JPH0623563Y2 - 処理物の移送装置 - Google Patents
処理物の移送装置Info
- Publication number
- JPH0623563Y2 JPH0623563Y2 JP1984129746U JP12974684U JPH0623563Y2 JP H0623563 Y2 JPH0623563 Y2 JP H0623563Y2 JP 1984129746 U JP1984129746 U JP 1984129746U JP 12974684 U JP12974684 U JP 12974684U JP H0623563 Y2 JPH0623563 Y2 JP H0623563Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- horizontal
- work
- moving
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は処理物の移送装置に関し、特に待期室と蒸着等
の処理室との間を往復動する形式の移送装置に関する。
の処理室との間を往復動する形式の移送装置に関する。
従来の技術 従来、蒸着等の処理を行なうにはいちいち部屋内へ１枚
づつ出し入れしていたため、高真空にするに要する時間
がかかり、不純物が空気と共に部屋内に入りやすかつ
た。
づつ出し入れしていたため、高真空にするに要する時間
がかかり、不純物が空気と共に部屋内に入りやすかつ
た。
考案の目的 蒸着等の処理を行なうのにいちいち部屋内に出し入れす
る必要のない装置を提供することを目的とする。
る必要のない装置を提供することを目的とする。
構成 前記目的を達成するため、本考案の構成は次の如くであ
る。
る。
第１真空室Ａに設けられ、上下方向に隔置された多数の
水平棚１３にワークＷが載せられて、上昇体１２を介し
て間欠的に上昇するようにしたワーク上昇部１０と、 前記第１真空室Ａ内で前記水平棚１３を前後に挟んで対
向した２枚のアーム受４１が設けられ、該アーム受４１
には左右に長い水平移動アーム２１が左右方向に案内さ
れるようにした移動アーム支持部４０と、 前記第１真空室Ａと第２真空室Ｂ間を往復動する２本の
前記水平移動アーム２１の、水平棚側に爪体２３が左右
方向軸線回りに回動自在に設けられたワーク把持部２０
と、 前記アーム受４１の距離Ｈ１の下降に連動されて前記爪
体２３が下方回動し、次に前記水平棚のワークＷが爪体
２３より上位で止まり、次に前記アーム受４１が距離Ｈ
２上昇したとき、それの連動により爪体２３が上方回動
してワークＷを下から支え、更に前記アーム受４１が距
離Ｈ３上昇して止まり、ワークＷを前記水平棚１３から
爪体２３側に移すようにした爪作動部３０と、 前記２本のアーム受４１の端部に固定された連結板４２
にナット部材５１が設けられ、該ナット部材５１には上
下に長いねじ棒５２が螺合されて回転されるようにした
移動アーム昇降部５０と、 前記水平移動アーム２１を第１，第２真空室間で往復動
させる移動アーム移動部６０とを含むことである。
水平棚１３にワークＷが載せられて、上昇体１２を介し
て間欠的に上昇するようにしたワーク上昇部１０と、 前記第１真空室Ａ内で前記水平棚１３を前後に挟んで対
向した２枚のアーム受４１が設けられ、該アーム受４１
には左右に長い水平移動アーム２１が左右方向に案内さ
れるようにした移動アーム支持部４０と、 前記第１真空室Ａと第２真空室Ｂ間を往復動する２本の
前記水平移動アーム２１の、水平棚側に爪体２３が左右
方向軸線回りに回動自在に設けられたワーク把持部２０
と、 前記アーム受４１の距離Ｈ１の下降に連動されて前記爪
体２３が下方回動し、次に前記水平棚のワークＷが爪体
２３より上位で止まり、次に前記アーム受４１が距離Ｈ
２上昇したとき、それの連動により爪体２３が上方回動
してワークＷを下から支え、更に前記アーム受４１が距
離Ｈ３上昇して止まり、ワークＷを前記水平棚１３から
爪体２３側に移すようにした爪作動部３０と、 前記２本のアーム受４１の端部に固定された連結板４２
にナット部材５１が設けられ、該ナット部材５１には上
下に長いねじ棒５２が螺合されて回転されるようにした
移動アーム昇降部５０と、 前記水平移動アーム２１を第１，第２真空室間で往復動
させる移動アーム移動部６０とを含むことである。
実施例 以下、本考案の一実施例を図面にもとづき説明する。
ワーク上昇部１０において、第１真空室の一端側（第３
図左）に上下に長いガイド１１が設けられ、このガイド
１１に上昇体１２が上下摺動自在に装着されている。こ
の上昇体１２には複数の矩形水平棚１３が取付けられて
おり、その上に円板ワークＷが載せられている。ワーク
Ｗと棚１３が省略された第２図右側において分るよう
に、上昇体１２はナツト部材１４を介してねじ棒１５に
より上昇される。ねじ棒１５はモータ１６により回転さ
れる。
図左）に上下に長いガイド１１が設けられ、このガイド
１１に上昇体１２が上下摺動自在に装着されている。こ
の上昇体１２には複数の矩形水平棚１３が取付けられて
おり、その上に円板ワークＷが載せられている。ワーク
Ｗと棚１３が省略された第２図右側において分るよう
に、上昇体１２はナツト部材１４を介してねじ棒１５に
より上昇される。ねじ棒１５はモータ１６により回転さ
れる。
次に第４図のワーク把持部２０において、第１真空室か
ら蒸着室たる第２真空室に向つて長い水平移動アーム２
１の側面にブラケツト２２，２３が突設され、これらに
爪体２３が回動自在に支持されると共に、それと同軸に
Ｌ形押え片２４が固定され、また、爪２３を常時上向き
に付勢するばね２５が押え片２４とアーム２１との間に
介在されている。そして必要以上に爪体２３が上向きと
ならないよう押え片２４はアーム２１より突設されたス
トツパ２６により正常位置を保つている。
ら蒸着室たる第２真空室に向つて長い水平移動アーム２
１の側面にブラケツト２２，２３が突設され、これらに
爪体２３が回動自在に支持されると共に、それと同軸に
Ｌ形押え片２４が固定され、また、爪２３を常時上向き
に付勢するばね２５が押え片２４とアーム２１との間に
介在されている。そして必要以上に爪体２３が上向きと
ならないよう押え片２４はアーム２１より突設されたス
トツパ２６により正常位置を保つている。
前記移動アーム２１はアーム受け４１によりローラ４３
により左右に移動自在とされている。第５図の如く、こ
のアーム受４１の上方の固定部３１に一端が枢着された
平行四辺形リンク３２の中央部に連結棒３３がアーム受
４１との間で固定されリンクの揺動先端に作動棒３４が
垂下している。後記の如く、これらが爪の開閉を司る爪
作動部３０となる。
により左右に移動自在とされている。第５図の如く、こ
のアーム受４１の上方の固定部３１に一端が枢着された
平行四辺形リンク３２の中央部に連結棒３３がアーム受
４１との間で固定されリンクの揺動先端に作動棒３４が
垂下している。後記の如く、これらが爪の開閉を司る爪
作動部３０となる。
移動アーム支持部４０としてが第１真空室Ａの前後に対
向して２枚のアーム受４１が連結板４２を介して設けら
れ、これらのアーム受４１には４個のガイドローラが設
けられ各々に移動アーム２１が案内されている。
向して２枚のアーム受４１が連結板４２を介して設けら
れ、これらのアーム受４１には４個のガイドローラが設
けられ各々に移動アーム２１が案内されている。
移動アーム昇降部５０として、連結板４２にナツト部材
５１が設けられ、これに上下に長いねじ棒５２が螺合
し、上端は軸受５３に支持され、下端は前記モータ１６
と同様のモータで回転される。
５１が設けられ、これに上下に長いねじ棒５２が螺合
し、上端は軸受５３に支持され、下端は前記モータ１６
と同様のモータで回転される。
次に移動アーム移動部６０において、第２，３図で、移
動アームの片面にラック６１が設けられ、これと噛み合
うピニオン６２が上下に長い駆動軸６３により回転駆動
される。
動アームの片面にラック６１が設けられ、これと噛み合
うピニオン６２が上下に長い駆動軸６３により回転駆動
される。
２は第１第２真空室を仕切る仕切弁２である。
次に作動状態を説明する。ワーク上昇部１０において、
モータ１６の回転によりねじ棒１５が回転し、ナツト部
材１４を介して棚の全部が徐々に上昇する。そして、最
上位のワークが爪体２３に当る直前にワークの上昇は停
止する。次いで移動アーム昇降部のねじ棒５２が回転
し、ナツト部材５１を介してアーム受４１が僅かに下
り、（高さＨ１）これに伴ない爪作動部３０の連結棒３
３も下り、作動棒３４はそれより約２倍下り、ワーク把
持部２０の押え片２４を押し下げる。これによつて爪は
下方に移動してワークより下側に位置する。ここで再び
ワークが僅かに上昇した時点でアーム受４１が僅かに上
昇する（高さＨ２）。これにより、作動棒３４と押え片
２４が少し上り、爪体２３はワークの周縁部を保持す
る。そこでアーム受け４１が更に上昇し（高さＨ３）、
爪体２３はワークを棚１３から持ち上げ受け取る。次に
移動アーム移動部６０が作動し、ラツク６１、ピニオン
６２により移動アーム２１はワークＷを保持しつつ第２
真空室に至る。そしてアーム受４１が下つて（高さ
Ｈ２）第２真空室１３にワークＷを残し、再び第１真空
室Ａに戻る。第２真空室での処理が終ればアーム受４１
の高さがＨ２のまま移動アーム２１が再び第２真空室Ｂ
に至り、処理物を受受け取り、第１真空室へ戻つて棚上
に載せる。そして、今度は次の棚の処理物について同様
な作用が行なれる。
モータ１６の回転によりねじ棒１５が回転し、ナツト部
材１４を介して棚の全部が徐々に上昇する。そして、最
上位のワークが爪体２３に当る直前にワークの上昇は停
止する。次いで移動アーム昇降部のねじ棒５２が回転
し、ナツト部材５１を介してアーム受４１が僅かに下
り、（高さＨ１）これに伴ない爪作動部３０の連結棒３
３も下り、作動棒３４はそれより約２倍下り、ワーク把
持部２０の押え片２４を押し下げる。これによつて爪は
下方に移動してワークより下側に位置する。ここで再び
ワークが僅かに上昇した時点でアーム受４１が僅かに上
昇する（高さＨ２）。これにより、作動棒３４と押え片
２４が少し上り、爪体２３はワークの周縁部を保持す
る。そこでアーム受け４１が更に上昇し（高さＨ３）、
爪体２３はワークを棚１３から持ち上げ受け取る。次に
移動アーム移動部６０が作動し、ラツク６１、ピニオン
６２により移動アーム２１はワークＷを保持しつつ第２
真空室に至る。そしてアーム受４１が下つて（高さ
Ｈ２）第２真空室１３にワークＷを残し、再び第１真空
室Ａに戻る。第２真空室での処理が終ればアーム受４１
の高さがＨ２のまま移動アーム２１が再び第２真空室Ｂ
に至り、処理物を受受け取り、第１真空室へ戻つて棚上
に載せる。そして、今度は次の棚の処理物について同様
な作用が行なれる。
効果 本考案は以上の如くであるので、処理を行なうのにいち
いち部屋内に出入れする必要がなく、１つの手段で処理
物を多段式の棚から順次取つて処理室に移動し、かつ、
それを再び元の棚に戻す方式としては操作が円滑で迅速
にでき作業能率が格段に向上した。
いち部屋内に出入れする必要がなく、１つの手段で処理
物を多段式の棚から順次取つて処理室に移動し、かつ、
それを再び元の棚に戻す方式としては操作が円滑で迅速
にでき作業能率が格段に向上した。
第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２図は棚と
ワークを省略した第１図の要部右側面図第３図は第２真
空室を加えた第１図の要部平面図であり、上半部はワー
クが第２真空室に入つた状態を示し、第４，５図は各々
要部拡大斜視図である。 Ｗ……ワーク、Ａ……第１真空室、Ｂ……第２真空室、
１０……ワーク上昇部、１２……上昇体、１３……棚、
２０……ワーク把持部、２１……移動アーム、２３……
爪体、３０……爪作動部、４０……移動アーム支持部、
４１……アーム受、ガイドローラ……４３、５０……移
動アーム昇降部、５１……ナツト部材、５２……ねじ
棒、６０……移動アーム移動部
ワークを省略した第１図の要部右側面図第３図は第２真
空室を加えた第１図の要部平面図であり、上半部はワー
クが第２真空室に入つた状態を示し、第４，５図は各々
要部拡大斜視図である。 Ｗ……ワーク、Ａ……第１真空室、Ｂ……第２真空室、
１０……ワーク上昇部、１２……上昇体、１３……棚、
２０……ワーク把持部、２１……移動アーム、２３……
爪体、３０……爪作動部、４０……移動アーム支持部、
４１……アーム受、ガイドローラ……４３、５０……移
動アーム昇降部、５１……ナツト部材、５２……ねじ
棒、６０……移動アーム移動部
Claims (1)
- 【請求項１】第１真空室Ａに設けられ、上下方向に隔置
された多数の水平棚１３にワークＷが載せられて、上昇
体１２を介して間欠的に上昇するようにしたワーク上昇
部１０と、 前記第１真空室Ａ内で前記水平棚１３を前後に挟んで対
向した２枚のアーム受４１が設けられ、該アーム受４１
には左右に長い水平移動アーム２１が左右方向に案内さ
れるようにした移動アーム支持部４０と、 前記第１真空室Ａと第２真空室Ｂ間を往復動する２本の
前記水平移動アーム２１の、水平棚側に爪体２３が左右
方向軸線回りに回動自在に設けられたワーク把持部２０
と、 前記アーム受４１の距離Ｈ１の下降に連動されて前記爪
体２３が下方回動し、次に前記水平棚のワークＷが爪体
２３より上位で止まり、次に前記アーム受４１が距離Ｈ
２上昇したとき、それの連動により爪体２３が上方回動
してワークＷを下から支え、更に前記アーム受４１が距
離Ｈ３上昇して止まり、ワークＷを前記水平棚１３から
爪体２３側に移すようにした爪作動部３０と、 前記２本のアーム受４１の端部に固定された連結板４２
にナット部材５１が設けられ、該ナット部材５１には上
下に長いねじ棒５２が螺合されて回転されるようにした
移動アーム昇降部５０と、 前記水平移動アーム２１を第１，第２真空室間で往復動
させる移動アーム移動部６０とを含むことを特徴とする
処理物の移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984129746U JPH0623563Y2 (ja) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | 処理物の移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984129746U JPH0623563Y2 (ja) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | 処理物の移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6147069U JPS6147069U (ja) | 1986-03-29 |
| JPH0623563Y2 true JPH0623563Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=30688363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984129746U Expired - Lifetime JPH0623563Y2 (ja) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | 処理物の移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623563Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0660397B2 (ja) * | 1986-12-15 | 1994-08-10 | 日本真空技術株式会社 | 真空槽内における基板交換装置 |
| JPH0668149B2 (ja) * | 1986-12-16 | 1994-08-31 | 日本真空技術株式会社 | 真空処理装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5014997B2 (ja) * | 1971-11-08 | 1975-05-31 | ||
| JPS5794338A (en) * | 1980-12-04 | 1982-06-11 | Tdk Corp | Vapor deposition device |
-
1984
- 1984-08-25 JP JP1984129746U patent/JPH0623563Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6147069U (ja) | 1986-03-29 |
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