JPH06218725A - 内周刃ブレードの平坦化制御方法 - Google Patents
内周刃ブレードの平坦化制御方法Info
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- JPH06218725A JPH06218725A JP2757293A JP2757293A JPH06218725A JP H06218725 A JPH06218725 A JP H06218725A JP 2757293 A JP2757293 A JP 2757293A JP 2757293 A JP2757293 A JP 2757293A JP H06218725 A JPH06218725 A JP H06218725A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
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- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D47/00—Sawing machines or sawing devices working with circular saw blades, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D47/005—Vibration-damping
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体インゴットなどの硬脆材料の切断に使
用される内周刃ブレードの平坦化を図る制御方法で、被
切断物内部位置のブレード変位を減少させることが可能
な内周刃ブレードの平坦化制御方法の提供。 【構成】 ベルヌーイ型変位手段のエアーノズル４と変
位センサー３を内周刃ブレード１が被切断部材と接触す
る刃先部分、刃先内周部全周及びブレードコア部全面の
３点以上の多数点に配置し、硬脆材料の切断中、内周刃
ブレード１に発生した変位を変位センサー３が検出し、
エアーノズル４によってその変位を抑制し、内周刃ブレ
ードの一部または全面を基準位置にすることにより、被
切断物内部位置のブレード変位を減少させる。
用される内周刃ブレードの平坦化を図る制御方法で、被
切断物内部位置のブレード変位を減少させることが可能
な内周刃ブレードの平坦化制御方法の提供。 【構成】 ベルヌーイ型変位手段のエアーノズル４と変
位センサー３を内周刃ブレード１が被切断部材と接触す
る刃先部分、刃先内周部全周及びブレードコア部全面の
３点以上の多数点に配置し、硬脆材料の切断中、内周刃
ブレード１に発生した変位を変位センサー３が検出し、
エアーノズル４によってその変位を抑制し、内周刃ブレ
ードの一部または全面を基準位置にすることにより、被
切断物内部位置のブレード変位を減少させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体インゴットな
どの硬脆材料の切断に使用される内周刃ブレードの平坦
化を図る制御方法に係り、変位センサーを３点以上の多
数点に配置し、その近傍に配置したベルヌーイ型変位手
段等の変位手段にて３点以上の多数点の変位量を基準位
置に制御することにより、被切断物内部位置のブレード
変位を減少させる内周刃ブレードの平坦化制御方法に関
する。
どの硬脆材料の切断に使用される内周刃ブレードの平坦
化を図る制御方法に係り、変位センサーを３点以上の多
数点に配置し、その近傍に配置したベルヌーイ型変位手
段等の変位手段にて３点以上の多数点の変位量を基準位
置に制御することにより、被切断物内部位置のブレード
変位を減少させる内周刃ブレードの平坦化制御方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】硬脆材料である半導体インゴットを内周
刃ブレードで切断する際に、切断中の内周刃ブレードの
動きにより、切断された半導体ウェーハに反りが生じて
しまう。その反りを小さくするために切断中の内周刃ブ
レードの刃先の動きを変位センサーにて検出し、その変
位を流体噴出ノズルにて抑制している。これによりブレ
ード刃先の変位を小さくでき、ウェーハの反りを低減し
ている。
刃ブレードで切断する際に、切断中の内周刃ブレードの
動きにより、切断された半導体ウェーハに反りが生じて
しまう。その反りを小さくするために切断中の内周刃ブ
レードの刃先の動きを変位センサーにて検出し、その変
位を流体噴出ノズルにて抑制している。これによりブレ
ード刃先の変位を小さくでき、ウェーハの反りを低減し
ている。
【０００３】例えば、内周刃ブレードに一定圧力の液体
を噴射する方法（特開昭４８−１０１０８２号公報）が
あり、また、内周刃ブレードと切断している材料との間
に空気を噴射してその圧力を調整してブレード刃先の変
位を小さくしウェーハの反りを低減する方法（特開昭６
０−２３１０号公報）が提案されている。
を噴射する方法（特開昭４８−１０１０８２号公報）が
あり、また、内周刃ブレードと切断している材料との間
に空気を噴射してその圧力を調整してブレード刃先の変
位を小さくしウェーハの反りを低減する方法（特開昭６
０−２３１０号公報）が提案されている。
【０００４】さらに、内周刃ブレード片面または両面に
ベルヌーイ型ノズルを近接配置して、噴射気体圧力を調
整して作用させる負圧力を調節して、ブレードをノズル
側に吸引させ、ブレード刃先の変位を小さくしウェーハ
の反りを低減する方法（特開昭６３−３０６００５号、
特開昭６３−３１２８１２号、特開平１−１１０１０５
号公報）が提案されている。
ベルヌーイ型ノズルを近接配置して、噴射気体圧力を調
整して作用させる負圧力を調節して、ブレードをノズル
側に吸引させ、ブレード刃先の変位を小さくしウェーハ
の反りを低減する方法（特開昭６３−３０６００５号、
特開昭６３−３１２８１２号、特開平１−１１０１０５
号公報）が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術によ
るウェーハの反りは、無制御で切断されたウェーハの反
りよりも減少しているが、従来は２点のみのブレード変
位を検出して制御しているので、特に被切断物内部のブ
レード変位まで抑制することができず、ウェーハの反り
をさらに小さくすることは従来技術では限界がある。
るウェーハの反りは、無制御で切断されたウェーハの反
りよりも減少しているが、従来は２点のみのブレード変
位を検出して制御しているので、特に被切断物内部のブ
レード変位まで抑制することができず、ウェーハの反り
をさらに小さくすることは従来技術では限界がある。
【０００６】この発明は、上述した問題点を解消し、特
に被切断物内部位置のブレード変位を減少させることが
可能な内周刃ブレードの平坦化制御方法を提供する。
に被切断物内部位置のブレード変位を減少させることが
可能な内周刃ブレードの平坦化制御方法を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】発明者らは、被切断物内
部位置のブレード変位を減少させることが可能な制御方
法を目的に、ブレード変位の検出位置とブレード変位の
強制方法について種々検討した結果、ベルヌーイ型変位
手段または押圧型変位手段と変位センサーを特定の多数
点に配置し、各ブレード変位の検出位置の変位を基準位
置に制御して被切断物内部位置のブレード変位を減少さ
せる予測制御手段を用いて、内周刃ブレードの一部ある
いは全面を平坦化することにより、被切断物内部位置の
ブレード変位を減少させることが可能であることを知見
し、この発明を完成した。
部位置のブレード変位を減少させることが可能な制御方
法を目的に、ブレード変位の検出位置とブレード変位の
強制方法について種々検討した結果、ベルヌーイ型変位
手段または押圧型変位手段と変位センサーを特定の多数
点に配置し、各ブレード変位の検出位置の変位を基準位
置に制御して被切断物内部位置のブレード変位を減少さ
せる予測制御手段を用いて、内周刃ブレードの一部ある
いは全面を平坦化することにより、被切断物内部位置の
ブレード変位を減少させることが可能であることを知見
し、この発明を完成した。
【０００８】すなわち、この発明は、硬脆材料を内周刃
ブレードで切断する工程において、内周刃ブレードの平
坦度を検出する変位センサーを内周刃ブレードが被切断
部材と接触する刃先部分、刃先内周部全周及びブレード
コア部全面の３点以上の多数点に配置し、かつ該ブレー
ド表面に空気を噴射して内周刃を吸引又は押圧して変位
を与える変位手段を前記変位センサー近傍あるいは所要
位置の内周刃ブレードの片面あるいは両面に対向配置
し、前記変位センサーからの変位量の情報に応じて、各
変位手段での空気噴射量を制御し、内周刃ブレードの一
部あるいは全面を平坦化することを特徴とする内周刃ブ
レードの平坦化制御方法である。
ブレードで切断する工程において、内周刃ブレードの平
坦度を検出する変位センサーを内周刃ブレードが被切断
部材と接触する刃先部分、刃先内周部全周及びブレード
コア部全面の３点以上の多数点に配置し、かつ該ブレー
ド表面に空気を噴射して内周刃を吸引又は押圧して変位
を与える変位手段を前記変位センサー近傍あるいは所要
位置の内周刃ブレードの片面あるいは両面に対向配置
し、前記変位センサーからの変位量の情報に応じて、各
変位手段での空気噴射量を制御し、内周刃ブレードの一
部あるいは全面を平坦化することを特徴とする内周刃ブ
レードの平坦化制御方法である。
【０００９】一般的に、内周刃ブレードは板厚０．１〜
１．５ｍｍのステンレス鋼薄板が使用されており、その
刃先部で内周刃ブレード平面に垂直方向に一般に３６０
ｇ程度の荷重でおよそ５０μｍ変位させる張力を与え、
切断加工は内周刃ブレードの降伏点が明確でないため塑
性変形領域において行なわれ、破断限界に近い張力を付
与した状態で使用されていることから、この発明におい
て、内周刃ブレードに変位を与える変位手段は、内周刃
ブレードの破断を引き起すような大きな外力が加わ得る
ことが原理的にないベルヌーイ型変位手段が最適であ
る。ベルヌーイ型変位手段としては、噴射ノズルを内周
刃ブレードに近接、すなわち約１．２〜０．５ｍｍ程度
に対向配置してなる構成が採用できる。
１．５ｍｍのステンレス鋼薄板が使用されており、その
刃先部で内周刃ブレード平面に垂直方向に一般に３６０
ｇ程度の荷重でおよそ５０μｍ変位させる張力を与え、
切断加工は内周刃ブレードの降伏点が明確でないため塑
性変形領域において行なわれ、破断限界に近い張力を付
与した状態で使用されていることから、この発明におい
て、内周刃ブレードに変位を与える変位手段は、内周刃
ブレードの破断を引き起すような大きな外力が加わ得る
ことが原理的にないベルヌーイ型変位手段が最適であ
る。ベルヌーイ型変位手段としては、噴射ノズルを内周
刃ブレードに近接、すなわち約１．２〜０．５ｍｍ程度
に対向配置してなる構成が採用できる。
【００１０】また、内周刃ブレードに変位を与える変位
手段として、ブレード表面に空気を噴射して内周刃を押
圧し変位を与える公知の押圧型変位手段やブレードの片
側から一定量の空気吹き出し圧力をかけ、空気量の増減
により内周刃ブレードを変位させる片側押圧型変位手段
を用いることもできる。
手段として、ブレード表面に空気を噴射して内周刃を押
圧し変位を与える公知の押圧型変位手段やブレードの片
側から一定量の空気吹き出し圧力をかけ、空気量の増減
により内周刃ブレードを変位させる片側押圧型変位手段
を用いることもできる。
【００１１】
【作用】この発明は、ベルヌーイ型変位手段あるいは押
圧型変位手段、または片側押圧型変位手段と変位センサ
ーを内周刃ブレードが被切断部材と接触する刃先部分、
刃先内周部全周及びブレードコア部全面の３点以上の多
数点に配置し、それら変位手段近傍に配置された変位セ
ンサーにより、硬脆材料の切断中、内周刃ブレードに発
生した変位を変位センサーが検出する。ここで、検出さ
れた変位信号をそれぞれ独立に制御演算回路に入力す
る。制御演算回路において、入力された変位信号をもと
にブレード変位を基準位置に復元させるに必要な変位手
段の出力量を求める。変位手段の出力量を求める演算方
式は特に限定しないが、一般的なＰＩＤ制御あるいはそ
の他の制御理論を用いるとよい。求めた出力量信号を変
位手段の流体制御弁に伝達して、流体制御弁の開閉度の
制御を行う。かかる流体制御弁の制御により、ブレード
変位を基準位置に復元させるに必要な変位手段の出力が
得られる。ブレードに発生した変位の検出から変位手段
の出力までは、１つの独立センサーに対しその近傍の１
つの変位手段が対応し、３対以上の変位センサーと変位
手段はそれぞれ独立して制御される。しかし、完全に独
立制御である必要も無く、例えば複数の変位センサーの
平均値で演算処理を行い、複数の変位手段に同じ制御量
を与えてもよい。
圧型変位手段、または片側押圧型変位手段と変位センサ
ーを内周刃ブレードが被切断部材と接触する刃先部分、
刃先内周部全周及びブレードコア部全面の３点以上の多
数点に配置し、それら変位手段近傍に配置された変位セ
ンサーにより、硬脆材料の切断中、内周刃ブレードに発
生した変位を変位センサーが検出する。ここで、検出さ
れた変位信号をそれぞれ独立に制御演算回路に入力す
る。制御演算回路において、入力された変位信号をもと
にブレード変位を基準位置に復元させるに必要な変位手
段の出力量を求める。変位手段の出力量を求める演算方
式は特に限定しないが、一般的なＰＩＤ制御あるいはそ
の他の制御理論を用いるとよい。求めた出力量信号を変
位手段の流体制御弁に伝達して、流体制御弁の開閉度の
制御を行う。かかる流体制御弁の制御により、ブレード
変位を基準位置に復元させるに必要な変位手段の出力が
得られる。ブレードに発生した変位の検出から変位手段
の出力までは、１つの独立センサーに対しその近傍の１
つの変位手段が対応し、３対以上の変位センサーと変位
手段はそれぞれ独立して制御される。しかし、完全に独
立制御である必要も無く、例えば複数の変位センサーの
平均値で演算処理を行い、複数の変位手段に同じ制御量
を与えてもよい。
【００１２】ここで、３点以上の多数点において、内周
刃ブレードの変位量を基準位置に制御することにより、
内周刃ブレードが直線的ではなく平面的に矯正され、被
切断物内部にある内周刃ブレードの変位量までも減少さ
せることが可能になる。つまり、平面を作成する場合、
３点以上の制御点が必要であり、その３点以上の多数点
間で作成された平面の内部には制御点が無くとも、制御
の影響を与えることができる。すなわち、外力による直
接的な制御を行えない部分においては、その周囲の３点
以上の制御点で平面的に矯正することが可能である。
刃ブレードの変位量を基準位置に制御することにより、
内周刃ブレードが直線的ではなく平面的に矯正され、被
切断物内部にある内周刃ブレードの変位量までも減少さ
せることが可能になる。つまり、平面を作成する場合、
３点以上の制御点が必要であり、その３点以上の多数点
間で作成された平面の内部には制御点が無くとも、制御
の影響を与えることができる。すなわち、外力による直
接的な制御を行えない部分においては、その周囲の３点
以上の制御点で平面的に矯正することが可能である。
【００１３】
【実施例】以下、この発明をその実施例を示す図面によ
って詳述する。図１は、この発明に係る内周刃ブレード
の多点制御法を適用するための切断装置の正面図であ
り、図２はその断面図である。ブレードホルダ１ｂに取
り付け、張り上げられた内周刃ブレード２のシリコンイ
ンゴット切断部両端に変位センサー４が取り付けられ、
さらにそのセンサー４付近にエアーノズル３がブレード
を挾み込む形で取り付けられている。また、シリコンイ
ンゴット送り方向の刃先５とトップリング１ａの間にも
変位センサー４及びエアーノズル３が取り付けられてい
る。つまり、制御点は４点、変位センサーが４個とエア
ーノズルが８個取り付けられている。
って詳述する。図１は、この発明に係る内周刃ブレード
の多点制御法を適用するための切断装置の正面図であ
り、図２はその断面図である。ブレードホルダ１ｂに取
り付け、張り上げられた内周刃ブレード２のシリコンイ
ンゴット切断部両端に変位センサー４が取り付けられ、
さらにそのセンサー４付近にエアーノズル３がブレード
を挾み込む形で取り付けられている。また、シリコンイ
ンゴット送り方向の刃先５とトップリング１ａの間にも
変位センサー４及びエアーノズル３が取り付けられてい
る。つまり、制御点は４点、変位センサーが４個とエア
ーノズルが８個取り付けられている。
【００１４】エアーノズルからは、電空比例弁へと繋が
っておりそれから制御装置へと接続されている。切断
中、各変位センサーから検出された変位量の信号は、制
御装置へと送られ、その変位に応じたエアー出力を計算
し、挾み込みのエアーノズルの片側へ接続されている電
空比例弁へと出力信号が送られ、エアーがエアーノズル
へ供給されてエアー圧力によりブレード変位を抑制す
る。この制御は制御点４点共に独立して制御を行なって
いる。
っておりそれから制御装置へと接続されている。切断
中、各変位センサーから検出された変位量の信号は、制
御装置へと送られ、その変位に応じたエアー出力を計算
し、挾み込みのエアーノズルの片側へ接続されている電
空比例弁へと出力信号が送られ、エアーがエアーノズル
へ供給されてエアー圧力によりブレード変位を抑制す
る。この制御は制御点４点共に独立して制御を行なって
いる。
【００１５】また、変位センサー、エアーノズルの数、
位置は上記と同じであるが、変位センサーを例えば右回
りに４1，４2，４3，４4とした場合、変位センサー
４1，４2の変位値の平均値を計算し、その変位平均値に
応じたエアーをエアーノズル３1，３2から同量噴出さ
せ、制御を行ない、変位センサー４3，４4の変位値の平
均値を計算し、その変位平均値に応じたエアーをエアー
ノズル３3，３4から同量噴出させ、制御を行なうことも
できる。さらに変位センサー４1，４4の変位値の平均値
を計算し、その変位平均値に応じたエアーをエアーノズ
ル３1，３4から同量噴出させ、制御を行ない変位センサ
ー４2，４4の変位値を計算し、その変位平均値に応じた
エアーをエアーノズル３2，３4から同量噴出させ、制御
を行なうこともできる。
位置は上記と同じであるが、変位センサーを例えば右回
りに４1，４2，４3，４4とした場合、変位センサー
４1，４2の変位値の平均値を計算し、その変位平均値に
応じたエアーをエアーノズル３1，３2から同量噴出さ
せ、制御を行ない、変位センサー４3，４4の変位値の平
均値を計算し、その変位平均値に応じたエアーをエアー
ノズル３3，３4から同量噴出させ、制御を行なうことも
できる。さらに変位センサー４1，４4の変位値の平均値
を計算し、その変位平均値に応じたエアーをエアーノズ
ル３1，３4から同量噴出させ、制御を行ない変位センサ
ー４2，４4の変位値を計算し、その変位平均値に応じた
エアーをエアーノズル３2，３4から同量噴出させ、制御
を行なうこともできる。
【００１６】また、別の実施例として図３に基づいて詳
述する。前述の実施例と同じく制御点及び変位センサー
は４つであるがエアーノズルは、内周刃ブレードの片面
側からのみ取り付けられており個数としては４個であ
る。この４個のエアーノズルから同一変位量だけのエア
ーを吹かせてそこを変位０点としてエアーを増減させる
ことによりブレード変位を抑制する。これも制御点４点
共に独立して制御を行なっている。
述する。前述の実施例と同じく制御点及び変位センサー
は４つであるがエアーノズルは、内周刃ブレードの片面
側からのみ取り付けられており個数としては４個であ
る。この４個のエアーノズルから同一変位量だけのエア
ーを吹かせてそこを変位０点としてエアーを増減させる
ことによりブレード変位を抑制する。これも制御点４点
共に独立して制御を行なっている。
【００１７】また、図４に示すように内周刃ブレードの
刃先円周方向及びブレードコア面に、制御点を多数設
け、ブレードの刃先及びコア面全体を押さえ込むことに
より、切断中に発生するブレードの変位をブレード全体
で押さえ込み、ブレード全体を常に平坦に制御すること
もできる。
刃先円周方向及びブレードコア面に、制御点を多数設
け、ブレードの刃先及びコア面全体を押さえ込むことに
より、切断中に発生するブレードの変位をブレード全体
で押さえ込み、ブレード全体を常に平坦に制御すること
もできる。
【００１８】さらに、図５に示すように、内周刃ブレー
ドのインゴット切断部両端及びインゴット切断部と１８
０度方向の刃先部に制御点を設け、３点にて内周刃先部
を平面化制御し、切断することもできる。
ドのインゴット切断部両端及びインゴット切断部と１８
０度方向の刃先部に制御点を設け、３点にて内周刃先部
を平面化制御し、切断することもできる。
【００１９】図６は内周刃ブレード２の反りを解消すべ
く制御する制御回路の一例をエアーノズル３とともに示
すブロック図であり、図１と図２に示す例と同様に内周
刃ブレード２の両面にエアーノズル３A，３Bを配置して
ある。演算制御を行う制御装置８には、変位センサー４
1，４2及び切断動作制御部９の変位量及び切断開始、終
了の各信号が入力されている。また、内周刃ブレード２
が１回転する都度出力する内周刃回転計１０の出力パル
スが入力されている。制御装置８は変位センサー４1，
４2が検出した内周刃ブレード２の反りに相応した信号
と内周刃ブレード２が１回転した各時点での変位量の信
号とを得て、内周刃ブレード２が１回転した各時点で反
りの信号レベルを平均化処理し、その処理結果に基づ
き、内周刃ブレード２の変位を解消するための空気圧を
演算し、演算結果に基づく電気信号を空気圧を制御する
比例弁１１A，１１Bに出力する構成からなる。比例弁１
１A，１１Bに出力する空気圧を制御用信号は、切断中に
内周刃ブレード２とエアーノズル３A，３Bのどちらかが
多く離反している場合、ベルヌーイ型ではより多く離反
している側のエアーノズルに、押圧型では逆により近接
している側のエアーノズルに各比例弁より空気が送ら
れ、切断中に対をなす比例弁１１A，１１Bに同時に信号
を与えないよう構成してある。また、変位センサー４1
の変位に関してはエアーノズル３A1，３B1、変位センサ
ー４2の変位に関してはエアーノズル３A2，３B2で制御
し、それぞれ独立した制御を行った。
く制御する制御回路の一例をエアーノズル３とともに示
すブロック図であり、図１と図２に示す例と同様に内周
刃ブレード２の両面にエアーノズル３A，３Bを配置して
ある。演算制御を行う制御装置８には、変位センサー４
1，４2及び切断動作制御部９の変位量及び切断開始、終
了の各信号が入力されている。また、内周刃ブレード２
が１回転する都度出力する内周刃回転計１０の出力パル
スが入力されている。制御装置８は変位センサー４1，
４2が検出した内周刃ブレード２の反りに相応した信号
と内周刃ブレード２が１回転した各時点での変位量の信
号とを得て、内周刃ブレード２が１回転した各時点で反
りの信号レベルを平均化処理し、その処理結果に基づ
き、内周刃ブレード２の変位を解消するための空気圧を
演算し、演算結果に基づく電気信号を空気圧を制御する
比例弁１１A，１１Bに出力する構成からなる。比例弁１
１A，１１Bに出力する空気圧を制御用信号は、切断中に
内周刃ブレード２とエアーノズル３A，３Bのどちらかが
多く離反している場合、ベルヌーイ型ではより多く離反
している側のエアーノズルに、押圧型では逆により近接
している側のエアーノズルに各比例弁より空気が送ら
れ、切断中に対をなす比例弁１１A，１１Bに同時に信号
を与えないよう構成してある。また、変位センサー４1
の変位に関してはエアーノズル３A1，３B1、変位センサ
ー４2の変位に関してはエアーノズル３A2，３B2で制御
し、それぞれ独立した制御を行った。
【００２０】
【発明の効果】この発明は、ベルヌーイ型変位手段また
は押圧型変位手段と変位センサーを特定の多数点に配置
し、各ブレード変位の検出位置の変位をできるだけ少な
くして被切断物内部位置のブレード変位を減少させる平
面的制御手段を用いて、内周刃ブレードの全面を平坦化
することにより、内周刃ブレードのインゴット切断部刃
先、切断部コア面及びブレード全体を全域平坦化でき、
また切断部ブレードの剛性も向上し、従来技術でのウェ
ーハ反り精度からさらに反り低減が可能である。
は押圧型変位手段と変位センサーを特定の多数点に配置
し、各ブレード変位の検出位置の変位をできるだけ少な
くして被切断物内部位置のブレード変位を減少させる平
面的制御手段を用いて、内周刃ブレードの全面を平坦化
することにより、内周刃ブレードのインゴット切断部刃
先、切断部コア面及びブレード全体を全域平坦化でき、
また切断部ブレードの剛性も向上し、従来技術でのウェ
ーハ反り精度からさらに反り低減が可能である。
【図１】この発明に係る内周刃ブレードの４点制御法を
適用するための切断装置の一例を示す正面説明図であ
る。
適用するための切断装置の一例を示す正面説明図であ
る。
【図２】この発明に係る内周刃ブレードの４点制御法を
適用するための切断装置の一例を示す断面説明図であ
る。
適用するための切断装置の一例を示す断面説明図であ
る。
【図３】この発明に係る内周刃ブレードの４点制御法を
適用するための切断装置の他の例を示す断面説明図であ
る。
適用するための切断装置の他の例を示す断面説明図であ
る。
【図４】この発明に係る内周刃ブレードの多点制御法を
適用するための切断装置の例を示す正面説明図である。
適用するための切断装置の例を示す正面説明図である。
【図５】この発明に係る内周刃ブレードの３点制御法を
適用するための切断装置の例を示す正面説明図である。
適用するための切断装置の例を示す正面説明図である。
【図６】この発明に係る内周刃ブレードの多点制御法を
適用するための制御回路の一例を示すブロック図であ
る。
適用するための制御回路の一例を示すブロック図であ
る。
１ａ トップリング １ｂ ホルダー ２ 内周刃ブレード ３ 制御用エアーノズル ４ 変位センサー ５ ブレード刃先 ６ 被切断部材（シリコンインゴット） ７ 制御用流体噴出ノズル ８ 制御装置 ９ 切断動作制御部 １０ 内周刃回転計 １１ 電空比例弁
Claims (1)
- 【請求項１】 硬脆材料を内周刃ブレードで切断する工
程において、内周刃ブレードの平坦度を検出する変位セ
ンサーを内周刃ブレードが被切断部材と接触する刃先部
分、刃先内周部全周及びブレードコア部全面の３点以上
の多数点に配置し、かつ該ブレード表面に空気を噴射し
て内周刃を吸引又は押圧して変位を与える変位手段を前
記変位センサー近傍あるいは所要位置の内周刃ブレード
の片面あるいは両面に対向配置し、前記変位センサーか
らの変位量の情報に応じて、各変位手段での空気噴射量
を制御し、内周刃ブレードの一部あるいは全面を平坦化
することを特徴とする内周刃ブレードの平坦化制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2757293A JPH06218725A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 内周刃ブレードの平坦化制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2757293A JPH06218725A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 内周刃ブレードの平坦化制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06218725A true JPH06218725A (ja) | 1994-08-09 |
Family
ID=12224726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2757293A Pending JPH06218725A (ja) | 1993-01-22 | 1993-01-22 | 内周刃ブレードの平坦化制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06218725A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1136163A3 (de) * | 2000-03-23 | 2002-08-21 | Ant. Panhans GmbH, Werkzeug- u. Maschinenfabrik | Kreissägemaschine mit eine Vorritzeinrichtung |
-
1993
- 1993-01-22 JP JP2757293A patent/JPH06218725A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1136163A3 (de) * | 2000-03-23 | 2002-08-21 | Ant. Panhans GmbH, Werkzeug- u. Maschinenfabrik | Kreissägemaschine mit eine Vorritzeinrichtung |
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