JPH0623988A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクジェットヘッドのコスト上昇を引き起
こすインク流路の代わりに多孔質層を設ける構造を取る
事によりコスト低減を図るとともに、多孔質層をフィル
ターとして使用しヘッド組立時等に混入するゴミ、塵を
排除して初期不良の大幅低減を達成することを目的とす
る。 【構成】 複数の圧力室１４が連通する部分に多孔質層
１２を具備し、インク供給を多孔質層１２を通じて行う
事でインク流路と同等のインク供給能力と、フィルター
としての機能を持たせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクが満たされた圧
力室内に圧力を加え、圧力室の一部に設けられたノズル
よりインク滴を飛翔させるオンディマンド方式のインク
ジェットヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、プリンタは、印字の高速化、カラ
ー化、低騒音化の要求が高まってきており、なかでもイ
ンクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタが
注目されてきている。

【０００３】インクジェットヘッドの方式は大別して連
続式とオンディマンド方式があり、更にオンディマンド
方式には、ピエゾ素子で駆動するカイザー方式、ステム
メ方式、グールド方式や、熱にてバブルを発生させ、そ
の体積変化にてインクを飛翔させるバブルジェット方式
がある。これらの内、ノズル毎にインク流路および圧力
発生手段を設け、信号に応じてインク滴を吐出するオン
ディマンド方式は、近年要求が高まってきている高密度
化に伴い、多数のインク流路を狭い範囲に製造する場
合、応答周波数、飛翔の安定性、消費電力及び効率等で
十分でない点がでてきている。

【０００４】以下に従来のバブルジェット方式のインク
ジェットヘッドについて説明する。図１５は従来のイン
クジェットヘッドのノズル１つの断面図、図１６は図１
５の線Ａ−Ａ断面図である。図１５、図１６において、
１は基盤、２は基盤１上に積層された断熱層で、導電性
インクの自己発熱を基盤１に逃がさず効果的にバブル発
生を行わせるためのものである。３はノズル、４ａ及び
４ｂは断熱層２の上にノズル３に対応してパターン形成
された信号電極及びコモン電極、５は各ノズル間の干渉
を防ぐ絶縁材からなる仕切り部、６はインク流路、７は
ノズル３を有するノズルプレートで、基盤１と仕切り部
５とノズルプレート７とにより圧力室８が構成されてい
る。矢印イは信号電極４ａとコモン電極４ｂ間の導電性
インク内を通過する電気力線、ロは導電性インクの電流
通過部である。９は導電性インク滴で、電気力線イにそ
って流れる電流により電流通過部ロの導電性インクが自
己発熱して発生する蒸気バブルにより、圧力室８に圧力
変化が生じ、ノズル３より吐出される。２８は信号電極
４ａ、コモン電極４ｂ間に電圧を加える信号発生装置、
２９は導電性インク滴９が付着する記録紙である。

【０００５】以上のように構成されたインクジェットヘ
ッドについて、以下にその動作を説明する。

【０００６】まず、信号発生装置２８により信号電極４
ａ、コモン電極４ｂ間に電圧を加えると、図１５及び図
１６に示すように所定の体積抵抗率を有する導電性イン
クの電流通過部ロで電気力線イが信号電極４ａとコモン
電極４ｂとの間に発生し、電流がこの電気力線イに沿っ
て流れ、電流通過部ロの導電性インクが、自己発熱して
沸騰が始まりバブル（図示せず）が発生する、このバブ
ルにより圧力室８内の導電性インクの圧力が急激に高ま
り、ノズル３から導電性インク滴９が飛び出し、飛翔し
て記録紙２９に付着し、ドットの形成を行う。このドッ
トの形成にともない消費された導電性インクは常時イン
ク流路６を介してインク収容部（図示せず）から補給さ
れ、信号発生装置２８からの信号に応じた導電性インク
滴９が連続的に生成され、記録紙２９に対して連続的な
ドット形成が行われる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、複数のノズル３に対応した圧力室８毎に導
電性インクを供給するとともに、インク吐出時の導電性
インクのインク収容部への逆流を防ぐために適当な流体
抵抗を持たせたインク流路６を切削加工やエッチング等
を用いて設けなければならず、切削加工されるインク流
路６内の壁面の荒れが大きすぎたり、エッチング等の差
からインク流路６に歪が生じたりして、精度のよいイン
ク流路６を作ることが難しく、製作後のインクジェット
ヘッドのインク吐出特性にバラツキが生じ易い。また、
切削加工は、基盤の欠けや割れが生じ易く、製造歩留ま
りが悪く、エッチング加工の多用は製造工程の増加、ひ
いては製造コストの上昇を招く。さらに、圧力室８へイ
ンク流路６を介して導電性インクを供給するインク室に
ゴミ、塵等が存在するとインク流路６やノズル３に詰ま
り、インク吐出特性の悪化を引き起こし初期不良となっ
て現れるため、製造中のインク室の防塵管理を高める必
要があり、コスト上昇につながるという様々な問題点を
有していた。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、インクが満たされている圧力室の一部に
設けられたノズルと、圧力室内のインクに圧力を加える
加圧手段と、圧力室へ供給するインクを収容する全ての
圧力室に共通のインク収容部とを有し、圧力室と各イン
ク収容部との間をインクの急な流れに対しては流体的な
抵抗が大きく、ゆるやかな流れに対しては流体的な抵抗
が小さい多孔質部材で隔てた。

【０００９】

【作用】本発明は上記構成により、多孔質部材に流体的
な抵抗があるので、圧力室内のインクに急激な圧力変化
が起った場合の、インクのインク収容部側への流入が少
ないため、インク収容部から圧力室へのインクの供給を
多孔質部材のみで行うことができる。

【００１０】

【実施例】

（実施例１）以下本発明の第１の実施例について図１、
図２、図３、図４、図５を用いて説明する。図１におい
て、１３はノズルプレート１１に空けられ、導電性イン
ク滴９を吐出するノズル、１０ａはノズルプレート１１
内部にノズル１３に対応して設けられた信号電極、１０
ｂは信号電極１０ａに対向する位置に設けられたコモン
電極である。１２はノズルプレート１１と密着し圧力室
１４を形成する多孔質基盤、３６は信号電極１０ａ、コ
モン電極１０ｂ間に電圧を加える信号発生装置、３７は
導電性インク滴９が付着する記録紙である。矢印イは信
号電極１０ａとコモン電極１０ｂ間の導電性インク内を
通過する電気力線、ロは導電性インクの電流通過部であ
る。

【００１１】図２において、１７はヘッドベースで多孔
質基盤１２に導電性インクを供給するための共通インク
室１５が形成されている。１６は図４に示すインクタン
ク１９より共通インク室１５へ導電性インクを供給する
インク供給孔である。１１は図１で説明したノズルプレ
ートでノズル１３内に図１に示すような信号電極１０
ａ、コモン電極１０ｂが設けられている。

【００１２】図３において、１８はヘッドベース１７を
取り付けるインクカートリッジである。

【００１３】図４において、１９はインクカートリッジ
１８内に設けられたインクタンク、２０はインクタンク
１９内の導電性インクに含まれるゴミ、塵などを除去す
るインクフィルター、２１は導電性インクを共通インク
室１５に導くインク導入溝である。

【００１４】図５において、２２はインクカートリッジ
１８をプリンタに入れるカートリッジ挿入口、２３は挿
入されたインクカートリッジを固定するキャリッジ、２
４はシリアルに往復するキャリッジ２３を導くガイドシ
ャフト、２５は記録紙３７を送るプラテンローラであ
る。

【００１５】以上の様に構成されたインクジェットヘッ
ドについてその動作を以下に説明する。信号発生装置３
６により信号電極１０ａ、コモン電極１０ｂ間に電圧を
加え、信号電極１０ａとコモン電極１０ｂとの間に電位
差が発生すると、所定の体積抵抗率を有する導電性イン
ク内を電気力線イが信号電極１０ａとコモン電極１０ｂ
間に発生し、電流がこの電気力線イに沿って流れ、Ｉ
（電流）2 ×Ｒ（導電性インクの抵抗）で表される電流
のジュール損失によって電流が流れた部分の導電性イン
クが自己発熱し、時間の経過に伴い電流が流れた導電性
インクの電流通過部ロの部分より沸騰が始まり、バブル
（図示せず）が発生、膨張する。このバブルの膨張にと
もない導電性インク内の電流はバブルが絶縁体でその中
を電流が通過できないためバブルの両側へ曲げられ電流
密度はバブル表面で最も高くなる。よってバブル表面が
最も早く加熱されてバブルの膨張が一層加速され、バブ
ルの膨張により、圧力室１４内の導電性インクの圧力が
急激に高まる。この高圧になった導電性インクはノズル
１３と多孔質基盤１２の方向へ移動しようとするが、多
孔質基盤１２は孔の等価直径が小さいために急激な圧力
変化による急な導電性インクの流れには流体的な抵抗が
非常に大きいため、圧力変化による急激な導電性インク
の流れはノズル１３へ向かい、ノズル１３から導電性イ
ンク滴９が飛び出し、記録紙３７に飛翔して付着し、ド
ットの形成が行われる。バブルの膨張が最大の大きさに
達すると電流通過部ロは、かなりの部分をバブルが占め
るようになるので導電性インクに流れる電流が低下し、
バブルの熱が導電性インク、ノズルプレート１１、信号
電極１０ａ、コモン電極１０ｂ、多孔質基盤１２へ奪わ
れ、バブルが急激に収縮し消滅する。このバブルは、バ
ブル自身の持つ熱が全方向から奪われるので、導電性イ
ンク中で最終的にバブルが消滅することになる。バブル
の消滅にともない圧力室１４内の導電性インクは、消滅
時の負圧により撹拌され電流通過部ロの温度が下がり、
再び導電性インクに電流が流れだすが、電流通過部ロか
ら沸騰を開始するのには数マイクロ秒以上の加熱時間を
必要とする。この沸騰を開始するまでの加熱時間の間
に、信号発生装置３６は信号電極１０ａ、コモン電極１
０ｂ間への電圧の印加を中止し導電性インクの２重沸騰
による不必要な導電性インク滴９の飛翔を防止する。導
電性インク滴９の飛翔により、消費された導電性インク
は導電性インクの表面張力により常時多孔質基盤１２を
介して圧力室１４へ補給され待機状態に戻る。圧力室１
４内の導電性インクは、導電性インク滴９の飛翔後、わ
ずかに温度が上昇しているが、この導電性インクは待機
状態の間に信号電極１０ａ、コモン電極１０ｂ、ノズル
プレート１１、多孔質基盤１２に熱を奪われ、ほぼ初期
状態の温度近くまで冷却される。

【００１６】以上の動作の繰り返しにより、例えばコン
ピュータ等から送られて来る印字信号に応じて、カート
リッジ挿入口２２より挿入されキャリッジ２３へ装着さ
れたインクカートリッジ１８がガイドシャフト２４に沿
って往復運動し、キャリッジ２３の位置にあわせて信号
発生装置３６が信号電極１０ａ、コモン電極１０ｂ間に
駆動電圧を印加し、導電性インク滴９が連続的に生成さ
れ、プラテンローラ２５によって送られる記録紙３７に
付着し、記録紙３７へのドットによる印字が可能とな
る。

【００１７】導電性インクは、印字動作にともない、イ
ンクタンク１９よりインクフィルター２０を介してイン
ク導入溝２１を通り共通インク室１５に入り、共通イン
ク室１５より圧力室１４へ供給されるが、この圧力室１
４への供給時にインクフィルター２０を通過した導電性
インクに混入している微小な異物等は多孔質基盤１２に
より導電性インクと選別されるため、圧力室１４及びノ
ズル１３へ異物が達することがなくノズル１３の目詰ま
りが発生しにくい。

【００１８】この多孔質基盤１２の設計の要素は空孔
率、等価直径、基盤の厚みであるが、製造の容易さから
基盤の厚みは厚い方が望ましい。また、導電性インク供
給速度向上のため多孔質基盤１２の空孔率は大きい方が
良く、等価直径は導電性インクが有する染料分子長さ、
もしくは顔料の直径よりも大きく、かつノズル１３に詰
まる可能性のある異物等を取り除くフィルターとしての
効果を持たせるためにノズル１３の直径よりも小さくす
る必要がある。

【００１９】これらの値の一例をあげると、ノズル１３
の直径が３５μｍで、導電性インクの染料分子長さが最
大で５００ｎｍ、顔料の直径が最大で２００ｎｍの場
合、多孔質基板１２の厚みが１１０μｍ、空孔率が８０
％、等価直径が５μｍである。

【００２０】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図６、図７を用いて説明する。ここで、実施例１
と同一部分には同一番号を付して詳細な説明は省略す
る。図６、図７において、２６ａはノズルプレート１１
と接着し圧力室１４の一部を形成する多孔質層で、２６
ｂは多孔質層２６ａと密着し、この密着した面とは反対
側の面の少なくとも一部が共通インク室１５内に露出し
ており、多孔質層２６ａより空隙の等価直径が大きい多
孔質層である。

【００２１】以上の様に構成されたインクジェットヘッ
ドについて多孔質層２６ａ、２６ｂの動作を以下に説明
する。

【００２２】導電性インクは、印字動作にともない共通
インク室１５より圧力室１４へ供給されるが、この供給
時に共通インク室１５内の導電性インクに混入している
異物等のなかで、比較的大きなものは多孔質層２６ｂに
より導電性インクと選別され、多孔質層２６ｂを通過し
た小さいものは多孔質層２６ａにより導電性インクと選
別されるため、異物等を段階的に効率よく除去できると
ともに、多層にすることで多孔質層２６ａ、２６ｂの目
詰まりによる性能劣化も防止でき、圧力室１４及びノズ
ル１３へ異物が達することがなく、ノズル１３の目詰ま
りが発生しにくい。

【００２３】これらの多孔質層２６ａ、２６ｂの値の一
例をあげると、実施例１と同様のノズル１３、導電性イ
ンクを用いた場合、多孔質基板２６ａの厚みが９μｍ、
空孔率が１４％、等価直径が３μｍで、多孔質基板２６
ｂの厚みが２００μｍ、空孔率が８０％、等価直径が１
２μｍであり、多孔質基板２６ｂにはデプスタイプのも
のを用いた方が目詰まりが発生しにくい。

【００２４】（実施例３）以下本発明の第３の実施例に
ついて図８を用いて説明する。ここで、実施例１と同一
部分には同一番号を付して詳細な説明は省略する。図８
において、３４は圧力室１４と接している部分の空隙の
等価直径が最も小さく、共通インク室１５へ近づくにつ
れて連続的に大きくなる多孔質層である。

【００２５】第３の実施例では、多孔質層３４の空隙の
等価直径を連続的に変化する構造とすることにより不規
則な大きさを持つ異物等を多孔質層３４全体で除去する
ので、多孔質層３４の目詰まりが発生しにくい。

【００２６】（実施例４）以下本発明の第４の実施例に
ついて図９を用いて説明する。ここで、実施例１と同一
部分には同一番号を付して詳細な説明は省略する。図９
において、７はノズル３を有するノズルプレート、５は
各ノズル間の干渉を防ぐ絶縁材からなる仕切り部で、仕
切り部５とノズルプレート７とにより圧力室８が構成さ
れている。３８は多孔質基板１２を介して送られてくる
導電性インクを圧力室８へ供給する補助流路３３を構成
する流路形成部材である。

【００２７】バブルジェット方式のインクジェットプリ
ンタでは、導電性インクをノズル３より吐出させるため
に発生させたバブルが急激に収縮し消滅する時キャビテ
ーションによる衝撃が発生する。

【００２８】第４の実施例では、多孔質基盤１２を補助
流路３３によって、圧力室８より離したことにより、キ
ャビテーションの衝撃は補助流路３３を経て多孔質基板
１２へ伝わるので、多孔質基盤１２がキャビテーション
の衝撃により破壊されることを防ぐことができる。

【００２９】また、第４の実施例では導電性インクに混
入している異物等の除去に、多孔質基盤１２を用いた
が、多孔質基盤１２の代わりに図１０に示すように第２
の実施例で説明した多層からなる多孔質層２６ａ、２６
ｂを用いても、第３の実施例で説明した多孔質層３４を
用いても第４の実施例と同様に、キャビテーションの衝
撃による多孔質層２６ａ、２６ｂ、多孔質層３４の破壊
を防ぐことができる。

【００３０】（実施例５）以下本発明の第５の実施例に
ついて説明する。図１１は本発明の第５の実施例におけ
るインクジェットヘッドの断面図、図１２は図１１の線
Ｂ−Ｂ断面図である。図１１、図１２において、１７は
ヘッドベース、３１はヘッドベース１７の上に設けられ
たヒーター層、３０はヒーター層３１の上に設けられヒ
ーター層３１の所望の部分に電流を流す対向薄膜電極、
２９は対向薄膜電極３０の上に設けられ無数の微小ピッ
トを表面に持つ保護膜、２８は保護膜２９の上に設けら
れ導電性インクを圧力室３２に供給する多孔質層、２７
は多孔質層２８上に設けられたノズルプレートで、対向
薄膜電極３０に対応して導電性インク滴９を吐出するノ
ズル３９が形成されている。３６は対向薄膜電極３０に
電圧を加える信号発生装置である。

【００３１】以上のように構成されたインクジェットヘ
ッドについてその動作を以下に説明する。信号発生装置
３６により対向薄膜電極３０に電圧が印加されると、ヒ
ーター層３１に電流が流れて発熱し、保護膜２９に熱が
伝導して保護膜２９表面と接している導電性インクを加
熱する。保護膜２９表面と接している導電性インクは時
間の経過に伴い温度が上昇し、保護膜２９表面の無数の
微小ピットより沸騰による複数のバブルがほぼ同時に発
生し膨張を開始するが、この膨張過程においてバブルは
一つにまとまる。このバブルの膨張により圧力室３２内
の導電性インクの圧力が急激に高まり、高圧になった導
電性インクは多孔質層２８とノズル３９の方向へ移動し
ようとするが、多孔質層２８は孔の等価直径が小さいた
めに急激な圧力変化による急な導電性インクの流れには
流体的な抵抗が非常に大きいため、圧力変化による急激
な導電性インクの流れはノズル３９へ向かい、ノズル３
９から導電性インク滴９が飛び出し、記録紙３７へ飛翔
して付着し、ドットの形成が行われる。バブルの膨張が
最大の大きさに達すると、導電性インクへの加熱が終
り、バブルの熱が導電性インクと多孔質層２８へ奪わ
れ、バブルが急速に収縮、消滅する。導電性インク滴９
の飛翔により、消費された導電性インクは導電性インク
の表面張力により常時多孔質層２８を介して圧力室３２
へ補給され待機状態に戻る。導電性インクは、印字動作
にともない圧力室３２へ供給されるが、この供給時に導
電性インクに混入している異物等は多孔質層２８により
導電性インクと選別されるため、圧力室３２及びノズル
３９へ異物が達することがないのでノズル３９の目詰ま
りが発生しにくい。

【００３２】（実施例６）以下本発明の第６の実施例に
ついて説明する。図１１は本発明の第６の実施例におけ
るインクジェットヘッドの断面図、図１２は図１１の線
Ｂ−Ｂ断面図である。ここで、実施例５と同一部分には
同一番号を付して詳細な説明は省略する。図１１、図１
２において、３５ｂはノズルプレート２７と保護膜２９
との間に設けられた多孔質層、３５ａは多孔質層３５ｂ
の圧力室３２と接する面に設けられた多孔質層３５ｂよ
り空隙の等価直径が小さい多孔質層である。

【００３３】以上の様に構成されたインクジェットヘッ
ドについて多孔質層３５ａ、３５ｂの動作を以下に説明
する。

【００３４】導電性インクは、印字動作にともない圧力
室３２へ供給されるが、この供給時に導電性インクに混
入している異物等のなかで、比較的大きなものは多孔質
層３５ｂにより導電性インクと選別され、多孔質層３５
ｂを通過した小さいものは多孔質層３５ａにより導電性
インクと選別されるため、異物等を段階的に効率よく除
去できるとともに、多層にすることで多孔質層３５ａ、
３５ｂの目詰まりによる性能劣化も防止でき、圧力室３
２及びノズル３９へ異物が達することがなく、ノズル３
９の目詰まりが発生しにくい。

【００３５】

【発明の効果】本発明は、インクが満たされている圧力
室の一部に設けられたノズルと、圧力室内のインクに圧
力を加える加圧手段と、圧力室へ供給するインクを収容
する全ての圧力室に共通のインク収容部とを有し、圧力
室と各インク収容部との間をインクの急な流れに対して
は流体的な抵抗が大きく、ゆるやかな流れに対しては流
体的な抵抗が小さい多孔質部材とで隔てたことにより、
多孔質部材に流体的な抵抗があるので、圧力室内のイン
クに急激な圧力変化が起った場合の、インクのインク収
容部側への流入が少ないため、インク収容部から圧力室
へのインクの供給を多孔質部材のみで行うことができ、
インク収容部から圧力室へのインク流路を加工する必要
がなく、製造工程が大幅に簡略化でき、コストが低減で
きるとともに、圧力室直前に多孔質部材を配設している
ので、インク収容部のゴミ、塵等の異物を除去でき、ノ
ズルの目詰まりによる初期不良を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図

【図２】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの分解斜視図

【図３】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドのインクカートリッジへの組み込み図

【図４】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドを組み込むインクカートリッジの分解斜視図

【図５】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドを組み込んだインクカートリッジを取り付けたイ
ンクジェットプリンタの分解斜視図

【図６】本発明の第２の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図

【図７】本発明の第２の実施例におけるインクジェット
ヘッドの分解斜視図

【図８】本発明の第３の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図

【図９】本発明の第４の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図

【図１０】本発明の第４の実施例におけるインクジェッ
トヘッドに多層の多孔質基板を用いた場合の断面図

【図１１】本発明の第５の実施例におけるインクジェッ
トヘッドの断面図

【図１２】本発明の第５の実施例におけるインクジェッ
トヘッドを示した図１１の線Ｂ−Ｂ断面図

【図１３】本発明の第６の実施例におけるインクジェッ
トヘッドの断面図

【図１４】本発明の第６の実施例におけるインクジェッ
トヘッドを示した図１１の線Ｂ−Ｂ断面図

【図１５】従来のインクジェットヘッドの縦断面図

【図１６】従来のインクジェットヘッドの横断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 基盤 ２ 断熱層 ３，１３，３９ ノズル ４ａ，１０ａ 信号電極 ４ｂ，１０ｂ コモン電極 ５ 仕切り部 ６ インク流路 ７，１１，２７ ノズルプレート ８，１４，３２ 圧力室 ９ 導電性インク滴 １２ 多孔質基盤 １５ 共通インク室 １６ インク供給孔 １７ ヘッドベース １８ インクカートリッジ １９ インクタンク ２０ インクフィルター ２１ インク導入溝 ２２ カートリッジ挿入口 ２３ キャリッジ ２４ ガイドシャフト ２５ プラテンローラ ２６ａ，２６ｂ，２８，３４，３５ａ，３５ｂ 多孔質
層 ２９ 保護膜 ３０ 対向薄膜電極 ３１ ヒーター層 ３３ 補助流路 ３６ 信号発生装置 ３７ 記録紙 ３８ 流路形成部材

フロントページの続き (72)発明者 大坪 一三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 酒井 博章 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インクが満たされている圧力室と、前記圧
   力室の一部に設けられたノズルと、前記圧力室内のイン
   クに圧力を加える加圧手段と、前記圧力室へ供給するイ
   ンクを収容するインク収容部とを有し、前記圧力室と前
   記インク収容部との間を多孔質部材で隔てたことを特徴
   とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】前記多孔質部材の空隙の等価直径が前記圧
   力室側と前記インク収容部側とで異なることを特徴とす
   る請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】前記多孔質部材の空隙の等価直径が前記圧
   力室側より前記インク収容部側に向かうにつれ連続的に
   変化することを特徴とする請求項１記載のインクジェッ
   トヘッド。
4. 【請求項４】前記多孔質部材が前記圧力室の一部を構成
   することを特徴とする請求項１、請求項２、または請求
   項３記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】前記多孔質部材を前記圧力室を構成する部
   材と前記インク収容部を構成する部材とで挟むことによ
   り固定することを特徴とする請求項１、請求項２、また
   は請求項３記載のインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】前記加圧手段を前記多孔質部材から離れた
   位置に配置することを特徴とする請求項１、請求項２、
   または請求項３記載のインクジェットヘッド。
7. 【請求項７】前記多孔質部材の前記圧力室側の空隙の等
   価直径が前記インク収容部側の等価直径よりも小さいこ
   とを特徴とする請求項２、または請求項３記載のインク
   ジェットヘッド。
8. 【請求項８】前記多孔質部材の空隙の等価直径がインク
   に溶解している染料の分子長さより大きく、前記ノズル
   の直径より小さいことを特徴とする請求項１記載のイン
   クジェットヘッド。
9. 【請求項９】前記多孔質部材の空隙の等価直径がインク
   に分散している顔料の直径より大きく、前記ノズルの直
   径より小さいことを特徴とする請求項１記載のインクジ
   ェットヘッド。
10. 【請求項１０】前記多孔質部材の空隙の等価直径のうち
    最も小さい直径がインクに溶解している染料の分子長さ
    より大きく、前記ノズルの直径より小さいことを特徴と
    する請求項２、または請求項３記載のインクジェットヘ
    ッド。
11. 【請求項１１】前記多孔質部材の空隙の等価直径のうち
    最も小さい直径がインクに分散している顔料の直径より
    大きく、前記ノズルの直径より小さいことを特徴とする
    請求項２、または請求項３記載のインクジェットヘッ
    ド。
12. 【請求項１２】前記多孔質部材の流体抵抗が、ノズルの
    流体抵抗より大きいことを特徴とする請求項１、請求項
    ２、または請求項３記載のインクジェットヘッド。