JPH06233568A - 光アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】微小な物体を３次元的に自由に移動することを
可能とする、光アクチュエータを提供する。 【構成】温度の上昇により磁化が大きくなる磁性体を取
付けられた被駆動体７と、液体中に浮遊する当該被駆動
体７へ磁場を印加できる位置に配置される磁石と、当該
磁石を任意の位置に動かすことのできる動力部と、前記
被駆動体７を加熱するための光源１７と、当該光源１７
からの光を位相共役鏡１３機構により前記被駆動体へ導
く光学系８とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流体中で微小な物体を
遠隔操作で駆動する必要のある分野、例えば医療機器，
投薬，治療，ロボットの分野或いは配線を嫌う電気や光
のスイッチを利用する電子，光学機器の分野に適用され
る光アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、アクチュエータは各種提案されて
きた。まず、熱膨張や光音響効果を用いて気体や液体を
動かすアクチュエータ、次に、温度により磁化の方向が
変化する磁性体をロータとして用い光照射により磁化方
向変化を起こすことにより固定磁石をステータとして回
転する光アクチュエータ等である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、まず、第１の
方法によるアクチュエータでは固体の駆動体を３次元的
に自由に駆動することは不可能である。また、第２の方
法による光アクチュエータでは、光照射により回転とい
う単一動作は可能であるものの、光によって任意の方向
へ動作させることは不可能である。

【０００４】また、医療分野において、投薬を患部にだ
け集中して行う方法として、磁性フェライトを薬剤とと
もにカプセルにいれ、患部に磁場を集中させることが行
われている。この場合、磁場は人体の外部から印加する
ため、人体内部の特定の場所のみに磁場を印加させるこ
とは不可能である。

【０００５】更に、光の圧力（＝光圧）により、気体や
液体中の微小物体を任意の方向に移動する方法も既に知
られている。しかし、光圧は非常に微小であるため、浮
力と釣り合っている１０μｍ程度の微小なポリスチレン
ラテックス球のトラッピングしか成功していない。

【０００６】このように、ｍｍオーダの物体を３次元的
に自由に移動させる技術は、過去に存在していなかっ
た。ここにおいて本発明は、前記従来の技術の課題に鑑
み、微小な物体を３次元的に自由に移動することを可能
とする、光アクチュエータを提供せんとするものであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題の解決は、本発
明の次に列挙する新規な特徴的構成手段を採用すること
により達成される。即ち、本発明の第１の特徴は、温度
の上昇により磁化が大きくなる磁性体を取付けられた被
駆動体と、流体に浮遊する当該被駆動体へ磁場を印加で
きる位置に配置される磁石と、当該磁石を任意の位置に
動かすことのできる動力部と、前記被駆動体を照射する
ための光を放出する光源と、当該光源からの光を位相共
役鏡機構により前記被駆動体へ導く光学系とからなる光
アクチュエータである。

【０００８】本発明の第２の特徴は、前記第１の特徴に
おける磁性体が、Ｒｈを４８〜５４ａｔ％含むＲｈＦｅ
合金である光アクチュエータである。

【０００９】本発明の第３の特徴は、前記第１又は第２
の特徴における磁石が、永久磁石或いは電磁石であり、
被駆動体の駆動方向に対して平行に直進退自在、及び当
該被駆動体の駆動方向を軸として回転自在としてなる光
アクチュエータである。

【００１０】本発明の第４の特徴は、前記第１，第２又
は第３の特徴における磁場が、被駆動体の駆動方向に垂
直の面で一軸性の異方的な分布を示してなる光アクチュ
エータである。

【００１１】本発明の第５の特徴は、前記第１，第２，
第３又は第４の特徴における磁性体が、板状或いは板状
に近い回転楕円体、又は外形が回転楕円体の表面部の形
状をなす光アクチュエータである。

【００１２】本発明の第６の特徴は、前記第１，第２，
第３，第４又は第５の特徴における磁性体が、被駆動体
の駆動方向と平行な方向が磁化容易軸とする一軸磁気異
方性を付与されてなる光アクチュエータである。

【００１３】本発明の第７の特徴は、前記第１，第２，
第３，第４，第５又は第６の特徴における流体が、被駆
動体を構成する主な材料の比重と同等以上の比重を持っ
てなる光アクチュエータである。

【００１４】本発明の第８の特徴は、前記第１，第２，
第３，第４，第５，第６又は第７の特徴における光源
が、波長の異なる加熱光と位置検出光をそれぞれ放出す
る一対のレーザー光源である光アクチュエータである。

【００１５】本発明の第９の特徴は、前記第１，第２，
第３，第７又は第８の特徴における光学系が、位置検出
光を双方向から入射し被駆動体の直進反射光を入射した
時位相共役光を出射する位相共役鏡と、当該位相共役光
を透過直進しかつ反射光を前記位相共役鏡の前記直進反
射光と屈折反射光に二分岐するとともに加熱光を不透過
屈折するハーフミラーと、当該屈折反射光の内前記位相
共役光成分波長のみ濾過するフィルターと、当該フィル
ターを透過した当該屈折反射光の照射位置を検出し、前
記ハーフミラーを前記被駆動体に追従回転制御するため
のディテクタアレイとを具備してなる光アクチュエータ
である。

【００１６】

【作用】本発明はこのような手段を講じるので、磁性体
の磁化を光による熱で制御し、しかも光を磁性体の動き
に合わせて自動的に追尾できるように位相共役鏡機構を
用いて、更に磁場と光を連動させて動かすようにしたた
め、ｍｍオーダの被駆動体を３次元的に自由に動かすこ
とが可能となる。

【００１７】即ち、具体的には、被駆動体上の磁性体は
常温では反強磁性かあるいは磁化が小さい強磁性であ
り、この状態では磁場によって引き付けられる力は殆ど
ない。ここに被駆動体上の磁性体に光を照射し、その光
が磁性体に吸収されると磁性体の温度が上昇し、磁気的
相転移が起こるため、磁化が大きい強磁性となる。この
結果、被駆動体は磁場勾配に従って駆動される。この場
合、被駆動体は液体の中にあることが基本である。但
し、空気中のゴミの様に空中を漂っている状況でもよ
い。

【００１８】また、被駆動体の移動にともない光の方向
も、常に光が被駆動体に当たるように光学系を制御す
る。この場合、被駆動体からの反射光を３次元的にモニ
ターして光の照射方向を制御し、常に光を物体に照射す
ることは可能であるが、光学系が複雑となる。

【００１９】この光学系の一部に位相共役鏡を用いるこ
とにより、自動的に光が被駆動体を追尾するため、複雑
な光学系を用いる必要がない。磁性体としてＲｈを４８
〜５４ａｔ％含むＲｈＦｅ合金を用いるので、この材料
は７０℃付近で反強磁性から強磁性への相転移を示す。
転移温度が比較的低いので、制御が容易である。

【００２０】磁石として永久磁石あるいは電磁石を用い
ることと、磁石を被駆動体の駆動方向に平行に移動でき
る機構と駆動方向を軸とした回転できる機構を有するこ
ととして、固定した永久磁石でも光駆動は可能である
が、より駆動の自由度を増すためである。

【００２１】即ち、動く方向は最大の磁場勾配の方向で
あるので、望む方向に最大磁場勾配を形成するように磁
石の位置を制御する。また、ある特定の場所に制止させ
るためには、磁場を交流的に振らす必要があり、そのた
めには電磁石が必要である。ある系における被駆動体の
固有振動振幅が被駆動体のサイズよりも十分小さけれ
ば、被駆動体は見かけ上静止して見える。

【００２２】磁場の分布は、駆動方向に垂直の面で一軸
性の異方的な分布を持ち、また、磁性体の形状が板状、
あるいは板状に近い回転楕円体であることである。板状
の磁性体は、垂直磁気異方性を持たない限り、板と垂直
方向の反磁界係数が大きいので磁化は板面内に寝ており
立つ事が出来ない。また、磁性体が磁場の中に置かれた
場合、磁気的なエネルギーを下げるために、磁力線に沿
って磁化が並ぶ。

【００２３】この結果、板状磁性体の板面が等磁束面に
平行になるため、磁性体面と磁場の位置関係が定まる。
従って、磁石と光学系の位置関係を固定して両方一緒に
動かすことにより、被駆動体の受光面を常に光学系の方
向に向けることが出来る。

【００２４】また、被駆動体の形状を回転楕円体とし
て、その周囲を板状（あるいは薄膜状）の磁性体で表皮
状に覆ってもよい。これによって、被駆動体が液体の中
で自由に回転しても、光の反射がほぼ入射方向となる。

【００２５】被駆動体に取り付ける磁性体に、被駆動体
の駆動方向と平行方向を磁化容易軸とする一軸磁気異方
性を付与するが、通常一軸磁気異方性を付与しなけれ
ば、磁性体の磁化を揃えるために大きな磁場を必要とす
る。異方性の付与により、磁化の方向を予め揃えておく
ことができるため、小さな磁場で大きな駆動力を得るこ
とができる。被駆動体を、それと同等以上の比重を持つ
液体に入れることにより、被駆動体の浮力が増し、より
駆動しやすくなる。

【００２６】

【実施例】（実施例１）本発明の第１実施例を図面につ
き説明する。図１は本実施例の光アクチュエータの全体
構成を示す斜視図、図２は図１中II矢視図、図３は本実
施例の光アクチュエータの被駆動体の構成を示す図で、
（ａ）は磁性体を含む部分の構成を示す図，（ｂ）は
（ａ）に示す磁性体を含む部分を２枚張り合わせて被駆
動体の構成を示す斜視図、図４及び図５は本実施例の光
アクチュエータに用いられる光源部の構成及び動作状態
を示す図である。

【００２７】図中、Ａは本実施例の光アクチュエータ、
１ａ，１ａは上下並行ガイド杆フレーム１ｂ，１ｂの円
端に取り付けた輪形ガイドフレーム、２は上下並行ガイ
ド杆フレーム１ｂ，１ｂに亙り直進退自在かつ回転自在
に捲装したスライド磁石フレーム、３は駆動棒、４は動
力部、５は磁石、６は中に水αを満たし水の出入口６ａ
を有する横倒し円筒形透明水槽、７は被駆動体、８は光
学系、Ｌは光学系８より発せられる被駆動体７を駆動す
るための光線である。

【００２８】９は厚さ０．１ｍｍのガラス基板、１０ａ
はガラス基板９上にスパッタリングで作製された厚さ
０．１５μｍのＳｉＮ膜、１０ｂはスパッタリングで作
製された厚さ０．２μｍのＳｉＮ膜、１１はＳｉＮ膜１
０ａ上にスパッタリングで作製された５０ａｔ％のＲｈ
を含む厚さ０．１μｍの磁性体たるＲｈＦｅ磁性合金薄
膜、１２は厚さ０．５ｍｍのポリカーボネート基板であ
る。

【００２９】１３は面を光学研磨して更に各面に反射防
止膜をつけたＢａＴｉＯ₃ の単結晶よりなる位相共役
鏡、１４は波長５２３ｎｍの位置検出用のレーザ光Ｌ０
を発生するＳＨＧ−ＹＬＦレーザ装置、１５ａ，１５
ｂ，１５ｃはハーフミラー、１６ａ，１６ｂ，１６ｃは
ミラー、１７は波長８３０ｎｍのレーザ光を発生する半
導体レーザ装置、１８は２次元状に配列したディテクタ
アレイである。

【００３０】１９は８３０ｎｍ波長の光を通さず５２３
ｎｍ波長の光を通すフィルタ、Ｌ１はＢａＴｉＯ₃ の４
光波混合で生じた位相共役光、Ｌ２は被駆動体７からの
プローブ光たる反射光、Ｌ２′は直進反射光、Ｌ２″は
屈折反射光、Ｌ３は半導体レーザ装置１７からの加熱用
レーザ光である。

【００３１】本実施例仕様の光アクチュエータＡはこの
ような具体的実施態様を呈するが、次にその動作につき
説明する。まず、磁石５は輪形スライドフレーム２と一
体に動力部４と駆動棒３によって、上下並行ガイド杆フ
レーム１ｂ，１ｂに沿って回転運動と直線移動が可能な
ようにしてある。

【００３２】図３（ａ）及び（ｂ）に示す被駆動体７の
ＳｉＮ膜１０ａ，１０ｂの厚さは、ガラス基板９の方向
から見て８３０ｎｍの光に対して反射率が最小になるよ
うに決めた。被駆動体７のサイズは、例えば、長さ０．
８ｍｍ，高さ０．３ｍｍ，厚さ０．７ｍｍとする。

【００３３】被駆動体７上のＲｈＦｅ磁性合金膜１１
は、常温では非磁性であり、磁場による力は受けない。
しかし、一旦光線ＬがＲｈＦｅ磁性合金薄膜１１に照射
されて８０℃以上の高温になると、ＲｈＦｅ磁性合金薄
膜１１は磁気相転移を起こし、反強磁性から強磁性に転
移し、自発磁化が起こる。この結果、被駆動体７は磁場
勾配に従って磁場の大きい方向に引きつけられる。被駆
動体７は水の中で浮力とほぼ釣合ながら浮かんでおり、
緩やかに磁場の大きい方向へ移動する。

【００３４】この場合、光アクチュエータＡの磁石５を
任意に回転運動と直進移動をさせることにより、被駆動
体７を３次元的に任意に移動させることが可能となる。
ところで、被駆動体７の移動とともに光線Ｌも被駆動体
７に常に照射できるように移動させる必要がある。この
ために、図４に示すよう光学系８に位相共役鏡１３を取
り付けて用いた。

【００３５】位置検出光Ｌ１は被駆動体７を自動的に追
尾するが、その原理を図４及び図５を用いて以下に説明
する。まず、位置検出光Ｌ０を互いに対向させて双方向
からのポンプ光Ｌａ，ＬｂをＢａＴｉＯ₃ 結晶の位相共
役鏡１３に入射させると、位相共役鏡１３からはファニ
ングにより散乱光が四方八方に散乱する。その中の１点
に被駆動体７が反射点として存在すると、その反射光Ｌ
２がプローブ光となって４光波混合が起こり、反射光Ｌ
２であるプローブ光が来た方向に位相共役光Ｌ１が発生
する。

【００３６】この状態で反射点である被駆動体７が移動
したとしても、ファニングによる散乱光が到達している
範囲β内であれば、次々に位相共役鏡１３内で４光波混
合が起こり、反射光Ｌ２との間に４光波混合を起こし位
相共役光Ｌ１を生じていく。この結果、位相共役光Ｌ１
は被駆動体７の移動に伴って、自動的に追尾していくこ
ととなる（図５参照）。

【００３７】一方、被駆動体７の加熱用レーザ光Ｌ３は
位相共役光Ｌ１だけでは弱いため、別途加えることとす
る。それが波長８３０ｎｍのレーザ光を発する半導体レ
ーザ装置１７であり、出力は１０００ｍＷのものを用い
た。ただし図示しないアッテネータにより光学系８から
の出力合計は１００ｍＷとした。さらに、図示しないレ
ンズ等の絞り装置により、被駆動体７の照射面上で８０
μｍ径のスポットとなるようにした。

【００３８】被駆動体７からの反射光Ｌ２の一部を反射
屈折光Ｌ２″としてハーフミラー１５ｂ及び１５ｃでデ
ィテクタアレイ１８に導く。反射光Ｌ２は被駆動体７の
動きにつれて常に方向が変わり、反射屈折光Ｌ２″の位
相共役光Ｌ１成分波長が到達するディテクタアレイ１８
上の光到達位置も変化する。従って、ディテクタアレイ
１８上の光到達位置を検出することにより、被駆動体７
の位置がわかる。

【００３９】ディテクタアレイ１８の前には、８３０ｎ
ｍ波長の光を遮断するフィルタ１９を置き、８３０ｎｍ
波長の光がノイズとなることを防いだ。この位置情報に
より電動式のハーフミラー１５ｂを２次元的にコンピュ
ータ制御で動かすことにより、熱エネルギー源となる半
導体レーザ装置１７からの光を常に被駆動体７に照射す
ることが可能となる。

【００４０】さらにここで、被駆動体７に光を常に追随
させるもう一つの工夫がある。それは、磁石５による磁
場分布を磁力線に直交する断面でみて一軸性の異方的な
分布にすることと磁性体の形状を板状にすることであ
る。このことを図６を用いて以下に説明する。

【００４１】図６は磁極の等磁位面と被駆動体７の関係
を示す断面図である。図中、２０は磁極を示したもの、
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは等磁位面の断面であ
る。加熱により磁場方向に磁化された被駆動体７中の磁
性体たるＲｈＦｅ磁性合金薄膜１１は、そのＮ極とＳ極
を磁力線に平行にして揃う。

【００４２】即ち、図５に示したように被駆動体７中の
平板状の磁性体たるＲｈＦｅ磁性合金薄膜１１は、その
形状磁気異方性のため、磁化はその膜面から立ち上がる
ことが出来ないので、膜面と等磁位面とが平行になる。

【００４３】従って、磁場の分布を楕円状にすることに
より、被駆動体７中の磁性体たるＲｈＦｅ磁性合金薄膜
１１のトラップする位置を楕円の長軸に平行の面に平行
にすることが可能となる。この結果、光の照射方向と、
被駆動体７中の磁性体面とをほぼ直角にすることが可能
となる。

【００４４】（実験例１）ここで、本実施例を用いた実
験結果を示す。まず、磁場は磁極をいれた電磁石５で印
加する。この場合、磁極中心で最大５ｋｏｅの直流磁場
が出た。１ｋＨｚの交流電流の場合には、最大で１ｋｏ
ｅであった。加熱用の半導体レーザ装置１７によるレー
ザ光Ｌ３は、１００ｍｓｅｃのパルス幅で間隔５０ｍｓ
ｅｃに変調して被駆動体７に照射した。

【００４５】以上のような準備の結果、光照射と磁場の
移動により、被駆動体７を水の中で５ｃｍ／ｓｅｃ程度
の速度で任意の方向に駆動することが出来た。途中で方
向を曲げることや、水の中での静止状態とすることもで
きた。静止状態にするときには、電磁石への電流を１ｋ
Ｈｚの交流として交流磁場を発生させる。

【００４６】（実験例２）次に、光アクチュエータを生
体の中で用いることを想定した場合の、本実施例の実験
例を示す。図１における光学系８と水槽６の間に、厚さ
３ｃｍの豚の皮付肉を挿入し、当該皮付肉を通して光を
照射した。３ｃｍの皮付肉透過後の光パワーは、８３０
ｎｍ波長の光において入射の５％であった。５２３ｎｍ
波長の光では殆ど透過しなかったので、自動追尾は不可
能であった。

【００４７】ただし、加熱用の８３０ｎｍ波長のレーザ
光Ｌ３による加熱は可能であり、光学系８からの出射光
全体のパワーを３００ｍＷとし、被駆動体７面に３０μ
ｍ径に絞り、ＣＷで被駆動体７に照射した。直流磁場５
ｋｏｅの印加により一瞬であるが、豚の皮を通しての光
駆動が確認された。

【００４８】生体を透過できる波長での位相共役波Ｌ１
を用いた自動追尾の確認はここでは行っていないが、生
体の透過率が大きい１０６０ｎｍ波長での位相共役波Ｌ
１の発生は、既にＧａＡｓを用いて行われており、Ｎ
ｄ：ＹＡＧレーザと、ＧａＡｓにより、前記第１の実験
例と同様の駆動は可能である。

【００４９】（実施例２）次に、本発明の第２の実施例
を図面につき説明する。図７（ａ）及び（ｂ）は本実施
例の光アクチュエータの被駆動体の磁性体の様子を示す
それぞれ正面図とスパッタリングで作製したＲｈＦｅ磁
性合金薄膜の上にＳｉＮ膜をスパッタリングする前の状
態の側面図、図８は本実施例の光アクチュエータの内部
に備わる被駆動体の斜視図である。

【００５０】図中、７′は被駆動体、９′はガラス基
板、１０ａ′，１０ｂ′はスパッタリングで作製された
ＳｉＮ膜、１１′はスパッタリングで作製されてストラ
イプ状に加工された５０ａｔ％のＲｈを含む磁性体たる
ＲｈＦｅ磁性合金薄膜、１２′はポリカーボネート基板
である。本実施例の光アクチュエータの全体構成は、前
記第１実施例とほぼ同一であるため、省略する。

【００５１】本実施例の特徴は被駆動体７′の構成にあ
るが、被駆動体７′の作製方法を次に説明する。まず、
ガラス基板９′上にＳｉＮ膜１０ａ′を挟んでＲｈＦｅ
磁性合金薄膜１１′をスパッタリングにより０．１μｍ
厚に形成した後、被駆動体７に張り付けて動作させると
きに動作する方向に沿って、細いストライプ状にエッチ
ングにより加工を施した。ＲｈＦｅ磁性合金薄膜１１′
のストライプの幅は３０μｍ，間隔を１０μｍとした。

【００５２】この結果、ＲｈＦｅ磁性合金薄膜１１′
に、ストライプの方向を磁化容易軸とする一軸磁気異方
性が生成された。このストライプ状のＲｈＦｅ磁性合金
薄膜１１′の上に、更にスパッタリングによりＳｉＮ膜
１０ｂ′を作製する。これを、前記第１実施例と同様
に、ポリカーボネート基板１２′に張り付け、駆動実験
をおこなったところ、一軸磁気異方性を付与しないとき
と比較して、１／１０の大きさの磁界で駆動することが
可能であった。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、液体中
或いは空中に浮遊しているｍｍオーダの物体を光と磁場
を用いて、遠隔的に３次元的に自由に移動させることが
可能となる。従って、液体中で微小な物体を遠隔操作で
駆動する必要のある分野、例えば医療機器，投薬，治
療，ロボットの分野、或いは配線を嫌う電気や光のスイ
ッチを利用する電子，光学機器の分野において、優れた
有用性を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例である光アクチュエータ
の全体構成を示す斜視図である。

【図２】同上、図１中II矢視図である。

【図３】同上、（ａ）は磁性体の部分図、（ｂ）は被駆
動体の構成を示す図である。

【図４】同上、光学系の構成を示す図である。

【図５】同上、光学系の動作状態を示す図である。

【図６】同上において磁極の等磁位面と被駆動体の関係
を示す断面図である。

【図７】（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施例におけ
る被駆動体を構成する磁性体の正面図及び側面図であ
る。

【図８】同上、被駆動体の斜視図である。

【符号の説明】

α…液体 β…範囲 Ａ…光アクチュエータ Ｌ…光線 Ｌ０…位置検出光 Ｌ１…位相共役光 Ｌ２…反射波 Ｌ２′…直進反射光 Ｌ２″…屈折反射光 Ｌ３…加熱用レーザ光 １ａ…輪形ガイドフレーム １ｂ…上下並行ガイド杆フレーム ２…スライド磁石フレーム ３…駆動棒 ４…動力部 ５…磁石 ６…水槽 ６ａ…出入口 ７，７′…被駆動体 ８…光学系 ９，９′…ガラス基板 １０ａ，１０ｂ，１０ａ′，１０ｂ′…ＳｉＮ膜 １１，１１′…ＲｈＦｅ磁性合金薄膜 １２，１２′…ポリカーボネート基板 １３…位相共役鏡 １４…ＳＨＧ−ＹＬＦレーザ装置 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ…ハーフミラー １６ａ，１６ｂ，１６ｃ…ミラー １７…半導体レーザ装置 １８…ディテクタアレイ １９…フィルタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉山 泰之 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】温度の上昇により磁化が大きくなる磁性体
   を取付けられた被駆動体と、 流体に浮遊する当該被駆動体へ磁場を印加できる位置に
   配置される磁石と、 当該磁石を任意の位置に動かすことのできる動力部と、 前記被駆動体を照射するための光を放出する光源と、 当該光源からの光を位相共役鏡機構により前記被駆動体
   へ導く光学系と、 からなることを特徴とする光アクチュエータ。
2. 【請求項２】磁性体は、Ｒｈを４８〜５４ａｔ％含むＲ
   ｈＦｅ合金であることを特徴とする請求項１記載の光ア
   クチュエータ。
3. 【請求項３】磁石は、永久磁石或いは電磁石であり、 被駆動体の駆動方向に対して平行に直進退自在、及び当
   該被駆動体の駆動方向を軸として回転自在であることを
   特徴とする請求項１又は２記載の光アクチュエータ。
4. 【請求項４】磁場は、被駆動体の駆動方向に垂直の面で
   一軸性の異方的な分布を示すことを特徴とする請求項
   １，２又は３記載の光アクチュエータ。
5. 【請求項５】磁性体は、板状或いは板状に近い回転楕円
   体、又は外形が回転楕円体の表面部の形状をなすことを
   特徴とする請求項１，２，３又は４記載の光アクチュエ
   ータ。
6. 【請求項６】磁性体は、被駆動体の駆動方向と平行な方
   向が磁化容易軸とする一軸磁気異方性を付与されたこと
   を特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載の光アク
   チュエータ。
7. 【請求項７】流体は、被駆動体を構成する主な材料の比
   重と同等以上の比重を持つことを特徴とする請求項１，
   ２，３，４，５又は６記載の光アクチュエータ。
8. 【請求項８】光源は、波長の異なる加熱光と位置検出光
   をそれぞれ放出する一対のレーザー光源であることを特
   徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７記載の光
   アクチュエータ。
9. 【請求項９】光学系は、位置検出光を双方向から入射し
   被駆動体の直進反射光を入射した時位相共役光を出射す
   る位相共役鏡と、当該位相共役光を透過直進しかつ反射
   光を前記位相共役鏡の前記直進反射光と屈折反射光に二
   分岐するとともに加熱光を不透過屈折するハーフミラー
   と、当該屈折反射光の内前記位相共役光成分波長のみ濾
   過するフィルターと、当該フィルターを透過した当該屈
   折反射光の照射位置を検出し、前記ハーフミラーを前記
   被駆動体に追従回転制御するためのディテクタアレイと
   を具備したことを特徴とする請求項１，２，３，７又は
   ８記載の光アクチュエータ。