JPH06238251A - 洗浄器具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学鏡面に加工された基板面上の汚れを除去
するのに、常に汚れのない洗浄液を供給し汚れを除去で
きる洗浄器具とする。 【構成】 ゴム板１等の摩擦板上に基板２を置き、基板
をまたいで移動し基板表面上を接触して基板面上の汚れ
を除去する洗浄液を塗布した洗浄繊維７を、洗浄ローラ
６を洗浄ローラの前後に配置した前輪４１と後輪４２の
前記前輪４１に連結し駆動する歯車１１により洗浄ロー
ラの伝達歯車１２を駆動し、前輪の駆動方向と同一方向
に送り速度より速く移動するよう洗浄繊維７を駆動す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、鏡面研磨加工された薄
い結晶基板（以下基板と称す）を洗浄剤を含ませた綿等
の繊維で摩擦させることによって、基板面上に付着した
油脂や塵等の汚れを拭き取る洗浄作業に使用する洗浄器
具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より表面が光学鏡面に加工された基
板は洗浄時に傷が付かないことが必要であり、一方光学
材料は面仕上作業においては機械動力による洗浄に向か
ない、厚さが薄く割れやすい基板を対象としたこの種の
洗浄器具としては、繊維に洗浄剤を含ませたベンコッ
ト、綿棒等により基板表面をこすることで洗浄を行って
いたが、１μｍ以下の汚れを拭き取る場合、基板表面を
洗浄剤を含ませた繊維によりこする作業において、基板
表面上の汚れを拭き取った繊維部分のままで拭き取り方
向に移動させてしまうと、前記の汚れを拭き取った繊維
部分の汚れが基板表面に再び付着して光学鏡面を清浄な
面に洗浄ができないという欠点があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの欠
点を除去するため、表面を光学鏡面に加工した薄い基板
に沿って洗浄液を含ませた洗浄繊維を常時送り込み、か
つ洗浄繊維を基板面上を移動する送り方向に送り速度よ
り速い速度で巻き取りながら、基板表面に常に新しい洗
浄液が塗布された洗浄繊維を基板表面に摩擦することに
より、汚れを取るようにして基板表面への汚れが再付着
することを防止できるようにした洗浄器具を提供するこ
とを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄する薄い
基板の幅より広い間隔を有する同軸棒両端に固定した四
つの車輪を有する洗浄器本体を、ゴム板上に置いた洗浄
する基板に沿って車輪を回転した時に、ゴム板上に接し
押し出し方向に沿って回転する車軸に連動して基板表面
方向へ圧力を加えながら基板表面に押し当てられている
洗浄剤を含んだ布状の洗浄繊維を車輪の回転方向に送り
出し速度より速く巻き取ることで、基板表面と布状の洗
浄繊維との間に基板表面の汚れを拭き取る摩擦を起こす
ように構成したもので、基板の幅をまたぐ車輪を、汚れ
の拭き取る基板面上を転がすことによって、汚れのない
洗浄液が塗布された洗浄繊維を常に基板面上に洗浄ロー
ラにより塗布し、汚れを拭き取った布状の洗浄繊維部分
が基板面上を拭き取りながら巻き取られるため、基板表
面へ常に清浄な洗浄繊維を供給できる洗浄器具としたこ
とを特徴とする。

【０００５】即ち本発明は、鏡面加工された薄い表面が
平らで洗浄時に動かないようゴム板等の摩擦台に設置さ
れた基板に、該基板面に垂直な方向に圧力を加えかつ基
板表面に平行に移動し前記摩擦板に接し回転する前輪と
後輪との間に配置された洗浄ローラにより基板に表面を
押し付け巻き取られる洗浄剤を含んだ布状の洗浄繊維
を、前記前輪に直結した歯車と該前輪の歯車に直結した
伝達歯車等の回転手段により巻取ローラに連結して前輪
の回転方向と巻取ローラの回転を前輪の回転数より速く
回転するようにして、前輪の前進により基板面に接触す
る前記洗浄繊維を該洗浄繊維の移動方向に移動速度より
速い速度で巻き取りながら移動するよう構成したことを
特徴とする洗浄器具である。

【０００６】

【作用】ゴム板等の摩擦板の上に置いた薄い基板の表面
を洗浄液を含ませた洗浄繊維を基板面上に供給するの
に、基板上をまたいで洗浄剤を含ませた洗浄繊維を基板
面上を移送する方向と同一方向に送り速度より速く巻き
取るもので、後部に貯えた洗浄繊維を基板面上に接し洗
浄繊維を移動する洗浄ローラをばね圧で基板面に押し付
けて、洗浄ローラ面を移送する洗浄繊維を基板面に圧接
しながら、前輪に直結した歯車により伝達歯車で回転さ
せた巻き取りローラにより、洗浄器具の移動方向に移動
速度より速い速度で洗浄繊維を巻き取るように構成する
ことにより、常に汚れのない清浄な洗浄繊維で基板面上
の汚れを拭き取る。前輪に直結した歯車の径と巻き取り
ローラを駆動する伝達歯車の直径の比を変えることによ
り、結晶基板上を移動する洗浄繊維と洗浄器具の移動速
度との相対速度を調節する。

【０００７】

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の洗浄器具
を詳細に説明する。図１は、本発明の洗浄器具の外観と
洗浄する基板の配置の概略を示す図である。図１（ａ）
は側面図であり、表面が平滑なゴム板１上に表面を鏡面
研磨加工された厚さの薄い短冊状の基板２を置き、洗浄
時に動かないようにし、厚さの薄い短冊状の基板２の上
に洗浄器具本体３を置いている。洗浄器具本体３には前
輪４１と後輪４２とが取り付けられており、前輪４１と
後輪４２の輪の外周にはゴム膜５がかぶせられており、
前輪と後輪がゴム板１上を回転する時、このゴム膜５は
前輪４１及び後輪４２との間の回転摩擦を大きし、前
輪、後輪のすべりを防止するためのものである。

【０００８】前輪４１と後輪４２の間には、洗浄剤を含
んだ布状の洗浄繊維７を厚さの薄い短冊状の基板２に押
しあて、洗浄器具本体３を矢印Ａ方向に移動させる。Ａ
方向に移動する布状の洗浄繊維７を送り回転するための
洗浄ローラ６を取り付けている。尚、洗浄ローラ６は厚
さの薄い短冊状の基板２よりも幅が広く、又、厚さの薄
い短冊状の基板２の厚さが変化しても、常に洗浄剤を含
んだ布状の洗浄繊維７が厚さの薄い短冊状の基板２に押
し当てられているような状態となるよう洗浄ローラは基
板面方向にばねで作られた上下運動部８によりばね圧が
加えられ、即ち洗浄ローラの軸が上下に動けるよう上下
運動部８が作られている。ここで、洗浄ローラ６の上下
運動部８は、厚さの薄い短冊状の基板２に押し当てられ
る前の状態位置より最大２ｍｍ程度まで上に変動でき
る。

【０００９】実施例の本洗浄器具は決まった一方向の移
動に格別な洗浄効果があり、ここでは図１に示す矢印Ａ
方向に洗浄器具を移動させることで、Ａ方向に洗浄剤を
含んだ布状の洗浄繊維７が送られることによって、鏡面
に研磨された基板の優れた洗浄効果が可能となる。図１
（ｂ）は、本発明の洗浄器具を正面から見た図であり、
洗浄ローラ６の幅が厚さの薄い短冊状の基板２よりも広
く、前輪４１及び後輪４２を厚さの薄い基板２の長手方
向に転がして行った時、左右の横方向に手の動作による
ずれが生じても、厚さの薄い短冊状の基板２の横幅全て
の洗浄が確実に行えることを示す。

【００１０】図２は、本発明による洗浄器具の内部構造
を示した図である。図２（ａ）は側面の内部構造図であ
る。拭き取り方向の矢印Ａ方向に前輪４１を転がすこと
で、前輪４１に取り付けた前輪の歯車１１が回転し、こ
の回転が汚れを拭き取った布状の洗浄繊維７を巻き取る
巻き取りローラ１０に取り付けた前輪回転の伝達歯車１
２に伝わり、汚れを拭き取った布状の洗浄繊維を巻き取
りローラ１０の表面に巻き取っていく。ここで、前輪４
１及び後輪４２の回転はそれぞれ前輪軸１４と後輪軸１
５による。同時に、汚れのない洗浄剤を含んだ布状の洗
浄繊維を巻いた送りローラ９より汚れのない洗浄剤を含
んだ布状の洗浄繊維が送り出され、洗浄ローラ６の下面
で厚さの薄い短冊状の基板２の表面の汚れが拭き取られ
ていく。尚、汚れのない洗浄剤を含んだ布状の洗浄繊維
には、常に洗浄剤を含んでいる状態にする。洗浄ローラ
には基板面に洗浄繊維を密接させる上下運動するばね部
１６を取り付けている。

【００１１】図２（ｂ）は、本洗浄器具を斜め上から見
た内部構造図である。本洗浄器具を拭き取り方向を示す
矢印Ａ方向に移動させると、前輪４１の歯車が回転し、
この回転が前輪回転の伝達歯車１２に伝わり、汚れを拭
き取った布状の洗浄繊維を巻き取る巻き取りローラ１０
を回転させる。ここで、汚れのない布状の洗浄繊維７が
送り流されて、洗浄ローラ６の厚さの薄い短冊状の基板
の表面の汚れを拭き取った布状の洗浄繊維を巻き取る巻
き取りローラ１０に巻き取られていく。又、洗浄剤は市
販の中性洗剤、又は工業用中性洗剤を用いており、洗浄
剤を含んだ布状の洗浄繊維７を巻いた送りローラ９と汚
れを拭き取った布状の洗浄繊維を巻き取る巻き取りロー
ラ１０には、布状の洗浄繊維を揃えて巻くためのガイド
板１３が取り付けてあり、巻き取り異常を防止してい
る。尚、本発明の実施例において、洗浄剤は市販の中性
洗剤、又は工業用の中性洗剤を用い、洗浄繊維は塵を発
生することのない無塵の綿製布、例えばベンコットと言
われる布地を使用している。

【００１２】本発明の洗浄器具による基板の洗浄は、洗
浄繊維の清浄点が洗浄器具を基板面上に押して前方に押
し出した時、洗浄ローラ６により洗浄剤を含んだ布状の
洗浄繊維７が基板表面に押し当てられ汚れを拭き取り、
洗浄器具が移動すると基板表面を拭き取る洗浄繊維の拭
き取り位置が前方に進んだ状態となり、洗浄剤を含んだ
布状の洗浄繊維７が洗浄器具の移動によって、図中の矢
印方向に巻き取られることにより、汚れを拭き取った洗
浄繊維部分は基板表面の接触部分より離れ、巻き取りロ
ーラに巻き取られ、基板面より拭き取られた汚れが再度
基板表面に付着することはない。

【００１３】従って、汚れを除去する基板表面と洗浄剤
を含んだ布状の洗浄繊維の接触部分は新しい洗浄繊維が
常に送り込まれ、接触部分の洗浄剤を含んだ布状の洗浄
繊維が汚れのない状態で基板表面の汚れを拭き取る。以
上の動作を連続して行うことよにって、基板面上に汚れ
の再付着を防止できる連続洗浄が可能となる。又、前軸
に直結した歯車１１と、該歯車に直結して駆動する伝達
歯車の夫々の径と歯車数を変えることにより、洗浄器具
の送り速度と洗浄繊維が基板表面上を移動する速度との
割合を種々変えることができる。

【００１４】

【発明の効果】本発明の洗浄器具は厚さの薄い光学鏡面
を有する基板の洗浄に用いることができ、従来の洗浄布
や綿棒を用いた洗浄において発生していた基板への汚れ
の再付着を防止し、汚れの残りを大幅に減少させ、洗浄
器具をゴム板上に置いた状態で基板面上を移動させるだ
けであり、又汚れが残った時は繰り返し基板面上を移動
することにより、完全に清浄な表面を形成することがで
きるので、作業時間の短縮がはかれ、これにより作業者
を選ばずに誰でも本発明の洗浄器具を操作することによ
り、よく洗浄された光学鏡面の基板を得ることができる
効果を有する。

【００１５】即ち、本発明の洗浄器具は、厚さの薄い基
板を取り扱う光学結晶及び半導体素子分野での作業に効
果があり、取り扱う厚さの薄い基板の多種にわたる形状
にも洗浄繊維の幅を変えることにより容易に対応し得る
ことは当然である。

【図面の簡単な説明】

【図１】薄い被洗浄基板の上に洗浄器具を置いた時の洗
浄器具の外観を示す図、図１（ａ）は側面図、図１
（ｂ）は正面図。

【図２】薄い被洗浄基板の上に洗浄器具を置いた時の洗
浄器具の内部構造構造を示す図、図２（ａ）は内部構造
を示す側面図、図２（ｂ）は斜め上から見たときの内部
構造図。

【符号の説明】

１ ゴム板 ２ 基板 ３ 洗浄器具本体 ５ ゴム膜 ６ 洗浄ローラ ７ 洗浄繊維 ８ 上下運動部 ９ 送りローラ １０ 巻き取りローラ １１ 歯車 １２ 伝達歯車 １３ ガイド板 １４ 前輪軸 １５ 後輪軸 １６ ばね部 ４１ 前輪 ４２ 後輪

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 鏡面加工された薄い表面が平らで洗浄時
   に動かないようゴム板等の摩擦台に設置された基板に、
   該基板面に垂直な方向に圧力を加えかつ基板表面に平行
   に移動し前記摩擦板に接し回転する前輪と後輪との間に
   配置された洗浄ローラにより基板に表面を押し付け巻き
   取られる洗浄剤を含んだ布状の洗浄繊維を、巻取ローラ
   に連結して前輪の回転方向と巻取ローラの回転を前輪の
   回転数より速く回転するようにして、前輪の前進により
   基板面に接触する前記洗浄繊維を該洗浄繊維の移動方向
   に移動速度より速い速度で巻き取りながら移動するよう
   構成したことを特徴とする洗浄器具。