JPH06242343A - 光ファイバと光導波路との接続方法 - Google Patents

光ファイバと光導波路との接続方法

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JPH06242343A
JPH06242343A JP2705493A JP2705493A JPH06242343A JP H06242343 A JPH06242343 A JP H06242343A JP 2705493 A JP2705493 A JP 2705493A JP 2705493 A JP2705493 A JP 2705493A JP H06242343 A JPH06242343 A JP H06242343A
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JP
Japan
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optical fiber
mode optical
face
single mode
adjustment
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JP2705493A
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English (en)
Inventor
Koji Okamura
浩司 岡村
Tadao Arima
忠夫 有馬
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ファイバと光導波路との接続方法の改良に
関し、シングルモード光ファイバの位置決めが容易で接
続時間が短縮されることを目的とする。 【構成】 第1の光導波路2-1 とは所望のピッチP離れ
て平行にマルチモード光ファイバのコア径にほぼ等しい
幅のサイドコア5を基板1上に形成し、基板1の両側に
それぞれ2段構成のX・Y・Z調整台を設置して、一方
のX・Y・Z調整台に第1のシングルモード光ファイバ
10と光投入側マルチモード光ファイバ30を、他方のX・
Y・Z調整台に第2のシングルモード光ファイバ20と受
光側マルチモード光ファイバ40をそれそれ搭載して、受
光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最
大になるように、他方のX・Y・Z調整台を調整した後
に、第1のシングルモード光ファイバ10の位置調整を
し、次に第2のシングルモード光ファイバ20の位置調整
する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シングルモード光ファ
イバと微小光導波路との接続方法の改良に関す。
【0002】近年の光機器には、微小光導波路を有する
光集積回路, 方向性結合器等の光部品が広く使用されて
いる。このような光部品は、図4に図示したように、シ
リコン等の基板1の表面にクラッド層(アンダクラッド
層とアッパークラッド層とからなる)3を設け、始端が
一方に端面に開口した第1の光導波路2-1 と、始端が他
方の端面に開口した第2の光導波路2-2 とを備えたもの
がある。
【0003】これらの第1の光導波路2-1 , 第2の光導
波路2-2 はともに、シングルモードの光伝送路であっ
て、そのコア2Aの断面は例えば一辺が8μm の角形であ
る。そして、第1の光導波路2-1 の端面に第1のシング
ルモード光ファイバ10を、第2の光導波路2-2 の端面に
第2のシングルモード光ファイバ20を接続して、入出力
伝送路としている。
【0004】なお、第1, 第2のシングルモード光ファ
イバ10,20は同径状で、コア11,21の径は8μm 、クラ
ッド12,22 の外径は125 μm である。
【0005】
【従来の技術】従来は図5に図示したように、第1のシ
ングルモード光ファイバ10を一方のX・Y・Z調整台
(図示省略) に搭載して、その端面に紫外線硬化型接着
剤を塗布した後に、第1の光導波路2-1 の端面に当接す
る。
【0006】また、第2のシングルモード光ファイバ20
を他方のX・Y・Z調整台(図示省略) に搭載して、そ
の端面に紫外線硬化型接着剤を塗布した後に、第2の光
導波路2-2 の端面に当接する。
【0007】また、第1のシングルモード光ファイバ10
に光を投入し、第1,第2の光導波路2-1,2-2 を経て第
2のシングルモード光ファイバ20に伝送し、第2のシン
グルモード光ファイバ20の端末でその光パワーを計測す
るようにする。
【0008】そして、双方のX・Y・Z調整台を操作し
て、第1, 第2のシングルモード光ファイバ10,20 の位
置をそれぞれ調整し、第2のシングルモード光ファイバ
20が出射する光パワーが最大になる状態で、紫外線を照
射して紫外線硬化型接着剤を硬化させ、それぞれのシン
グルモード光ファイバと対応する光導波路とを接続して
いる。
【0009】なお、第2のシングルモード光ファイバ20
が出射する光パワーが最大になる状態とは、第1のシン
グルモード光ファイバ10のコアと第1の光導波路2-1 の
コアの軸心が一致し、且つ第2の光導波路2-2 のコアと
第2のシングルモード光ファイバ20のコアの軸心が一致
した状態である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、シングルモ
ード光ファイバのコア及び光導波路のコアの径は、上述
のように8μm と微小であるので、従来の方法では最初
に第2のシングルモード光ファイバで光パワーを検知す
る位置のサーチング(粗調整)が困難で、双方のシング
ルモード光ファイバの微細調整に到るまでに、多大の時
間を要するという問題点があった。
【0011】本発明はこのような点に鑑みて創作された
もので、シングルモード光ファイバの位置決めが容易で
接続時間が短縮された光ファイバと光導波路との接続方
法を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、図1に例示したように、基板1上に形成
され、始端が一方に端面に開口した第1の光導波路2-1
と、始端が他方の端面に開口した第2の光導波路2-2 と
を備え、第1, 第2の光導波路2-1,2-2 のそれぞれの端
面に、第1, 第2のシングルモード光ファイバ10,20 を
接続するにあたり、第1の光導波路2-1 とは所望のピッ
チP離れて平行に、第2の光導波路52とは所望のピッチ
1 離れて平行に、マルチモード光ファイバのコア径に
ほぼ等しい幅のサイドコア5を基板1上に形成する。
【0013】基板1の両側にそれぞれ2段構成のX・Y
・Z調整台を設置して、一方のX・Y・Z調整台に第1
のシングルモード光ファイバ10と光投入側マルチモード
光ファイバ30とをピッチPで搭載する。
【0014】また、他方のX・Y・Z調整台に該第2の
シングルモード光ファイバ20と受光側マルチモード光フ
ァイバ40とを所望のピッチP1 で搭載する。そして、受
光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最
大になるように、双方のX・Y・Z調整台を調整し、そ
の後、第2のシングルモード光ファイバ20の出射する光
パワーが最大になるよう、一方のX・Y・Z調整台の上
段X・Y・Z調整台70A を操作して、第1のシングルモ
ード光ファイバ10の位置調整をし、第1の光導波路2-1
の端面と第1のシングルモード光ファイバ10の端面とを
接着する。
【0015】次に、第2のシングルモード光ファイバ20
の出射する光パワーが最大になるよう、他方のX・Y・
Z調整台の上段X・Y・Z調整台70B を操作して、第2
のシングルモード光ファイバ20の位置調整をし、第2の
光導波路2-2 の端面と第2のシングルモード光ファイバ
20の端面とを接着するものとする。
【0016】或いは図3に例示したように、基板1上に
形成され、始端が一方に端面に開口した第1の光導波路
51と、ピッチ(P2 −P1)で平行して始端が他方の端面
に開口した第2,第3の光導波路52,53 とを備え、第
1, 第2,第3の光導波路51,52,53のそれぞれの端面
に、第1, 第2,第3のシングルモード光ファイバ10-
1,20-1,20-2を接続するにあたり、第1の光導波路51と
は所望のピッチP離れて平行に、第2の光導波路52とは
ピッチP1 離れて平行に、マルチモード光ファイバのコ
ア径にほぼ等しい幅のサイドコア5を基板1上に形成す
る。
【0017】そして、基板1の両側にそれぞれ2段構成
のX・Y・Z調整台を設置して、一方のX・Y・Z調整
台に第1のシングルモード光ファイバ10-1と光投入側マ
ルチモード光ファイバ30とをピッチPで搭載する。
【0018】また、他方のX・Y・Z調整台に第2のシ
ングルモード光ファイバ20-1と受光側マルチモード光フ
ァイバ40とを所望のピッチP1 で搭載する。そして、受
光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最
大になるように、双方のX・Y・Z調整台を調整する。
【0019】次に第2のシングルモード光ファイバ20-1
の光パワーが最大になるように、一方のX・Y・Z調整
台の上段X・Y・Z調整台70A を操作して第1のシング
ルモード光ファイバ10-1の位置調整をし、第1の光導波
路51の端面と第1のシングルモード光ファイバ10-1の端
面とを接着する。
【0020】そして、第2のシングルモード光ファイバ
20-1の出射する光パワーが最大になるよう、他方のX・
Y・Z調整台の上段X・Y・Z調整台70B を操作して第
2のシングルモード光ファイバ20-1の位置調整をし、第
2の光導波路52の端面と第2のシングルモード光ファイ
バ20-1の端面とを接着する。
【0021】その後、第3のシングルモード光ファイバ
20-2を受光側マルチモード光ファイバ40とはピッチP2
に離して、他方のX・Y・Z調整台に搭載する。第3の
シングルモード光ファイバ20-2の出射する光パワーが最
大になるよう、他方のX・Y・Z調整台の上段X・Y・
Z調整台70B を操作して、第3のシングルモード光ファ
イバ20-2の位置調整をし、第3の光導波路53の端面と第
3のシングルモード光ファイバ20-2の端面とを接着する
ものとする。
【0022】
【作用】本発明によれば、マルチモード光ファイバのコ
ア径は50μm であり、サイドコアのコアの幅もまた50μ
m であって、シングルモード光ファイバ及び光導波路の
コア径よりも十分に大きい。
【0023】したがって、マルチモード光ファイバとサ
イドコアの軸心を一致させることは簡単である。一方、
予めマルチモード光ファイバとシングルモード光ファイ
バの距離を、光導波路とサイドコアの距離にほぼ等しく
してある。
【0024】したがって、マルチモード光ファイバとサ
イドコアの軸心が一致した状態では、シングルモード光
ファイバと光導波路との位置の粗調整が終了している。
よって、シングルモード光ファイバの位置決めの調整時
間が短縮される。
【0025】
【実施例】以下図を参照しながら、本発明を具体的に説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
【0026】図1は、本発明方法を示す図で(A) は光導
波路の斜視図、(B) は接続従来の平面図、図2はX・Y
・Z調整台の斜視図であり、図3は本発明の他の実施例
の図である。
【0027】図1に図示したように、シリコン等の基板
1の表面にクラッド層(アンダクラッド層とアッパーク
ラッド層とからなる)3を設け、始端が一方に端面に開
口した第1の光導波路2-1 と、始端が他方の端面に開口
した第2の光導波路2-2 とが基板1上に形成されてい
る。
【0028】第1, 第2の光導波路2-1,2-2 は、シング
ルモードの光伝送路であって、そのコア2Aの断面は一辺
が8μm の角形である。10は第1の光導波路2-1 に接続
する第1のシングルモード光ファイバ、20は第2の光導
波路2-2 に接続する第2のシングルモード光ファイバ、
30は光投入側マルチモード光ファイバ、40は受光側マル
チモード光ファイバである。
【0029】なお、第1, 第2のシングルモード光ファ
イバ10,20は、同径状でコア11,21の径は8μm 、クラ
ッドの外径は125 μm である。5は、第1の光導波路2-
1 とは所望のピッチP離れて平行に(したがって第2の
光導波路2-2 とはピッチP1 離れて平行になる) 、基板
1上に形成されたサイドコアである。
【0030】このサイドコア5の幅Dは、マルチモード
光ファイバのコア径(50 μm)にほぼ等しい。60A,60B
は、基板1を挟んで対向設置するる同形状の下段X・Y
・Z調整台、70A は、下段X・Y・Z調整台60A に搭載
され、上面に設けたV溝に第1のシングルモード光ファ
イバ10を挿入し固着する上段X・Y・Z調整台、70B
は、下段X・Y・Z調整台60B に搭載され、上面に設け
たV溝に第2のシングルモード光ファイバ20を挿入し固
着する上段X・Y・Z調整台である。
【0031】75A は、下段X・Y・Z調整台60A 上に上
段X・Y・Z調整台70A に並列して搭載され、上面に設
けたV溝に光投入側マルチモード光ファイバ30を挿入し
固着するブロック、75B は、下段X・Y・Z調整台60B
上に上段X・Y・Z調整台70B に並列して搭載され、上
面に設けたV溝に受光側マルチモード光ファイバ40を挿
入し固着するブロックである。
【0032】以下図2を参照しながら、上述の2段構成
のX・Y・Z調整台について説明する。図2に図示した
ように、頭部に基板1が水平に搭載する角柱状のブロッ
ク80が、基台85の中央部に固着されている。このブロッ
ク80の手前側に下段X・Y・Z調整台60A が、ブロック
80の後方に下段X・Y・Z調整台60B(図示省略) が搭載
されている。
【0033】なお、2段構成のX・Y・Z調整台は、基
板1を挟んで対象であるので、以下一方のX・Y・Z調
整台に付いてのみ説明する。下段X・Y・Z調整台60A
は、最下段にX方向調整ステージ61A を有し、X方向調
整ステージ61A の上段にZ方向調整ステージ62A が搭載
され、Z方向調整ステージ62A の上にステージ面が水平
になるようにY方向調整ステージ63A が搭載されて構成
されている。
【0034】上段X・Y・Z調整台70A は、下段X・Y
・Z調整台60A よりも小形であって、下段X・Y・Z調
整台60A のY方向調整ステージ63A の水平板部材のほぼ
半分の領域に搭載されている。
【0035】上段X・Y・Z調整台70A は、最下段にX
方向調整ステージ71A を有し、X方向調整ステージ71A
の上段にZ方向調整ステージ72A が搭載され、Z方向調
整ステージ72A の上にステージ面が水平になるようにY
方向調整ステージ73A が搭載されて構成されている。
【0036】そして、Y方向調整ステージ73A の水平板
部材のブロック75A 寄りの位置に、第1のシングルモー
ド光ファイバ10を挿入し固定するV溝を設けてある。ま
たブロック75A の上面の高さは、Y方向調整ステージ73
A の水平板部材の高さに等しく、その上面の上段X・Y
・Z調整台70A 寄りの位置に、光投入側マルチモード光
ファイバ30を挿入し固定するV溝を設けてある。
【0037】図1に戻り、第1,第2のシングルモード
光ファイバ10,20のそれぞれの端面に紫外線硬化型接着
剤を塗布した後に、第1のシングルモード光ファイバ10
を上段X・Y・Z調整台70A に固定し、第2のシングル
モード光ファイバ20を他方の上段X・Y・Z調整台70B
に固定する。
【0038】そして、目盛り( ステージ付属の目盛り)
を見ながら上段X・Y・Z調整台70A のX方向調整ステ
ージ71A を調整して、光投入側マルチモード光ファイバ
30と第1のシングルモード光ファイバ10の中心間距離を
第1の光導波路2-1 とサイドコア5とのピッチPにほぼ
等しくする。
【0039】また、他方の上段X・Y・Z調整台70B の
X方向調整ステージを調整して、受光側マルチモード光
ファイバ40と第2のシングルモード光ファイバ20の中心
間距離を第2の光導波路2-2 とサイドコア5とのピッチ
1 にほぼ等しくする。
【0040】下段X・Y・Z調整台60A のZ方向調整ス
テージ62A を操作して、光投入側マルチモード光ファイ
バ30の端面を基板1の端面に近づけ、光投入側マルチモ
ード光ファイバ30のコア31とサイドコア5とを当接す
る。
【0041】次に上段X・Y・Z調整台70A のZ方向調
整ステージ62A を操作して、第1のシングルモード光フ
ァイバ10の端面を基板1の端面に当接する。同様に、他
方の下段X・Y・Z調整台60B のZ方向調整ステージを
操作して、受光側マルチモード光ファイバ40の端面を基
板1の端面に近づけ、受光側マルチモード光ファイバ40
のコア41とサイドコア5とを当接する。
【0042】次に上段X・Y・Z調整台70B のZ方向調
整ステージを操作して、第2のシングルモード光ファイ
バ20の端面を基板1の端面に当接する。そして、受光側
マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが最大に
なるように、双方の下段X・Y・Z調整台60A,60B を操
作し、光投入側マルチモード光ファイバ30のコア31とサ
イドコア5の軸心を、受光側マルチモード光ファイバ40
のコア41とサイドコア5の軸心をそれぞれ一致させる。
【0043】その後、下段X・Y・Z調整台60B,上段X
・Y・Z調整台70B はそのままで、上段X・Y・Z調整
台70A のみを操作して、第2のシングルモード光ファイ
バ20の出射する光パワーが最大になるよう第1のシング
ルモード光ファイバ10の位置を微小に調整し、紫外線を
照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させ、第1のシング
ルモード光ファイバ10の端面と第1の光導波路2-1 の端
面とを接着する。
【0044】図3に図示した基板1には方向性結合器50
が形成されている。方向性結合器50か形成された結果、
始端が一方に端面に開口した第1の光導波路51と、ピッ
チ(P2 −P1)で平行して始端が他方の端面に開口した
第2,第3の光導波路52,53 とが基板1に形成されてい
る。
【0045】第1の光導波路51の端面には第1のシング
ルモード光ファイバ10-1が、第2,第3の光導波路52,5
3 のそれぞれの端面に、第2,第3のシングルモード光
ファイバ20-1,20-2 が接続される。
【0046】そして、第1の光導波路51とは所望のピッ
チP離れて平行に( 第2の光導波路52とはピッチP1
れて平行になる) 、 マルチモード光ファイバのコア径
にほぼ等しい幅のサイドコア5を基板1上に形成してい
る。
【0047】第1,第2, 第3のシングルモード光ファ
イバ10-1,20-1,20-2のそれぞれの端面に紫外線硬化型接
着剤を塗布した後に、第1のシングルモード光ファイバ
10-11を上段X・Y・Z調整台70A に固定し、第2のシ
ングルモード光ファイバ20-2を他方の上段X・Y・Z調
整台70B に固定する。
【0048】以下は図1において説明した同様にして、
受光側マルチモード光ファイバ40の出射する光パワーが
最大になるように、双方の下段X・Y・Z調整台60A ,6
0BA調整する。
【0049】次に第2のシングルモード光ファイバ20-1
の光パワーが最大になるように、下段X・Y・Z調整台
60A 上の上段X・Y・Z調整台70A を操作して第1のシ
ングルモード光ファイバ10-1の位置調整をし、第1の光
導波路51の端面と第1のシングルモード光ファイバ10-1
の端面とを接着する。
【0050】そして、第2のシングルモード光ファイバ
20-1の出射する光パワーが最大になるよう、他方のX・
Y・Z調整台60B の上段X・Y・Z調整台70B を操作し
て第2のシングルモード光ファイバ20-1の位置調整を
し、第2の光導波路52の端面と第2のシングルモード光
ファイバ20-1の端面とを接着する。
【0051】その後、第3のシングルモード光ファイバ
20-2を受光側マルチモード光ファイバ40とはピッチP2
に離して、上段X・Y・Z調整台70B に搭載する。そし
て、上段X・Y・Z調整台70B のみを操作して第3のシ
ングルモード光ファイバ20-2の出射する光パワーが最大
になるよう、第3のシングルモード光ファイバ20-2の位
置調整をし、紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬
化させ、第3のシングルモード光ファイバ20-2の端面と
第3の光導波路53の端面とを接着する。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、光導波路
に平行に所望に大きいサイドコアを設け、第1段階で光
投入側マルチモード光ファイバ及び受光側マルチモード
光ファイバとこのサイドコアとの位置調整を実施するこ
とで、シングルモード光ファイバと光導波路との粗調整
が終了するようにしたもので、シングルモード光ファイ
バの位置決めの調整時間が短縮されるという優れた効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明方法を示す図で(A) は光導波路の斜視
図 (B) は接続従来の平面図
【図2】 X・Y・Z調整台の斜視図
【図3】 本発明の他の実施例の図
【図4】 光部品の接続を示す図
【図5】 従来方法を示す図
【符号の説明】
1 基板 2-1,50-1 第1の光導波路 2-2,50-2 第2の光導波路 50-3 第3の光導波路 3 クラッド層 5 サイドコア 10,10-1 第1のシングルモード光ファイバ 20,20-1 第2のシングルモード光ファイバ 20-2 第3のシングルモード光ファイバ 30 光投入側マルチモード光ファイバ 40 受光側マルチモード光ファイバ 50 方向性結合器 60A,60B 下段X・Y・Z調整台 70A,70B 上段X・Y・Z調整台 75A,75B,80 ブロック

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板(1) 上に形成され、始端が一方に端
    面に開口した第1の光導波路(2-1) と、始端が他方の端
    面に開口した第2の光導波路(2-2) とを備え、該第1,
    第2の光導波路(2-1,2-2) のそれぞれの端面に、第1,
    第2のシングルモード光ファイバ(10,20) を接続するに
    あたり、 該第1の光導波路(2-1) とは所望のピッチ(P)離れて
    平行に、該第2の光導波路(52)とはピッチ(P1)離れて
    平行に、マルチモード光ファイバのコア径にほぼ等しい
    幅のサイドコア(5) を該基板(1) 上に形成し、 該基板(1) の両側にそれぞれ2段構成のX・Y・Z調整
    台を設置して、一方の該X・Y・Z調整台に該第1のシ
    ングルモード光ファイバ(10)と光投入側マルチモード光
    ファイバ(30)とを所望のピッチ(P)で搭載し、他方の
    該X・Y・Z調整台に、該第2のシングルモード光ファ
    イバ(20)と受光側マルチモード光ファイバ(40)とを所望
    のピッチ(P1)で搭載して、 該受光側マルチモード光ファイバ(40)の出射する光パワ
    ーが最大になるよう、双方の該X・Y・Z調整台を調整
    した後に、 該第2のシングルモード光ファイバ(20)の出射する光パ
    ワーが最大になるよう、一方の該X・Y・Z調整台の上
    段X・Y・Z調整台(70A) を操作して、該第1のシング
    ルモード光ファイバ(10)の位置調整をし、該第1の光導
    波路(2-1) の端面と該第1のシングルモード光ファイバ
    (10)の端面とを接着し、 次に、該第2のシングルモード光ファイバ(20)の出射す
    る光パワーが最大になるよう、他方の該X・Y・Z調整
    台の上段X・Y・Z調整台(70B) を操作して該第2のシ
    ングルモード光ファイバ(20)の位置調整をし、該第2の
    光導波路(2-2)の端面と該第2のシングルモード光ファ
    イバ(20)の端面とを接着することを特徴とする光ファイ
    バと光導波路との接続方法。
  2. 【請求項2】 基板1上に形成され、始端が一方に端面
    に開口した第1の光導波路(51)と、ピッチ(P2 −P1)
    で平行して始端が他方の端面に開口した第2,第3の光
    導波路(52,53) とを備え、該第1, 第2,第3の光導波
    路(51,52,53)のそれぞれの端面に、第1, 第2,第3の
    シングルモード光ファイバ(10-1,20-1,20-2)を接続する
    にあたり、 該第1の光導波路(51)とは所望のピッチ(P)離れて平
    行に、該第2の光導波路(52)とはピッチ(P1)離れて平
    行に、マルチモード光ファイバのコア径にほぼ等しい幅
    のサイドコア(5) を該基板(1) 上に形成し、 該基板(1) の両側にそれぞれ2段構成のX・Y・Z調整
    台を設置して、一方の該X・Y・Z調整台に該第1のシ
    ングルモード光ファイバ(10-1)と光投入側マルチモード
    光ファイバ(30)とをピッチ(P)で搭載し、 他方の該X・Y・Z調整台に、該第2のシングルモード
    光ファイバ(20-1)と受光側マルチモード光ファイバ(40)
    とを所望のピッチ(P1)離して搭載して、 該受光側マルチモード光ファイバ(40)の出射する光パワ
    ーが最大になるよう、双方の該X・Y・Z調整台を調整
    した後に、 第2のシングルモード光ファイバ(20-1)の出射する光パ
    ワーが最大になるよう、一方の該X・Y・Z調整台の上
    段X・Y・Z調整台(70A) を操作して該第1のシングル
    モード光ファイバ(10-1)の位置調整をし、該第1の光導
    波路(51)の端面と該第1のシングルモード光ファイバ(1
    0-1)の端面とを接着し、 次に、該第2のシングルモード光ファイバ(20-1)の出射
    する光パワーが最大になるよう、他方の該X・Y・Z調
    整台の上段X・Y・Z調整台(70B) を操作して該第2の
    シングルモード光ファイバ(20-1)の位置調整をし、該第
    2の光導波路(52)の端面と該第2のシングルモード光フ
    ァイバ(20-1)の端面とを接着し、 その後、該第3のシングルモード光ファイバ(20-2)を、
    該受光側マルチモード光ファイバ40とは所望のピッチ
    (P2)離して、他方の該X・Y・Z調整台に搭載し、 該第3のシングルモード光ファイバ(20-2)の出射する光
    パワーが最大になるよう、他方の該X・Y・Z調整台の
    上段X・Y・Z調整台(70B) を操作して該第3のシング
    ルモード光ファイバ(20-2)の位置調整をし、該第3の光
    導波路(53)の端面と該第3のシングルモード光ファイバ
    (20-2)の端面とを接着することを特徴とする光ファイバ
    と光導波路との接続方法。
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