JPH06244246A - ボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】収納リール巻取り方式と定寸切断収納方式の両
収納方式を兼用できるボンディング装置を提供する。 【構成】ボンディング装置本体は、供給リールとテー
プ駆動機構とボンディング部と収納リールを有する。 ボンディング装置本体にテープ取出し口を開口し、ボ
ンディング部とテープ取出し口との間にテープのたわみ
を検出する第１のセンサとテープの張りを検出する第２
のセンサを設ける。 ボンディング装置本体の取出し口外側に定寸切断収納
ユニットを設置する。 チップボンディング後のキャリアテープの、収納リー
ルへの巻取と定寸切断ユニットへの送り出しとを選択可
能にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルムキャリアに取
り付けられたインナーリードに、半導体チップを接合す
るフィルムキャリア用インナーリードボンディング装置
における製品収納手段の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インナーリードボンディング装置ではフ
ィルムキャリアに取り付けられたインナーリードに半導
体を接合した後、該キャリアテープを収納リールに巻き
取る方式の装置と、該キャリアテープを定寸に切断後マ
ガジンに収納する方式の装置とが存在した。前者の例と
して供給リールユニットとボンディングユニットと収納
リールユニットよりなる装置が存在し、後者の例として
供給リールユニットとボンディングユニットと定寸切断
収納ユニットよりなる装置が存在した。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このインナーリードボ
ンディング装置における収納リール巻取り方式と定寸切
断収納方式とは各々別々の装置を必要とするものであ
り、両収納方式を兼用できるものではなかった。従っ
て、両方式の収納手段を必要とする場合には別個２種類
のインナーリードボンディング装置を準備する必要があ
り、設備投資の大きいものとなっていた。

【０００４】本発明は、収納リール巻取り方式と定寸切
断収納方式の両収納方式を兼用できるインナーリードボ
ンディング装置を提供することにより１台の装置により
異なる収納方式の利用を可能とすることを目的とするも
のである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで本発明は、上記問
題点を解決するため、ボンディング装置を次の様に構成
することにより、チップボンディング後のキャリアテー
プの収納リールへの巻取と定寸切断収納ユニットへの送
り出しの選択を可能にしたボンディング装置を提供する
ものである。第１にボンディング装置本体は、通常のボ
ンディング装置と同様に、所定間隔でチップ接合部が形
成されたキャリアテープの巻かれた供給リールとキャリ
アテープの送り動作を行なうテープ駆動機構とキャリア
テープの接合部にチップを接合するボンディング部とチ
ップが接合されたキャリアテープを巻き取る収納リール
を有するものである。

【０００６】第２に、ボンディング装置本体の収納リー
ル側に外部へのテープ取出し口を開口し、該テープ取出
し口内側に案内ローラを設けると共に、テープ送りを制
御するためにボンディング部とテープ取出し口との間の
キャリアテープの搬送経路にテープのたわみを検出する
下限検出用第１のセンサとテープの張りを検出する上限
検出用第２のセンサを設ける。

【０００７】第３に、ボンディング装置本体のテープ取
出し口外側に定寸切断収納ユニットを設置する。

【０００８】

【実施例】以下図示の実施例に従い説明する。図１は、
本発明に係るインナーリードボンディング装置の外観を
示す斜視図であり、図中１が供給リールユニット、２が
ボンディングユニット、３が収納リールユニット、４が
定寸切断収納ユニットであり、供給リールユニット１、
ボンディングユニット２、収納リールユニット３が本発
明におけるボンディング装置本体を構成している。

【０００９】図２は、各ユニット１、２、３、４の内部
の概略とキャリアテープの進行を示す説明図である。図
２中左端に配置されるのが供給リールユニット１であ
る。供給リールユニット１は、公知のユニットである
が、簡単に説明する。図中５が所定間隔にチップ接合部
とテープ駆動機構（ボンディングユニット２及び定寸切
断収納ユニット４に存在する。）のスプロケット歯車と
係合する係合孔が形成されたキャリアテープであり、キ
ャリアテープ５とスペーサテープ６を巻き回した供給リ
ール７とスぺーサテープ収納リール８及び所望数のガイ
ドローラ９が配置されたもので、供給リールユニット１
よりボンディングユニット２にキャリアテープ５が進行
するよう接続されている。尚、図示の実施例では、スペ
ーサーテープ６をガイドローラ９に案内させ、スペーサ
テープ収納リール８に巻き取っているが、スペーサテー
プ６が必要ないものの場合、スペーサテープ収納リール
８は不要である。

【００１０】ボンディングユニット２も公知のユニット
であるが、簡単に説明する。ボンディングユニット２
は、テープ駆動機構、ボンディング部及びテープ搬送経
路を構成する所望数のガイドローラ１０、１１を有する
ものである。テープ駆動装置はスプロケット歯車１３、
１４をステッピングモータにより間欠的に所定角度づつ
回転させ、スプロケット歯車１３、１４の歯に係合孔が
係合されたキャリアテープ５を該テープに形成された接
合部のピッチに合せて移動させることができるようにな
っている。ボンディング部には、チップ供給装置（図示
されていない。）より供給されたチップが載置されるチ
ップステージ１５及びボンディングツール１６が配置さ
れている。

【００１１】収納リールユニット３は、チップがボンデ
ィングされたキャリアテープ５を巻き取る収納リール１
７および該キャリアテープ５に供給されるスペーサテー
プ６が巻き回されたスぺーサテープ供給リール１８を有
する点では公知のユニットと同じであるが次の構成を有
することが特徴となる。

【００１２】第１の特徴は、収納リールユニット３のキ
ャリアテープ５の搬入口１９の反対側のほぼ同じ高さの
位置のユニットケース２０に、外部へのテープ取出し口
２１を開口し、該テープ取出し口２１内側に案内ローラ
１２を設けた点である。キャリアテープ５を定寸切断収
納ユニット４へ送る場合、該案内ローラ１２にキャリア
テープ５を掛け、テープ取出し口２１よりキャリアテー
プ５を定寸切断ユニット４へと接続する。

【００１３】第２の特徴は、ボンディング部からのキャ
リアテープ５の搬入口１９とテープ取出し口２１との間
のキャリアテープ５の搬送経路にキャリアテープ５のた
わみを検出する下限検出用第１のセンサ２２とテープの
張りを検出する上限検出用第２のセンサ２３を設けた点
である。キャリアテープ５は収納リール１７への巻取り
の場合も、定寸切断収納ユニット４への接続の場合も共
に第１のセンサ２２と第２のセンサ２３の間に位置する
よう掛けられ、且つ、制御されている。

【００１４】定寸切断収納ユニット４は、収納リールユ
ニット３の図中右方、すなわちボンディング装置本体右
方に配置され、キャリアテープ５のテープ駆動機構、切
断機構、収納機構及び駆動機構でのテープ存在確認のた
めの第３のセンサ２４、及び制御機構（図示されていな
い）を有するものである。

【００１５】定寸切断収納ユニット４のテープ駆動機構
自体は、ボンディングユニット２のテープ駆動機構と基
本的に同一であり、スプロケット歯車２８をステッピン
グモータにより間欠的に所定角度づつ回転させ、スプロ
ケット歯車２８の歯に係合孔が係合されたキャリアテー
プ５を該テープに形成された接合部のピッチに合せて
（切断位置に合わせることと同義である）、切断機構へ
と移動させることができるようになっている。

【００１６】切断機構も公知のものでよく、その概略を
図３に従って説明すれば、キャリアテープ５が通過する
貫通孔２９が形成されたフレーム３０の貫通孔２９出口
上部に上刃を固定し、上刃に対応する位置の貫通孔２９
の下方にシリンダ３１により昇降作用する下刃３２を設
け、貫通孔２９内を搬送（図中左方より右方への搬送）
されてきたキャリアテープ５を、貫通孔２９の搬送方向
外側に設置されたガイドレール（図示されていない）で
保持し、下刃３２を動作させて切断するものである。

【００１７】収納機構は、定寸に切断されたテープを収
納するマガジン３３と該マガジン３３に切断テープを送
り込む上下一対の受渡しローラ３４、３５及び送り込み
爪３６により構成されている。

【００１８】第３のセンサ２４の機能につき説明する
と、ボンディングユニット２でテープ戻し動作（スプロ
ケット歯車１３、１４の逆転動作）があり、キャリアテ
ープ５が張り、上限検出用第２のセンサ２３がＯＮした
場合、定寸切断収納ユニット４のテープ駆動機構により
キャリアテープ５の一定寸戻しが行なわれる。この一定
寸戻し動作によりキャリアテープ５が定寸切断収納ユニ
ット４のテープ駆動機構より抜けそうになった場合、テ
ープの所定位置不存在を検出するものである。

【００１９】定寸切断収納ユニット４に装備される制御
機構は、第１のセンサ２２でのテープのたわみの検出に
より定寸切断収納ユニット４のテープ駆動機構に送り動
作をさせ、第２のセンサ２３でのテープの張りの検出
（テープの上限検出）により同テープ駆動機構に一定寸
の戻し動作をさせ、第３のセンサ２４によるテープ無し
の検出によりボンディング装置本体にアラームを送信す
るものである。

【００２０】

【発明の効果】本発明は、如上のように構成されるた
め、チップがボンディングされたキャリアテープ５を収
納リール１７へと収納する方式によるボンディング装置
として利用できるのみならず、テープ取出し口２１より
キャリアテープ５を定寸切断収納ユニット４に接続する
ことで定寸切断収納方式のボンディング装置として利用
することもできるボンディング装置となった。

【００２１】ボンディング部とテープ取出し口２１との
間のキャリアテープ５の搬送経路にテープのたわみを検
出する下限検出用第１のセンサ２２とテープの張りを検
出する上限検出用第２のセンサ２３を設け、定寸切断収
納ユニット４のテープ駆動機構に、第１のセンサ２２で
のテープ検出により送り動作をさせ、第２のセンサ２３
でのテープ検出により一定寸の戻し動作をさせることが
可能となり、ボンディング部と離れた位置の定寸切断収
納ユニット４との接続の場合にも自動運転が可能なボン
ディング装置となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】 インナーリードボンディング装置の外観を示
す斜視図

【図２】 各ユニット内部を示す説明図

【図３】 定寸切断ユニットの内部説明図

【符号の説明】

１．．．．．．．．供給リールユニット ２．．．．．．．．ボンディングユニット ３．．．．．．．．収納リールユニット ４．．．．．．．．定寸切断収納ユニット ５．．．．．．．．キャリアテープ ６．．．．．．．．スペーサテープ ７．．．．．．．．供給リール ８．．．．．．．．スペーサテープ収納リール ９、１０、１１．．ガイドローラ １２．．．．．．．案内ローラ １３、１４、２８．スプロケット歯車 １５．．．．．．．チップステージ １６．．．．．．．ボンディングツール １７．．．．．．．収納リール １８．．．．．．．スペーサテープ供給リール １９．．．．．．．搬入口 ２０．．．．．．．ユニットケース ２１．．．．．．．テープ取出し口 ２２．．．．．．．第１のセンサ ２３．．．．．．．第２のセンサ ２４．．．．．．．第３のセンサ ２９．．．．．．．貫通孔 ３０．．．．．．．フレーム ３１．．．．．．．シリンダ ３２．．．．．．．下刃 ３３．．．．．．．マガジン ３４、３５．．．．受渡しローラ ３６．．．．．．．送り込み爪

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定間隔でチップ接合部が形成されたキャ
   リアテープの巻かれた供給リールとキャリアテープの送
   り動作を行なうテープ駆動機構とキャリアテープの接合
   部にチップを接合するボンディング部とチップが接合さ
   れたキャリアテープを巻き取る収納リールを有するボン
   ディング装置本体の、収納リール側に外部へのテープ取
   出し口を開口し、該テープ取出し口内側に案内ローラを
   設けると共に、テープ送りを制御するためにボンディン
   グ部とテープ取出し口との間のキャリアテープの搬送経
   路にテープのたわみを検出する下限検出用第１のセンサ
   とテープの張りを検出する上限検出用第２のセンサを設
   け、テープ取出し口外側に定寸切断収納ユニットを設置
   し、チップボンディング後のキャリアテープの収納リー
   ルへの巻取と定寸切断収納ユニットへの送り出しの選択
   を可能にしたことを特徴とするボンディング装置。