JPH06232111A - 遠心式基板乾燥装置 - Google Patents
遠心式基板乾燥装置Info
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- JPH06232111A JPH06232111A JP3247693A JP3247693A JPH06232111A JP H06232111 A JPH06232111 A JP H06232111A JP 3247693 A JP3247693 A JP 3247693A JP 3247693 A JP3247693 A JP 3247693A JP H06232111 A JPH06232111 A JP H06232111A
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- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 32
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
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- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被処理基板を保持し、回転することで基板の
液切り乾燥をする遠心式基板乾燥装置において、ロータ
の回転時において、基板およびキャリアをロータ内に保
持するための可動キャリア保持部材を閉じた状態に維持
する。 【構成】 可動キャリア保持部材１０、１７をロータ２
に対して回動自在に設け、この可動キャリア保持部材の
重心の位置Ｇ、Ｇ’をロータの回転中心Ｘと可動キャリ
ア保持部材１０、１７を支持する軸１１、１８との延長
線Ｂ、Ｃに対して可動キャリア保持部材の基板保持部お
よびキャリア保持部の位置とは反対側とする。
液切り乾燥をする遠心式基板乾燥装置において、ロータ
の回転時において、基板およびキャリアをロータ内に保
持するための可動キャリア保持部材を閉じた状態に維持
する。 【構成】 可動キャリア保持部材１０、１７をロータ２
に対して回動自在に設け、この可動キャリア保持部材の
重心の位置Ｇ、Ｇ’をロータの回転中心Ｘと可動キャリ
ア保持部材１０、１７を支持する軸１１、１８との延長
線Ｂ、Ｃに対して可動キャリア保持部材の基板保持部お
よびキャリア保持部の位置とは反対側とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板等の被処理
基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関する
ものである。
基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の遠心式基板乾燥装置として、特開
平６０−５９７４０号公報が知られている。この遠心式
基板乾燥装置は縦軸心で高速回転するロ−タに複数枚の
基板を収容したキャリアを複数個収容しロータの回転に
よる遠心力で洗浄液を分離させるものである。
平６０−５９７４０号公報が知られている。この遠心式
基板乾燥装置は縦軸心で高速回転するロ−タに複数枚の
基板を収容したキャリアを複数個収容しロータの回転に
よる遠心力で洗浄液を分離させるものである。
【０００３】又、この縦軸心のロータに変わるものとし
て図６に示す横軸心のロータによる遠心式基板乾燥装置
が提案されている。この基板乾燥装置４２は、チャンバ
４３内のロータ４４をその軸の一端に設けられたモ−タ
によって高速回転させ、このロータ４４内に備えられる
基板４６の水滴を分離させるものである。
て図６に示す横軸心のロータによる遠心式基板乾燥装置
が提案されている。この基板乾燥装置４２は、チャンバ
４３内のロータ４４をその軸の一端に設けられたモ−タ
によって高速回転させ、このロータ４４内に備えられる
基板４６の水滴を分離させるものである。
【０００４】ロータ４４は、１対の側板４６を複数のシ
ャフト４７、４８、４９、５０、５１、５２によって連
結することで構成されており、シャフト４７、４８に
は、それぞれ可動基板保持部材５３、５４が揺動自在に
設けられ、シャフト５５には前記可動基板保持部材５３
に設けられるピン５６と係合することで可動基板保持部
位５３を固定するロック部材５７が揺動自在に設けられ
ている。
ャフト４７、４８、４９、５０、５１、５２によって連
結することで構成されており、シャフト４７、４８に
は、それぞれ可動基板保持部材５３、５４が揺動自在に
設けられ、シャフト５５には前記可動基板保持部材５３
に設けられるピン５６と係合することで可動基板保持部
位５３を固定するロック部材５７が揺動自在に設けられ
ている。
【０００５】可動基板保持部材５３と可動基板保持部材
５４とは連結杆５８によって連結され、ロック部材５７
と可動基板保持部材５４とはテンションバー５９によっ
て連結されてあるので、ロック部材５７を可動基板保持
部材５３のピン５６に係合させることで可動基板保持部
材５３および５４を閉じた状態で固定することができ、
また、ロック部材５７を図中矢印Ｊ方向に回動すれば、
ロック部材５７に連動して可動基板保持部材５４、５５
を開くことができる。
５４とは連結杆５８によって連結され、ロック部材５７
と可動基板保持部材５４とはテンションバー５９によっ
て連結されてあるので、ロック部材５７を可動基板保持
部材５３のピン５６に係合させることで可動基板保持部
材５３および５４を閉じた状態で固定することができ、
また、ロック部材５７を図中矢印Ｊ方向に回動すれば、
ロック部材５７に連動して可動基板保持部材５４、５５
を開くことができる。
【０００６】このように従来の遠心式基板乾燥装置４２
は、可動基板保持部材５３、５４を閉じ、ロック部材５
７をピン５６に係合させ、複数枚の被処理基板４６を収
容したキャリア４５をロータ４４内に確実に保持し、ロ
ータ４４を回転して被処理基板４６の乾燥をしている。
は、可動基板保持部材５３、５４を閉じ、ロック部材５
７をピン５６に係合させ、複数枚の被処理基板４６を収
容したキャリア４５をロータ４４内に確実に保持し、ロ
ータ４４を回転して被処理基板４６の乾燥をしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
成では、ロック部材５７の解除をテンションバー５９の
みで支えるような構成になっているため、ロータ４３が
高速回転中に可動基板保持部材５３、５４やロック部材
５７に遠心力が作用すると、回転中のテンションバー５
９の負担が大きくなり、これによってロック部材５７が
解除し、可動基板保持部材５３、５４が遠心力により開
き、被処理基板４６とキャリア４５が飛び出し破損する
おそれがあった。
成では、ロック部材５７の解除をテンションバー５９の
みで支えるような構成になっているため、ロータ４３が
高速回転中に可動基板保持部材５３、５４やロック部材
５７に遠心力が作用すると、回転中のテンションバー５
９の負担が大きくなり、これによってロック部材５７が
解除し、可動基板保持部材５３、５４が遠心力により開
き、被処理基板４６とキャリア４５が飛び出し破損する
おそれがあった。
【０００８】本発明は前記の回転中における可動基板保
持部材を固定するロック部材の解除による、被処理基板
とキャリアの破損を防ぐことを課題とする。
持部材を固定するロック部材の解除による、被処理基板
とキャリアの破損を防ぐことを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の遠心式基板乾燥装置は第１の手段として、一対
の側板と、この側板間に架せられ複数の基板を収納する
キャリアを保持するキャリア保持部材と、前記一対の側
板間において回動自在に架せられ、これを閉じたときに
キャリアと当接するキャリア保持部と基板と当接する基
板保持部を具え、これを開いたときはキャリアの取付け
取外しのため前記キャリア保持部および基板保持部を退
避する可動キャリア保持部材とからなるロータを有し、
このロータを高速回転させる遠心式基板乾燥装置におい
て、前記可動キャリア保持部材を閉じたときの可動キャ
リア保持部材の重心の位置を、ロータの回転中心と可動
キャリア保持部材の回転軸との延長線に対してキャリア
保持部および基板保持部とは逆側としたことを特徴とす
る。
本発明の遠心式基板乾燥装置は第１の手段として、一対
の側板と、この側板間に架せられ複数の基板を収納する
キャリアを保持するキャリア保持部材と、前記一対の側
板間において回動自在に架せられ、これを閉じたときに
キャリアと当接するキャリア保持部と基板と当接する基
板保持部を具え、これを開いたときはキャリアの取付け
取外しのため前記キャリア保持部および基板保持部を退
避する可動キャリア保持部材とからなるロータを有し、
このロータを高速回転させる遠心式基板乾燥装置におい
て、前記可動キャリア保持部材を閉じたときの可動キャ
リア保持部材の重心の位置を、ロータの回転中心と可動
キャリア保持部材の回転軸との延長線に対してキャリア
保持部および基板保持部とは逆側としたことを特徴とす
る。
【００１０】第２の手段として、一対の側板と、この側
板間に架せられ複数の基板を保持する基板保持部材と、
前記一対の側板間において回動自在に架せられ、これを
閉じたときに基板と当接する基板保持部を具え、これを
開いたときは基板の取付け取外しのため前記基板保持部
を退避する可動基板保持部材とからなるロータを有し、
このロータを高速回転させる遠心式基板乾燥装置におい
て、前記可動基板保持部材を閉じたときの可動基板保持
部材の重心の位置を、ロータの回転中心と可動基板保持
部材の回転軸との延長線に対して基板保持部とは逆側と
したことを特徴とする。
板間に架せられ複数の基板を保持する基板保持部材と、
前記一対の側板間において回動自在に架せられ、これを
閉じたときに基板と当接する基板保持部を具え、これを
開いたときは基板の取付け取外しのため前記基板保持部
を退避する可動基板保持部材とからなるロータを有し、
このロータを高速回転させる遠心式基板乾燥装置におい
て、前記可動基板保持部材を閉じたときの可動基板保持
部材の重心の位置を、ロータの回転中心と可動基板保持
部材の回転軸との延長線に対して基板保持部とは逆側と
したことを特徴とする。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を図より説明する。図１は遠
心式基板乾燥装置の正面断面図であり図２はその側断面
図で、図３および図４は遠心式基板乾燥装置のロータ２
の拡大図である。
心式基板乾燥装置の正面断面図であり図２はその側断面
図で、図３および図４は遠心式基板乾燥装置のロータ２
の拡大図である。
【００１２】遠心式基板乾燥装置１のロータ２は、一対
の側板３と、一対の内側板４と、複数のフレ−ム５、
６、７、８と、キャリア保持板９とによって概略の骨格
が構成される。
の側板３と、一対の内側板４と、複数のフレ−ム５、
６、７、８と、キャリア保持板９とによって概略の骨格
が構成される。
【００１３】可動キャリア保持部材１０は側板３および
内側板４に回動自在に設けられた軸１１に固設された一
対の揺動板１２と、この揺動板１２間に架せられた基板
保持杆１３およびキャリア保持杆１４と、重り１５と、
位置決めピン１６とにより構成されている。また可動キ
ャリア保持部材１７は側板３および内側板４に回動自在
に設けられた軸１８に固設された一対の揺動板１９と、
この揺動板１９間に架せられた基板保持杆２０およびキ
ャリア保持杆２１と、重り２２と、位置決めピン２３と
により構成されている。
内側板４に回動自在に設けられた軸１１に固設された一
対の揺動板１２と、この揺動板１２間に架せられた基板
保持杆１３およびキャリア保持杆１４と、重り１５と、
位置決めピン１６とにより構成されている。また可動キ
ャリア保持部材１７は側板３および内側板４に回動自在
に設けられた軸１８に固設された一対の揺動板１９と、
この揺動板１９間に架せられた基板保持杆２０およびキ
ャリア保持杆２１と、重り２２と、位置決めピン２３と
により構成されている。
【００１４】可動キャリア保持部材１０と可動キャリア
保持部材１７にそれぞれ設けられた重り１５と重り２２
は、可動キャリア保持部材１０の重心の位置Ｇと可動キ
ャリア保持部材１７の重心の位置Ｇ’とがそれぞれロー
タ２の回転中心Ｘと軸１１および軸１８とを結ぶ延長線
Ｄ、Ｅに対して基板保持杆１３、２０およびキャリア保
持杆１４、２１の位置とは反対側の位置（図中において
この線Ｄ、Ｅの下方側）となるようにその重さと位置が
決められている。
保持部材１７にそれぞれ設けられた重り１５と重り２２
は、可動キャリア保持部材１０の重心の位置Ｇと可動キ
ャリア保持部材１７の重心の位置Ｇ’とがそれぞれロー
タ２の回転中心Ｘと軸１１および軸１８とを結ぶ延長線
Ｄ、Ｅに対して基板保持杆１３、２０およびキャリア保
持杆１４、２１の位置とは反対側の位置（図中において
この線Ｄ、Ｅの下方側）となるようにその重さと位置が
決められている。
【００１５】キャリア２４、および、キャリア２４に収
納された被処理基板２５は、キャリア保持板９と、可動
キャリア保持部材１０、１７に設けられた基板保持杆１
３、２０およびキャリア保持杆１４、２１によって保持
される。
納された被処理基板２５は、キャリア保持板９と、可動
キャリア保持部材１０、１７に設けられた基板保持杆１
３、２０およびキャリア保持杆１４、２１によって保持
される。
【００１６】前記基板保持杆１３、１９の位置決めは、
可動キャリア保持部材１０、１７に設けられた位置決め
ピン１６、２３を内側板４の上面部に突き当てることで
行い、この状態は可動キャリア保持部材１０と可動キャ
リア保持部材１７との間に架せられたテンションバー２
６の張力により保たれている。
可動キャリア保持部材１０、１７に設けられた位置決め
ピン１６、２３を内側板４の上面部に突き当てることで
行い、この状態は可動キャリア保持部材１０と可動キャ
リア保持部材１７との間に架せられたテンションバー２
６の張力により保たれている。
【００１７】モータ２７はロータ３を回転させる駆動源
であり、開閉蓋２８は遠心式基板乾燥装置１の外周に沿
って摺動自在に設けられており、基板の搬入搬出時は開
かれ、ロータ２の回転時は閉じられている。また、排出
口２９は、ロータ２の回転により被処理基板２５から分
離された液体を排出するためのものである。
であり、開閉蓋２８は遠心式基板乾燥装置１の外周に沿
って摺動自在に設けられており、基板の搬入搬出時は開
かれ、ロータ２の回転時は閉じられている。また、排出
口２９は、ロータ２の回転により被処理基板２５から分
離された液体を排出するためのものである。
【００１８】次に、本実施例の作動を説明する。キャリ
アのロータ２への搬入は、図示しないロボットハンドに
よって行われ、このとき可動キャリア保持部材１０、１
７は図３に示すように開かれた状態にある。
アのロータ２への搬入は、図示しないロボットハンドに
よって行われ、このとき可動キャリア保持部材１０、１
７は図３に示すように開かれた状態にある。
【００１９】キャリア２４がキャリア保持板９に載置さ
れたら、図示しない駆動源により、軸１１を回転させる
（図３中の矢印Ａ方向）。これで可動キャリア保持部材
１０が閉じる方向に回転し、テンションバー２６を介し
て可動キャリア保持部材１７も閉じる方向に回転する。
そして、先ずこの可動キャリア保持部材１７の位置決め
ピン２３が内側板４の上面と接し、可動キャリア保持部
材１７その位置が規制される。
れたら、図示しない駆動源により、軸１１を回転させる
（図３中の矢印Ａ方向）。これで可動キャリア保持部材
１０が閉じる方向に回転し、テンションバー２６を介し
て可動キャリア保持部材１７も閉じる方向に回転する。
そして、先ずこの可動キャリア保持部材１７の位置決め
ピン２３が内側板４の上面と接し、可動キャリア保持部
材１７その位置が規制される。
【００２０】もう一方の可動キャリア保持部材１０はテ
ンションバー２６の張力に抗してさらに回転し、テンシ
ョンバー２６の上死点を越えると位置決めピン１６が内
側板４の上面と接しその位置が規制される。そして、テ
ンションバー２６の張力により可動キャリア保持部材１
０、１７は図４に示す閉じた状態が維持される。
ンションバー２６の張力に抗してさらに回転し、テンシ
ョンバー２６の上死点を越えると位置決めピン１６が内
側板４の上面と接しその位置が規制される。そして、テ
ンションバー２６の張力により可動キャリア保持部材１
０、１７は図４に示す閉じた状態が維持される。
【００２１】このときキャリア保持杆１４、２１はキャ
リア２４と当接し、キャリア保持板９と合わせてこのキ
ャリア２４をロータ２内に保持し、基板保持杆１３、２
０は被処理基板２５と当接し被処理基板２５をロータ２
内に保持する。
リア２４と当接し、キャリア保持板９と合わせてこのキ
ャリア２４をロータ２内に保持し、基板保持杆１３、２
０は被処理基板２５と当接し被処理基板２５をロータ２
内に保持する。
【００２２】次に、モータ２７が駆動され、ロータ２が
回転する。この回転により可動キャリア保持部材１０、
１７に遠心力が働く。遠心力は可動キャリア保持部材１
０、１７のそれぞれ重心Ｇと重心Ｇ’に働き、可動キャ
リア保持部材１０は軸１１を中心とし図３中矢印Ｂ右方
向に向け回転しようとし、可動キャリア保持部材１７は
軸１８を中心とし図３中矢印Ｃ方向に向け回転しようと
する。
回転する。この回転により可動キャリア保持部材１０、
１７に遠心力が働く。遠心力は可動キャリア保持部材１
０、１７のそれぞれ重心Ｇと重心Ｇ’に働き、可動キャ
リア保持部材１０は軸１１を中心とし図３中矢印Ｂ右方
向に向け回転しようとし、可動キャリア保持部材１７は
軸１８を中心とし図３中矢印Ｃ方向に向け回転しようと
する。
【００２３】したがってロータ２が、高速回転すればす
るほど遠心力は可動キャリア保持部材１０、１７の基板
保持杆１３、２０およびキャリア保持杆１４、２１を閉
じるように働くので、回転中にキャリア２４および基板
２５がばたついて破損することがなくなり、また、ロッ
ク部材を除くことができ、構成部品を少なくすることが
できる。
るほど遠心力は可動キャリア保持部材１０、１７の基板
保持杆１３、２０およびキャリア保持杆１４、２１を閉
じるように働くので、回転中にキャリア２４および基板
２５がばたついて破損することがなくなり、また、ロッ
ク部材を除くことができ、構成部品を少なくすることが
できる。
【００２４】図５は第２の実施例における遠心式基板乾
燥装置のロータ２の側面図であり、この図をもとに第２
の実施例について説明する。第２の実施例では、被処理
基板２５を複数の基板保持部材３０と可動基板保持部材
３１、３６により直接ロータ２内に保持するものであ
る。
燥装置のロータ２の側面図であり、この図をもとに第２
の実施例について説明する。第２の実施例では、被処理
基板２５を複数の基板保持部材３０と可動基板保持部材
３１、３６により直接ロータ２内に保持するものであ
る。
【００２５】可動基板保持部材３１は側板３および内側
板４に可動自在に設けられた軸３２に固設された一対の
揺動板３３と、この揺動板３３に架せられた基板保持杆
３４と重り３５とにより構成され、また可動基板保持部
材３６は側板３および内側板４に可動自在に設けられた
軸３７に固設された一対の揺動板３８と、この揺動板３
８に架せられた基板保持杆３９と図示しない重り（可動
基板保持部材３１の重り３５と同様の構成）とにより構
成されている。
板４に可動自在に設けられた軸３２に固設された一対の
揺動板３３と、この揺動板３３に架せられた基板保持杆
３４と重り３５とにより構成され、また可動基板保持部
材３６は側板３および内側板４に可動自在に設けられた
軸３７に固設された一対の揺動板３８と、この揺動板３
８に架せられた基板保持杆３９と図示しない重り（可動
基板保持部材３１の重り３５と同様の構成）とにより構
成されている。
【００２６】この可動基板保持部材３１の重り３５と可
動基板保持部材３６の図示しない重りは、可動基板保持
部材３１の重心ｇと可動基板保持部材３６の重心ｇ’と
がそれぞれロータ２の回転中心ｘと軸３２および軸３７
とを結ぶ延長線Ｈ、Ｉに対して基板保持杆３４、３９の
位置とは反対側の位置（図中においてこの線Ｈ、Ｉの下
方側）となるようにその重さと位置が決められている
動基板保持部材３６の図示しない重りは、可動基板保持
部材３１の重心ｇと可動基板保持部材３６の重心ｇ’と
がそれぞれロータ２の回転中心ｘと軸３２および軸３７
とを結ぶ延長線Ｈ、Ｉに対して基板保持杆３４、３９の
位置とは反対側の位置（図中においてこの線Ｈ、Ｉの下
方側）となるようにその重さと位置が決められている
【００２７】この可動基板保持部材３１、３６が基板保
持のため閉じられた状態で、可動基板保持部材３１の位
置決め部４０と可動基板保持部材３６の図示しない位置
決め部とはそれぞれフレーム７、８と接し、可動基板保
持部材３１、３６の位置を規制している。またテンショ
ンバー４１はその張力により可動基板保持部材３１、３
６を閉じた位置に維持している。
持のため閉じられた状態で、可動基板保持部材３１の位
置決め部４０と可動基板保持部材３６の図示しない位置
決め部とはそれぞれフレーム７、８と接し、可動基板保
持部材３１、３６の位置を規制している。またテンショ
ンバー４１はその張力により可動基板保持部材３１、３
６を閉じた位置に維持している。
【００２８】従って第２の実施例によれば、キャリアレ
スのライン工程に遠心式基板乾燥装置を提供することが
でき、キャリアレスとすることで半導体基板の製造の効
率を上げることがでる。また、ロータ２が高速回転すれ
ばするほど基板保持部材３１、３５が閉じるように遠心
力が働くので被処理基板ががたつくことがなく第１の実
施例と同様の効果が得られる。
スのライン工程に遠心式基板乾燥装置を提供することが
でき、キャリアレスとすることで半導体基板の製造の効
率を上げることがでる。また、ロータ２が高速回転すれ
ばするほど基板保持部材３１、３５が閉じるように遠心
力が働くので被処理基板ががたつくことがなく第１の実
施例と同様の効果が得られる。
【００２９】なお、第１の実施例では可動キャリア保持
部材を、第２の実施例では可動基板保持部材を固定する
ロック部材を無くした構成としているが、これを設けて
も良く、こうすることでより確実に可動キャリア保持部
材または可動基板保持部材を閉じた状態に固定すること
ができる。
部材を、第２の実施例では可動基板保持部材を固定する
ロック部材を無くした構成としているが、これを設けて
も良く、こうすることでより確実に可動キャリア保持部
材または可動基板保持部材を閉じた状態に固定すること
ができる。
【００３０】
【発明の効果】以上、説明したように、第１にキャリア
を介して被処理基板を保持する遠心式可動基板乾燥装置
において、可動キャリア保持部材を閉じた状態での可動
キャリア保持部材の重心の位置が、ロータの回転中心と
可動キャリア保持部材の回転軸との延長線に対してキャ
リア保持部および基板保持部の位置とは反対側にあるの
で、ロータの回転中に可動キャリア保持部材に働く遠心
力は可動キャリア保持部材の基板保持部とキャリア保持
部を閉じるように働き、従来の基板保持部材の浮き上が
りによる被処理基板のばたつきやそれによる被処理基板
の破損を解消することができる。第２にキャリアを使用
せず直接被処理基板を保持する遠心式基板乾燥装置にお
いて、可動基板保持部材を閉じた状態での可動基板保持
部材の重心の位置が、ロータの回転中心と可動基板保持
部材の回転軸との延長線に対して基板保持部の位置とは
反対側にあるので、ロータの回転中に可動基板保持部材
に働く遠心力は可動基板保持部材の基板保持部を閉じる
ように働くため、従来の基板保持部材の浮き上がりによ
る基板のばたつきやそれによる被処理基板の破損を解消
することができる、
を介して被処理基板を保持する遠心式可動基板乾燥装置
において、可動キャリア保持部材を閉じた状態での可動
キャリア保持部材の重心の位置が、ロータの回転中心と
可動キャリア保持部材の回転軸との延長線に対してキャ
リア保持部および基板保持部の位置とは反対側にあるの
で、ロータの回転中に可動キャリア保持部材に働く遠心
力は可動キャリア保持部材の基板保持部とキャリア保持
部を閉じるように働き、従来の基板保持部材の浮き上が
りによる被処理基板のばたつきやそれによる被処理基板
の破損を解消することができる。第２にキャリアを使用
せず直接被処理基板を保持する遠心式基板乾燥装置にお
いて、可動基板保持部材を閉じた状態での可動基板保持
部材の重心の位置が、ロータの回転中心と可動基板保持
部材の回転軸との延長線に対して基板保持部の位置とは
反対側にあるので、ロータの回転中に可動基板保持部材
に働く遠心力は可動基板保持部材の基板保持部を閉じる
ように働くため、従来の基板保持部材の浮き上がりによ
る基板のばたつきやそれによる被処理基板の破損を解消
することができる、
【図１】本発明における遠心式基板乾燥装置の正面断面
図
図
【図２】本発明における遠心式基板乾燥装置の側断面図
【図３】本発明における遠心式基板乾燥装置のロータの
側断面図
側断面図
【図４】本発明における遠心式基板乾燥装置のロータの
側断面図
側断面図
【図５】本発明の第２の実施例における遠心式基板乾燥
装置のロータの側断面図
装置のロータの側断面図
【図６】従来の遠心式基板乾燥装置の側断面図
１ 遠心式基板乾燥装置 ２ ロータ ５、６、７、８ フレーム ９ キャリア保持板 １０、１７ 可動キャリア保持部材 １１、１８ 軸 １２、１９ 揺動板 １３、２０ 基板保持杆 １４、２１ キャリア保持杆 １５、２２ 重り １６、２３ 位置決めピン ２４ キャリア ２５ 被処理基板 ２６ テンションバー ２７ モータ ２８ 開閉蓋 ３０ 基板保持部材 ３１、３６ 可動基板保持部材 ３４、３９ 基板保持杆
Claims (2)
- 【請求項１】 一対の側板と、この側板間に架せられ複
数の基板を収納するキャリアを保持するキャリア保持部
材と、前記一対の側板間において回動自在に架せられ、
これを閉じたときにキャリアと当接するキャリア保持部
と基板と当接する基板保持部を具え、これを開いたとき
はキャリアの取付け取外しのため前記キャリア保持部お
よび基板保持部を退避する可動キャリア保持部材とから
なるロータを有し、このロータを高速回転させる遠心式
基板乾燥装置において、前記可動キャリア保持部材を閉
じたときの可動キャリア保持部材の重心の位置を、ロー
タの回転中心と可動キャリア保持部材の回転軸との延長
線に対してキャリア保持部および基板保持部の位置とは
反対側としたことを特徴とする遠心式基板乾燥装置 - 【請求項２】 一対の側板と、この側板間に架せられ複
数の基板を保持する基板保持部材と、前記一対の側板間
において回動自在に架せられ、これを閉じたときに基板
と当接する基板保持部を具え、これを開いたときは基板
の取付け取外しのため前記基板保持部を退避する可動基
板保持部材とからなるロータを有し、このロータを高速
回転させる遠心式基板乾燥装置において、前記可動基板
保持部材を閉じたときの可動基板保持部材の重心の位置
を、ロータの回転中心と可動基板保持部材の回転軸との
延長線に対して基板保持部の位置とは反対側としたこと
を特徴とする遠心式基板乾燥装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3247693A JP2876445B2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 遠心式基板乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3247693A JP2876445B2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 遠心式基板乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232111A true JPH06232111A (ja) | 1994-08-19 |
| JP2876445B2 JP2876445B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=12360038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3247693A Expired - Fee Related JP2876445B2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 遠心式基板乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2876445B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6370791B1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-04-16 | Semitool, Inc. | Processing machine with lockdown rotor |
| US7608163B2 (en) | 2002-06-04 | 2009-10-27 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and method |
| CN111750639A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-09 | 深圳市伊乐农贸有限公司 | 一种效果好的小麦烘干设备 |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP3247693A patent/JP2876445B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6370791B1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-04-16 | Semitool, Inc. | Processing machine with lockdown rotor |
| US7127828B2 (en) | 2000-03-10 | 2006-10-31 | Semitool, Inc. | Lockdown rotor for a processing machine |
| US7608163B2 (en) | 2002-06-04 | 2009-10-27 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and method |
| CN111750639A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-09 | 深圳市伊乐农贸有限公司 | 一种效果好的小麦烘干设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2876445B2 (ja) | 1999-03-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981117 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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