JPH06226791A - 樹脂封止装置 - Google Patents

樹脂封止装置

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JPH06226791A
JPH06226791A JP5019964A JP1996493A JPH06226791A JP H06226791 A JPH06226791 A JP H06226791A JP 5019964 A JP5019964 A JP 5019964A JP 1996493 A JP1996493 A JP 1996493A JP H06226791 A JPH06226791 A JP H06226791A
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Kazuhiko Kobayashi
一彦 小林
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/1756—Handling of moulds or mould parts, e.g. mould exchanging means

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チェイスの交換の際に、型閉状態で行えると
共に、パーティング面の損傷を防止し得る樹脂封止装置
を提供する。 【構成】 上型モールドベース16は型閉状態において
上型チェイス18が着脱可能である。下型モールドベー
ス20は型閉状態において下型チェイス32が着脱可能
である。上型チェイス18および/または下型チェイス
32には、型閉状態、かつ駆動機構が型締力を作用させ
ない状態では弾性力によって上型チェイス18と下型チ
ェイス32の互いのパーティング面を離間させ、駆動機
構が型締力を作用させる状態では弾性変形して上型チェ
イス18と下型チェイス32の互いのパーティング面を
接触可能にする弾性体64が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂封止装置に関し、一
層詳細には上型モールドベースと、上型モールドベース
に対して水平方向へスライドさせて着脱させることが可
能な上型チェイスと、上型モールドベースに対して相対
的に接離動可能である下型モールドベースと、下型モー
ルドベースに対して水平方向へスライドさせて着脱させ
ることが可能であると共に、型閉状態において上型チェ
イスと係合可能な下型チェイスと、上型モールドベース
と下型モールドベースとを相対的に接離動させると共
に、型閉状態において上型モールドベースまたは下型モ
ールドベースへ型締力を作用させる駆動機構とを具備す
る樹脂封止装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、上型モールドベースと、上型モー
ルドベースに対して水平方向へスライドさせて着脱させ
ることが可能な上型チェイスと、上型モールドベースに
対して相対的に接離動可能である下型モールドベース
と、下型モールドベースに対して水平方向へスライドさ
せて着脱させることが可能であると共に、型閉状態にお
いて上型チェイスと係合可能な下型チェイスと、上型モ
ールドベースと下型モールドベースとを相対的に接離動
させると共に、型閉状態において上型モールドベースま
たは下型モールドベースへ型締力を作用させる駆動機構
とを具備する樹脂封止装置としては、例えば特開昭62
−269328号公報、特開昭62−269329号公
報、特開昭62−269330号公報、特開昭63−8
2718号公報等に開示される技術がある。
【0003】これらの樹脂封止装置では成形する半導体
装置の変更の際等、上型チェイスと下型チェイスを交換
可能になっている。この交換の際には駆動機構を介して
上型チェイスと下型チェイスを型開させ、交換前の上型
チェイスを上型モールドベースに対して水平方向へスラ
イドさせて上型モールドベースから離脱させる。交換前
の下型チェイスも下型モールドベースに対して水平方向
へスライドさせて下型モールドベースから離脱させる。
この後、新しい上型チェイスを上型モールドベースに対
して水平方向へスライドさせて上型モールドベースへ装
着脱させ、新しい下型チェイスも下型モールドベースに
対して水平方向へスライドさせて下型モールドベースか
ら装着させて交換が完了する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の樹脂封止装置には次のような課題がある。上型チ
ェイスと下型チェイスを交換する場合、従来の装置では
上型チェイスと下型チェイスを型開させ、上型チェイス
と下型チェイスをそれぞれ別個に上型モールドベースと
下型モールドベースから離脱させる。次に新しい上型チ
ェイスと下型チェイスもそれぞれ別個に上型モールドベ
ースと下型モールドベースへ装着するため、交換作業に
おいて少なくとも5工程必要となり、作業効率向上の障
害となっている。また、上型チェイスと下型チェイス
は、常に予め決められた上型チェイスと下型チェイスが
組み合わせて使用する必要がある。ところが、上型チェ
イスと下型チェイスを交換する際に上型チェイスと下型
チェイスをそれぞれ別個に上型モールドベースと下型モ
ールドベースから離脱させて扱うと、両者の組み合わせ
に誤りが発生するおそれが有る。また、上型チェイスと
下型チェイスをそれぞれ別個に扱うとなると作業、保管
のスペースとして広い空間が必要となる。さらに、上型
チェイスと下型チェイスをそれぞれ別個に扱うとなると
両者のパーティング面が汚れたり、傷つくおそれも有
る。
【0005】そこで、本発明者において上型チェイスと
下型チェイスを交換する際に、上型チェイスと下型チェ
イスを型閉状態で行うことを提案したが、上型チェイス
と下型チェイスのパーティング面同士を接触させると、
衝撃、振動等によりパーティング面を損傷してしまうと
いう課題があり、実現に至らなかった。従って、本発明
は上型チェイスと下型チェイスの交換の際に、上型チェ
イスと下型チェイスを型閉状態で行えると共に、パーテ
ィング面の損傷を防止し得る樹脂封止装置を提供するこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、上型モール
ドベースと、該上型モールドベースに対して水平方向へ
スライドさせて着脱させることが可能な上型チェイス
と、前記上型モールドベースに対して相対的に接離動可
能である下型モールドベースと、該下型モールドベース
に対して水平方向へスライドさせて着脱させることが可
能であると共に、型閉状態において前記上型チェイスと
係合可能な下型チェイスと、前記上型モールドベースと
前記下型モールドベースとを相対的に接離動させると共
に、型閉状態において上型モールドベースまたは下型モ
ールドベースへ型締力を作用させる駆動機構とを具備す
る樹脂封止装置において、前記上型モールドベースは型
閉状態において前記上型チェイスが着脱可能であり、前
記下型モールドベースは型閉状態において前記下型チェ
イスが着脱可能であり、前記上型チェイスおよび/また
は下型チェイスには、前記型閉状態、かつ前記駆動機構
が型締力を作用させない状態では弾性力によって上型チ
ェイスと下型チェイスの互いのパーティング面を離間さ
せ、駆動機構が型締力を作用させる状態では弾性変形し
て上型チェイスと下型チェイスの互いのパーティング面
を接触可能にする弾性体が設けられていることを特徴と
する。特に、前記上型モールドベースは装置本体部へ固
定され、前記下型モールドベースは前記装置本体部に対
して水平方向へスライドさせて着脱させることが可能に
してもよいし、前記上型チェイスと下型チェイスが型閉
状態において、前記下型チェイスを下型モールドベース
へ水平にスライドさせて着脱させるためのチェイス交換
機構を設けるようにしてもよい。
【0007】
【作用】作用について説明する。上型モールドベースと
下型モールドベースは、型閉状態のまま前記上型チェイ
スと前記下型チェイスを着脱可能であるので、上型チェ
イスと下型チェイスを型閉状態で交換することができ
る。また、上型チェイスおよび/または下型チェイスに
は、前記型閉状態、かつ前記駆動機構が型締力を作用さ
せない状態では弾性力によって上型チェイスと下型チェ
イスの互いのパーティング面を離間させ、駆動機構が型
締力を作用させる状態では弾性変形して上型チェイスと
下型チェイスの互いのパーティング面を接触可能にする
弾性体が設けられているので、交換の際には両パーティ
ング面を離間させた状態を保持可能となり、パーティン
グ面の損傷を防止可能となる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。図1は樹脂封止装置の一例である半
導体装置の半導体チップを樹脂封止するための半導体封
止装置の斜視図である。図1において、10は基台部で
あり、上面に4本のガイド柱12が立設されている。1
4は装置本体部を構成する可動板であり、ガイド柱12
へ嵌合し、ガイド柱12に沿って上下動可能になってい
る。16は上型モールドベースであり、可動板14の下
面に固定されている。18は上型チェイスであり、上型
モールドベース16へ取り付けられる。詳しい構造は後
述するが、上型チェイス18は上型モールドベース16
に対して水平方向へスライドさせて着脱可能になってい
る。
【0009】20は下型モールドベースであり、基台部
10に取り付けられている。下型モールドベース20
は、スライド部22上に固定されている。スライド部2
2は、基台部10に設けられているレール24aに沿っ
て矢印A方向へスライド可能になっている。26aはボ
ールネジであり、各レール24aに沿って2本(一方は
不図示)配設されている。各ボールネジ26aは、スラ
イド部22下面に固定されているナット28(一方は不
図示)と螺合している。ボールネジ26aは、基台部1
0に固定されているモータ30aにより駆動される。従
って、モータ30aを駆動することにより、ボールネジ
26aが回転し、スライド部22と下型モールドベース
20をレール24aに沿って移動させることができる。
32は下型チェイスであり、下型モールドベース20へ
収納される。詳しい構造は後述するが、下型チェイス3
2は下型モールドベース20に対して水平方向へスライ
ドさせて着脱可能になっている。
【0010】34は駆動機構であり、可動板14を上下
動させる機構である。駆動機構34は、モータ30b
と、モータ30bによって回転する押圧ネジ36と、押
圧ネジ36と螺合するナット37が固定され、押圧ネジ
36の回転により上下動するクロスヘッド39と、クロ
スヘッド39に連結され、可動板14へ押圧力を加える
1対のトグルリンク38を含む。駆動機構34により可
動板14が下動すると、上型モールドベース16へ取り
付けられた上型チェイス18と下型モールドベース20
へ取り付けられた下型チェイス32が接近する。その
際、上型チェイス18の4辺に突設されている係合凸部
40と下型チェイス32の4辺に凹設されている係合凹
部42とが係合する(図2参照)。この状態では、上型
チェイス18のパーティング面と下型チェイス32のパ
ーティング面は密着しておらず、説明上ここでは型閉状
態と呼ぶ。樹脂封止を行う場合、樹脂の充填圧力に対抗
するため、駆動機構34はさらに可動板14を可動さ
せ、型閉状態の上型モールドベース16と、下型モール
ドベース20へ押圧力(型締力)を作用させる。この状
態では、上型チェイス18のパーティング面と下型チェ
イス32のパーティング面は密着しており、説明上ここ
では型締状態と呼ぶ。なお、可動板14が上動し、上型
チェイス18と下型チェイス32が離間して両者の係合
が外れた状態を、説明上型開状態と呼ぶ。
【0011】44はチェイス交換機構であり、上型チェ
イス18と下型チェイス32が型閉状態において、下型
チェイス32と上型チェイス18と共に下型モールドベ
ースへ水平に矢印A方向へスライドさせて着脱させる。
チェイス交換機構44は、レール24bに沿って移動す
る搬送車46で矢印B方向へ順次移動可能になってい
る。搬送車46の上面にはレール24cが矢印A方向へ
固定され、スライド板48がレール24cに沿って矢印
A方向へスライド可能になっている。スライド板48
は、不図示のモータで駆動されるボールネジ26bによ
り矢印A方向へスライドされる。型閉状態の上型チェイ
ス18と下型チェイス32が上面をスライド可能なレー
ル24dがスライド板48上に矢印A方向へ配設されて
いる。着脱アーム50がレール24dに沿って矢印A方
向へ移動可能であり、着脱アーム50の先端には着脱ロ
ッド52が設けられている。着脱ロッド52の先端は、
下型チェイス32の端面に開口する係合孔54へ進入可
能、かつ1/4回転した際には係合孔54からの抜脱が
不能となる。着脱アーム50はアーム駆動装置56(例
えばモータと送りネジから成る)により矢印A方向へ移
動する。
【0012】次に、図2をさらに参照して上型モールド
ベース16および上型チェイス18の構造について説明
する。上型モールドベース16は、右端面が開閉部材5
8aで開閉可能になっている。開閉部材58aを閉塞、
固定することにより上型チェイス18の上型モールドベ
ース16内での位置決めがなされる。上型モールドベー
ス16内壁面には、図1に明示されるように水平な矢印
A方向のガイド溝60aが形成されている。上型チェイ
ス18の両側面にはガイド溝60aへスライド可能に係
合可能な凸条62aが形成されている。従って、開閉部
材58aが開放状態(図1の状態)では、上型チェイス
18はガイド溝60aに沿って水平にスライドし、上型
モールドベース16へ着脱可能になっている。
【0013】上型チェイス18内には弾性体の一例であ
るスプリング64が配設されている。また、下端が上型
チェイス18のパーティング面から突出入可能なプラン
ジャ66が配設され、スプリング64は常時プランジャ
66を突出方向へ付勢している。スプリング64を設け
ることにより型閉状態で、かつ駆動機構34が型締力を
作用させない状態では、スプリング64の弾性力によっ
て突出したプランジャ66の下端が下型チェイス32の
パーティング面に当接し、上型チェイス18と下型チェ
イス32の互いのパーティング面を離間させる(図2に
ギャップGで示す)。一方、駆動機構34が型締力を上
型モールドベース16へ作用させると、スプリング64
は圧縮され、プランジャ66は上型チェイス18内へ退
動して上型チェイス18と下型チェイス32のパーティ
ング面同士が密着する。
【0014】次に、図7をさらに参照して下型モールド
ベース20および下型チェイス32の構造について説明
する。下型モールドベース20は、右端面が開閉部材5
8bで開閉可能になっている。開閉部材58bを閉塞、
固定することにより下型チェイス32の下型モールドベ
ース20内での位置決めがなされる。下型モールドベー
ス20内壁面には、図7に明示されるように水平な矢印
A方向のガイド溝60bが形成されている。下型チェイ
ス32の両側面にはガイド溝60bへスライド可能に係
合可能な凸条62bが形成されている。従って、開閉部
材58bが開放状態(図1、図7の状態)では、下型チ
ェイス32はガイド溝60bに沿って水平にスライド
し、下型モールドベース20へ着脱可能になっている。
なお、下型チェイス32には樹脂圧送用のプランジャ
(不図示)が取り付けられているブロック68が設けら
れており、ブロック68の両側面に形成されている凹溝
70は、基台部10に設けられている係合部72とスラ
イド可能に係合するようになっている。係合部72は、
下型モールドベース20が基台部10へセットされた状
態では、下型モールドベース20の底面に開設されてい
るスリット74に対応する(図7参照)。
【0015】続いて、図1〜図6を参照して上型チェイ
ス18および下型チェイス32の交換について説明す
る。図2に示す状態は、型締状態から型締力が解放され
た型閉状態であり、上型モールドベース16内に装着さ
れている上型チェイス18のパーティング面と、下型モ
ールドベース20内に装着されている下型チェイス32
のパーティング面との間にはスプリング64の弾性力に
よりギャップGが保持されている。上型チェイス18と
下型チェイス32の交換を行う場合、まず図3に示すよ
うに、開閉部材58aを矢印C方向へ回動させる。この
回動により、上型チェイス18は上型モールドベース1
6から抜脱可能となる。
【0016】この状態でモータ30aを駆動してスライ
ド部22および下型モールドベース20を前進させる
(矢印D方向)。開閉部材58bは閉塞状態なので下型
チェイス32は下型モールドベース20から抜脱不能で
ある。そこで、下型モールドベース20が前進すると、
下型チェイス32は下型モールドベース20と一体に前
進する。その際、型閉状態が保持されているので、上型
チェイス18の係合凸部40と下型チェイス32の係合
凹部42とが係合しており、上型チェイス18は下型チ
ェイス32と共に前進し、上型モールドベース16から
外れる(図4の状態)。次に図5に示すように、開閉部
材58aを矢印E方向へ回動させる。この回動により、
下型チェイス32は下型モールドベース20から抜脱可
能となる。
【0017】この間にチェイス交換機構44の搬送車4
6は図1に示す位置に待機が完了しており、スライド板
48が下型モールドベース20方向へ移動し、着脱アー
ム50も同方向へ移動する。着脱アーム50の移動によ
り、着脱ロッド52の先端が、下型チェイス32の係合
孔54へ進入する。この後、着脱ロッド52が1/4回
転され、係合孔54へ係合される。この状態で着脱アー
ム50が下型モールドベース20と離反する方向へ移動
すると、型閉状態の上型チェイス18と下型チェイス3
2が一体に下型モールドベース20から引き出され、レ
ール24d上に移載される(図6、矢印F)。上型チェ
イス18と下型チェイス32を型閉状態のままレール2
4d上に移載したら、スライド板48は下型モールドベ
ース20と離反する方向へ移動し、搬送車46は矢印B
方向へ移動する。
【0018】続いて新しい上型チェイス18と下型チェ
イス32を型閉状態のままレール24d上に移載した搬
送車46が前進状態(図1の状態))の下型モールドベ
ース20に対応する。この状態からスライド板48およ
び着脱アーム50が下型モールドベース20へ接近する
方向へ移動し、ギャップGを有する型閉状態の上型チェ
イス18と下型チェイス32を下型モールドベース20
内へ装着させる。上型チェイス18と下型チェイス32
を下型モールドベース20内へ装着させたら、着脱ロッ
ド52が1/4回転され、係合孔54との係合が解除さ
れる。この状態で着脱アーム50が下型モールドベース
20と離反する方向へ移動すると、上型チェイス18と
下型チェイス32はチェイス交換機構44に対してフリ
ーになる。続いて開閉部材58bが閉塞され、モータ3
0aの駆動により下型モールドベース20等が退動す
る。この退動により上型チェイス18は上型モールドベ
ース16内へ装着される。上型チェイス18が装着され
たら開閉部材58aは閉塞状態となり上型チェイス18
と下型チェイス32の交換が完了する。
【0019】上型チェイス18と下型チェイス32の交
換の際に、型閉状態のまますることができるので、交換
作業において工程数を減じることができ、作業効率向上
を図ることをできる。また、型閉状態を維持可能な上型
チェイス18と下型チェイス32は、常に予め決められ
た組み合わせを維持することができるので、後で使用す
る際に上型チェイス18と下型チェイス32の組み合わ
せに誤りが発生することがない。。また、上型チェイス
18と下型チェイス32を型閉状態で扱い得るので作
業、保管のスペースは別個に扱う場合と比較して狭い空
間ですむ。さらに、上型チェイス18と下型チェイス3
2をそれぞれ別個に扱わないので両者のパーティング面
の汚れや損傷を抑制可能となる。
【0020】特に、スプリング64を配設することによ
り、型閉状態で、かつ駆動機構34が型締力を作用させ
ない状態では弾性力によって上型チェイス18と下型チ
ェイス32の互いのパーティング面を離間させるので、
交換時に上型チェイス18と下型チェイス32の互いの
パーティング面を離間させた状態を保持可能となり、パ
ーティング面の損傷を防止可能となる。さらに、スプリ
ング64の弾性力を調整し、型閉状態で凸条62aの下
面とガイド溝60aの底面が接触不能にすれば両面間の
摩擦抵抗をなくすことが可能となり、上型チェイス18
と下型チェイス32との交換をよりスムーズに行うこと
が可能となる。以上、本発明の好適な実施例について種
々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるの
ではなく、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を
施し得るのはもちろんである。
【0021】
【発明の効果】本発明に係る樹脂封止装置を用いると、
上型チェイスと下型チェイスの交換の際に、型閉状態の
まますることができるので、交換作業において工程数を
減じることができ、作業効率向上を図ることをできる。
また、型閉状態を維持可能な上型チェイスと下型チェイ
スは、常に予め決められた組み合わせを維持可能なの
で、上型チェイスと下型チェイスの組み合わせに誤りが
発生することがない。。また、上型チェイスと下型チェ
イスを型閉状態で扱い得るので作業、保管のスペースは
別個に扱う場合と比較して狭い空間ですむと共に、両者
のパーティング面の汚れや損傷を抑制可能となる。
【0022】特に、弾性体を配設することにより、型閉
状態で、かつ駆動機構が型締力を作用させない状態では
弾性力によって上型チェイスと下型チェイスの互いのパ
ーティング面を離間させるので、交換時に上型チェイス
と下型チェイスの互いのパーティング面を離間させた状
態を保持可能となり、パーティング面の損傷を防止可能
となる。さらに、チェイス交換機構を設けると、チェイ
スの交換の自動化を図ることも可能となる等の著効を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る樹脂封止装置の実施例である半導
体封止装置の斜視図。
【図2】実施例の半導体封止装置における型閉状態を示
した部分断面図。
【図3】実施例の半導体封止装置におけるチェイス交換
の手順を示した部分側面図。
【図4】実施例の半導体封止装置におけるチェイス交換
の手順を示した部分側面図。
【図5】実施例の半導体封止装置におけるチェイス交換
の手順を示した部分側面図。
【図6】実施例の半導体封止装置におけるチェイス交換
の手順を示した部分側面図。
【図7】下型モールドベースと下型チェイスとの関係を
示した部分斜視図。
【符号の説明】
14 可動板 16 上型モールドベース 18 上型チェイス 20 下型モールドベース 22 スライド部 32 下型チェイス 34 駆動機構 40 係合凸部 42 係合凹部 44 チェイス交換機構 64 スプリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B29L 31:34 4F

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上型モールドベースと、 該上型モールドベースに対して水平方向へスライドさせ
    て着脱させることが可能な上型チェイスと、 前記上型モールドベースに対して相対的に接離動可能で
    ある下型モールドベースと、 該下型モールドベースに対して水平方向へスライドさせ
    て着脱させることが可能であると共に、型閉状態におい
    て前記上型チェイスと係合可能な下型チェイスと、 前記上型モールドベースと前記下型モールドベースとを
    相対的に接離動させると共に、型閉状態において上型モ
    ールドベースまたは下型モールドベースへ型締力を作用
    させる駆動機構とを具備する樹脂封止装置において、 前記上型モールドベースは型閉状態において前記上型チ
    ェイスが着脱可能であり、 前記下型モールドベースは型閉状態において前記下型チ
    ェイスが着脱可能であり、 前記上型チェイスおよび/または下型チェイスには、前
    記型閉状態、かつ前記駆動機構が型締力を作用させない
    状態では弾性力によって上型チェイスと下型チェイスの
    互いのパーティング面を離間させ、駆動機構が型締力を
    作用させる状態では弾性変形して上型チェイスと下型チ
    ェイスの互いのパーティング面を接触可能にする弾性体
    が設けられていることを特徴とする樹脂封止装置。
  2. 【請求項2】 前記上型モールドベースは装置本体部へ
    固定され、 前記下型モールドベースは前記装置本体部に対して水平
    方向へスライドさせて着脱させることが可能であること
    を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
  3. 【請求項3】 前記上型チェイスと下型チェイスが型閉
    状態において、前記下型チェイスを下型モールドベース
    へ水平にスライドさせて着脱させるためのチェイス交換
    機構を設けたことを特徴とする請求項2記載の樹脂封止
    装置。
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