JPH06224346A - エッチング方法 - Google Patents
エッチング方法Info
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- JPH06224346A JPH06224346A JP5027628A JP2762893A JPH06224346A JP H06224346 A JPH06224346 A JP H06224346A JP 5027628 A JP5027628 A JP 5027628A JP 2762893 A JP2762893 A JP 2762893A JP H06224346 A JPH06224346 A JP H06224346A
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- etching
- layer
- etched
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の異なる金属層を有する被エッチング材
料、特に、鉄系材料をアルミニウム系材料でサンドイッ
チした３層クラッド材料を、高いエッチングファクター
で且つファインピッチでエッチングできるようにする。 【構成】 第１の金属層１及び第２の金属層２が積層さ
れた被エッチング材料の第１の金属層上に、所望の形に
パターニングしたレジスト層３を形成し、その後に第１
の金属層１をエッチングし、次に、第１の金属層のエッ
チング面に陽極酸化膜１ａを形成し、その後、第２の金
属層２をエッチングする。
料、特に、鉄系材料をアルミニウム系材料でサンドイッ
チした３層クラッド材料を、高いエッチングファクター
で且つファインピッチでエッチングできるようにする。 【構成】 第１の金属層１及び第２の金属層２が積層さ
れた被エッチング材料の第１の金属層上に、所望の形に
パターニングしたレジスト層３を形成し、その後に第１
の金属層１をエッチングし、次に、第１の金属層のエッ
チング面に陽極酸化膜１ａを形成し、その後、第２の金
属層２をエッチングする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複数の異なる金属層
を有する被エッチング材料をエッチングする際に、高い
エッチングファクターで且つファインピッチでエッチン
グする方法に関する。より詳しくは、鉄系材料をアルミ
ニウム系材料でサンドイッチした３層クラッド材料か
ら、ＩＣチップを搭載するためのリードフレームを製造
する際に、平坦幅を広くでき且つファインピッチのイン
ナーリード部を容易に得ることのできるエッチング方法
に関する。
を有する被エッチング材料をエッチングする際に、高い
エッチングファクターで且つファインピッチでエッチン
グする方法に関する。より詳しくは、鉄系材料をアルミ
ニウム系材料でサンドイッチした３層クラッド材料か
ら、ＩＣチップを搭載するためのリードフレームを製造
する際に、平坦幅を広くでき且つファインピッチのイン
ナーリード部を容易に得ることのできるエッチング方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣチップを搭載するためのリードフレ
ームを製造する際、平坦幅が広く且つファインピッチの
インナーリード部を得るために、銅層を中間層として上
下に同じ厚さの鉄ニッケル合金（Ｎｉ４２重量％）層を
配設した３層クラッド材料を使用してエッチングする方
法が提案されている（特開平４−６４２５８号公報）。
この方法においては、まず図３（ａ）に示すように、銅
層３１とそれを挟持するように配された鉄ニッケル合金
層３２からなる３層クラッド材料の両面に所定のパター
ニングを施したレジスト層３３を形成し、次に、例えば
エッチング液をスプレーすることにより鉄ニッケル合金
層３２をエッチングする（図３（ｂ））。そしてそのま
ま同じエッチング液でエッチングを続ける。それによ
り、鉄ニッケル合金層３１によりも速く銅層３１がエッ
チングされて図３（ｃ）に示すように３層クラッド材料
がエッチングされる。
ームを製造する際、平坦幅が広く且つファインピッチの
インナーリード部を得るために、銅層を中間層として上
下に同じ厚さの鉄ニッケル合金（Ｎｉ４２重量％）層を
配設した３層クラッド材料を使用してエッチングする方
法が提案されている（特開平４−６４２５８号公報）。
この方法においては、まず図３（ａ）に示すように、銅
層３１とそれを挟持するように配された鉄ニッケル合金
層３２からなる３層クラッド材料の両面に所定のパター
ニングを施したレジスト層３３を形成し、次に、例えば
エッチング液をスプレーすることにより鉄ニッケル合金
層３２をエッチングする（図３（ｂ））。そしてそのま
ま同じエッチング液でエッチングを続ける。それによ
り、鉄ニッケル合金層３１によりも速く銅層３１がエッ
チングされて図３（ｃ）に示すように３層クラッド材料
がエッチングされる。
【０００３】
【解決しようとする課題】しかしながら、特開平４−６
４２５８号公報に開示された方法では、同じエッチング
液を使用して銅層と鉄ニッケル合金層をエッチングして
しまうので、両者のエッチレートが異なるとはいえ、銅
層をエッチングしている際にも鉄ニッケル合金層もエッ
チングされてしまう。従って、エッチング幅を所望の幅
にエッチングするための条件出しやその条件をコントロ
ールすることが非常に難しいという問題があった。ま
た、深さ方向のエッチング距離とサイドエッチングの距
離との比であるエッチングファクター（ＥＦ）を２以上
に向上させることが難しいという問題もあった。従っ
て、特開平４−６４２５８号公報に開示された方法に
は、リードフレームのインナーリード部の平坦部を十分
に広くすることができず、また、インナーリード部を十
分にファインピッチ化することができないという問題が
あった。
４２５８号公報に開示された方法では、同じエッチング
液を使用して銅層と鉄ニッケル合金層をエッチングして
しまうので、両者のエッチレートが異なるとはいえ、銅
層をエッチングしている際にも鉄ニッケル合金層もエッ
チングされてしまう。従って、エッチング幅を所望の幅
にエッチングするための条件出しやその条件をコントロ
ールすることが非常に難しいという問題があった。ま
た、深さ方向のエッチング距離とサイドエッチングの距
離との比であるエッチングファクター（ＥＦ）を２以上
に向上させることが難しいという問題もあった。従っ
て、特開平４−６４２５８号公報に開示された方法に
は、リードフレームのインナーリード部の平坦部を十分
に広くすることができず、また、インナーリード部を十
分にファインピッチ化することができないという問題が
あった。
【０００４】この発明は以上のような従来技術の問題点
を解決しようとするものであり、複数の異なる金属層が
積層された被エッチング材料を、高いエッチングファク
ターで且つファインピッチでエッチングできるようにす
ることを目的とする。
を解決しようとするものであり、複数の異なる金属層が
積層された被エッチング材料を、高いエッチングファク
ターで且つファインピッチでエッチングできるようにす
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明者らは、複数の
金属層が積層された被エッチング材料をエッチングする
場合、外側の金属層をエッチングした後にそのエッチン
グ面に陽極酸化により酸化膜を形成して、それにより内
側の金属層をエッチングする際に第１の金属層がエッチ
ングされないようにすることにより上述の目的が達成で
きることを見出し、この発明を完成させるに至った。
金属層が積層された被エッチング材料をエッチングする
場合、外側の金属層をエッチングした後にそのエッチン
グ面に陽極酸化により酸化膜を形成して、それにより内
側の金属層をエッチングする際に第１の金属層がエッチ
ングされないようにすることにより上述の目的が達成で
きることを見出し、この発明を完成させるに至った。
【０００６】即ち、この発明は、第１の金属層及び第２
の金属層が積層された被エッチング材料の第１の金属層
上に、所望の形にパターニングしたレジスト層を形成
し、その後に第１の金属層をエッチングし、次に、第１
の金属層のエッチング面に陽極酸化により酸化膜を形成
し、その後に第２の金属層を選択的にエッチングするこ
とを特徴とするエッチング方法を提供する。
の金属層が積層された被エッチング材料の第１の金属層
上に、所望の形にパターニングしたレジスト層を形成
し、その後に第１の金属層をエッチングし、次に、第１
の金属層のエッチング面に陽極酸化により酸化膜を形成
し、その後に第２の金属層を選択的にエッチングするこ
とを特徴とするエッチング方法を提供する。
【０００７】また、この発明は、第１の金属層、第２の
金属層及び第３の金属層が順次積層され、第１の金属層
と第３の金属層とが同じ材料から構成されている被エッ
チング材料の第１の金属層及び第３の金属層上に、所望
の形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に
第１の金属層をエッチングし、次に、第１の金属層及び
第３の金属とのエッチング面に陽極酸化により酸化膜を
形成し、その後に第２の金属層を選択的にエッチングす
ることを特徴とするエッチング方法を提供する。
金属層及び第３の金属層が順次積層され、第１の金属層
と第３の金属層とが同じ材料から構成されている被エッ
チング材料の第１の金属層及び第３の金属層上に、所望
の形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に
第１の金属層をエッチングし、次に、第１の金属層及び
第３の金属とのエッチング面に陽極酸化により酸化膜を
形成し、その後に第２の金属層を選択的にエッチングす
ることを特徴とするエッチング方法を提供する。
【０００８】
【作用】この発明のエッチング方法では、被エッチング
材料が第１の金属層と第２の金属層とからなる２層クラ
ッド材料である場合には、まず第１の金属層上に所望の
形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に第
１の金属層をエッチングし、また、被エッチング材料が
第１の金属層、第２の金属層及び第３の金属層からなる
３層クラッド材料であって、第１の金属層と第３の金属
層とが同一の素材から形成されている場合には、まず第
１の金属層及び第３の金属層上に所望の形にパターニン
グしたレジスト層を形成し、その後に第１の金属層と第
３の金属層とをエッチングする。次に、第１の金属層、
あるいは第１の金属層と第３の金属層とのエッチングが
終了した時点で、陽極酸化処理をすることにより第１の
金属層のエッチング面あるいは第１の金属層と第３の金
属層とのエッチング面に酸化膜を形成する。この酸化膜
は、その後の第２の金属層をエッチングする際に第１の
金属層、あるいは第１の金属層と第３の金属層とがそれ
以上にエッチングされないようにするための保護膜とし
て機能する。その結果、陽極酸化処理後には第２の金属
層が選択的にエッチングされることになる。このとき、
第１の金属層、あるいは第１の金属層と第３の金属層と
は、第２の金属層のレジスト層としての機能も果たす。
こうして、少なくとも二つの異なる金属層が積層された
被エッチング材料を、高いエッチングファクターで且つ
ファインピッチでエッチングできるようになる。
材料が第１の金属層と第２の金属層とからなる２層クラ
ッド材料である場合には、まず第１の金属層上に所望の
形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に第
１の金属層をエッチングし、また、被エッチング材料が
第１の金属層、第２の金属層及び第３の金属層からなる
３層クラッド材料であって、第１の金属層と第３の金属
層とが同一の素材から形成されている場合には、まず第
１の金属層及び第３の金属層上に所望の形にパターニン
グしたレジスト層を形成し、その後に第１の金属層と第
３の金属層とをエッチングする。次に、第１の金属層、
あるいは第１の金属層と第３の金属層とのエッチングが
終了した時点で、陽極酸化処理をすることにより第１の
金属層のエッチング面あるいは第１の金属層と第３の金
属層とのエッチング面に酸化膜を形成する。この酸化膜
は、その後の第２の金属層をエッチングする際に第１の
金属層、あるいは第１の金属層と第３の金属層とがそれ
以上にエッチングされないようにするための保護膜とし
て機能する。その結果、陽極酸化処理後には第２の金属
層が選択的にエッチングされることになる。このとき、
第１の金属層、あるいは第１の金属層と第３の金属層と
は、第２の金属層のレジスト層としての機能も果たす。
こうして、少なくとも二つの異なる金属層が積層された
被エッチング材料を、高いエッチングファクターで且つ
ファインピッチでエッチングできるようになる。
【０００９】
【実施例】以下この発明を実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。なお、図面中、同じ符号は同一又は同
等の構成要素を示している。
詳細に説明する。なお、図面中、同じ符号は同一又は同
等の構成要素を示している。
【００１０】図１は、この発明のエッチング方法の好ま
しい実施例の工程図である。まず、第１の金属層１と第
２の金属層２とからなる被エッチング材料の第１の金属
層１上に所望のパターニングを施したレジスト層３を形
成する（図１（ａ））。
しい実施例の工程図である。まず、第１の金属層１と第
２の金属層２とからなる被エッチング材料の第１の金属
層１上に所望のパターニングを施したレジスト層３を形
成する（図１（ａ））。
【００１１】第１の金属層１と第２の金属層２との組み
合わせは、使用するエッチング液などを考慮して選択す
る必要があるが、好ましい組み合わせとしては、第１の
金属層１としてアルミニウム又はそれを主体とする合
金、より好ましくはアルミニウムを使用し、第２の金属
層２として鉄、銅又はこれらを主体する合金、より好ま
しくは鉄ニッケル合金（Ｎｉ４２重量％）を使用する。
合わせは、使用するエッチング液などを考慮して選択す
る必要があるが、好ましい組み合わせとしては、第１の
金属層１としてアルミニウム又はそれを主体とする合
金、より好ましくはアルミニウムを使用し、第２の金属
層２として鉄、銅又はこれらを主体する合金、より好ま
しくは鉄ニッケル合金（Ｎｉ４２重量％）を使用する。
【００１２】レジスト層３は常法により形成することが
でき、例えばフォトリソグラフィ法に従って、感光性樹
脂を第１の金属層１上に塗工し、フォトマスクを重ねて
露光し、現像し、ベーキングを行うことにより形成する
ことができる。レジスト層３としは、後述するエッチン
グや陽極酸化に耐えることのできるものを使用する。
でき、例えばフォトリソグラフィ法に従って、感光性樹
脂を第１の金属層１上に塗工し、フォトマスクを重ねて
露光し、現像し、ベーキングを行うことにより形成する
ことができる。レジスト層３としは、後述するエッチン
グや陽極酸化に耐えることのできるものを使用する。
【００１３】次に、レジスト層３側からエッチング液を
第１の金属層１に作用させて、第１の金属層１をエッチ
ングする。この場合、図１（ｂ）に示すように第２の金
属層２が露出するまでエッチングすることが好ましい。
これは第２の金属層２を容易にエッチングできるように
するためである。
第１の金属層１に作用させて、第１の金属層１をエッチ
ングする。この場合、図１（ｂ）に示すように第２の金
属層２が露出するまでエッチングすることが好ましい。
これは第２の金属層２を容易にエッチングできるように
するためである。
【００１４】エッチング液を第１の金属層１に作用させ
る方法としては、常法により行うことができるが、好ま
しくはエッチング液を被エッチング材料にスプレーする
方法などを例示することができる。また、電解液中で被
エッチング材料を陽極電解する電解エッチングにより行
うこともできる。
る方法としては、常法により行うことができるが、好ま
しくはエッチング液を被エッチング材料にスプレーする
方法などを例示することができる。また、電解液中で被
エッチング材料を陽極電解する電解エッチングにより行
うこともできる。
【００１５】第１の金属層１をエッチングするためのエ
ッチング液としては、その金属層を構成する金属の種類
やエッチング方法などにより異なるが、例えば第１の金
属層１としてアルミニウム又はそれを主体とする合金、
例えばアメリカアルミニウム協会のＡＡ呼称でＡＡ５０
５０（Ｍｇ１．２重量％）、ＡＡ３００３（Ｍｎ１．２
重量％）、ＡＡ５０５２（Ｍｇ２．５重量％＋Ｃｒ０．
２５重量％）、ＡＡ６０６３（Ｍｇ０．７重量％＋Ｓｉ
０．４重量％）と呼ばれるアルミニウム合金である場合
にスプレーエッチングを行う場合には、アルカリ金属の
水酸化物、例えば水酸化ナトリウムもしくは水酸化カリ
ウムの水溶液などのアルカリ性水溶液性や、燐酸及び硝
酸を含有する酸性水溶液を使用することが好ましい。こ
れらには、必要に応じてキレート剤やｐＨ調整剤などの
種々の添加剤を添加することができる。具体的には、水
酸化カリウムと赤血塩との水溶液、水酸化ナトリウム単
独の水溶液、リン酸と硝酸と酢酸と水（１６：１：２：
１）とからなる酸性水溶液などを例示することができ
る。これらのエッチング液は、第２の金属層２が鉄系材
料の場合には鉄系材料を実質的にエッチングしないので
選択的に第１の金属層１をエッチングできるので好まし
い。また、塩化第二鉄水溶液や硫酸銅水溶液などの、鉄
系材料もエッチングしてしまうエッチング液も使用する
ことができる。
ッチング液としては、その金属層を構成する金属の種類
やエッチング方法などにより異なるが、例えば第１の金
属層１としてアルミニウム又はそれを主体とする合金、
例えばアメリカアルミニウム協会のＡＡ呼称でＡＡ５０
５０（Ｍｇ１．２重量％）、ＡＡ３００３（Ｍｎ１．２
重量％）、ＡＡ５０５２（Ｍｇ２．５重量％＋Ｃｒ０．
２５重量％）、ＡＡ６０６３（Ｍｇ０．７重量％＋Ｓｉ
０．４重量％）と呼ばれるアルミニウム合金である場合
にスプレーエッチングを行う場合には、アルカリ金属の
水酸化物、例えば水酸化ナトリウムもしくは水酸化カリ
ウムの水溶液などのアルカリ性水溶液性や、燐酸及び硝
酸を含有する酸性水溶液を使用することが好ましい。こ
れらには、必要に応じてキレート剤やｐＨ調整剤などの
種々の添加剤を添加することができる。具体的には、水
酸化カリウムと赤血塩との水溶液、水酸化ナトリウム単
独の水溶液、リン酸と硝酸と酢酸と水（１６：１：２：
１）とからなる酸性水溶液などを例示することができ
る。これらのエッチング液は、第２の金属層２が鉄系材
料の場合には鉄系材料を実質的にエッチングしないので
選択的に第１の金属層１をエッチングできるので好まし
い。また、塩化第二鉄水溶液や硫酸銅水溶液などの、鉄
系材料もエッチングしてしまうエッチング液も使用する
ことができる。
【００１６】また、第１の金属層１がアルミニウム又は
それを主体とする合金である場合に、第１の金属層１を
電解エッチングするときには、リン酸と硫酸とクロム酸
とを含有する水性エッチング液やホウフッ酸含有水性エ
ッチング液を使用することができる。例えば、第１の金
属層１としてアルミニウムを使用した場合の電解エッチ
ングは、リン酸９５容量％と硫酸５容量％とからなる混
合液にクロム酸を１重量％添加した水性エッチング液
中、８２℃で５０Ａ／ｄｍ２の電流密度で行うことがで
きる。また、ホウフッ酸の２．５重量％水溶液中、３０
℃で５０Ａ／ｄｍ２の電流密度で行うこともできる。
それを主体とする合金である場合に、第１の金属層１を
電解エッチングするときには、リン酸と硫酸とクロム酸
とを含有する水性エッチング液やホウフッ酸含有水性エ
ッチング液を使用することができる。例えば、第１の金
属層１としてアルミニウムを使用した場合の電解エッチ
ングは、リン酸９５容量％と硫酸５容量％とからなる混
合液にクロム酸を１重量％添加した水性エッチング液
中、８２℃で５０Ａ／ｄｍ２の電流密度で行うことがで
きる。また、ホウフッ酸の２．５重量％水溶液中、３０
℃で５０Ａ／ｄｍ２の電流密度で行うこともできる。
【００１７】次に、被エッチング材料に陽極酸化処理を
施し、第１の金属層１のエッチング面に酸化膜１ａを形
成する。この陽極酸化処理は前述の電解エッチング液中
でも行うことができる。陽極酸化処理時の電位は、第１
の金属層１や第２の金属層２の種類などに応じて適宜決
定することができる。また、酸化膜の膜厚としては、そ
の後の第２の金属層１をエッチングする際の条件に耐え
られる程度のものであればよい。
施し、第１の金属層１のエッチング面に酸化膜１ａを形
成する。この陽極酸化処理は前述の電解エッチング液中
でも行うことができる。陽極酸化処理時の電位は、第１
の金属層１や第２の金属層２の種類などに応じて適宜決
定することができる。また、酸化膜の膜厚としては、そ
の後の第２の金属層１をエッチングする際の条件に耐え
られる程度のものであればよい。
【００１８】具体的な陽極酸化処理条件としては、第１
の金属層１の種類などに応じて適宜決定することができ
る。例えば、第１の金属層１がアルミニウム又はそれを
主体とする合金である場合には、硫酸水溶液中で陽極酸
化することができる。特に、第１の金属層１がアルミニ
ウムであって、エッチング液としてリン酸９５容量％と
硫酸５容量％とからなる混合液にクロム酸を１重量％添
加した水性エッチング液、又は２．５重量％水溶液を使
用した場合には、エッチング液を陽極酸化用の液媒体と
して使用でき、前者は８２℃で２〜１５分間、７．５〜
１０Ａ／ｄｍ２の電流密度で陽極酸化を行うことがで
き、また後者は３０℃で５〜１０分間、１．１〜２．２
Ａ／ｄｍ２の電流密度で陽極酸化を行うことができる。
の金属層１の種類などに応じて適宜決定することができ
る。例えば、第１の金属層１がアルミニウム又はそれを
主体とする合金である場合には、硫酸水溶液中で陽極酸
化することができる。特に、第１の金属層１がアルミニ
ウムであって、エッチング液としてリン酸９５容量％と
硫酸５容量％とからなる混合液にクロム酸を１重量％添
加した水性エッチング液、又は２．５重量％水溶液を使
用した場合には、エッチング液を陽極酸化用の液媒体と
して使用でき、前者は８２℃で２〜１５分間、７．５〜
１０Ａ／ｄｍ２の電流密度で陽極酸化を行うことがで
き、また後者は３０℃で５〜１０分間、１．１〜２．２
Ａ／ｄｍ２の電流密度で陽極酸化を行うことができる。
【００１９】なお、一般に数ミクロン程度の薄い酸化膜
には孔が多数存在しているので、その後に作用させる第
２の金属層２用のエッチング液から第１の金属層１を保
護するために、酸化膜１ａに封孔処理を施すことが好ま
しい。例えば、第１の金属層１がアルミニウムの場合
に、陽極酸化により形成したアルミニウムの酸化膜１ａ
に対しては、１００℃の水蒸気中に被エッチング材料を
放置することにより封孔処理を行うことができる。
には孔が多数存在しているので、その後に作用させる第
２の金属層２用のエッチング液から第１の金属層１を保
護するために、酸化膜１ａに封孔処理を施すことが好ま
しい。例えば、第１の金属層１がアルミニウムの場合
に、陽極酸化により形成したアルミニウムの酸化膜１ａ
に対しては、１００℃の水蒸気中に被エッチング材料を
放置することにより封孔処理を行うことができる。
【００２０】陽極酸化終了後、第２の金属層２を図１
（ｃ）に示すようにエッチングする。このとき、第１の
金属層１のエッチング面には、第２の金属層２をエッチ
ングする条件に耐えられる酸化膜１ａが形成されている
ので、第２の金属層２を選択的にエッチングすることが
できる。従って、第１の金属層１のサイドエッチング量
は増加せず、更に、第１の金属層１が第２の金属層２の
レジスト層としての機能を有するので従来に比べ高いエ
ッチングファクター、例えば４以上のエッチングファク
ターでエッチングすることができるようになる。なお、
最後に常法によりレジスト層３を除去すればよい。
（ｃ）に示すようにエッチングする。このとき、第１の
金属層１のエッチング面には、第２の金属層２をエッチ
ングする条件に耐えられる酸化膜１ａが形成されている
ので、第２の金属層２を選択的にエッチングすることが
できる。従って、第１の金属層１のサイドエッチング量
は増加せず、更に、第１の金属層１が第２の金属層２の
レジスト層としての機能を有するので従来に比べ高いエ
ッチングファクター、例えば４以上のエッチングファク
ターでエッチングすることができるようになる。なお、
最後に常法によりレジスト層３を除去すればよい。
【００２１】第２の金属層２のエッチングは、第１の金
属層１のエッチングと同様に常法によりスプレーエッチ
ングや電解エッチングなどの方法により行うことができ
る。
属層１のエッチングと同様に常法によりスプレーエッチ
ングや電解エッチングなどの方法により行うことができ
る。
【００２２】第２の金属層２をエッチングする際に使用
するエッチング液としては、第２の金属層２が鉄、銅又
はこれらを主体する合金、例えば鉄ニッケル合金（Ｎｉ
４２重量％）である場合には、塩化第二鉄水溶液又は硫
酸銅水溶液を使用することが好ましい。これらの液には
必要に応じてｐＨ調整剤などの各種の添加剤を加えるこ
とができる。具体的には４７ボーメの塩化第二鉄水溶液
を例示することができる。
するエッチング液としては、第２の金属層２が鉄、銅又
はこれらを主体する合金、例えば鉄ニッケル合金（Ｎｉ
４２重量％）である場合には、塩化第二鉄水溶液又は硫
酸銅水溶液を使用することが好ましい。これらの液には
必要に応じてｐＨ調整剤などの各種の添加剤を加えるこ
とができる。具体的には４７ボーメの塩化第二鉄水溶液
を例示することができる。
【００２３】図１の態様においては、二層構造の被エッ
チング材料を用いたが、この発明は第１の金属層と第２
の金属層とに第３の金属層とが順次積層した３層構造の
被エッチング材料や、それ以上の多数層構造の被エッチ
ング材料を用いた場合にも、外側の層をエッチングし、
そのエッチングされた面に陽極酸化膜を形成し、次にそ
の内側の層のエッチングを順次行うことにより同様に実
施することができる。
チング材料を用いたが、この発明は第１の金属層と第２
の金属層とに第３の金属層とが順次積層した３層構造の
被エッチング材料や、それ以上の多数層構造の被エッチ
ング材料を用いた場合にも、外側の層をエッチングし、
そのエッチングされた面に陽極酸化膜を形成し、次にそ
の内側の層のエッチングを順次行うことにより同様に実
施することができる。
【００２４】図２は、この発明のエッチング方法の別の
好ましい実施例の工程図であり、ＩＣチップ搭載用のリ
ードフレームを製造するための被エッチング材料とし
て、厚さ５０μｍの鉄ニッケル合金層（Ｎｉ４２重量
％）層２２とそれを挟持するように配設された厚さ５０
μｍのアルミニウム層２１からなる３層クラッド材料
（０．１５ｍｍ厚）を使用した場合の例である。まず、
３層クラッド材料の両面に所望のパターニングを施した
レジスト層２３を形成する（図２（ａ））。
好ましい実施例の工程図であり、ＩＣチップ搭載用のリ
ードフレームを製造するための被エッチング材料とし
て、厚さ５０μｍの鉄ニッケル合金層（Ｎｉ４２重量
％）層２２とそれを挟持するように配設された厚さ５０
μｍのアルミニウム層２１からなる３層クラッド材料
（０．１５ｍｍ厚）を使用した場合の例である。まず、
３層クラッド材料の両面に所望のパターニングを施した
レジスト層２３を形成する（図２（ａ））。
【００２５】次に、被エッチング材料の両面からエッチ
ング液として水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ５６ｇ／ｌ
＋赤血塩２５０ｇ／ｌ）を使用し、図２（ｂ）に示すよ
うに、鉄ニッケル合金層２２がわずかに露出するまでエ
ッチングする。
ング液として水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ５６ｇ／ｌ
＋赤血塩２５０ｇ／ｌ）を使用し、図２（ｂ）に示すよ
うに、鉄ニッケル合金層２２がわずかに露出するまでエ
ッチングする。
【００２６】次に、被エッチング材を１５％硫酸水溶液
に浸漬し、２０℃で１．０〜１．２Ａ／ｄｍ２の電流密
度で陽極酸化して、図２（ｃ）に示すようにアルミニウ
ム層２１のエッチング面に約３μｍ厚の酸化膜２１ａを
形成する。これを１００℃の水蒸気中に５分間放置する
ことにより封孔処理を行う。
に浸漬し、２０℃で１．０〜１．２Ａ／ｄｍ２の電流密
度で陽極酸化して、図２（ｃ）に示すようにアルミニウ
ム層２１のエッチング面に約３μｍ厚の酸化膜２１ａを
形成する。これを１００℃の水蒸気中に５分間放置する
ことにより封孔処理を行う。
【００２７】次に、４７ボーメの塩化第二鉄水溶液を被
エッチング材にスプレーすることにより鉄ニッケル合金
層２２を図２（ｄ）に示すようにエッチングする。最後
の常法によりレジスト層２３を除去することにより、高
いエッチングファクターで、平坦幅が広く且つファイン
ピッチのインナーリード部を有するリードフレームを製
造することができる。
エッチング材にスプレーすることにより鉄ニッケル合金
層２２を図２（ｄ）に示すようにエッチングする。最後
の常法によりレジスト層２３を除去することにより、高
いエッチングファクターで、平坦幅が広く且つファイン
ピッチのインナーリード部を有するリードフレームを製
造することができる。
【００２８】
【発明の効果】この発明のエッチング方法によれば、高
いエッチングファクターで且つファインピッチで複数の
金属層が積層された被エッチング材をエッチングするこ
とができる。
いエッチングファクターで且つファインピッチで複数の
金属層が積層された被エッチング材をエッチングするこ
とができる。
【図１】この発明のエッチング方法の工程図である。
【図２】この発明のエッチング方法の異なる態様の工程
図である。
図である。
【図３】従来のエッチング方法の工程図である。
１ 第１の金属層 ２ 第２の金属層 ３ レジスト層 ２１ アルミニウム層 ２２ 鉄ニッケル合金層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｆ 1/36 8414−4Ｋ 1/44 8414−4Ｋ
Claims (8)
- 【請求項１】 第１の金属層及び第２の金属層が積層さ
れた被エッチング材料の第１の金属層上に、所望の形に
パターニングしたレジスト層を形成し、その後に第１の
金属層をエッチングし、次に、第１の金属層のエッチン
グ面に陽極酸化により酸化膜を形成し、その後に第２の
金属層を選択的にエッチングすることを特徴とするエッ
チング方法。 - 【請求項２】 第１の金属層がアルミニウム又はそれを
主体とする合金層であり、第２の金属層が鉄、銅又はこ
れらを主体する合金層である請求項１記載のエッチング
方法。 - 【請求項３】 第１の金属層がアルミニウムであり、第
２の金属層が鉄ニッケル合金（Ｎｉ４２重量％）である
請求項２記載のエッチング方法。 - 【請求項４】 第１の金属層を、水酸化アルカリ金属を
含有するアルカリ水溶液、又は燐酸及び硝酸を含有する
酸性水溶液でエッチングし、第２の金属層を塩化第二鉄
水溶液又は硫酸銅水溶液でエッチングする請求項２又は
３記載のエッチング方法。 - 【請求項５】 第１の金属層、第２の金属層及び第３の
金属層が順次積層され、第１の金属層と第３の金属層と
が同じ材料から構成されている被エッチング材料の第１
の金属層及び第３の金属層上に、所望の形にパターニン
グしたレジスト層を形成し、その後に第１の金属層をエ
ッチングし、次に、第１の金属層及び第３の金属層のエ
ッチング面に陽極酸化により酸化膜を形成し、その後に
第２の金属層を選択的にエッチングすることを特徴とす
るエッチング方法。 - 【請求項６】 第１の金属層及び第３の金属層がアルミ
ニウム又はそれを主体とする合金層であり、第２の金属
層が鉄、銅又はこれらを主体する合金層である請求項５
記載のエッチング方法。 - 【請求項７】 第１の金属層及び第３の金属層がアルミ
ニウムであり、第２の金属層が鉄ニッケル合金（Ｎｉ４
２重量％）である請求項６記載のエッチング方法。 - 【請求項８】 第１の金属層及び第３の金属層を、水酸
化アルカリ金属を含有するアルカリ水溶液、又は燐酸及
び硝酸を含有する酸性水溶液でエッチングし、第２の金
属層を塩化第二鉄水溶液又は硫酸銅水溶液でエッチング
する請求項６又は７記載のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5027628A JPH06224346A (ja) | 1993-01-23 | 1993-01-23 | エッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5027628A JPH06224346A (ja) | 1993-01-23 | 1993-01-23 | エッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06224346A true JPH06224346A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=12226227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5027628A Pending JPH06224346A (ja) | 1993-01-23 | 1993-01-23 | エッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06224346A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002246625A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-08-30 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法 |
| JPWO2013069767A1 (ja) * | 2011-11-11 | 2015-04-02 | 株式会社Ｎｅｏｍａｘマテリアル | 発光素子用基板、発光モジュールおよび発光モジュールの製造方法 |
| CN112553629A (zh) * | 2020-06-30 | 2021-03-26 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 一种6系铝合金的晶界腐蚀剂及晶粒度显示方法 |
-
1993
- 1993-01-23 JP JP5027628A patent/JPH06224346A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002246625A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-08-30 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法 |
| JPWO2013069767A1 (ja) * | 2011-11-11 | 2015-04-02 | 株式会社Ｎｅｏｍａｘマテリアル | 発光素子用基板、発光モジュールおよび発光モジュールの製造方法 |
| CN112553629A (zh) * | 2020-06-30 | 2021-03-26 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 一种6系铝合金的晶界腐蚀剂及晶粒度显示方法 |
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