JPH06308519A - フレキシブル電気光混載配線板 - Google Patents
フレキシブル電気光混載配線板Info
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- JPH06308519A JPH06308519A JP9265093A JP9265093A JPH06308519A JP H06308519 A JPH06308519 A JP H06308519A JP 9265093 A JP9265093 A JP 9265093A JP 9265093 A JP9265093 A JP 9265093A JP H06308519 A JPH06308519 A JP H06308519A
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- JP
- Japan
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- optical
- optical waveguide
- flexible
- substrate
- electric
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0393—Flexible materials
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
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- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速電気素子または高速電気素子と光素子と
を実装し、高速電気信号や光信号の伝達が行える、柔軟
なフレキシブル電気光混載配線板を得る。 【構成】 フレキシブル基板上の２以上の光導波路を接
続する光導波路と、電気配線を備えた電気絶縁性基板１
０に、電気配線を介して電気素子に接続する端子と光導
波路に接続する結合器とを設け、電気素子により接続す
る光導波路と、該光導波路を電気光学素子に接続する光
学素子１９を備える。
を実装し、高速電気信号や光信号の伝達が行える、柔軟
なフレキシブル電気光混載配線板を得る。 【構成】 フレキシブル基板上の２以上の光導波路を接
続する光導波路と、電気配線を備えた電気絶縁性基板１
０に、電気配線を介して電気素子に接続する端子と光導
波路に接続する結合器とを設け、電気素子により接続す
る光導波路と、該光導波路を電気光学素子に接続する光
学素子１９を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光情報処理装置用モジ
ュール内の光素子や電気素子を実装するための、フレキ
シブル電気光混載配線板に関するものである。
ュール内の光素子や電気素子を実装するための、フレキ
シブル電気光混載配線板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高周波ベアチップ半導体素子を実装する
ためのフレシキブル電気配線板としては、従来、特願昭
６３−９９６１６号公報に記載されている、図３に示す
ようなフィルムキャリヤがある。図において、３１はフ
レキシブル絶縁基板、３２は高周波用電気配線、３３は
接地用電極、３４はバイアス供給用電極、３５は開口
部、３６は素子接続用リードをそれぞれ示す。上記開口
部３５に半導体素子を配置し、素子接続用リード３６と
熱圧着または熱超音波等を用いて接続したのち、図示し
ていないアルミナ等の電気配線板と高周波用電気配線３
２、接地用電極３３およびバイアス供給用電極３４をそ
れぞれ接続して用いる。上記フレキシブル電気配線板
は、高周波ベアチップ半導体素子の入出力インピーダン
スと整合した電気配線構造とすることにより、高周波信
号伝送を可能にするけれども、光素子を実装して上記配
線板上で光信号伝送することはできない。
ためのフレシキブル電気配線板としては、従来、特願昭
６３−９９６１６号公報に記載されている、図３に示す
ようなフィルムキャリヤがある。図において、３１はフ
レキシブル絶縁基板、３２は高周波用電気配線、３３は
接地用電極、３４はバイアス供給用電極、３５は開口
部、３６は素子接続用リードをそれぞれ示す。上記開口
部３５に半導体素子を配置し、素子接続用リード３６と
熱圧着または熱超音波等を用いて接続したのち、図示し
ていないアルミナ等の電気配線板と高周波用電気配線３
２、接地用電極３３およびバイアス供給用電極３４をそ
れぞれ接続して用いる。上記フレキシブル電気配線板
は、高周波ベアチップ半導体素子の入出力インピーダン
スと整合した電気配線構造とすることにより、高周波信
号伝送を可能にするけれども、光素子を実装して上記配
線板上で光信号伝送することはできない。
【０００３】一方、光素子を実装するための光導波路基
板としては、従来、図４に示すような光導波路基板があ
る。なお、図４（ａ）は一部切断した斜視図、（ｂ）は
上記（ａ）中のＡ−Ａ断面におけるｙ−ｚ面内の様子を
示している。図において、４１は光導波路基板、４２は
リッジ型光導波路、４３は光素子、４４は電気配線、４
５ははんだバンプ、４６は光導波路ボード、４７は上記
光導波路ボード４６に設けた深溝、４８は上記光導波路
ボード４６に設けたリッジ型光導波路をそれぞれ示す。
上記光導波路基板４１はシリコン基板上に堆積したガラ
スを反応性イオンエッチング等により加工し、リッジ型
の光導波路４２を形成している。光素子４３は上記光導
波路基板４１上の電気配線４４とはんだバンプ４５によ
り接続され、上記光導波路４２の端部に設けたミラーに
より光結合し、光信号を上記光導波路４２に伝播させる
ことができる。
板としては、従来、図４に示すような光導波路基板があ
る。なお、図４（ａ）は一部切断した斜視図、（ｂ）は
上記（ａ）中のＡ−Ａ断面におけるｙ−ｚ面内の様子を
示している。図において、４１は光導波路基板、４２は
リッジ型光導波路、４３は光素子、４４は電気配線、４
５ははんだバンプ、４６は光導波路ボード、４７は上記
光導波路ボード４６に設けた深溝、４８は上記光導波路
ボード４６に設けたリッジ型光導波路をそれぞれ示す。
上記光導波路基板４１はシリコン基板上に堆積したガラ
スを反応性イオンエッチング等により加工し、リッジ型
の光導波路４２を形成している。光素子４３は上記光導
波路基板４１上の電気配線４４とはんだバンプ４５によ
り接続され、上記光導波路４２の端部に設けたミラーに
より光結合し、光信号を上記光導波路４２に伝播させる
ことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術において、複数の光導波路基板を上記光導波路ボ
ードにそれぞれ光接続し、多機能な光モジュールを実現
するためには、図４（ｂ）に示すように、上記光導波路
基板と光軸を一致させるための深溝を、上記光導波路基
板の寸法に合わせて、縦・横数ｍｍ、深さ１μｍ以下の
高精度で、数百μｍ（例えば５００μｍ）も加工を要す
るなどの難点があった。
来技術において、複数の光導波路基板を上記光導波路ボ
ードにそれぞれ光接続し、多機能な光モジュールを実現
するためには、図４（ｂ）に示すように、上記光導波路
基板と光軸を一致させるための深溝を、上記光導波路基
板の寸法に合わせて、縦・横数ｍｍ、深さ１μｍ以下の
高精度で、数百μｍ（例えば５００μｍ）も加工を要す
るなどの難点があった。
【０００５】本発明は、高速電気素子または高速電気素
子と光素子とを実装し、高速電気信号や光信号の伝達が
行える、柔軟性をもつフレキシブル電気光混載配線板を
得ることを目的とする。
子と光素子とを実装し、高速電気信号や光信号の伝達が
行える、柔軟性をもつフレキシブル電気光混載配線板を
得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、同一基板上
に２以上の光導波路と電気素子とを備えたフレキシブル
電気光混載配線板において、フレキシブル基板上に固定
された２以上の光導波路を接続する光導波路と、上記電
気素子に電気を供給する電気配線とを備えた、電気絶縁
性を有するフレキシブル基板に、上記電気配線を介して
電気素子に接続するための端子と、上記２以上の光導波
路に接続するための結合器とを設け、上記電気素子が電
気光学素子である場合は、上記電気素子を介して接続す
る光導波路と、該光導波路を上記電気光学素子に光学的
に接続するための光学素子を備えることにより達成され
る。
に２以上の光導波路と電気素子とを備えたフレキシブル
電気光混載配線板において、フレキシブル基板上に固定
された２以上の光導波路を接続する光導波路と、上記電
気素子に電気を供給する電気配線とを備えた、電気絶縁
性を有するフレキシブル基板に、上記電気配線を介して
電気素子に接続するための端子と、上記２以上の光導波
路に接続するための結合器とを設け、上記電気素子が電
気光学素子である場合は、上記電気素子を介して接続す
る光導波路と、該光導波路を上記電気光学素子に光学的
に接続するための光学素子を備えることにより達成され
る。
【０００７】また、上記フレキシブル電気光混載配線板
における光導波路と電気素子が、該電気素子が独立して
ある場合に結合または分離することにより、光導波路が
チャネル間のスイッチ機能や増幅機能等を有する、曲
り、交差、分岐等の光回路を構成することにより達成さ
れる。
における光導波路と電気素子が、該電気素子が独立して
ある場合に結合または分離することにより、光導波路が
チャネル間のスイッチ機能や増幅機能等を有する、曲
り、交差、分岐等の光回路を構成することにより達成さ
れる。
【０００８】
【作用】上記のように構成されたフレキシブル電気光混
載配線板は、電気的絶縁性を有するフレキシブル基板上
に、フレキシブルな光導波路層を積層して電気配線と光
配線とを混載し、上記電気配線を介して電気素子に電気
を供給する端子と、フレキシブル基板上に固定された２
以上の光導波路に接続する結合器を設け、上記電気素子
を介して接続する光導波路を電気光学素子に接続できる
光学素子を設けたことにより、電気素子、または電気素
子と光素子を実装して、電気伝送および光伝送を行うこ
とができる。さらに、本配線板は柔軟性を有しているた
めに光導波路ボード等の他の光導波路基板に対する光接
続に際し、光導波路面を一致させるための高精度な開口
を上記光導波路ボードに加工する必要がなく、かつ、フ
レキシブル電気光混載配線板の光導波路端部に光ファイ
バを接続することで、通常のパットジョイント等の光導
波路−光ファイバ間結合技術により、光導波路ボードと
容易に光接続することができる。
載配線板は、電気的絶縁性を有するフレキシブル基板上
に、フレキシブルな光導波路層を積層して電気配線と光
配線とを混載し、上記電気配線を介して電気素子に電気
を供給する端子と、フレキシブル基板上に固定された２
以上の光導波路に接続する結合器を設け、上記電気素子
を介して接続する光導波路を電気光学素子に接続できる
光学素子を設けたことにより、電気素子、または電気素
子と光素子を実装して、電気伝送および光伝送を行うこ
とができる。さらに、本配線板は柔軟性を有しているた
めに光導波路ボード等の他の光導波路基板に対する光接
続に際し、光導波路面を一致させるための高精度な開口
を上記光導波路ボードに加工する必要がなく、かつ、フ
レキシブル電気光混載配線板の光導波路端部に光ファイ
バを接続することで、通常のパットジョイント等の光導
波路−光ファイバ間結合技術により、光導波路ボードと
容易に光接続することができる。
【０００９】
【実施例】つぎに本発明の実施例を図面とともに説明す
る。図１は本発明によるフレキシブル電気光混載配線板
の第１実施例を示す図、図２は本発明の第２実施例を示
す図である。
る。図１は本発明によるフレキシブル電気光混載配線板
の第１実施例を示す図、図２は本発明の第２実施例を示
す図である。
【００１０】第１実施例 本発明の第１実施例を示す図１において、（ａ）は外観
斜視図、（ｂ）は上記斜視図のｘｙ面要部断面図、
（ｃ）は上記斜視図のＡを含むｙｚ面要部断面図であ
る。ここで、１０は電気的絶縁性フレキシブル基板、１
１は光導波路クラッド、１２は光導波路コア、１３は高
周波用電極、１４はバイアス供給用電極、１５は接地用
電極、１６は光導波路コア１２の端部に接続された光フ
ァイバ、１７は面型光素子、１８は面型光素子１７を電
気的に接続するバンプ、１９は光導波路先端に設けたミ
ラー、１１１は光導波路基板、１１２は光導波路基板１
１１上に形成した光導波路クラッド、１１３は光導波路
クラッド１１２上に形成した光導波路コアを示す。
斜視図、（ｂ）は上記斜視図のｘｙ面要部断面図、
（ｃ）は上記斜視図のＡを含むｙｚ面要部断面図であ
る。ここで、１０は電気的絶縁性フレキシブル基板、１
１は光導波路クラッド、１２は光導波路コア、１３は高
周波用電極、１４はバイアス供給用電極、１５は接地用
電極、１６は光導波路コア１２の端部に接続された光フ
ァイバ、１７は面型光素子、１８は面型光素子１７を電
気的に接続するバンプ、１９は光導波路先端に設けたミ
ラー、１１１は光導波路基板、１１２は光導波路基板１
１１上に形成した光導波路クラッド、１１３は光導波路
クラッド１１２上に形成した光導波路コアを示す。
【００１１】例えばポリイミドからなる電気的絶縁性フ
レキシブル基板１０に、ホトリソグラフィ技術によりパ
ターニングを行い、高周波用電極１３、バイアス供給用
電極１４および接地電極１５を形成する。さらに、面型
光素子１７搭載用の開口部を化学エッチングまたは反応
性イオンエッチングにより形成し、例えば上記高周波用
電極１３上に面型光素子１７と電気的に接続するための
バンプ１８として、例えば金バンプをホトリソグラフィ
技術とめっき処理により形成する。フレキシブル光導波
路基板１１１は、例えばふっ素化ポリイミド材料をシリ
コン基板上でスピンコート・キュアして、光導波路クラ
ッド１１層および光導波路コア１２層を形成し、例えば
反応性イオンエッチングによりリッジ型光導波路を形成
したのち、収束イオンビーム等を用いてビーム焦点深度
を徐々に変化させながら、図１（ｂ）に示すように光導
波路中にミラー１９を形成する。さらに、面型光素子１
７を搭載するための開口部を、化学エッチングまたは反
応性イオンエッチング等により形成したのち、上記シリ
コン基板から剥離することにより得られる。この後、上
記電気的絶縁性フレキシブル基板１０と上記フレキシブ
ル光導波路基板１１１を、例えば紫外線接着剤で接着す
ることにより本発明のフレキシブル電気光混載配線板が
得られる。
レキシブル基板１０に、ホトリソグラフィ技術によりパ
ターニングを行い、高周波用電極１３、バイアス供給用
電極１４および接地電極１５を形成する。さらに、面型
光素子１７搭載用の開口部を化学エッチングまたは反応
性イオンエッチングにより形成し、例えば上記高周波用
電極１３上に面型光素子１７と電気的に接続するための
バンプ１８として、例えば金バンプをホトリソグラフィ
技術とめっき処理により形成する。フレキシブル光導波
路基板１１１は、例えばふっ素化ポリイミド材料をシリ
コン基板上でスピンコート・キュアして、光導波路クラ
ッド１１層および光導波路コア１２層を形成し、例えば
反応性イオンエッチングによりリッジ型光導波路を形成
したのち、収束イオンビーム等を用いてビーム焦点深度
を徐々に変化させながら、図１（ｂ）に示すように光導
波路中にミラー１９を形成する。さらに、面型光素子１
７を搭載するための開口部を、化学エッチングまたは反
応性イオンエッチング等により形成したのち、上記シリ
コン基板から剥離することにより得られる。この後、上
記電気的絶縁性フレキシブル基板１０と上記フレキシブ
ル光導波路基板１１１を、例えば紫外線接着剤で接着す
ることにより本発明のフレキシブル電気光混載配線板が
得られる。
【００１２】上記フレキシブル電気光混載配線板を上記
フレキシブル光導波路基板１１１上のリッジ型光導波路
と光接続させる方法の一例を図１（ｃ）に示す。光導波
路基板１１１上のリッジ型光導波路は、光導波路クラッ
ド１１２層および光導波路コア１１３層を例えば反応性
イオンエッチングすることによって得られる。上記リッ
ジ型光導波路とフレキシブル電気光混載配線板に接続・
固定された光ファイバ１６との光接続は、例えば上記リ
ッジ型光導波路端部に光ファイバ挿入用のガイド溝（図
示せず）を上記リッジ型光導波路と同時に形成し、上記
ガイド溝に光ファイバ１６を挿入して光導波路基板１１
１上のリッジ型光導波路端面につきあて、例えば紫外線
硬化型接着剤等で接着し固定すればよい。上記方法によ
れば、図４に示した従来技術のように、上記光導波路基
板１１１にフレキシブル電気光混載配線板を配置するた
めの開口を形成する必要がなくなる。
フレキシブル光導波路基板１１１上のリッジ型光導波路
と光接続させる方法の一例を図１（ｃ）に示す。光導波
路基板１１１上のリッジ型光導波路は、光導波路クラッ
ド１１２層および光導波路コア１１３層を例えば反応性
イオンエッチングすることによって得られる。上記リッ
ジ型光導波路とフレキシブル電気光混載配線板に接続・
固定された光ファイバ１６との光接続は、例えば上記リ
ッジ型光導波路端部に光ファイバ挿入用のガイド溝（図
示せず）を上記リッジ型光導波路と同時に形成し、上記
ガイド溝に光ファイバ１６を挿入して光導波路基板１１
１上のリッジ型光導波路端面につきあて、例えば紫外線
硬化型接着剤等で接着し固定すればよい。上記方法によ
れば、図４に示した従来技術のように、上記光導波路基
板１１１にフレキシブル電気光混載配線板を配置するた
めの開口を形成する必要がなくなる。
【００１３】なお、上記フレキシブル電気光混載配線板
の形成としては、上記の接着剤による電気的絶縁性フレ
キシブル基板１０とフレキシブル光導波路基板１１との
一体化のほかに、上記電気的絶縁性フレキシブル基板１
０上で光導波路材料をスピンコート・キュアおよびエッ
チング処理して一体化させてもよい。また、上記光導波
路は直線形状のみでなく、曲り、交差、分岐などの光回
路であってもよい。上記電気的絶縁性フレキシブル基板
材料はポリイミドの他にエポキシ系樹脂等を用いてもよ
く、さらに上記光導波路材料としてポリメチルメタクリ
レート等を用いてもよい。また、光導波路構造として
は、リッジ型の他に埋め込み型でもよい。さらに、上記
ミラー１９の形成方法として、反応性イオンビームやレ
ーザ等を用いてもよいことはいうまでもない。
の形成としては、上記の接着剤による電気的絶縁性フレ
キシブル基板１０とフレキシブル光導波路基板１１との
一体化のほかに、上記電気的絶縁性フレキシブル基板１
０上で光導波路材料をスピンコート・キュアおよびエッ
チング処理して一体化させてもよい。また、上記光導波
路は直線形状のみでなく、曲り、交差、分岐などの光回
路であってもよい。上記電気的絶縁性フレキシブル基板
材料はポリイミドの他にエポキシ系樹脂等を用いてもよ
く、さらに上記光導波路材料としてポリメチルメタクリ
レート等を用いてもよい。また、光導波路構造として
は、リッジ型の他に埋め込み型でもよい。さらに、上記
ミラー１９の形成方法として、反応性イオンビームやレ
ーザ等を用いてもよいことはいうまでもない。
【００１４】第２実施例 上記第１実施例ではフレキシブル電気光混載配線板の光
導波路内にミラーを設けた例を示したが、光導波路のみ
が形成されている場合の実施例を、第２実施例として図
２により説明する。図２において、（ａ）は外観斜視
図、（ｂ）は上記斜視図のｘｙ面要部断面図、（ｃ）は
上記斜視図のＡを含むｙｚ面要部断面図である。図中、
２１は電気的絶縁性フレキシブル基板、２２は光導波路
クラッド、２３は光導波路コア、２４は高周波用電極、
２５はバイアス供給用電極、２６は接地用電極、２７は
光導波路コア２３の端部に接続された光ファイバ、２８
は電気素子、２９は電気素子２８の接続用バンプ、２１
１は光導波路基板、２１２は光導波路基板２１１上に形
成された光導波路クラッド、２１３は光導波路クラッド
２１２上に形成された光導波路コアを示す。
導波路内にミラーを設けた例を示したが、光導波路のみ
が形成されている場合の実施例を、第２実施例として図
２により説明する。図２において、（ａ）は外観斜視
図、（ｂ）は上記斜視図のｘｙ面要部断面図、（ｃ）は
上記斜視図のＡを含むｙｚ面要部断面図である。図中、
２１は電気的絶縁性フレキシブル基板、２２は光導波路
クラッド、２３は光導波路コア、２４は高周波用電極、
２５はバイアス供給用電極、２６は接地用電極、２７は
光導波路コア２３の端部に接続された光ファイバ、２８
は電気素子、２９は電気素子２８の接続用バンプ、２１
１は光導波路基板、２１２は光導波路基板２１１上に形
成された光導波路クラッド、２１３は光導波路クラッド
２１２上に形成された光導波路コアを示す。
【００１５】例えばポリイミドからなる電気的絶縁性フ
レキシブル基板２１にホトリソグラフィ技術によりパタ
ーニングを行い、高周波用電極２４、バイアス供給用電
極２５および接地電極２６を形成する。さらに、電気素
子２８搭載用の開口部を化学エッチングまたは反応性イ
オンエッチング等により形成し、上記高周波用電極２
４、バイアス供給用電極２５、接地用電極２６上に、上
記電気素子２８との接続用バンプ２９として、例えば金
バンプをホトリソグラフィ技術とめっき処理により形成
する。上記フレキシブル光導波路基板２１１は、例えば
ふっ素化ボリイミド材料をシリコン基板上でスピンコー
ト・キュアし、光導波路クラッド２２層および光導波路
コア２３層を形成したのち、例えば反応性イオンエッチ
ングを用いてリッジ型光導波路を形成し、電気素子２８
を搭載するための開口部を反応性イオンエッチング等に
より形成して、上記シリコン基板から剥離することによ
り図２（ｂ）のように得られる。その後、電気的絶縁性
フレキシブル基板２１と上記フレキシブル光導波路基板
２１１とを、図示していない位置合わせ装置により位置
合わせしたのち、例えば紫外線硬化型接着剤で接着し、
リッジ型光導波路端部に光ファイバを紫外線接着剤など
で接着して、本発明のフレキシブル電気光混載配線板が
得られる。
レキシブル基板２１にホトリソグラフィ技術によりパタ
ーニングを行い、高周波用電極２４、バイアス供給用電
極２５および接地電極２６を形成する。さらに、電気素
子２８搭載用の開口部を化学エッチングまたは反応性イ
オンエッチング等により形成し、上記高周波用電極２
４、バイアス供給用電極２５、接地用電極２６上に、上
記電気素子２８との接続用バンプ２９として、例えば金
バンプをホトリソグラフィ技術とめっき処理により形成
する。上記フレキシブル光導波路基板２１１は、例えば
ふっ素化ボリイミド材料をシリコン基板上でスピンコー
ト・キュアし、光導波路クラッド２２層および光導波路
コア２３層を形成したのち、例えば反応性イオンエッチ
ングを用いてリッジ型光導波路を形成し、電気素子２８
を搭載するための開口部を反応性イオンエッチング等に
より形成して、上記シリコン基板から剥離することによ
り図２（ｂ）のように得られる。その後、電気的絶縁性
フレキシブル基板２１と上記フレキシブル光導波路基板
２１１とを、図示していない位置合わせ装置により位置
合わせしたのち、例えば紫外線硬化型接着剤で接着し、
リッジ型光導波路端部に光ファイバを紫外線接着剤など
で接着して、本発明のフレキシブル電気光混載配線板が
得られる。
【００１６】上記フレキシブル電気光混載配線板を光導
波路基板２１１上のリッジ型光導波路と光接続させる方
法の一例を図２（ｃ）に示す。上記光導波路基板２１１
上のリッジ型光導波路は、光導波路クラッド２１２層お
よび光導波路コア２１３層を、例えば反応性イオンエッ
チングすることにより得られる。上記リッジ型光導波路
と上記フレキシブル電気光混載配線板に接続・固定され
た光ファイバ２７との光接続は、例えば光導波路基板２
１１上のリッジ型光導波路端部に光ファイバ挿入用のガ
イド溝（図示せず）を上記リッジ型光導波路と同時に形
成し、上記ガイド溝に光ファイバ２７を挿入して光導波
路基板２１１上のリッジ光導波路端面につきあて、例え
ば紫外線硬化型接着剤で接着・固定すればよい。上記方
法によれば図４（ｂ）に示す従来技術のように、光導波
路基板２１１にフレキシブル電気光混載配線板を配置す
るための深溝を形成する必要がなくなる。
波路基板２１１上のリッジ型光導波路と光接続させる方
法の一例を図２（ｃ）に示す。上記光導波路基板２１１
上のリッジ型光導波路は、光導波路クラッド２１２層お
よび光導波路コア２１３層を、例えば反応性イオンエッ
チングすることにより得られる。上記リッジ型光導波路
と上記フレキシブル電気光混載配線板に接続・固定され
た光ファイバ２７との光接続は、例えば光導波路基板２
１１上のリッジ型光導波路端部に光ファイバ挿入用のガ
イド溝（図示せず）を上記リッジ型光導波路と同時に形
成し、上記ガイド溝に光ファイバ２７を挿入して光導波
路基板２１１上のリッジ光導波路端面につきあて、例え
ば紫外線硬化型接着剤で接着・固定すればよい。上記方
法によれば図４（ｂ）に示す従来技術のように、光導波
路基板２１１にフレキシブル電気光混載配線板を配置す
るための深溝を形成する必要がなくなる。
【００１７】なお、上記フレキシブル電気光混載配線板
の形成として、上記接着剤による電気的絶縁性フレキシ
ブル基板２１とフレキシブル光導波路基板２２との一体
化の他に、上記電気的絶縁性フレキシブル基板２１上
で、光導波路材料をスピンコート・キュアおよびエッチ
ング処理して一体化してもよい。また、光導波路は直線
形状のみでなく、曲り、交差、分岐等の光回路であって
もよい。また、電気的絶縁性フレキシブル基板材料はポ
リイミドの他にエポキシ系樹脂等を用いてもよく、さら
に光導波路材料としてポリメチルメタクリレートを用い
てもよい。また、光導波路構造としては、埋め込み型な
どでもよいことはいうまでもない。
の形成として、上記接着剤による電気的絶縁性フレキシ
ブル基板２１とフレキシブル光導波路基板２２との一体
化の他に、上記電気的絶縁性フレキシブル基板２１上
で、光導波路材料をスピンコート・キュアおよびエッチ
ング処理して一体化してもよい。また、光導波路は直線
形状のみでなく、曲り、交差、分岐等の光回路であって
もよい。また、電気的絶縁性フレキシブル基板材料はポ
リイミドの他にエポキシ系樹脂等を用いてもよく、さら
に光導波路材料としてポリメチルメタクリレートを用い
てもよい。また、光導波路構造としては、埋め込み型な
どでもよいことはいうまでもない。
【００１８】
【発明の効果】上記のように本発明によるフレキシブル
電気光混載配線板は、同一基板上に２以上の光導波路と
電気素子とを備えたフレキシブル電気光混載配線板にお
いて、フレキシブル基板上に固定された２以上の光導波
路を接続する光導波路と、上記電気素子に電気を供給す
る電気配線とを備えた、電気絶縁性を有するフレキシブ
ル基板に、上記電気配線を介して電気素子に接続するた
めの端子と、上記２以上の光導波路に接続するための結
合器とを設け、上記電気素子が電気光学素子である場合
は、上記電気素子を介して接続する光導波路と、該光導
波路を上記電気光学素子に光学的に接続するための光学
素子を備えることにより、電気的絶縁性を有するフレキ
シブル基板上にフレキシブル光導波路層を積層し、電気
配線と光配線とを混載することにより、電気素子または
電気素子と光素子とを実装して、電気伝送および光伝送
を行うことができる。さらに、本フレキシブル電気光混
載配線板は柔軟性を有しているため、光導波路ボード等
の他の光導波路基板との光接続に際し、光導波路面を一
致させるための高精度な開口を光導波路ボードに加工す
る必要はなく、かつ、フレキシブル電気光混載配線板の
光導波路端部に光ファイバを接続することによって、通
常のバットジョイント等の光導波路−光ファイバ間結合
技術により、上記光導波路ボードと容易に光接続するこ
とが可能である。
電気光混載配線板は、同一基板上に２以上の光導波路と
電気素子とを備えたフレキシブル電気光混載配線板にお
いて、フレキシブル基板上に固定された２以上の光導波
路を接続する光導波路と、上記電気素子に電気を供給す
る電気配線とを備えた、電気絶縁性を有するフレキシブ
ル基板に、上記電気配線を介して電気素子に接続するた
めの端子と、上記２以上の光導波路に接続するための結
合器とを設け、上記電気素子が電気光学素子である場合
は、上記電気素子を介して接続する光導波路と、該光導
波路を上記電気光学素子に光学的に接続するための光学
素子を備えることにより、電気的絶縁性を有するフレキ
シブル基板上にフレキシブル光導波路層を積層し、電気
配線と光配線とを混載することにより、電気素子または
電気素子と光素子とを実装して、電気伝送および光伝送
を行うことができる。さらに、本フレキシブル電気光混
載配線板は柔軟性を有しているため、光導波路ボード等
の他の光導波路基板との光接続に際し、光導波路面を一
致させるための高精度な開口を光導波路ボードに加工す
る必要はなく、かつ、フレキシブル電気光混載配線板の
光導波路端部に光ファイバを接続することによって、通
常のバットジョイント等の光導波路−光ファイバ間結合
技術により、上記光導波路ボードと容易に光接続するこ
とが可能である。
【図１】本発明によるフレキシブル電気光混載配線板の
第１実施例を示す図で、（ａ）は外観斜視図、（ｂ）は
上記斜視図のｘｙ面要部断面図、（ｃ）は上記斜視図の
Ａを含むｙｚ面要部断面図である。
第１実施例を示す図で、（ａ）は外観斜視図、（ｂ）は
上記斜視図のｘｙ面要部断面図、（ｃ）は上記斜視図の
Ａを含むｙｚ面要部断面図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す図で、（ａ）は外観
斜視図、（ｂ）は上記斜視図のｘｙ面要部断面図、
（ｃ）は上記斜視図のＡを含むｙｚ面要部断面図であ
る。
斜視図、（ｂ）は上記斜視図のｘｙ面要部断面図、
（ｃ）は上記斜視図のＡを含むｙｚ面要部断面図であ
る。
【図３】従来のフレキシブル電気配線板のフィルムキャ
リヤを示す図である。
リヤを示す図である。
【図４】従来の光導波路基板の例を示す図で、（ａ）は
一部切断した斜視図、（ｂ）は上記（ａ）におけるＡ−
Ａ断面の要部を示す図である。
一部切断した斜視図、（ｂ）は上記（ａ）におけるＡ−
Ａ断面の要部を示す図である。
１１、２１…電気的絶縁性フレキシブル基板 １３…高周波用電極 １４、２５…バイア
ス供給用電極 １５、２６…接地用電極 １７…面型光素子 １９…光学素子（ミラー） ２２…フレキシブル
光導波路基板 ２８…電気素子 １１１、２１１…光
導波路基板
ス供給用電極 １５、２６…接地用電極 １７…面型光素子 １９…光学素子（ミラー） ２２…フレキシブル
光導波路基板 ２８…電気素子 １１１、２１１…光
導波路基板
Claims (2)
- 【請求項１】同一基板上に２以上の光導波路と電気素子
とを備えたフレキシブル電気光混載配線板において、フ
レキシブル基板上に固定された２以上の光導波路を接続
する光導波路と、上記電気素子に電気を供給する電気配
線とを備えた、電気絶縁性を有するフレキシブル基板
に、上記電気配線を介して電気素子に接続するための端
子と、上記２以上の光導波路に接続するための結合器と
を設け、上記電気素子が電気光学素子である場合は、上
記電気素子を介して接続する光導波路と、該光導波路を
上記電気光学素子に光学的に接続するための光学素子を
備えることを特徴とするフレキシブル電気光混載配線
板。 - 【請求項２】上記光導波路と上記電気素子とは、該電気
素子が独立してある場合に、結合または分離することに
より、光導波路がチャネル間のスイッチ機能や増幅機能
等を有する曲り、交差、分岐等の光回路を構成すること
を特徴とする請求項１記載のフレキシブル電気光混載配
線板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9265093A JPH06308519A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | フレキシブル電気光混載配線板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9265093A JPH06308519A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | フレキシブル電気光混載配線板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308519A true JPH06308519A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14060341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9265093A Pending JPH06308519A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | フレキシブル電気光混載配線板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308519A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003302543A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光・電気回路および光・電気配線基板 |
| US6936854B2 (en) | 2001-05-10 | 2005-08-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Optoelectronic substrate |
| US6970610B2 (en) | 2002-03-25 | 2005-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical transmission sheet, optoelectric apparatus, and optical transmission method |
| JP2006098672A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | フレキシブル光基板 |
| JP2006284925A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Mitsui Chemicals Inc | フレキシブル光電気混載基板およびこれを用いた電子機器 |
| US7248757B2 (en) | 2003-12-15 | 2007-07-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method, device and computer program for designing a circuit having electric wires and optical connections |
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| JP2011158666A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Toshiba Corp | 光電気フレキシブル配線モジュール及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP9265093A patent/JPH06308519A/ja active Pending
Cited By (18)
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