JPH06219781A - ガラス凹版の製造方法 - Google Patents
ガラス凹版の製造方法Info
- Publication number
- JPH06219781A JPH06219781A JP801193A JP801193A JPH06219781A JP H06219781 A JPH06219781 A JP H06219781A JP 801193 A JP801193 A JP 801193A JP 801193 A JP801193 A JP 801193A JP H06219781 A JPH06219781 A JP H06219781A
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- JP
- Japan
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- glass
- intaglio
- thin film
- glass plate
- film
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/40—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal all coatings being metal coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】カラー液晶表示用のカラーフイルターをガラス
基板上に凹版印刷法で印刷するときに好適に用いられる
ガラス凹版を製造する方法を提供する。 【構成】石英ガラス板上にアルミニウム薄膜とクロム薄
膜を順次被覆してマスキング膜を設け、マスキング膜を
所定形状にパターニングした後、ガラス板の露出部分を
フッ素を含む炭化水素により異方性ドライエッチングす
る。
基板上に凹版印刷法で印刷するときに好適に用いられる
ガラス凹版を製造する方法を提供する。 【構成】石英ガラス板上にアルミニウム薄膜とクロム薄
膜を順次被覆してマスキング膜を設け、マスキング膜を
所定形状にパターニングした後、ガラス板の露出部分を
フッ素を含む炭化水素により異方性ドライエッチングす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス製凹版の製造方
法、とりわけカラー液晶表示等に用いられる印刷タイプ
カラーフイルタをガラス基板上に印刷するときに好適に
用いられるガラス製凹版の製造方法に関する。
法、とりわけカラー液晶表示等に用いられる印刷タイプ
カラーフイルタをガラス基板上に印刷するときに好適に
用いられるガラス製凹版の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レッド、グリーン、ブルーなどのカラー
フイルタをガラス基板上に設けカラー液晶表示用ガラス
基板を製造する方法としては、表示の高精細、高解像度
が要求されるときにはマスキング剤を用いたフオトリソ
グラフ法で製作され、１００μｍ以上の比較的粗いカラ
ーパターンでよいときにはスクリーン印刷法で製作され
ている。そして、解像度がその中間に位置する場合は凹
版印刷法により製作されている。
フイルタをガラス基板上に設けカラー液晶表示用ガラス
基板を製造する方法としては、表示の高精細、高解像度
が要求されるときにはマスキング剤を用いたフオトリソ
グラフ法で製作され、１００μｍ以上の比較的粗いカラ
ーパターンでよいときにはスクリーン印刷法で製作され
ている。そして、解像度がその中間に位置する場合は凹
版印刷法により製作されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、線幅が数十
μｍから数１００μｍの粗さを有するパターンをガラス
基板上に形成するために用いるガラス凹版を製造する方
法を提供することを目的とする。
μｍから数１００μｍの粗さを有するパターンをガラス
基板上に形成するために用いるガラス凹版を製造する方
法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、石英ガラスま
たは硼珪酸ガラスのガラス板上にアルミニウム薄膜とク
ロム薄膜を順次被覆したマスキング膜を設け、前記マス
キング膜を所定形状にパターニングした後、前記ガラス
板の露出部分をフッ素を含む炭化水素により異方性ドラ
イエッチングするガラス凹版の製造方法である。
たは硼珪酸ガラスのガラス板上にアルミニウム薄膜とク
ロム薄膜を順次被覆したマスキング膜を設け、前記マス
キング膜を所定形状にパターニングした後、前記ガラス
板の露出部分をフッ素を含む炭化水素により異方性ドラ
イエッチングするガラス凹版の製造方法である。
【０００５】
【作用】本発明に用いる２層構成からなるマスキング膜
の最表層のドライエッチング耐性が強いクロム薄膜は、
柔らかいアルミニウム薄膜を下地としているので内部応
力が小さく、厚く被覆しもひび割れが生じない。
の最表層のドライエッチング耐性が強いクロム薄膜は、
柔らかいアルミニウム薄膜を下地としているので内部応
力が小さく、厚く被覆しもひび割れが生じない。
【０００６】
【実施例】本発明に用いるガラスとしては、ガラスがエ
ッチングされるときにフッ素を含む炭化水素と反応して
揮発性の化合物を形成する石英ガラス、硼珪酸ガラスに
限定される。硼珪酸ガラスとしては、バイコールガラ
ス、パイレックスガラス等が例示できる。これらのガラ
スは、ドライエッチング条件をＣＨＦ3のガス圧力５Ｐ
ａ、導入量５０ｓｃｃｍ、高周波電力２００Ｗのエッチ
ング条件では、石英ガラス、バイコールガラスで４３ｎ
ｍ／ｍｉｎ、パイレックスガラスで４２ｎｍ／ｍｉｎの
高速度でエッチングすることができる。しかし、ナトリ
ウムやカルシウムが比較的多く含まれるソーダライムシ
リケートガラス（主成分が重量％でＳｉＯ2７２％、Ｎ
ａ2Ｏ１３％、ＣａＯ８％、ＭｇＯ４％）では上記のエ
ッチング条件では４．５ｎｍ／ｍｉｎ、バリウムアルミ
ノ珪酸塩ガラス（商品名７０５９）では４．１ｎｍ／ｍ
ｉｎとほぼ一桁エッチング速度が小さい。
ッチングされるときにフッ素を含む炭化水素と反応して
揮発性の化合物を形成する石英ガラス、硼珪酸ガラスに
限定される。硼珪酸ガラスとしては、バイコールガラ
ス、パイレックスガラス等が例示できる。これらのガラ
スは、ドライエッチング条件をＣＨＦ3のガス圧力５Ｐ
ａ、導入量５０ｓｃｃｍ、高周波電力２００Ｗのエッチ
ング条件では、石英ガラス、バイコールガラスで４３ｎ
ｍ／ｍｉｎ、パイレックスガラスで４２ｎｍ／ｍｉｎの
高速度でエッチングすることができる。しかし、ナトリ
ウムやカルシウムが比較的多く含まれるソーダライムシ
リケートガラス（主成分が重量％でＳｉＯ2７２％、Ｎ
ａ2Ｏ１３％、ＣａＯ８％、ＭｇＯ４％）では上記のエ
ッチング条件では４．５ｎｍ／ｍｉｎ、バリウムアルミ
ノ珪酸塩ガラス（商品名７０５９）では４．１ｎｍ／ｍ
ｉｎとほぼ一桁エッチング速度が小さい。
【０００７】本発明に用いるマスキング膜は、アルミニ
ウム薄膜とクロム薄膜との二層膜とする。上記のエッチ
ング条件ではスパッタリングにより被覆したクロム薄膜
はガラスの約１／４０のエッチング速度であり、スパッ
タリングにより被覆したアルミニウム薄膜は約１／１６
のエッチング速度であった。
ウム薄膜とクロム薄膜との二層膜とする。上記のエッチ
ング条件ではスパッタリングにより被覆したクロム薄膜
はガラスの約１／４０のエッチング速度であり、スパッ
タリングにより被覆したアルミニウム薄膜は約１／１６
のエッチング速度であった。
【０００８】図１は本発明により得られたガラス凹版の
一部断面図である。ガラス凹版１は、ガラス基板２の表
面に断面形状コの字型の溝３が間隔をおいてストライプ
状に多数形成されている。図２は本発明により得られた
ガラス凹版を用いてガラス基板上にインクを印刷する凹
版印刷工程を説明する図である。
一部断面図である。ガラス凹版１は、ガラス基板２の表
面に断面形状コの字型の溝３が間隔をおいてストライプ
状に多数形成されている。図２は本発明により得られた
ガラス凹版を用いてガラス基板上にインクを印刷する凹
版印刷工程を説明する図である。
【０００９】石英ガラス基板上にスパッタリング法でア
ルミニウム薄膜を１００ｎｍ被覆し、引き続きクロム薄
膜を３００ｎｍ被覆した。このガラスをスパッタリング
装置から取り出し二層からなるマスキング膜の表面に東
京応化製レジスト（商品名ＰＭＥＲ６０３０）をフオト
リソグラフイーの手法で所定形状に形成した。その後ク
ロム薄膜のエッチングは硝酸セリウムアンモニウム水溶
液で、アルミニウム薄膜のエッチングは燐酸系水溶液で
エッチングしマスキング膜を除去した。エッチングによ
るマスキング膜のサイドエッチ量は０．１μｍであっ
た。つぎにレジストを剥離後、ガラス基板をドライエッ
チング装置にいれ、ＣＨＦ3を５０ｓｃｃｍ導入して５
Ｐａの圧力を維持しつつ、２００Ｗの高周波電力を４時
間印加してドライエッチングし、深さ１２μｍの溝が等
間隔に離れて形成されたストライプ状のコの字型の溝を
形成した。得られたサンプルのマスキング膜にはひび割
れが認められなかった。その後マスキング膜を酸で除去
し断面が図１で示すようなガラス凹版を得た。
ルミニウム薄膜を１００ｎｍ被覆し、引き続きクロム薄
膜を３００ｎｍ被覆した。このガラスをスパッタリング
装置から取り出し二層からなるマスキング膜の表面に東
京応化製レジスト（商品名ＰＭＥＲ６０３０）をフオト
リソグラフイーの手法で所定形状に形成した。その後ク
ロム薄膜のエッチングは硝酸セリウムアンモニウム水溶
液で、アルミニウム薄膜のエッチングは燐酸系水溶液で
エッチングしマスキング膜を除去した。エッチングによ
るマスキング膜のサイドエッチ量は０．１μｍであっ
た。つぎにレジストを剥離後、ガラス基板をドライエッ
チング装置にいれ、ＣＨＦ3を５０ｓｃｃｍ導入して５
Ｐａの圧力を維持しつつ、２００Ｗの高周波電力を４時
間印加してドライエッチングし、深さ１２μｍの溝が等
間隔に離れて形成されたストライプ状のコの字型の溝を
形成した。得られたサンプルのマスキング膜にはひび割
れが認められなかった。その後マスキング膜を酸で除去
し断面が図１で示すようなガラス凹版を得た。
【００１０】このガラス凹版と有機金化合物を含むイン
クとによりインクの凹版印刷テストを行った。ガラス凹
版の溝の上端までドクターブレードで上記ペーストを充
填し（図２（ａ））、その後シリコンゴム製ローラをガ
ラス凹版上を押圧をかけながら回転させ溝内のインキを
ローラ上に転写させた（図２（ｂ））。つぎにこのロー
ラをガラス板上に押し当てながら回転させ、ガラス板上
にインキを印刷した（図２（ｃ））。このガラス板を７
０℃で１０分間乾燥させ、その後５００℃で１時間焼成
した。印刷されたインキの幅はガラス凹版のの線幅より
もやや細くなったが、５μｍのラインアンドスペースで
形成されていることが確認された。比較例石英ガラス基
板上にスパッタリング法で作製したマスキング膜を厚み
が３００ｎｍのクロム薄膜としたことのほかは実施例と
同じようにして、ストライプ状の溝を形成した。得られ
たサンプルのマスキング膜にはひび割れが多数認めら
れ、マスキング膜で覆われている部分についてもガラス
が浅く不規則にエッチングされていた。このガラス凹版
と着色顔料を含むインクとにより実施例でしたのと同じ
ように凹版印刷テストを行った。印刷されたインキの幅
は５μｍのラインアンドスペースで形成されていたが、
スペース部分に微小量のインクが多数転写されているこ
とが認められた。
クとによりインクの凹版印刷テストを行った。ガラス凹
版の溝の上端までドクターブレードで上記ペーストを充
填し（図２（ａ））、その後シリコンゴム製ローラをガ
ラス凹版上を押圧をかけながら回転させ溝内のインキを
ローラ上に転写させた（図２（ｂ））。つぎにこのロー
ラをガラス板上に押し当てながら回転させ、ガラス板上
にインキを印刷した（図２（ｃ））。このガラス板を７
０℃で１０分間乾燥させ、その後５００℃で１時間焼成
した。印刷されたインキの幅はガラス凹版のの線幅より
もやや細くなったが、５μｍのラインアンドスペースで
形成されていることが確認された。比較例石英ガラス基
板上にスパッタリング法で作製したマスキング膜を厚み
が３００ｎｍのクロム薄膜としたことのほかは実施例と
同じようにして、ストライプ状の溝を形成した。得られ
たサンプルのマスキング膜にはひび割れが多数認めら
れ、マスキング膜で覆われている部分についてもガラス
が浅く不規則にエッチングされていた。このガラス凹版
と着色顔料を含むインクとにより実施例でしたのと同じ
ように凹版印刷テストを行った。印刷されたインキの幅
は５μｍのラインアンドスペースで形成されていたが、
スペース部分に微小量のインクが多数転写されているこ
とが認められた。
【発明の効果】本発明の方法により得られるガラス凹版
を用いることにより、微細な寸法形状のインクを基板上
に印刷することができる。
を用いることにより、微細な寸法形状のインクを基板上
に印刷することができる。
【図１】本発明により得られたガラス凹版の一部断面図
である。
である。
【図２】本発明により得られたガラス凹版を用いてガラ
ス板上にインクを印刷する凹版印刷工程を説明する図で
ある。
ス板上にインクを印刷する凹版印刷工程を説明する図で
ある。
１・・・ガラス凹版、２・・・ガラス板、３・・・溝
Claims (1)
- 【請求項１】石英ガラスまたは硼珪酸ガラスのガラス板
上にアルミニウム薄膜とクロム薄膜を順次被覆したマス
キング膜を設け、前記マスキング膜を所定形状にパター
ニングした後、前記ガラス板の露出部分をフッ素を含む
炭化水素により異方性ドライエッチングするガラス凹版
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP801193A JPH06219781A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | ガラス凹版の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP801193A JPH06219781A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | ガラス凹版の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06219781A true JPH06219781A (ja) | 1994-08-09 |
Family
ID=11681414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP801193A Pending JPH06219781A (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | ガラス凹版の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06219781A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005052509B4 (de) * | 2004-11-04 | 2010-09-16 | Lg Display Co., Ltd. | Verfahren zum Herstellen einer Druckplatte |
| JP2013032263A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-02-14 | Hoya Corp | 電子機器用カバーガラスの製造方法、及びタッチセンサモジュールの製造方法 |
| JP2014130267A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Think Laboratory Co Ltd | グラビアシリンダー及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-01-21 JP JP801193A patent/JPH06219781A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005052509B4 (de) * | 2004-11-04 | 2010-09-16 | Lg Display Co., Ltd. | Verfahren zum Herstellen einer Druckplatte |
| US7914691B2 (en) | 2004-11-04 | 2011-03-29 | Lg Display Co., Ltd. | Printing plate and method for fabricating the same |
| JP2013032263A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-02-14 | Hoya Corp | 電子機器用カバーガラスの製造方法、及びタッチセンサモジュールの製造方法 |
| JP2014130267A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Think Laboratory Co Ltd | グラビアシリンダー及びその製造方法 |
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