JPH06236917A - 位置決め機構 - Google Patents

位置決め機構

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JPH06236917A
JPH06236917A JP4460893A JP4460893A JPH06236917A JP H06236917 A JPH06236917 A JP H06236917A JP 4460893 A JP4460893 A JP 4460893A JP 4460893 A JP4460893 A JP 4460893A JP H06236917 A JPH06236917 A JP H06236917A
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JP
Japan
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positioning
positioning member
supporting means
member supporting
work
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Pending
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JP4460893A
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English (en)
Inventor
Hitoshi Tamaki
仁 玉城
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置決め機構において、ワーク12をその端
面が基準位置に来るようにする端面基準位置決めと、ワ
ーク12をその中心が基準位置に来るようにするセンタ
ー基準位置決めに兼用できるようにする。 【構成】 中間部2にて支持され駆動源4により回動せ
しめられる回動体1と、ワーク12を互いに反対側から
押して位置決めする位置決め部材10l、10rを交換
可能に支持する位置決め部材支持手段対9l、9rと、
該各手段9l、9rをガイドするガイド体8l、8r
と、上記各位置決め部材支持手段9l、9rを回動体1
の回動中心を挟んで反対側に等距離離間した受部3l、
3rに近接するように付勢するばね手段7l、7rと、
上記位置決め部材支持手段対の一方9lの移動をその位
置決め部材10lの近接が所定限度に留まるように規定
するストッパー13を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、位置決め機構、特にワ
ークをその端面が基準位置に来るようにする端面基準位
置決めと、ワークをその中心が基準位置に来るようにす
るセンター基準位置決めに兼用できるようにした位置決
め機構に関する。
【0002】
【従来の技術】固体撮像装置の組立の中で最も重要な工
程の一つがパッケージに対して固体撮像素子をボンディ
ングするダイボンディングである。そして、ダイボンデ
ィングを正確に行う上で重要なことの一つの重要な条件
は、パッケージを正確に位置決めすることである。
【0003】ところで、固体撮像装置用のパッケージの
位置決めは、パッケージの平面形状が矩形の場合には端
面基準位置決めが行われ、四角形よりも角数が多い多角
形、例えば八角形の場合にはセンター基準位置決めが行
われる。ここで、端面基準位置決めというのは、パッケ
ージ等のワークの端面(辺)が基準位置に来るようにす
る位置決めであり、センター基準位置決めというのはワ
ークの中心が基準位置に来るようにする位置決めであ
る。
【0004】尚、固体撮像装置のパッケージは平面形状
が矩形のものが多く、これは端面基準位置決めにより行
われるが、しかし、例えば医療用の固体撮像装置はパッ
ケージが矩形の四つの角部を切欠いた八角形に近い形状
を有し、このようなパッケージには端面基準位置決めが
不向きであり、センター基準位置決めにより位置決めす
る必要がある。そして、従来において端面基準位置決め
は、端面基準位置決め用位置決め機構により、センター
基準位置決めはセンター基準位置決め用位置決め機構に
より行われていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、端面基準位
置決め用位置決め機構とセンター基準位置決め用位置決
め機構を別々に設置し管理すると、維持、管理に莫大な
コストがかかるクリーンルームの利用効率が悪くなり、
また位置決め機構の設備費も多額になる。また、端面基
準位置決め用位置決め機構を備えたダイボンダとセンタ
ー基準位置決め用位置決め機構を備えたダイボンダと別
個に設ける場合もあった。これだともっと設備費が多額
になる。
【0006】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、位置決め機構において、ワークをそ
の端面が基準位置に来るようにする端面基準位置決め
と、ワークをその中心が基準位置に来るようにするセン
ター基準位置決めに兼用できるようにすることを目的と
する。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の位置決め機構
は、中間部にて支持され駆動源により回動せしめられる
回動体と、ワークを反対側から押して位置決めする位置
決め部材を交換可能に支持する位置決め部材支持手段対
と、該各位置決め部材支持手段を案内するガイド体と、
上記各位置決め部材支持手段を上記回動体の回動中心に
挟んで反対側に等距離離間した位置に近接するように付
勢するばね手段と、上記位置決め部材支持手段対の一方
の移動をその位置決め部材の近接が所定限度に留まるよ
うに規定するストッパーと、からなることを特徴とす
る。
【0008】請求項2の位置決め機構は、請求項1の位
置決め系をX方向に位置決め用とY方向位置決め用の2
個設け、一つの駆動源でこの2個の位置決め系を同時に
駆動してX及びY方向の位置決めをするようにしたこと
を特徴とする。
【0009】
【作用】請求項1の位置決め機構によれば、駆動源によ
り回動体を回動することにより回動体と各位置決め部材
支持手段との間の各ばね手段を介して各位置決め部材支
持手段を、それにより支持された位置決め部材がワーク
に近接する方向に移動させることができ、延いては位置
決め部材によってワークを両側を挟むようにして位置決
めすることができる。そして、ストッパーを外すかある
いは各位置決め部材として位置決め部材支持手段からワ
ーク側への突出量の大きめのものを用意して両位置決め
部材支持手段がストッパーに拘束されることなく移動す
るようにしてストッパーを実質的に無効にして各位置決
め部材でワークを挟むようにすることによりセンター基
準位置決めを行うことができる。
【0010】また、ストッパーを有効にした状態で、各
位置決め部材でワークを挟む状態に至る前に一方の位置
決め部材支持手段の移動がストッパーによって阻止され
た状態になるようにすれば、駆動源によってそれ以上回
動体を回動させてもその一方の位置決め部材支持手段に
より支持された位置決め部材の位置は固定され、端面基
準位置決めの位置決め基準となる。それに対して他方の
位置決め部材支持手段は回動体の回動により位置決め部
材がワークにあたりワークが対を成す位置決め部材によ
り挟まれる状態になるまで移動する。従って、端面基準
位置決めが可能となる。しかして、ストッパーを有効に
するか無効にするかによって端面基準位置決めを行うよ
うにしたりセンター基準位置決めを行うようにしたりす
ることができる。請求項2の位置決め機構によれば、X
方向の位置決め系とY方向の位置決め系を一つの駆動源
により駆動するので、X及びY方向の端面基準位置決め
をするようにしたり、センター基準位置決めをするよう
にすることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明位置決め機構を図示実施例に従
って詳細に説明する。図1は本発明位置決め機構の一つ
の実施例を示す正面図である。図面において、1は回動
杆で、中間部(端でない部分という意味であり、中心部
とは限らない)において回動自在に支持されており、2
はその回動支点である。3rは回動杆1の一端に設けら
れた受部、3lは回動杆1の上記回動支点2から該受部
3rと反対側に回動支点2・受部3r間と等距離離間し
た位置に設けられた受部、3mは回動杆1の他端に設け
られた受部である。
【0012】4は駆動源で、2つの空圧シリンダ5a、
5bからなる。一方の空圧シリンダ5aのピストンヘッ
ド6aは、受部3mの図1における右側に位置し、そし
て、ばね7によって受部3mがピストンヘッド6aに当
接するように付勢せしめられている。他方の空圧シリン
ダ5bのピストンヘッド6bは、受部3mの図1におけ
る左側に位置せしめられている。
【0013】しかして、空圧シリンダ5aのピストンヘ
ッド6aが前進すると回動杆1が受部3mを左側に押さ
れるので図1における時計回り方向に移動する。逆に空
圧シリンダ5のピストンヘッド6aが後退すると、ばね
7の付勢力によって受部3mがピストンヘッド6bへ押
圧された状態に保たれているのでヘッド6aの後退に伴
って右側に移動する。従って、回動杆1は反時計回り方
向に回動する。尚、端面基準位置決めモードのときには
位置決め時に他方の空圧シリンダ5bが動作して回動杆
1の反時計回り方向への回動を助けるが、この点につい
ては後の端面基準位置決め動作の説明において詳しく説
明する。
【0014】8rは位置決め部材支持手段9rを図1に
おける左右方向に案内するガイドで、回動杆1の受部3
rの右側に位置されている。8lは位置決め部材支持手
段9lを図1における左右方向に案内するガイドで、回
動杆1の受部3lの左側に位置されている。上記位置決
め部材支持手段9rは回動杆1の受部3rに図1におけ
る右側から当接するようにばね7rにより付勢せしめら
れている。
【0015】上記位置決め部材支持手段9lは、回動杆
1の受部3lに図1における左側から当接するようにば
ね7lにより付勢せしめられている。10rは位置決め
部材支持手段9rに取り付けられた爪状の位置決め部
材、10lは位置決め部材支持手段9lに取り爪状の位
置決め部材で、両者10l、10rはワーク載置台11
上に載置されたワーク12を挟んで対向しており、ワー
ク12の中心がワーク載置台12の中心上であって回動
杆1の回動支点2の上方に位置するときのワーク12と
の間隔d、dは互いに等しくなるように位置されてい
る。
【0016】尚、位置決め部材10l、10rは交換可
能であり、端面基準位置決めモードのときは短めのもの
が使用され、センター基準位置決めモードの時は長めの
ものが使用される。その理由は後で説明する。13は位
置決め部材支持手段9lの図1における右側に位置せし
められたストッパーで、位置決め部材支持手段9lの右
側への移動を所定限度に留める役割を果す。具体的に
は、端面基準位置決めモード下においては、回動体1が
反時計回り方向に回動して位置決め部材支持手段9lが
右に位置決め部材支持手段9rが左に移動したときに位
置決め部材10l、10rがワーク12に接する前に位
置決め部材支持手段9lに当接してそれ以上の位置決め
部材支持手段9lの右への移動を阻む位置にストッパー
13が設けられている。そして、位置決め部材支持手段
9lがストッパー13に当接してそれ以上の右方向への
移動が阻止されたときの位置決め部材10lの先端面の
位置が位置決め基準端面位置となる。
【0017】次に、位置決め機構の動作説明をする。先
ず、センター基準位置決めモード下における動作につい
て説明する。センター基準位置決めモードのときは位置
決め部材10l、10rとして2点鎖線で示すように長
いものを用いる。具体的には、回動体1が反時計回り方
向に回動して位置決め部材支持手段9lが右に、位置決
め部材支持手段9rが左に移動したときに位置決め部材
支持手段9lがストッパー13に当接して右への移動が
阻まれる前に位置決め部材10l、10rがワーク12
に当接して位置決めするように長い位置決め部材10
l、10rを用いるのである。
【0018】図1に示す初期状態から駆動源4の一方の
空圧シリンダ5aのみを駆動してピストンを右方向に移
動させる。すると、ばね7の付勢力により受部3mがピ
ストンヘッド6aに当接せしめられた状態にある回動杆
1は、反時計回り方向に回動する。すると、受部3lは
右に、受部3rは左に移動するので、位置決め部材支持
手段9lは、ばね7lの付勢力により受部3lの右への
移動に従動して右へ移動し、位置決め部材支持手段9r
は、ばね7rの付勢力により受部3rの左への移動に従
動して左へ移動する。
【0019】その結果、ワーク12は位置決め部材10
lと10rによって両側から押されて中心が載置台11
の中心上であって回動体1の回動支点2の上方に位置す
るような位置に位置決め、即ちセンター基準位置決めさ
れることになる。尚、受部3r、3lのストローク範囲
Sはワーク12と位置決め部材10l、10rとの初期
状態における間隔dB よりも大きくなるように設定され
ている。さもないと、受部3r、3lストローク範囲S
いっぱい動ききっても位置決め部材10l、10rの先
端がワーク12の端面に接し得ず位置決めが不能となる
からである。
【0020】次に、端面基準位置決め動作について説明
する。端面基準位置決めモード下においては、位置決め
部材10l、10rとして短いものを使用する。図1に
示す初期状態から駆動源4を成す両方の空圧シリンダ5
a、5bを駆動してピストンを右方向に移動させる。す
ると、2つのピストンヘッド6a・6b間に受部3mを
挟まれた回動体1はその受部3mを右方向に移動せしめ
られることにより強い力で回動せしめられる。
【0021】すると、受部3lは右に、受部3rは左に
移動するので、位置決め部材支持手段9lは、ばね7l
の付勢力により受部3lの右への移動に従動して右へ移
動し、位置決め部材支持手段9rは、ばね7rの付勢力
により受部3rの左への移動に従動して左へ移動する。
その結果、位置決め部材10l、10rがワーク12に
近接するが、ワーク12に接する前に一方の位置決め部
材支持手段9lがストッパー13に当接してそれ以上の
右方向への移動が阻まれた状態なり、必然的に位置決め
部材10lの位置が以後停止し、この時の位置決め部材
10lの先端面が端面基準位置決めにおける位置決め基
準端面となる。
【0022】このような位置決め部材支持手段9lがス
トッパー13によってそれ以上の右方への移動が阻まれ
て位置決め部材支持手段9l、位置決め部材10lの位
置が固定した状態になっても、駆動源4は駆動をし続
け、回動体1は反時計回り方向への回動を続ける。その
結果、他方の位置決め部材9rは左方向へ移動し続け、
やがて位置決め部材10rがワーク12を位置決め部材
10lへ押し、ワーク12が停止していた位置決め部材
10lと移動してきた位置決め部材10rとの間に挟ま
れた状態、即ち、端面基準位置決めされた状態になる。
【0023】尚、位置決め機構をしてかかる位置決め動
作を正常に行わせるには前提として、ばね7の力よりも
ばね7rの力の方が強く、ばね7rの力よりもばね7l
の方が強くなるようにされていなければならない。とい
うのは、先ず、ばね7の力よりもばね7lや7rの力を
強くしないと、駆動源4の一方の空圧シリンダ5aのピ
ストンヘッド6aの右側への移動をしたときに確実に回
動杆1の受部3l、3rに追随して位置決め部材支持手
段9l、9rが移動しセンター基準位置決めする動作を
正しく行うことができない虞れがあり、また、ばね7l
の力よりもばね7rの力の方を強くしないと、端面基準
位置決めモードのときにおいて位置決め部材支持手段9
lがストッパー13によって右方向への移動を阻まれた
状態になっても回動体1の回動によって位置決め部材支
持手段9rを右方向に移動させ続けることができないか
らである。
【0024】また、各空圧シリンダ5a、5bの推力
は、各ばね7、7l、7rの力よりも強くなるように設
定されている。さもないと、ばねの力に抗して回動杆1
を確実に回転させることができなくなる虞れがあるから
である。ところで、駆動源4として2つの空圧シリンダ
5a、5bを用い、センター基準位置決めモードのとき
は空圧シリンダ5a、5bのみを駆動するが端面基準位
置決めモードのときは空圧シリンダ5a、5bの両方を
駆動するようにするのは、位置決め部材支持手段9がス
トッパー13によってそれ以上の右方向への移動が阻止
された状態になった後においてもばね7lのばね力に抗
して回動杆1を反時計回り方向に回動し続ける必要があ
るからである。
【0025】即ち、空圧シリンダ5aだけだと、ピスト
ンヘッド6aが右方向へ移動してもばね7の力がばね7
lの力よりも弱いので回動杆1をばね7lの力に抗して
回動させることは不可能である。そこで、端面基準位置
決めモードのときはばね7に依存することなく回動杆1
を反時計回り方向に回動できるように空圧シリンダ5b
で受部3mを右側へ押すようにするのである。
【0026】尚、本実施例においては、端面基準位置決
めモードとセンター基準位置決めモードとの切換は、位
置決め部材19l、10rの交換により行っていた。即
ち、端面基準位置決めモードのときは位置決め部材10
l、10rとして短いものを用い、センター基準位置決
めモードのときは長いものに交換するようにして、それ
によりストッパー13を有効状態にしたり無効状態にし
たりしていた。しかしながら、ストッパー13を例えば
突出させたり凹ませたりするというような方法により有
効状態にしたり、無効状態にするようにすることもでき
る。そして、このようにした場合には位置決め部材10
l、10rの交換は必要ではない。
【0027】図2は本発明位置決め機構の他の実施例を
示す平面図である。本実施例は回動杆1に代えて十字形
の回動体1aを用い、位置決め部材支持手段対、位置決
め部材対を二対ずつ設けてX方向の位置決めとY方向の
位置決めを1つの駆動源4を用いて同時に行うようにし
たものである。
【0028】本実施例はX方向、Y方向の位置決めを同
時に行うようにしたものであり、図1に示した位置決め
系がX方向用とY方向用の二つあるに過ぎない。ただ、
X方向用位置決め系とY方向用位置決め系とを一体化す
るため、本実施例には図1に示した位置決め機構とは異
なる構成をいくつか有している。尚、図2において図1
と共通する部分には共通の符号を使用した。
【0029】1aは回動杆1に代えて用いられた十字形
の回動体で、該十字形の交差した部分にて水平な向きで
回動自在に支持されており、2はその回動中心であり、
回動軸の向きは垂直である。31 、32 、33 、34
回動体1aの各片11 、12 、13 、14 に設けられた
受部で、該各受部31 、32 、33 、34 は回動体1の
回動中心から互いに等しい距離間している。
【0030】3mは回動体1aの受部31 の在る片11
の端部に設けられた受部で、駆動源4により図2におけ
る左右方向に移動せしめられる。この駆動源4は2つの
空圧シリンダ5a、5bからなること図1の実施例の場
合と同じである。6a、6bは空圧シリンダ5a、5b
のピストンヘッドである。7は回動体1aの片11 を受
部3mがピストンヘッド6aに当接するように付勢する
ばねである。
【0031】81 、82 、83 、84 は直線方向に位置
決め部材支持手段91 、92 、93、94 を案内するガ
イド、101 、102 、103 、104 は位置決め部材
支持手段91 、92 、93 、94 に支持された位置決め
部材で、回動体1aより上方に位置している。71 、7
2 、73 、74 は位置決め部材支持手段91 、92 、9
3 、94 を受部31 、32 、33 、34 に当接するよう
に付勢するばね、12はワークで、図面に現われない支
持台上に支持されている。131 、132 はストッパー
で、端面基準位置決めモードのときに位置決め部材支持
手段92 、93 の移動を規制して位置決め部材102
103 の先端面がY方向、X方向における位置決め基準
面となるようにする役割を果す。
【0032】勿論、センター基準位置決めモードのとき
はストッパー131 、132 は無効にされる。ストッパ
ー131 、132 を無効にする方法としては、位置決め
部材101 、102 、103 、104 として2点鎖線で
示すように長いものを使用し、ストッパー131 、13
2 に位置決め部材支持手段92 、93 が当接するまえに
位置決め部材101 、102 、103 、104 によって
ワーク12がセンター基準位置決めされてしまうように
する方法と、ストッパー131 、132 を凹ます、ある
いは取り外してしまうという方法があることはいうまで
もない。
【0033】位置決め機構の動作の概略を説明すると、
図2に示す初期状態から駆動源4により回動体1aを図
2における時計回り方向に回動すると、位置決め部材支
持手段91 は図2における左方向に、位置決め部材支持
手段92 は図2における上方向に、位置決め部材支持手
段93 は図2における右方向に、位置決め部材支持手段
4 は図2における下方向にそれぞれ移動し、これ等位
置決め部材支持手段91 、位置決め部材支持手段92
位置決め部材支持手段93 、位置決め部材支持手段94
により支持された位置決め部材101 、102 、10
3 、104 はワーク12に近接し、ストッパー13が無
効にされたセンター基準位置決めモードのときはワーク
12がその4つの位置決め部材101 、102 、10
3 、104 によりまわりから均等に押されてセンター基
準位置決めされる。
【0034】また、ストッパー13が有効な端面基準位
置決めモードのときは、位置決め部材101 、102
103 、104 がワーク12に接する前の段階で位置決
め部材支持手段92 、93 がストッパー131 、132
に当接してそれ以上の移動が阻止された状態になる。し
かし、駆動源4を成す2つの空圧シリンダ5a、5bの
働きにより回動体1aの回動は続くので位置決め部材支
持手段91 、94 の移動が続き、位置決め部材101
104 がなおもワーク12に近接を続け、やがてワーク
12を停止して位置決め基準面としての役割を果す状態
になっている位置決め部材102 、103 に押し付け
る。その結果、ワークが端面基準位置決めされた状態に
なる。
【0035】尚、センター基準位置決めモードのとき
は、空圧シリンダ5aの駆動力のみにより回動体1aを
回動できるが、端面基準位置決めモードのときはばね7
2 、73 の力に抗して回動体1aを回動する必要がある
ので空圧シリンダ5aと5bの両方を用いて回動体1a
を回動させる必要があること第1の実施例の場合と同様
である。ところで、上記実施例においては駆動源4とし
て空圧シリンダを用いていたが、必ずしもそれに限定さ
れず、例えば電動シリンダを用いることも考えられる。
【0036】尚、図3は固体撮像素子ダイボンディング
で、Aはパッケージの素子をダイボンディングすべき部
分に銀ペーストを塗布する部分であり、Bはパッケージ
の銀ペーストが塗布された部分に素子をボンディングす
る部分で、これ等A、B両方の部分においてパッケージ
のX、Y方向位置決めが必要であるが、そのA、Bの両
部分それぞれに図2に示す位置決め機構を設置すること
ができる。また、図4はダイボンディング後、固体撮像
素子の光軸を測定する測定機であるが、かかる測定にも
パッケージの位置決めが必要であり、その位置決め機構
として図2に示す位置決め機構を用いることができる。
【0037】
【発明の効果】請求項1の位置決め機構は、中間部にて
支持され駆動源により回動せしめられる回動体と、ワー
クを反対側から押して位置決めする位置決め部材を交換
可能に支持する位置決め部材支持手段対と、該各位置決
め部材支持手段をガイドするガイド体と、上記各位置決
め部材支持手段を上記回動体の回動中心に挟んで反対側
に等距離離間した位置に近接するように付勢するばね手
段と、上記位置決め部材支持手段対の一方の移動をその
位置決め部材の近接が所定限度に留まるように規定する
ストッパーと、からなることを特徴とするものである。
従って、請求項1の位置決め機構によれば、駆動源によ
り回動体を回動することにより回動体と各位置決め部材
支持手段との間の各ばね手段を介して各位置決め部材支
持手段を、それにより支持された位置決め部材がワーク
に近接する方向に移動させることができ、延いては位置
決め部材によってワークを両側を挟むようにして位置決
めすることができる。
【0038】そして、ストッパーを外すかあるいは各位
置決め部材として位置決め部材支持手段からワーク側へ
の突出量の大きめのものを用意して両位置決め部材支持
手段がストッパーに拘束されることなく移動しするよう
にてストッパーを実質的に無効にして各位置決め部材で
ワークを挟むようにすることによりセンター基準位置決
めを行うことができる。また、ストッパーを有効にした
状態で、各位置決め部材でワークを挟む状態に至る前に
一方の位置決め部材支持手段の移動がストッパーによっ
て阻止された状態になるようにすれば、駆動源によって
それ以上回動体を回動させてもその一方の位置決め部材
支持手段により支持された位置決め部材の位置は固定さ
れ、端面基準位置決めの位置決め基準となる。それに対
して他方の位置決め部材支持手段は回動体の回動により
位置決め部材がワークにあたりワークが対を成す位置決
め部材により挟まれる状態になるまで移動する。従っ
て、端面基準位置決めが可能となる。しかして、ストッ
パーを有効にするか無効にするかによって端面基準位置
決めを行うようにしたりセンター基準位置決めを行うよ
うにしたりすることができる。
【0039】請求項2の位置決め機構は、請求項1の位
置決め系をX方向に位置決め用とY方向位置決め用の2
個設け、一つの駆動源でこの2個の位置決め系を同時に
駆動してX及びY方向の位置決めをするようにしたこと
を特徴とするものである。従って、請求項2の位置決め
機構によれば、X方向の位置決め系とY方向の位置決め
系を一つの駆動源により駆動するので、X及びY方向の
端面基準位置決めをするようにしたり、X及びY方向の
センター基準位置決めをするようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明位置決め機構の一つの実施例を示
す正面図である。
【図2】図2は本発明位置決め機構の他の実施例を示す
平面図である。
【図3】図3は本発明を適用することができる固体撮像
素子ダイボンダの斜視図である。
【図4】図4は本発明を適用することができる光軸測定
機の斜視図である。
【符号の説明】
1、1a 回動体 2 回動体の回動中心 3 受部 4 駆動源 8 ガイド 9 位置決め部材支持手段 10 位置決め部材 12 ワーク 13 ストッパー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中間部にて回動自在に支持された回動体
    と、 上記回動体をその一部を押したり引いたりすることによ
    り回動させる駆動源と、 ワークを互いに反対側から押して位置決めする位置決め
    部材を交換可能に支持する位置決め部材支持手段対と、 上記位置決め部材支持手段を位置決め部材がワークに近
    接したりそれから離れたりする方向に案内するガイド対
    と、 上記回動体の回動中心から互いに反対方向に等距離離間
    した点に、上記位置決め部材支持手段を位置決め部材が
    ワークに近接するような方向へ付勢して当接させようと
    するばね手段対と、 上記位置決め部材支持手段対の一方により支持された位
    置決め部材のワーク側への近接が所定限度に留まるよう
    に該一方の位置決め部材支持手段の移動を規定するスト
    ッパーと、 からなることを特徴とする位置決め機構
  2. 【請求項2】 中央部乃至その近傍にて回動自在に支持
    された回動体と、 上記回動体を、その一部を押したり引いたりすることに
    より回動させる駆動源と、 ワークを互いに反対側から押してX方向の位置決めをす
    る位置決め部材を交換可能に支持するX方向位置決め部
    材支持手段対と、 ワークを互いに反対側から押してY方向の位置決めをす
    る位置決め部材を交換可能に支持するY方向位置決め部
    材支持手段対と、 上記X方向位置決め部材支持手段対をX方向にガイドす
    るX方向ガイド対と、 上記Y方向位置決め部材支持手段対をY方向にガイドす
    るY方向ガイド対と、 上記回動体の回動中心から等距離離間し且つその回動中
    心を中心として90度離間して四点に対応する位置決め
    部材支持手段を位置決め部材がワークに近接するような
    方向へ付勢して当接させようとする4個のばね手段と、 上記各位置決め部材支持手段対の各一方の位置決め部材
    支持手段により支持された位置決め部材のワーク側への
    近接が所定限度に留まるように上記各一方の位置決め部
    材支持手段の移動を規定する2個のストッパーと、 からなることを特徴とする位置決め機構
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004345029A (ja) * 2003-05-22 2004-12-09 Shin Caterpillar Mitsubishi Ltd 輪状工作物の自動芯出し方法及び装置並びに加工装置
CN105196583A (zh) * 2015-10-28 2015-12-30 天津赛象科技股份有限公司 胎圈预置器行走定位装置
JP2020088072A (ja) * 2018-11-20 2020-06-04 株式会社東京精密 ウエハ受け渡し装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004345029A (ja) * 2003-05-22 2004-12-09 Shin Caterpillar Mitsubishi Ltd 輪状工作物の自動芯出し方法及び装置並びに加工装置
CN105196583A (zh) * 2015-10-28 2015-12-30 天津赛象科技股份有限公司 胎圈预置器行走定位装置
CN105196583B (zh) * 2015-10-28 2017-05-03 天津赛象科技股份有限公司 胎圈预置器行走定位装置
JP2020088072A (ja) * 2018-11-20 2020-06-04 株式会社東京精密 ウエハ受け渡し装置

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