタ
に排気ガスを流すように切り換え、目詰まりしたフィル
タの下流側から空気を送り込み、そのフィルタを加熱し
て目詰まりしているカーボンを焼却するものである。こ
のようなディーゼルエンジンの排気微粒子浄化装置とし
て、例えば、実開平1−144427号公報に開示され
たものがある。
ガス処理装置として、例えば、コーディエライト(2M
gO・2Al2 O3 ・5SiO2 )により作製された気
孔性のハニカム構造のフィルタを排気通路に並列に2組
配置したディーゼルエンジンの排気微粒子浄化装置が開
示されている。該ディーゼルエンジンの排気微粒子浄化
装置は、排気ガスを一方のハニカム構造のフィルタに通
し、該フィルタで排気ガス中のカーボンを濾過し、その
フィルタにカーボンが堆積して目詰まりした場合に、そ
のフィルタに排気ガスを流すのを遮断し、別のフィルタ
に排気ガスを流すように切り換え、目詰まりしたフィル
タの下流側から空気を送り込み、そのフィルタを加熱し
て目詰まりしているカーボンを焼却するものである。こ
のようなディーゼルエンジンの排気微粒子浄化装置とし
て、例えば、実開平1−144427号公報に開示され
たものがある。
【0004】また、実開平1−136617号公報に
は、パティキュレートフィルタが開示されている。該パ
ティキュレートフィルタは、導電性セラミックスからな
るヒータを兼ねる薄肉のポーラスエレメントを複数段に
配置し、該各ポーラスエレメントに電力を個別に供給可
能且つ電力を制御可能に構成したものである。
は、パティキュレートフィルタが開示されている。該パ
ティキュレートフィルタは、導電性セラミックスからな
るヒータを兼ねる薄肉のポーラスエレメントを複数段に
配置し、該各ポーラスエレメントに電力を個別に供給可
能且つ電力を制御可能に構成したものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ウ
ォールタイプの排気ガス処理用フィルタは、再生のため
捕集後に粒子状物質を燃焼焼却するので、場合によって
は、溶損、破損等が発生することがあり、実用上好まし
くない材料である。また、上記網目状多孔体の排気ガス
処理用フィルタはその気孔径を50μm以下にすること
が難しくその粒子捕集効率は80%以下であり、効率が
低く実用上好ましくないものである。また、捕集された
粒子状物質が振動等によって一挙に排出されてしまうと
いう現象も発生している。
ォールタイプの排気ガス処理用フィルタは、再生のため
捕集後に粒子状物質を燃焼焼却するので、場合によって
は、溶損、破損等が発生することがあり、実用上好まし
くない材料である。また、上記網目状多孔体の排気ガス
処理用フィルタはその気孔径を50μm以下にすること
が難しくその粒子捕集効率は80%以下であり、効率が
低く実用上好ましくないものである。また、捕集された
粒子状物質が振動等によって一挙に排出されてしまうと
いう現象も発生している。
【0006】これらの捕集装置を再生するには、大きく
分けて2つの方法が行われている。1つの方法は、バー
ナで堆積した黒鉛、カーボン、煤、HC等の粒子状物質
を燃焼焼却することである。別の方法は、電気式ヒータ
によって加熱し、堆積した粒子状物質に着火させるもの
であり、着火装置は何れも堆積した粒子状物質に着火さ
せることで、燃焼を伝播させ、再生させるものである。
従って、排気ガス処理用フィルタが時には高温になりす
ぎ、フィルタの溶損、破損等が発生することがある。ま
た、燃焼の伝播が不均一になり、フィルタの目詰まりの
原因になり、徐々に圧力損失が大きくなり、エンジンの
排圧が上昇し、性能劣化を起こすことがある。通常、デ
ィーゼルエンジンから排気される排気ガスに含まれてい
るカーボン、HC等のパティキュレート或いはスモーク
は、直径が200Å程度と言われているが、それらは次
第に凝集して10μm〜20μmの直径を持つ煤に成長
する。これらの煤は、通常、600℃〜700℃の温度
で酸素が存在すれば燃焼して炭酸ガスになる。
分けて2つの方法が行われている。1つの方法は、バー
ナで堆積した黒鉛、カーボン、煤、HC等の粒子状物質
を燃焼焼却することである。別の方法は、電気式ヒータ
によって加熱し、堆積した粒子状物質に着火させるもの
であり、着火装置は何れも堆積した粒子状物質に着火さ
せることで、燃焼を伝播させ、再生させるものである。
従って、排気ガス処理用フィルタが時には高温になりす
ぎ、フィルタの溶損、破損等が発生することがある。ま
た、燃焼の伝播が不均一になり、フィルタの目詰まりの
原因になり、徐々に圧力損失が大きくなり、エンジンの
排圧が上昇し、性能劣化を起こすことがある。通常、デ
ィーゼルエンジンから排気される排気ガスに含まれてい
るカーボン、HC等のパティキュレート或いはスモーク
は、直径が200Å程度と言われているが、それらは次
第に凝集して10μm〜20μmの直径を持つ煤に成長
する。これらの煤は、通常、600℃〜700℃の温度
で酸素が存在すれば燃焼して炭酸ガスになる。
【0007】前掲実開平1−136617号公報に開示
されたパティキュレートフィルタは、炭化ケイ素の多孔
体であり、脆いものであり、使用中に酸化等が進み、そ
の多孔体の耐久性が十分でなく、実用上好ましくないと
いう問題を有している。
されたパティキュレートフィルタは、炭化ケイ素の多孔
体であり、脆いものであり、使用中に酸化等が進み、そ
の多孔体の耐久性が十分でなく、実用上好ましくないと
いう問題を有している。
【0008】そこで、この発明の目的は、上記の課題を
解決することであり、エンジン、燃焼炉、焼却炉等から
排出される排気ガスを浄化処理するため排気系に組み込
まれるケーシング内に配置されて使用され、特に、ディ
ーゼルエンジンから排気される排気ガスに含まれるカー
ボン、煤、HC等の粒子状物質を捕集する排気ガス処理
用フィルタに係わり、多孔体を高強度に構成するため、
TiNを添加したサイアロンで作製し、この多孔体の表
面をCVDで合成した炭化ケイ素で被覆し、高温酸化雰
囲気で安定した通電加熱ができる耐久性に富んだ排気ガ
ス処理用フィルタ及びその製造方法を提供することであ
る。
解決することであり、エンジン、燃焼炉、焼却炉等から
排出される排気ガスを浄化処理するため排気系に組み込
まれるケーシング内に配置されて使用され、特に、ディ
ーゼルエンジンから排気される排気ガスに含まれるカー
ボン、煤、HC等の粒子状物質を捕集する排気ガス処理
用フィルタに係わり、多孔体を高強度に構成するため、
TiNを添加したサイアロンで作製し、この多孔体の表
面をCVDで合成した炭化ケイ素で被覆し、高温酸化雰
囲気で安定した通電加熱ができる耐久性に富んだ排気ガ
ス処理用フィルタ及びその製造方法を提供することであ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、排気通路に設置されるケーシング内に収容
されて排気ガス中に含まれる粒子状物質を捕集する排気
ガス処理用フィルタにおいて、TiNを含むサイアロン
から作製されている多孔体、及び該多孔体の表面及び骨
格表面にコーティングされているSiC膜から構成した
ことを特徴とする排気ガス処理用フィルタに関する。
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、排気通路に設置されるケーシング内に収容
されて排気ガス中に含まれる粒子状物質を捕集する排気
ガス処理用フィルタにおいて、TiNを含むサイアロン
から作製されている多孔体、及び該多孔体の表面及び骨
格表面にコーティングされているSiC膜から構成した
ことを特徴とする排気ガス処理用フィルタに関する。
【0010】或いは、この発明は、排気通路に設置され
るケーシング内に収容されて排気ガス中に含まれる粒子
状物質を捕集する排気ガス処理用フィルタの製造方法に
おいて、TiN粉末とβサイアロン組成になる原料粉末
とを混合して混合物を作製し、該混合物を焼成してTi
Nを含むサイアロンから成る多孔体を作製し、該多孔体
の表面及び骨格表面にCVDによってSiC膜をコーテ
ィングしたことを特徴とする排気ガス処理用フィルタの
製造方法に関する。
るケーシング内に収容されて排気ガス中に含まれる粒子
状物質を捕集する排気ガス処理用フィルタの製造方法に
おいて、TiN粉末とβサイアロン組成になる原料粉末
とを混合して混合物を作製し、該混合物を焼成してTi
Nを含むサイアロンから成る多孔体を作製し、該多孔体
の表面及び骨格表面にCVDによってSiC膜をコーテ
ィングしたことを特徴とする排気ガス処理用フィルタの
製造方法に関する。
【0011】また、この排気ガス処理用フィルタの製造
方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiN粉末とβサイアロン組
成になる原料粉末とを混合してスラリーを作り、該スラ
リーをポリウレタンフォームに含浸し、これを乾燥固化
して焼成して多孔体を作製したものである。
方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiN粉末とβサイアロン組
成になる原料粉末とを混合してスラリーを作り、該スラ
リーをポリウレタンフォームに含浸し、これを乾燥固化
して焼成して多孔体を作製したものである。
【0012】また、この排気ガス処理用フィルタの製造
方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiN粉末とβサイアロン組
成になる原料粉末とを混合してスラリーを作り、該スラ
リーに樹脂粒子を添加して混合し、これを乾燥固化して
焼成して多孔体を作製したものである。
方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiN粉末とβサイアロン組
成になる原料粉末とを混合してスラリーを作り、該スラ
リーに樹脂粒子を添加して混合し、これを乾燥固化して
焼成して多孔体を作製したものである。
【0013】また、この排気ガス処理用フィルタの製造
方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiNとβサイアロン組成に
なる原料とを粗い粒子で構成して原料粒子を作り、これ
らの原料粒子を配合混合して混合物を作り、該混合物を
焼成温度をコントロールして気孔をコントロールして多
孔体を作製したものである。
方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiNとβサイアロン組成に
なる原料とを粗い粒子で構成して原料粒子を作り、これ
らの原料粒子を配合混合して混合物を作り、該混合物を
焼成温度をコントロールして気孔をコントロールして多
孔体を作製したものである。
【0014】更に、この排気ガス処理用フィルタの製造
方法において、前記βサイアロン組成になる原料粉末
は、Si3 N4 、AlN、Al2 O3 及びY2 O3 の混
合物から成り、Si6 - Z AlZ OZ N8 - Z の組成に
おいて、Z=0.5となるように配合されているもので
ある。
方法において、前記βサイアロン組成になる原料粉末
は、Si3 N4 、AlN、Al2 O3 及びY2 O3 の混
合物から成り、Si6 - Z AlZ OZ N8 - Z の組成に
おいて、Z=0.5となるように配合されているもので
ある。
【0015】更に、この排気ガス処理用フィルタの製造
方法において、前記多孔体の表面及び骨格表面にSiC
膜をCVDによってコーティングする工程は、クロロシ
ランとN2 とを用いて高温炉中でCVDを行ったもので
ある。クロロシランは(CH3 )X SiCl4 - x であ
り、ここでX=1〜3である。
方法において、前記多孔体の表面及び骨格表面にSiC
膜をCVDによってコーティングする工程は、クロロシ
ランとN2 とを用いて高温炉中でCVDを行ったもので
ある。クロロシランは(CH3 )X SiCl4 - x であ
り、ここでX=1〜3である。
【0016】
【作用】この発明による排気ガス処理用フィルタ及びそ
の製造方法は、上記のように構成されており、次のよう
に作用する。即ち、この発明は、TiNを含むサイアロ
ンから作製されている多孔体の表面及び骨格表面にCV
DによってSiCの被膜がコーティングされているの
で、多孔体の表面及び骨格表面即ち気孔を形成する骨格
の表面にはSiC膜が存在し、高温酸化雰囲気でも劣化
が発生せず、高強度であり且つ安定した排気ガス処理用
フィルタの材料を作製できる。そして、この排気ガス処
理用フィルタは、通電加熱ができ、耐久性に富んだフィ
ルタを作製できる。
の製造方法は、上記のように構成されており、次のよう
に作用する。即ち、この発明は、TiNを含むサイアロ
ンから作製されている多孔体の表面及び骨格表面にCV
DによってSiCの被膜がコーティングされているの
で、多孔体の表面及び骨格表面即ち気孔を形成する骨格
の表面にはSiC膜が存在し、高温酸化雰囲気でも劣化
が発生せず、高強度であり且つ安定した排気ガス処理用
フィルタの材料を作製できる。そして、この排気ガス処
理用フィルタは、通電加熱ができ、耐久性に富んだフィ
ルタを作製できる。
【0017】従って、この排気ガス処理用フィルタに、
例えば、ディーゼルエンジンから排気される排気ガスを
流すことによって排気ガスに含まれるカーボン、煤、H
C等のパティキュレート即ち粒子状物質を捕集でき、捕
集した粒子状物質を燃焼焼却させることができ、フィル
タ内には粒子状物質が過剰に堆積することがなく、フィ
ルタが常に良好な状態で排気ガスを焼却処理することが
でき、フィルタを長期にわたって連続して使用すること
ができる。
例えば、ディーゼルエンジンから排気される排気ガスを
流すことによって排気ガスに含まれるカーボン、煤、H
C等のパティキュレート即ち粒子状物質を捕集でき、捕
集した粒子状物質を燃焼焼却させることができ、フィル
タ内には粒子状物質が過剰に堆積することがなく、フィ
ルタが常に良好な状態で排気ガスを焼却処理することが
でき、フィルタを長期にわたって連続して使用すること
ができる。
【0018】即ち、前記フィルタを構成する前記多孔体
については、表面及び骨格表面に全面的に炭化ケイ素の
膜が形成されており、排気ガス中に含まれるカーボン、
煤、HC等の粒子状物質がその多孔体に入って衝突する
際にいたるところに衝突して多孔体内に堆積するが、前
記多孔体は通電して加熱されて赤熱されているので、そ
の赤熱されたフィルタによって粒子状物質は、酸素と反
応してカーボンは炭酸ガスになり、HCは炭酸ガスと蒸
気になり、或いはSはSO2 に変換してガスになって排
出される。
については、表面及び骨格表面に全面的に炭化ケイ素の
膜が形成されており、排気ガス中に含まれるカーボン、
煤、HC等の粒子状物質がその多孔体に入って衝突する
際にいたるところに衝突して多孔体内に堆積するが、前
記多孔体は通電して加熱されて赤熱されているので、そ
の赤熱されたフィルタによって粒子状物質は、酸素と反
応してカーボンは炭酸ガスになり、HCは炭酸ガスと蒸
気になり、或いはSはSO2 に変換してガスになって排
出される。
【0019】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明による排気
ガス処理用フィルタ及びその製造方法の実施例を説明す
る。図1はこの発明による排気ガス処理用フィルタを製
造する工程を示すブロック図である。
ガス処理用フィルタ及びその製造方法の実施例を説明す
る。図1はこの発明による排気ガス処理用フィルタを製
造する工程を示すブロック図である。
【0020】この発明による排気ガス処理用フィルタ
は、例えば、ディーゼルエンジンの排気通路に組み込ま
れるDPF(ディーゼル・パティキュレート・フィル
タ)として適用できる多孔質セラミックスであり、特
に、ディーゼルエンジンから放出される排気ガスを排気
通路内に配置したフィルタに通して排気ガスに含まれる
カーボン、煤、HC等のパティキュレート即ち粒子状物
質を多孔質セラミックスのフィルタで捕集し、捕集され
た粒子状物質を赤熱したフィルタ内で焼却してガスにし
て放出する排気ガスを浄化するのに使用されるものであ
る。
は、例えば、ディーゼルエンジンの排気通路に組み込ま
れるDPF(ディーゼル・パティキュレート・フィル
タ)として適用できる多孔質セラミックスであり、特
に、ディーゼルエンジンから放出される排気ガスを排気
通路内に配置したフィルタに通して排気ガスに含まれる
カーボン、煤、HC等のパティキュレート即ち粒子状物
質を多孔質セラミックスのフィルタで捕集し、捕集され
た粒子状物質を赤熱したフィルタ内で焼却してガスにし
て放出する排気ガスを浄化するのに使用されるものであ
る。
【0021】この排気ガス処理用フィルタは、排気通路
に設置されるケーシング内に収容されて排気ガス中に含
まれる粒子状物質を捕集し、捕集した粒子状物質を焼却
させることができるものあり、窒化チタンTiNを含む
サイアロンSi−Al−O−Nから作製されている多孔
体、及び該多孔体の表面及び骨格表面即ち気孔を構成す
る骨格の表面にコーティングされている炭化ケイ素Si
Cの被膜から構成されているものである。
に設置されるケーシング内に収容されて排気ガス中に含
まれる粒子状物質を捕集し、捕集した粒子状物質を焼却
させることができるものあり、窒化チタンTiNを含む
サイアロンSi−Al−O−Nから作製されている多孔
体、及び該多孔体の表面及び骨格表面即ち気孔を構成す
る骨格の表面にコーティングされている炭化ケイ素Si
Cの被膜から構成されているものである。
【0022】この排気ガス処理用フィルタを製造するに
は、次のようにして作製できる。即ち、まず、平均粒度
0.8μmのTiN粉末を42wt%と、βサイアロン
組成になるように配合した原料粉末を58wt%とを準
備し(ステップ10)、メタノール溶媒を加えてボール
ミルによって16時間混合してスラリーを作製した(ス
テップ11)。ここで、βサイアロンを作製するための
原料としては、窒化ケイ素Si3 N4 、窒化アルミニウ
ムAlN、酸化アルミニウムAl2 O3 及び酸化イッリ
ウムY2 O3 とを混合した混合物を用いた。ここで、S
i3 N4 の粒度は0.6μmであり、該Si3 N4 のα
化率は95%である。また、AlNの粒度は1μm、A
l2 O3 の粒度は0.5μm、及びY2 O3 の粒度は
0.5μmである。更に、上記混合物については、βサ
イアロン組成として、Si6 - Z AlZ OZ N8 - Z の
組成でZ=0.5となるように配合されており、Y2 O
3 を6wt%とした。
は、次のようにして作製できる。即ち、まず、平均粒度
0.8μmのTiN粉末を42wt%と、βサイアロン
組成になるように配合した原料粉末を58wt%とを準
備し(ステップ10)、メタノール溶媒を加えてボール
ミルによって16時間混合してスラリーを作製した(ス
テップ11)。ここで、βサイアロンを作製するための
原料としては、窒化ケイ素Si3 N4 、窒化アルミニウ
ムAlN、酸化アルミニウムAl2 O3 及び酸化イッリ
ウムY2 O3 とを混合した混合物を用いた。ここで、S
i3 N4 の粒度は0.6μmであり、該Si3 N4 のα
化率は95%である。また、AlNの粒度は1μm、A
l2 O3 の粒度は0.5μm、及びY2 O3 の粒度は
0.5μmである。更に、上記混合物については、βサ
イアロン組成として、Si6 - Z AlZ OZ N8 - Z の
組成でZ=0.5となるように配合されており、Y2 O
3 を6wt%とした。
【0023】次いで、上記混合物のスラリーを、孔径が
100μmのポリウレタンフォームに含浸した(ステッ
プ12)。スラリーを含浸したポリウレタンフォームを
乾燥した後(ステップ13)、9気圧の窒素雰囲気中で
1750℃で4時間焼成した(ステップ14)。ポリウ
レタンフォームは焼却されて焼失され、TiNを含むサ
イアロンから成る多孔体が作製された。次いで、上記の
ように作製した多孔体の表面にCVDによってSiC膜
をコーティングするため、多孔体にクロロシラン〔(C
H3 )X SiCl4 - x 、ここで、X=1〜3である〕
とN2 とを用いて、1500℃のCVD炉中にて、多孔
体の表面及び骨格表面に炭化ケイ素SiCの被膜を10
μmコーティングし(ステップ15)、この発明による
排気ガス処理用フィルタを作製した。
100μmのポリウレタンフォームに含浸した(ステッ
プ12)。スラリーを含浸したポリウレタンフォームを
乾燥した後(ステップ13)、9気圧の窒素雰囲気中で
1750℃で4時間焼成した(ステップ14)。ポリウ
レタンフォームは焼却されて焼失され、TiNを含むサ
イアロンから成る多孔体が作製された。次いで、上記の
ように作製した多孔体の表面にCVDによってSiC膜
をコーティングするため、多孔体にクロロシラン〔(C
H3 )X SiCl4 - x 、ここで、X=1〜3である〕
とN2 とを用いて、1500℃のCVD炉中にて、多孔
体の表面及び骨格表面に炭化ケイ素SiCの被膜を10
μmコーティングし(ステップ15)、この発明による
排気ガス処理用フィルタを作製した。
【0024】一方、この排気ガス処理用フィルタの特性
を従来のフィルタと比較するため、比較試料として、多
孔体の骨格即ち表面にSiCの被膜をコーティングして
いない比較試料を作製した。この排気ガス処理用フィル
タと比較試料とを、1100℃の酸化雰囲気中で、15
0時間暴露即ち晒した後、両者の強度を測定したとこ
ろ、次のような結果を得た。即ち、この排気ガス処理用
フィルタであるTiNを含むサイアロンからなる多孔体
の骨格にSiCの被膜がコーティングされているフィル
タは、初期強度の曲げ強度が30MPaであり、110
0℃の酸化雰囲気中で150時間晒した後の曲げ強度が
30MPaであった。これに対して、比較試料であるT
iNを含むサイアロンからなる多孔体は、初期強度の曲
げ強度が25MPaであり、1100℃の酸化雰囲気中
で150時間晒した後の曲げ強度が10MPaであっ
た。上記の試験から分かるように、SiC膜がコーティ
ングされたTiNを含むサイアロンからなる多孔体は、
酸化雰囲気で強度が劣化せず、例えば、ディーゼルエン
ジンの排気ガス処理に使用するディーゼルパティキュレ
ートフィルタDPFには優れている材料であることが分
かる。
を従来のフィルタと比較するため、比較試料として、多
孔体の骨格即ち表面にSiCの被膜をコーティングして
いない比較試料を作製した。この排気ガス処理用フィル
タと比較試料とを、1100℃の酸化雰囲気中で、15
0時間暴露即ち晒した後、両者の強度を測定したとこ
ろ、次のような結果を得た。即ち、この排気ガス処理用
フィルタであるTiNを含むサイアロンからなる多孔体
の骨格にSiCの被膜がコーティングされているフィル
タは、初期強度の曲げ強度が30MPaであり、110
0℃の酸化雰囲気中で150時間晒した後の曲げ強度が
30MPaであった。これに対して、比較試料であるT
iNを含むサイアロンからなる多孔体は、初期強度の曲
げ強度が25MPaであり、1100℃の酸化雰囲気中
で150時間晒した後の曲げ強度が10MPaであっ
た。上記の試験から分かるように、SiC膜がコーティ
ングされたTiNを含むサイアロンからなる多孔体は、
酸化雰囲気で強度が劣化せず、例えば、ディーゼルエン
ジンの排気ガス処理に使用するディーゼルパティキュレ
ートフィルタDPFには優れている材料であることが分
かる。
【0025】また、この発明による排気ガス処理用フィ
ルタ(即ち、SiC膜がコーティングされたTiNを含
むサイアロンからなる多孔体)と、コーティングをして
いない多孔体(即ち、比較試料)とを、酸化雰囲気中に
暴露した即ち晒した後に、電子顕微鏡で組織を観察した
結果、比較試料のものはTiNの酸化が進んでいること
が判明した。このことより、比較試料のものは電気伝導
性も変化しており、この材料を通電加熱して用いる場合
にも好ましくないことが判明した。更に、この排気ガス
処理用フィルタを構成するTiNを含むサイアロンとS
iCのCVD膜との熱膨張係数は、両者共、5×10
- 6 /Kであり、TiNを含むサイアロンから成る多孔
体とSiC膜との界面での剥離が発生しないことが判明
した。しかも、多孔体にCVDによってコーティングし
たSiC膜には、焼結助剤が含まれていないため、耐蝕
性にも優れていることが明らかである。
ルタ(即ち、SiC膜がコーティングされたTiNを含
むサイアロンからなる多孔体)と、コーティングをして
いない多孔体(即ち、比較試料)とを、酸化雰囲気中に
暴露した即ち晒した後に、電子顕微鏡で組織を観察した
結果、比較試料のものはTiNの酸化が進んでいること
が判明した。このことより、比較試料のものは電気伝導
性も変化しており、この材料を通電加熱して用いる場合
にも好ましくないことが判明した。更に、この排気ガス
処理用フィルタを構成するTiNを含むサイアロンとS
iCのCVD膜との熱膨張係数は、両者共、5×10
- 6 /Kであり、TiNを含むサイアロンから成る多孔
体とSiC膜との界面での剥離が発生しないことが判明
した。しかも、多孔体にCVDによってコーティングし
たSiC膜には、焼結助剤が含まれていないため、耐蝕
性にも優れていることが明らかである。
【0026】この排気ガス処理用フィルタの製造方法
は、上記実施例では、TiNを含むサイアロンから成る
多孔体をポリウレタンフォームを用いて作製したが、ポ
リウレタンフォームを用いることなく、例えば、樹脂粒
子を添加する等で作製することができる。即ち、この排
気ガス処理用フィルタの製造方法において、TiNを含
むサイアロンから成る多孔体を作製する工程では、Ti
N粉末とβサイアロン組成になる原料粉末とを混合して
スラリーを作製し、該スラリーに樹脂粒子を添加混合
し、これを乾燥焼成し、含有する樹脂粒子を焼却して焼
失させ、多孔体を作製することができる。
は、上記実施例では、TiNを含むサイアロンから成る
多孔体をポリウレタンフォームを用いて作製したが、ポ
リウレタンフォームを用いることなく、例えば、樹脂粒
子を添加する等で作製することができる。即ち、この排
気ガス処理用フィルタの製造方法において、TiNを含
むサイアロンから成る多孔体を作製する工程では、Ti
N粉末とβサイアロン組成になる原料粉末とを混合して
スラリーを作製し、該スラリーに樹脂粒子を添加混合
し、これを乾燥焼成し、含有する樹脂粒子を焼却して焼
失させ、多孔体を作製することができる。
【0027】或いは、この排気ガス処理用フィルタの製
造方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔
体を作製する工程では、TiNとβサイアロン組成にな
る原料とを粗い粒子で構成し、これらの原料粒子を混合
し、焼成温度をコントロールして気孔率をコントロール
して所望の気孔率を有する多孔体を作製することができ
る。
造方法において、TiNを含むサイアロンから成る多孔
体を作製する工程では、TiNとβサイアロン組成にな
る原料とを粗い粒子で構成し、これらの原料粒子を混合
し、焼成温度をコントロールして気孔率をコントロール
して所望の気孔率を有する多孔体を作製することができ
る。
【0028】
【発明の効果】この発明による排気ガス処理用フィルタ
及びその製造方法は、上記のように構成されており、次
のような効果を有する。即ち、この発明は、TiNを含
むサイアロンから作製した多孔体の表面及び骨格表面に
CVDによってSiCの被膜をコーティングしたので、
前記多孔体自体はSiC膜をコーティングすることによ
って高温酸化雰囲気でも劣化することがなく、高強度を
維持でき安定している。また、この排気ガス処理用フィ
ルタは、通電加熱ができる耐久性に富んだ材料となり、
例えば、ディーゼルエンジンから排気される排気ガスを
浄化するDPFのフィルタとして極めて有効な材料とな
る。即ち、ディーゼルエンジンの排気ガス処理用フィル
タに適用して通電加熱すれば、カーボン、煤、HC等の
パティキュレート即ち粒子状物質を燃焼焼却させること
ができ、フィルタ内にはパティキュレートが過剰に堆積
することがなく、フィルタが常に良好な状態で排気ガス
を焼却処理することができ、フィルタを長期にわたって
連続して使用することができる。
及びその製造方法は、上記のように構成されており、次
のような効果を有する。即ち、この発明は、TiNを含
むサイアロンから作製した多孔体の表面及び骨格表面に
CVDによってSiCの被膜をコーティングしたので、
前記多孔体自体はSiC膜をコーティングすることによ
って高温酸化雰囲気でも劣化することがなく、高強度を
維持でき安定している。また、この排気ガス処理用フィ
ルタは、通電加熱ができる耐久性に富んだ材料となり、
例えば、ディーゼルエンジンから排気される排気ガスを
浄化するDPFのフィルタとして極めて有効な材料とな
る。即ち、ディーゼルエンジンの排気ガス処理用フィル
タに適用して通電加熱すれば、カーボン、煤、HC等の
パティキュレート即ち粒子状物質を燃焼焼却させること
ができ、フィルタ内にはパティキュレートが過剰に堆積
することがなく、フィルタが常に良好な状態で排気ガス
を焼却処理することができ、フィルタを長期にわたって
連続して使用することができる。
【0029】即ち、前記フィルタを構成する前記多孔体
については、表面に炭化ケイ素の膜が形成されており、
排気ガス中に含まれるカーボン、煤、HC等の粒子状物
質がその多孔体に入って衝突する際に、いたるところに
衝突して多孔体内に堆積するが、前記多孔体は通電して
加熱されるので、その熱によって粒子状物質は、酸素と
反応してカーボンは炭酸ガスになり、HCは炭酸ガスと
蒸気になり、或いはSはSO2 に変換してガスになって
排出される。従って、前記フィルタ内には粒子状物質が
過剰に堆積することがなく、前記フィルタは常に良好な
状態で排気ガスを通過させることができ、前記フィルタ
を安定して連続して使用することができ、前記フィルタ
の耐久性を向上できる。
については、表面に炭化ケイ素の膜が形成されており、
排気ガス中に含まれるカーボン、煤、HC等の粒子状物
質がその多孔体に入って衝突する際に、いたるところに
衝突して多孔体内に堆積するが、前記多孔体は通電して
加熱されるので、その熱によって粒子状物質は、酸素と
反応してカーボンは炭酸ガスになり、HCは炭酸ガスと
蒸気になり、或いはSはSO2 に変換してガスになって
排出される。従って、前記フィルタ内には粒子状物質が
過剰に堆積することがなく、前記フィルタは常に良好な
状態で排気ガスを通過させることができ、前記フィルタ
を安定して連続して使用することができ、前記フィルタ
の耐久性を向上できる。
【図1】この発明による排気ガス処理用フィルタを製造
する工程を示すブロック図である。
する工程を示すブロック図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C04B 38/06 ZAB E 41/87 ZAB G R F01N 3/02 ZAB 301 D
Claims (7)
- 【請求項1】 排気通路に設置されるケーシング内に収
容されて排気ガス中に含まれる粒子状物質を捕集する排
気ガス処理用フィルタにおいて、TiNを含むサイアロ
ンから作製されている多孔体、及び該多孔体の表面及び
骨格表面にコーティングされているSiC膜から構成し
たことを特徴とする排気ガス処理用フィルタ。 - 【請求項2】 排気通路に設置されるケーシング内に収
容されて排気ガス中に含まれる粒子状物質を捕集する排
気ガス処理用フィルタの製造方法において、TiN粉末
とβサイアロン組成になる原料粉末とを混合して混合物
を作製し、該混合物を焼成してTiNを含むサイアロン
から成る多孔体を作製し、該多孔体の表面及び骨格表面
にCVDによってSiC膜をコーティングしたことを特
徴とする排気ガス処理用フィルタの製造方法。 - 【請求項3】 TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiN粉末とβサイアロン組
成になる原料粉末とを混合してスラリーを作り、該スラ
リーをポリウレタンフォームに含浸し、これを乾燥固化
して焼成して多孔体を作製することを特徴とする請求項
2に記載の排気ガス処理用フィルタの製造方法。 - 【請求項4】 TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiN粉末とβサイアロン組
成になる原料粉末とを混合してスラリーを作り、該スラ
リーに樹脂粒子を添加して混合し、これを乾燥固化して
焼成して多孔体を作製することを特徴とする請求項2に
記載の排気ガス処理用フィルタの製造方法。 - 【請求項5】 TiNを含むサイアロンから成る多孔体
を作製する工程において、TiNとβサイアロン組成に
なる原料とを粗い粒子で構成して原料粒子を作り、これ
らの原料粒子を配合混合して混合物を作り、該混合物を
焼成温度をコントロールして気孔をコントロールして多
孔体を作製することを特徴とする請求項2に記載の排気
ガス処理用フィルタの製造方法。 - 【請求項6】 前記βサイアロン組成になる原料粉末
は、Si3 N4 、AlN、Al2 O3 及びY2 O3 の混
合物から成り、Si6 - Z AlZ OZ N8 - Zの組成に
おいて、Z=0.5となるように配合されていることを
特徴とする請求項2、3、4又は5に記載の排気ガス処
理用フィルタの製造方法。 - 【請求項7】 前記多孔体の表面及び骨格表面にSiC
膜をCVDによってコーティングする工程は、クロロシ
ランとN2 とを用いて高温炉中でCVDを行ったことを
特徴とする請求項2、3、4、5又は6に記載の排気ガ
ス処理用フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5029689A JPH06218213A (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | 排気ガス処理用フィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5029689A JPH06218213A (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | 排気ガス処理用フィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06218213A true JPH06218213A (ja) | 1994-08-09 |
Family
ID=12283081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5029689A Pending JPH06218213A (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | 排気ガス処理用フィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06218213A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1382590A3 (en) * | 2002-07-19 | 2004-06-30 | Erbicol SA | Open cell foam ceramic material |
| KR100734924B1 (ko) * | 2007-04-14 | 2007-07-03 | 신원식 | 슬러지 탄화물을 담지한 악취 및 휘발성유기화합물 처리용다공성 폴리우레탄 폼 담체의 제조방법 및 그에 의해제조된 다공성 폴리우레탄 폼 담체 |
-
1993
- 1993-01-27 JP JP5029689A patent/JPH06218213A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1382590A3 (en) * | 2002-07-19 | 2004-06-30 | Erbicol SA | Open cell foam ceramic material |
| KR100734924B1 (ko) * | 2007-04-14 | 2007-07-03 | 신원식 | 슬러지 탄화물을 담지한 악취 및 휘발성유기화합물 처리용다공성 폴리우레탄 폼 담체의 제조방법 및 그에 의해제조된 다공성 폴리우레탄 폼 담체 |
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