JPH06232017A - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
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- JPH06232017A JPH06232017A JP5015066A JP1506693A JPH06232017A JP H06232017 A JPH06232017 A JP H06232017A JP 5015066 A JP5015066 A JP 5015066A JP 1506693 A JP1506693 A JP 1506693A JP H06232017 A JPH06232017 A JP H06232017A
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】化学汚染物質除去能力が高く、パーティクルの
発生がなく、気流の圧力損失が少なく、容積の小さな空
気清浄装置を提供する。 【構成】空気清浄装置１において、粒体状担体に化学吸
着剤を担持させた第２のケミカルフィルタ１２と、高分
子繊維に化学吸着剤を重合させた第１、第３のケミカル
フィルタ１１，１５とを併用した構成とする。
発生がなく、気流の圧力損失が少なく、容積の小さな空
気清浄装置を提供する。 【構成】空気清浄装置１において、粒体状担体に化学吸
着剤を担持させた第２のケミカルフィルタ１２と、高分
子繊維に化学吸着剤を重合させた第１、第３のケミカル
フィルタ１１，１５とを併用した構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工場やその他
のクリーンルームに供給する空気から硫黄酸化物等の化
学汚染物質を除去する空気清浄装置に関する。
のクリーンルームに供給する空気から硫黄酸化物等の化
学汚染物質を除去する空気清浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場のクリーンルームでは、
微細なパーティクルを除去する目的で供給空気経路にＨ
ＥＰＡフィルタが設けられている。しかしこのＨＥＰＡ
フィルタではＳｉウエハー表面の曇りなどの原因となる
硫黄酸化物などの化学汚染物質を空気より除去すること
はできない。
微細なパーティクルを除去する目的で供給空気経路にＨ
ＥＰＡフィルタが設けられている。しかしこのＨＥＰＡ
フィルタではＳｉウエハー表面の曇りなどの原因となる
硫黄酸化物などの化学汚染物質を空気より除去すること
はできない。
【０００３】そのためのフィルタとして、粒体状担体に
化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタや、高分子繊
維に化学吸着剤を重合させたケミカルフィルタが従来か
ら用いられている。
化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタや、高分子繊
維に化学吸着剤を重合させたケミカルフィルタが従来か
ら用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記粒体状担体に化学
吸着剤を担持させたケミカルフィルタにおいては、すぐ
れた化学汚染物質除去能力を有するものの、ベースが粒
体状担体であるため、そこから、クリーンルームで最も
嫌うパーティクルを発生するという問題があり、それを
解決しようとすれば、図３に概略構成図を示す空気清浄
装置３において、粒体状担体に化学吸着剤を担持させた
ケミカルフィルタ３２の後にパーティクル除去用アフタ
ーフィルタ３３が必要となり、さらに外部環境から供給
される空気３０に含有されるパーティクルを除去するた
めのプレフィルタ３１が必要となる。図中の３４は浄化
空気を示す。そのため、気流の圧力損失が大きくなり、
それを補償するため送風機の送風能力を大きくしなけれ
ばならなくなり、空気清浄装置の設置スペースが大きく
なるなどの課題があった。
吸着剤を担持させたケミカルフィルタにおいては、すぐ
れた化学汚染物質除去能力を有するものの、ベースが粒
体状担体であるため、そこから、クリーンルームで最も
嫌うパーティクルを発生するという問題があり、それを
解決しようとすれば、図３に概略構成図を示す空気清浄
装置３において、粒体状担体に化学吸着剤を担持させた
ケミカルフィルタ３２の後にパーティクル除去用アフタ
ーフィルタ３３が必要となり、さらに外部環境から供給
される空気３０に含有されるパーティクルを除去するた
めのプレフィルタ３１が必要となる。図中の３４は浄化
空気を示す。そのため、気流の圧力損失が大きくなり、
それを補償するため送風機の送風能力を大きくしなけれ
ばならなくなり、空気清浄装置の設置スペースが大きく
なるなどの課題があった。
【０００５】一方、高分子繊維に化学吸着剤を重合させ
たケミカルフィルタでは、フィルタからのパーティクル
の発生はなく、気流の圧力損失も少なく、このフィルタ
で空気清浄装置を構成しても容積は大きくならないとい
う特徴を有するものの、化学汚染物の除去能力が低いと
いう課題を抱えていた。
たケミカルフィルタでは、フィルタからのパーティクル
の発生はなく、気流の圧力損失も少なく、このフィルタ
で空気清浄装置を構成しても容積は大きくならないとい
う特徴を有するものの、化学汚染物の除去能力が低いと
いう課題を抱えていた。
【０００６】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、化学汚染物質除去能力が高く、パーティクルの発生
がなく、気流の圧力損失が少なく、容積の小さな空気清
浄装置を提供することを目的とする。
で、化学汚染物質除去能力が高く、パーティクルの発生
がなく、気流の圧力損失が少なく、容積の小さな空気清
浄装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケミカ
ルフィルタと、高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタとを併用した空気清浄装置の構成とす
る。
本発明は、粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケミカ
ルフィルタと、高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタとを併用した空気清浄装置の構成とす
る。
【０００８】
【作用】上記構成の空気清浄装置は、粒体状担体に化学
吸着剤を担持させたケミカルフィルタによって、外部環
境から取り入れた空気から化学汚染物質を効率よく除去
するとともに、高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタによって粒体状担体に化学吸着剤を担持
させたケミカルフィルタから発生するパーティクルを除
去でき、化学汚染物質とパーティクルの両方の含有率の
低い清浄な空気をクリーンルームに送り出す作用をな
す。
吸着剤を担持させたケミカルフィルタによって、外部環
境から取り入れた空気から化学汚染物質を効率よく除去
するとともに、高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタによって粒体状担体に化学吸着剤を担持
させたケミカルフィルタから発生するパーティクルを除
去でき、化学汚染物質とパーティクルの両方の含有率の
低い清浄な空気をクリーンルームに送り出す作用をな
す。
【０００９】
【実施例】次に本発明にかかる空気清浄装置についてそ
の実施例をあげて具体的に説明する。 実施例１ 図１は本発明にかかる空気清浄装置の一実施例を示す説
明図である。この図を用いてその構成および作用を詳細
に説明する。図中の１は本発明にかかる空気清浄装置で
あって外部環境から供給された空気１０は、高分子繊維
に化学吸着材としてアミン基を重合させた第１のケミカ
ルフィルタ１１で、外部環境から供給された空気に含有
されているパーティクルが除去され、化学汚染物質であ
る硫黄酸化物ＳＯX の一部が除去される。第１のケミカ
ルフィルタ１１を通過した空気１２は、粒体状担体ゼオ
ライトに化学吸着剤である過マンガン酸カリウムを担持
させた第２のケミカルフィルタ１３において、外部環境
から供給された空気中に含有されている硫黄酸化物ＳＯ
X の大部分が除去される。第２のケミカルフィルタ１３
を通過した空気１４は、第１のケミカルフィルタ１１と
同じ高分子繊維に化学吸着剤としてアミン基を重合した
第３のケミカルフィルタ１５で、外部環境から供給され
た空気に含有されていた硫黄酸化物ＳＯX を除去しかつ
第２のケミカルフィルタ１３で発生したパーティクルを
除去し、清浄空気を送出する。
の実施例をあげて具体的に説明する。 実施例１ 図１は本発明にかかる空気清浄装置の一実施例を示す説
明図である。この図を用いてその構成および作用を詳細
に説明する。図中の１は本発明にかかる空気清浄装置で
あって外部環境から供給された空気１０は、高分子繊維
に化学吸着材としてアミン基を重合させた第１のケミカ
ルフィルタ１１で、外部環境から供給された空気に含有
されているパーティクルが除去され、化学汚染物質であ
る硫黄酸化物ＳＯX の一部が除去される。第１のケミカ
ルフィルタ１１を通過した空気１２は、粒体状担体ゼオ
ライトに化学吸着剤である過マンガン酸カリウムを担持
させた第２のケミカルフィルタ１３において、外部環境
から供給された空気中に含有されている硫黄酸化物ＳＯ
X の大部分が除去される。第２のケミカルフィルタ１３
を通過した空気１４は、第１のケミカルフィルタ１１と
同じ高分子繊維に化学吸着剤としてアミン基を重合した
第３のケミカルフィルタ１５で、外部環境から供給され
た空気に含有されていた硫黄酸化物ＳＯX を除去しかつ
第２のケミカルフィルタ１３で発生したパーティクルを
除去し、清浄空気を送出する。
【００１０】なお、この実施例において、除去すべき化
学汚染物質を硫黄酸化物として説明したが、化学汚染物
質が他の物質でもよく、その場合、それに対応する化学
吸着剤に変えてやればよい。たとえば、化学汚染物質が
アンモニアＮＨ3 の場合、高分子繊維に重合する化学吸
着剤としてスルホン基を選んでやり、粒体状担体に担持
する化学吸着剤としてリン酸塩等を選んでやればよい。
学汚染物質を硫黄酸化物として説明したが、化学汚染物
質が他の物質でもよく、その場合、それに対応する化学
吸着剤に変えてやればよい。たとえば、化学汚染物質が
アンモニアＮＨ3 の場合、高分子繊維に重合する化学吸
着剤としてスルホン基を選んでやり、粒体状担体に担持
する化学吸着剤としてリン酸塩等を選んでやればよい。
【００１１】また除去すべき化学汚染物質が複数ある場
合には、それらの除去すべき量に対応させながら、最も
高濃度の化学汚染物質を最も除去能力の高い、粒体状担
体に化学吸着剤を担持させた第２のケミカルフィルタ１
３で除去し、その他の化学汚染物質の除去を第１のケミ
カルフィルタ１１および第３のケミカルフィルタ１５に
割り当てることも可能である。さらに化学汚染物質が多
い場合には、粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケミ
カルフィルタや高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタを第４のケミカルフィルタ、第５のケミ
カルフィルタとして追加することも可能である。
合には、それらの除去すべき量に対応させながら、最も
高濃度の化学汚染物質を最も除去能力の高い、粒体状担
体に化学吸着剤を担持させた第２のケミカルフィルタ１
３で除去し、その他の化学汚染物質の除去を第１のケミ
カルフィルタ１１および第３のケミカルフィルタ１５に
割り当てることも可能である。さらに化学汚染物質が多
い場合には、粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケミ
カルフィルタや高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタを第４のケミカルフィルタ、第５のケミ
カルフィルタとして追加することも可能である。
【００１２】なお空気清浄装置１に取り入れる空気１０
は外部環境から供給される空気に限定する必要はなく、
クリーンルーム内で発生する化学汚染物質を含有したク
リーンルーム内の汚染空気を加えてもよい。その場合、
空気清浄装置を汚染空気は循環しており、クリーンルー
ム内の空気の化学汚染物質の濃度をさらに低く保持する
ことができる。
は外部環境から供給される空気に限定する必要はなく、
クリーンルーム内で発生する化学汚染物質を含有したク
リーンルーム内の汚染空気を加えてもよい。その場合、
空気清浄装置を汚染空気は循環しており、クリーンルー
ム内の空気の化学汚染物質の濃度をさらに低く保持する
ことができる。
【００１３】また、微小なパーティクルを除去する必要
がある場合は、空気清浄装置１にＨＥＰＡフィルタなど
を後置すればよい。 実施例２ 図２は本発明にかかる第２の実施例を示す説明図であ
る。この第２の実施例の空気清浄装置２においては、粒
体状担体に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタで
第２のケミカルフィルタ２２を構成し、多孔質フィルム
に化学吸着剤を重合させたケミカルフィルタで第１のケ
ミカルフィルタ２１と第３のケミカルフィルタ２３を構
成しており、外部環境から供給される空気２０に含有さ
れる化学汚染物質を効率よく除去し、かつ粒体状担体に
化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタから発生する
パーティクルを後置の多孔質フィルムに化学吸着剤を重
合させたケミカルフィルタで除去するなど、作用や効果
は実施例１の場合となんら変わるところはない。図中２
４は清浄空気である。
がある場合は、空気清浄装置１にＨＥＰＡフィルタなど
を後置すればよい。 実施例２ 図２は本発明にかかる第２の実施例を示す説明図であ
る。この第２の実施例の空気清浄装置２においては、粒
体状担体に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタで
第２のケミカルフィルタ２２を構成し、多孔質フィルム
に化学吸着剤を重合させたケミカルフィルタで第１のケ
ミカルフィルタ２１と第３のケミカルフィルタ２３を構
成しており、外部環境から供給される空気２０に含有さ
れる化学汚染物質を効率よく除去し、かつ粒体状担体に
化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタから発生する
パーティクルを後置の多孔質フィルムに化学吸着剤を重
合させたケミカルフィルタで除去するなど、作用や効果
は実施例１の場合となんら変わるところはない。図中２
４は清浄空気である。
【００１４】
【発明の効果】以上の実施例の説明より明らかなよう
に、本発明は粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケミ
カルフィルタと、高分子繊維に化学吸着剤を重合させた
ケミカルフィルタあるいは多孔質フィルムに化学吸着剤
を重合させたケミカルフィルタとを併用し、化学汚染物
質除去能力が高く、パーティクルの発生がなく、気流の
圧力損失が少なく、容積の小さなすぐれた空気清浄装置
を実現できるものである。
に、本発明は粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケミ
カルフィルタと、高分子繊維に化学吸着剤を重合させた
ケミカルフィルタあるいは多孔質フィルムに化学吸着剤
を重合させたケミカルフィルタとを併用し、化学汚染物
質除去能力が高く、パーティクルの発生がなく、気流の
圧力損失が少なく、容積の小さなすぐれた空気清浄装置
を実現できるものである。
【図１】本発明にかかる空気清浄装置の第１の実施例の
概略構成図
概略構成図
【図２】本発明にかかる空気清浄装置の第２の実施例の
概略構成図
概略構成図
【図３】従来の空気清浄装置の概略構成図
１ 空気清浄装置 １０ 外部環境から供給される空気 １１ 高分子繊維に化学吸着材を重合させた第１のケ
ミカルフィルタ １２ 第１のケミカルフィルタから第２のケミカルフ
ィルタに供給される空気 １３ 粒体状担体に化学吸着剤を担持させた第２のケ
ミカルフィルタ １４ 第２のケミカルフィルタから第３のケミカルフ
ィルタに供給される空気 １５ 高分子繊維に化学吸着材を重合させた第３のケ
ミカルフィルタ １６ 空気清浄装置から供出される清浄空気
ミカルフィルタ １２ 第１のケミカルフィルタから第２のケミカルフ
ィルタに供給される空気 １３ 粒体状担体に化学吸着剤を担持させた第２のケ
ミカルフィルタ １４ 第２のケミカルフィルタから第３のケミカルフ
ィルタに供給される空気 １５ 高分子繊維に化学吸着材を重合させた第３のケ
ミカルフィルタ １６ 空気清浄装置から供出される清浄空気
Claims (4)
- 【請求項１】 粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケ
ミカルフィルタと、高分子繊維に化学吸着剤を重合させ
たケミカルフィルタとを有する空気清浄装置。 - 【請求項２】 高分子繊維に化学吸着剤を重合させたケ
ミカルフィルタを、粒体状担体に化学吸着剤を担持させ
たケミカルフィルタの送風出力側に配置した請求項１記
載の空気清浄装置。 - 【請求項３】 粒体状担体に化学吸着剤を担持させたケ
ミカルフィルタと、多孔質フィルムに化学吸着剤を重合
させたケミカルフィルタとを有する空気清浄装置。 - 【請求項４】 多孔質フィルムに化学吸着剤を重合させ
たケミカルフィルタを、粒体状担体に化学吸着剤を担持
させたケミカルフィルタの送風出力側に配置した請求項
３記載の空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5015066A JPH06232017A (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5015066A JPH06232017A (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 空気清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232017A true JPH06232017A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11878477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5015066A Pending JPH06232017A (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06232017A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6897165B2 (en) * | 2001-06-06 | 2005-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Environmental control equipment/method of developing apparatus for developing light-exposed resist film with developer in wafer treating chamber |
| CN110043982A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-07-23 | 北京联合大学 | 动态自适应压差波动控制系统及方法 |
-
1993
- 1993-02-02 JP JP5015066A patent/JPH06232017A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6897165B2 (en) * | 2001-06-06 | 2005-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Environmental control equipment/method of developing apparatus for developing light-exposed resist film with developer in wafer treating chamber |
| EP1265040A3 (en) * | 2001-06-06 | 2006-09-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Environmental control equipment, method for developing apparatus |
| CN110043982A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-07-23 | 北京联合大学 | 动态自适应压差波动控制系统及方法 |
| CN110043982B (zh) * | 2019-04-16 | 2020-08-28 | 北京联合大学 | 动态自适应压差波动控制系统及方法 |
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