JPH06244482A - 出力鏡とその光軸調整方法及びこの出力鏡を用いたｌｄ励起第二高調波発生固体レーザ装置 - Google Patents
出力鏡とその光軸調整方法及びこの出力鏡を用いたｌｄ励起第二高調波発生固体レーザ装置Info
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- JPH06244482A JPH06244482A JP2462693A JP2462693A JPH06244482A JP H06244482 A JPH06244482 A JP H06244482A JP 2462693 A JP2462693 A JP 2462693A JP 2462693 A JP2462693 A JP 2462693A JP H06244482 A JPH06244482 A JP H06244482A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型・軽量化が図れる出力鏡とその光軸調整
方法並びにこの出力鏡が組込まれたＬＤ励起グリーンレ
ーザ装置を提供すること。 【構成】 この出力鏡１は、円錐台状の出力鏡本体２
と、一方の開放端側に出力鏡本体２が遊嵌される円錐台
状の嵌合部３０を有する筒状の出力鏡ホルダー３とでそ
の主要部が構成され、従来のジンバル型出力鏡ホルダー
に較べてマイクロメータが省略できる分その軽量化が図
れる。そして、上記出力鏡本体を出力鏡ホルダーの嵌合
部に嵌入し、かつ、弾力性を有する支持パイプ４１を備
えた支持手段４により出力鏡本体をその嵌入方向へ付勢
しながら支持させると共に、上記出力鏡ホルダーの嵌合
部内壁面と出力鏡本体の嵌合面との隙間部５に３以上の
楔状部材６を差込んでその光軸調整を行った後、上記隙
間部に接着剤８を注入し出力鏡本体と出力鏡ホルダーと
を固着させて光軸調整がなされた出力鏡をＬＤ励起グリ
ーンレーザ装置に組み込むことが可能となる。
方法並びにこの出力鏡が組込まれたＬＤ励起グリーンレ
ーザ装置を提供すること。 【構成】 この出力鏡１は、円錐台状の出力鏡本体２
と、一方の開放端側に出力鏡本体２が遊嵌される円錐台
状の嵌合部３０を有する筒状の出力鏡ホルダー３とでそ
の主要部が構成され、従来のジンバル型出力鏡ホルダー
に較べてマイクロメータが省略できる分その軽量化が図
れる。そして、上記出力鏡本体を出力鏡ホルダーの嵌合
部に嵌入し、かつ、弾力性を有する支持パイプ４１を備
えた支持手段４により出力鏡本体をその嵌入方向へ付勢
しながら支持させると共に、上記出力鏡ホルダーの嵌合
部内壁面と出力鏡本体の嵌合面との隙間部５に３以上の
楔状部材６を差込んでその光軸調整を行った後、上記隙
間部に接着剤８を注入し出力鏡本体と出力鏡ホルダーと
を固着させて光軸調整がなされた出力鏡をＬＤ励起グリ
ーンレーザ装置に組み込むことが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザ（以下、
ＬＤという）励起第二高調波発生固体レーザ装置に組込
まれてその一部を構成する出力鏡に係り、特に、小型化
並びに軽量化が図れて従来より小型・軽量のＬＤ励起第
二高調波発生固体レーザ装置の製造を可能にする出力鏡
の改良に関するものである。
ＬＤという）励起第二高調波発生固体レーザ装置に組込
まれてその一部を構成する出力鏡に係り、特に、小型化
並びに軽量化が図れて従来より小型・軽量のＬＤ励起第
二高調波発生固体レーザ装置の製造を可能にする出力鏡
の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ（以
下、グリーンレーザという）装置は、高密度記録媒体で
ある光ディスク等の記録及び再生、アルゴンレーザの代
替品として利用できると考えられていてる。
下、グリーンレーザという）装置は、高密度記録媒体で
ある光ディスク等の記録及び再生、アルゴンレーザの代
替品として利用できると考えられていてる。
【０００３】図３は、代表的な端面励起型ＬＤ励起グリ
ーンレーザ装置の概略構成図、及び、ＬＤからの励起光
（λLD）、基本波（λ0）、第二高調波（λSH、以下、
ＳＨ波という）の光路をそれぞれ示したものであり、上
記ＬＤ励起グリーンレーザ装置は、ＬＤａと、その両端
面に光学薄膜ｂ１、ｂ２が設けられた集光レンズｂと、
その両端面に光学薄膜ｃ１、ｃ２が設けられた固体レー
ザ素子ｃと、同じくその両端面に光学薄膜ｄ１、ｄ２が
設けられた第二高調波発生（以下、ＳＨＧという）素子
ｄと、このＳＨＧ素子ｄ側の端面に光学薄膜ｅ１が設け
られた出力鏡ｅとでその主要部が構成されている。
ーンレーザ装置の概略構成図、及び、ＬＤからの励起光
（λLD）、基本波（λ0）、第二高調波（λSH、以下、
ＳＨ波という）の光路をそれぞれ示したものであり、上
記ＬＤ励起グリーンレーザ装置は、ＬＤａと、その両端
面に光学薄膜ｂ１、ｂ２が設けられた集光レンズｂと、
その両端面に光学薄膜ｃ１、ｃ２が設けられた固体レー
ザ素子ｃと、同じくその両端面に光学薄膜ｄ１、ｄ２が
設けられた第二高調波発生（以下、ＳＨＧという）素子
ｄと、このＳＨＧ素子ｄ側の端面に光学薄膜ｅ１が設け
られた出力鏡ｅとでその主要部が構成されている。
【０００４】尚、上記固体レーザ素子ｃとしては、その
発振波長が１．０６μｍ付近であるＮｄドープＹＶ
Ｏ4 、ＮｄドープＹＡＧ等のＮｄドープ固体レーザ結晶
が一般に適用されており、また、固体レーザ素子から発
振する基本波が直線偏光でない場合には、ブリュースタ
板等の偏光制御素子が固体レーザ素子ｃとＳＨＧ素子ｄ
との間に配置されることがある。
発振波長が１．０６μｍ付近であるＮｄドープＹＶ
Ｏ4 、ＮｄドープＹＡＧ等のＮｄドープ固体レーザ結晶
が一般に適用されており、また、固体レーザ素子から発
振する基本波が直線偏光でない場合には、ブリュースタ
板等の偏光制御素子が固体レーザ素子ｃとＳＨＧ素子ｄ
との間に配置されることがある。
【０００５】以下、このＬＤ励起グリーンレーザ装置に
おけるＳＨ波の発生機構について説明する。
おけるＳＨ波の発生機構について説明する。
【０００６】まず、上記集光レンズｂにより集光された
ＬＤａの励起光（λLD＝０．８０９μｍ）は、固体レー
ザ素子ｃの光学薄膜ｃ１を通過してこの固体レーザ素子
ｃを励起し基本波（λ0＝１．０６４μｍ）を発生させ
る。発生した基本波（λ0）は上記ＳＨＧ素子ｄを通過
し出力鏡ｅの光学薄膜ｅ１により反射され、再度ＳＨＧ
素子ｄを通過して固体レーザ素子ｃに至り、固体レーザ
素子ｃの集光レンズｂ側に設けられた光学薄膜ｃ１によ
り反射される。このように、基本波（λ0）は上記固体
レーザ素子ｃに設けられた光学薄膜ｃ１と出力鏡ｅに設
けられた光学薄膜ｅ１との間を共振し増幅される。この
光学薄膜ｃ１と光学薄膜ｅ１で構成されるファブリペロ
ー干渉計をレーザ共振器といい、基本波（λ0）はこの
レーザ共振器内に閉込められて増幅を繰返すと共に、基
本波（λ0）の一部がＳＨ波（λSH＝０．５３２μｍ）
に変換され、このＳＨ波（λSH）のみが上記出力鏡ｅよ
り出射される。
ＬＤａの励起光（λLD＝０．８０９μｍ）は、固体レー
ザ素子ｃの光学薄膜ｃ１を通過してこの固体レーザ素子
ｃを励起し基本波（λ0＝１．０６４μｍ）を発生させ
る。発生した基本波（λ0）は上記ＳＨＧ素子ｄを通過
し出力鏡ｅの光学薄膜ｅ１により反射され、再度ＳＨＧ
素子ｄを通過して固体レーザ素子ｃに至り、固体レーザ
素子ｃの集光レンズｂ側に設けられた光学薄膜ｃ１によ
り反射される。このように、基本波（λ0）は上記固体
レーザ素子ｃに設けられた光学薄膜ｃ１と出力鏡ｅに設
けられた光学薄膜ｅ１との間を共振し増幅される。この
光学薄膜ｃ１と光学薄膜ｅ１で構成されるファブリペロ
ー干渉計をレーザ共振器といい、基本波（λ0）はこの
レーザ共振器内に閉込められて増幅を繰返すと共に、基
本波（λ0）の一部がＳＨ波（λSH＝０．５３２μｍ）
に変換され、このＳＨ波（λSH）のみが上記出力鏡ｅよ
り出射される。
【０００７】従って、上記レーザ共振器を構成する光学
薄膜ｃ１と光学薄膜ｅ１が設けられた固体レーザ素子ｃ
並びに出力鏡ｅについては、基本波（λ0）を良好に共
振させるために波長のオーダで光軸調整されている必要
があり、これ等の光軸調整のため従来においてはジンバ
ル型出力鏡ホルダーが用いられていた。
薄膜ｃ１と光学薄膜ｅ１が設けられた固体レーザ素子ｃ
並びに出力鏡ｅについては、基本波（λ0）を良好に共
振させるために波長のオーダで光軸調整されている必要
があり、これ等の光軸調整のため従来においてはジンバ
ル型出力鏡ホルダーが用いられていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ジンバ
ル型出力鏡ホルダーの使用は、近年、特に要求されてい
るＬＤ励起グリーンレーザ装置の小型化並びに軽量化を
図る上において大きな障害となる問題点があった。
ル型出力鏡ホルダーの使用は、近年、特に要求されてい
るＬＤ励起グリーンレーザ装置の小型化並びに軽量化を
図る上において大きな障害となる問題点があった。
【０００９】以下、この点について説明すると、例え
ば、図４に示されたジンバル型出力鏡ホルダーは、出力
鏡（図示せず）が固定される第一ホルダーｈ１と、支点
として作用するボール状部材ｊを介し上記第一ホルダー
ｈ１の背面側に取付けられかつ２つのマイクロメータｍ
を具備する第二ホルダーｈ２と、これ等第一ホルダーｈ
１と第二ホルダーｈ２を互いに接近させる方向へ付勢す
るバネ部材ｋとでその主要部が構成されており、上記出
力鏡が組込まれたジンバル型出力鏡ホルダーを所定の位
置に設置し、かつ、第二ホルダーｈ２に設けられた２つ
のマイクロメータｍを適宜調整して第二ホルダーｈ２に
対する第一ホルダーｈ１のあおり角度を変化させること
により上記固体レーザ素子に対する出力鏡の光軸調整を
行う方法が採られている。
ば、図４に示されたジンバル型出力鏡ホルダーは、出力
鏡（図示せず）が固定される第一ホルダーｈ１と、支点
として作用するボール状部材ｊを介し上記第一ホルダー
ｈ１の背面側に取付けられかつ２つのマイクロメータｍ
を具備する第二ホルダーｈ２と、これ等第一ホルダーｈ
１と第二ホルダーｈ２を互いに接近させる方向へ付勢す
るバネ部材ｋとでその主要部が構成されており、上記出
力鏡が組込まれたジンバル型出力鏡ホルダーを所定の位
置に設置し、かつ、第二ホルダーｈ２に設けられた２つ
のマイクロメータｍを適宜調整して第二ホルダーｈ２に
対する第一ホルダーｈ１のあおり角度を変化させること
により上記固体レーザ素子に対する出力鏡の光軸調整を
行う方法が採られている。
【００１０】また、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示されたジ
ンバル型出力鏡ホルダーは、出力鏡（図示せず）が固定
される第一ホルダーｈ１と、２つの支点q1、q2とバネ部
材（図示せず）によりこの第一ホルダーｈ１を固定しか
つマイクロメータm1が取付けられた第二ホルダーｈ２
と、同じく２つの支点q3、q4とバネ部材ｋによりこの第
二ホルダーｈ２を固定しかつマイクロメータm2が取付け
られた第三ホルダーｈ３とでその主要部が構成されてお
り、出力鏡が組込まれたこのジンバル型出力鏡ホルダー
を所定の位置に設置し、かつ、第二ホルダーｈ２に設け
られたマイクロメータm1と第三ホルダーｈ３に設けられ
たマイクロメータm2を適宜調整して各ホルダーｈ２、ｈ
３に対する第一ホルダーｈ１の相対角度を変化させるこ
とにより上記固体レーザ素子に対する出力鏡の光軸調整
を行う方法が採られている。
ンバル型出力鏡ホルダーは、出力鏡（図示せず）が固定
される第一ホルダーｈ１と、２つの支点q1、q2とバネ部
材（図示せず）によりこの第一ホルダーｈ１を固定しか
つマイクロメータm1が取付けられた第二ホルダーｈ２
と、同じく２つの支点q3、q4とバネ部材ｋによりこの第
二ホルダーｈ２を固定しかつマイクロメータm2が取付け
られた第三ホルダーｈ３とでその主要部が構成されてお
り、出力鏡が組込まれたこのジンバル型出力鏡ホルダー
を所定の位置に設置し、かつ、第二ホルダーｈ２に設け
られたマイクロメータm1と第三ホルダーｈ３に設けられ
たマイクロメータm2を適宜調整して各ホルダーｈ２、ｈ
３に対する第一ホルダーｈ１の相対角度を変化させるこ
とにより上記固体レーザ素子に対する出力鏡の光軸調整
を行う方法が採られている。
【００１１】尚、これ等のジンバル型出力鏡ホルダーに
おいて上記マイクロメータは一旦光軸調整がなされた後
においては全く無用の部材となるが、光軸調整後におい
てこれを取外すそうとすると上記第一ホルダーのあおり
角度等が変化してしまうため取外すことのできない部材
であった。
おいて上記マイクロメータは一旦光軸調整がなされた後
においては全く無用の部材となるが、光軸調整後におい
てこれを取外すそうとすると上記第一ホルダーのあおり
角度等が変化してしまうため取外すことのできない部材
であった。
【００１２】このようにジンバル型出力鏡ホルダーにお
いては光軸調整のために上記マイクロメータは不可欠で
あり、かつ、このマイクロメータは光軸調整後において
も取外すことができない部材であるため、この種の出力
鏡ホルダーを用いる限り上述したようにＬＤ励起グリー
ンレーザ装置の小型化並びに軽量化を図る上において大
きな障害となる問題点があった。
いては光軸調整のために上記マイクロメータは不可欠で
あり、かつ、このマイクロメータは光軸調整後において
も取外すことができない部材であるため、この種の出力
鏡ホルダーを用いる限り上述したようにＬＤ励起グリー
ンレーザ装置の小型化並びに軽量化を図る上において大
きな障害となる問題点があった。
【００１３】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、その課題とするところは、小型化並びに軽
量化が図れて従来より小型・軽量のＬＤ励起グリーンレ
ーザ装置の製造を可能にする出力鏡を提供し、併せてこ
の出力鏡の光軸調整方法とこの出力鏡が組込まれたＬＤ
励起グリーンレーザ装置を提供することにある。
れたもので、その課題とするところは、小型化並びに軽
量化が図れて従来より小型・軽量のＬＤ励起グリーンレ
ーザ装置の製造を可能にする出力鏡を提供し、併せてこ
の出力鏡の光軸調整方法とこの出力鏡が組込まれたＬＤ
励起グリーンレーザ装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１に係
る発明は、ＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ装置にお
ける第二高調波の出力側に配置され、かつ、半導体レー
ザからの励起光により基本波を発生する固体レーザ素子
の上記半導体レーザ側に設けられた光学薄膜との間で基
本波を共振させる光学薄膜が設けられた出力鏡を前提と
し、円錐台状又は角錐台状の出力鏡本体と、一方の開放
端側に上記出力鏡本体が遊嵌される円錐台状又は角錐台
状の嵌合部を有する筒状の出力鏡ホルダーと、この出力
鏡ホルダーの嵌合部内壁面と上記出力鏡本体の嵌合面と
の隙間部に注入され上記出力鏡ホルダーと出力鏡本体と
を固着させる接着剤とを備えることを特徴とするもので
ある。
る発明は、ＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ装置にお
ける第二高調波の出力側に配置され、かつ、半導体レー
ザからの励起光により基本波を発生する固体レーザ素子
の上記半導体レーザ側に設けられた光学薄膜との間で基
本波を共振させる光学薄膜が設けられた出力鏡を前提と
し、円錐台状又は角錐台状の出力鏡本体と、一方の開放
端側に上記出力鏡本体が遊嵌される円錐台状又は角錐台
状の嵌合部を有する筒状の出力鏡ホルダーと、この出力
鏡ホルダーの嵌合部内壁面と上記出力鏡本体の嵌合面と
の隙間部に注入され上記出力鏡ホルダーと出力鏡本体と
を固着させる接着剤とを備えることを特徴とするもので
ある。
【００１５】また、請求項２に係る発明は、請求項１記
載の出力鏡の光軸調整方法を前提とし、上記出力鏡本体
を出力鏡ホルダーの嵌合部に嵌入し、かつ、弾性支持部
を備えた支持手段により上記出力鏡本体をその嵌入方向
へ付勢しながら支持させると共に、上記出力鏡ホルダー
の嵌合部内壁面と出力鏡本体の嵌合面との隙間部に３以
上の楔状部材を差込んでその光軸調整を行った後、上記
隙間部に接着剤を注入して出力鏡本体と出力鏡ホルダー
とを固着させることを特徴とするものである。
載の出力鏡の光軸調整方法を前提とし、上記出力鏡本体
を出力鏡ホルダーの嵌合部に嵌入し、かつ、弾性支持部
を備えた支持手段により上記出力鏡本体をその嵌入方向
へ付勢しながら支持させると共に、上記出力鏡ホルダー
の嵌合部内壁面と出力鏡本体の嵌合面との隙間部に３以
上の楔状部材を差込んでその光軸調整を行った後、上記
隙間部に接着剤を注入して出力鏡本体と出力鏡ホルダー
とを固着させることを特徴とするものである。
【００１６】この請求項２に係る光軸調整方法によれ
ば、上記出力鏡ホルダーの嵌合部内壁面とこの嵌合部に
遊嵌（遊びをもった状態に嵌め込むこと）された出力鏡
本体の嵌合面との隙間部に３以上の楔状部材を差込むと
共に、差込まれた各楔状部材をアクチュエータにより動
かすことにより上記出力鏡ホルダーに対する出力鏡本体
の嵌合位置を任意方向へ変えられるため、上記固体レー
ザ素子に対する出力鏡の光軸調整を高精度で行うことが
可能となる。そして、光軸調整を行った後、上記隙間部
に接着剤が注入され出力鏡本体と出力鏡ホルダーは固着
される。尚、上記接着剤としては、紫外線硬化型の接着
剤、熱硬化型の接着剤、時効硬化性樹脂等任意のものが
適用できる。また、この光軸調整方法において３以上の
楔状部材を使用するのは光軸の調整を確実にさせるため
である。
ば、上記出力鏡ホルダーの嵌合部内壁面とこの嵌合部に
遊嵌（遊びをもった状態に嵌め込むこと）された出力鏡
本体の嵌合面との隙間部に３以上の楔状部材を差込むと
共に、差込まれた各楔状部材をアクチュエータにより動
かすことにより上記出力鏡ホルダーに対する出力鏡本体
の嵌合位置を任意方向へ変えられるため、上記固体レー
ザ素子に対する出力鏡の光軸調整を高精度で行うことが
可能となる。そして、光軸調整を行った後、上記隙間部
に接着剤が注入され出力鏡本体と出力鏡ホルダーは固着
される。尚、上記接着剤としては、紫外線硬化型の接着
剤、熱硬化型の接着剤、時効硬化性樹脂等任意のものが
適用できる。また、この光軸調整方法において３以上の
楔状部材を使用するのは光軸の調整を確実にさせるため
である。
【００１７】他方、請求項３に係る発明は、半導体レー
ザと、半導体レーザからの励起光を集光する集光レンズ
と、励起光が照射されて基本波を発生する固体レーザ素
子と、入射された基本波を第二高調波に変換する第二高
調波発生素子と、第二高調波の出力側に配置された出力
鏡を備えるＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ装置を前
提とし、上記出力鏡として請求項１記載の出力鏡が組込
まれていることを特徴とするものである。
ザと、半導体レーザからの励起光を集光する集光レンズ
と、励起光が照射されて基本波を発生する固体レーザ素
子と、入射された基本波を第二高調波に変換する第二高
調波発生素子と、第二高調波の出力側に配置された出力
鏡を備えるＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ装置を前
提とし、上記出力鏡として請求項１記載の出力鏡が組込
まれていることを特徴とするものである。
【００１８】以下、図面を用いて本発明を詳細に説明す
る。
る。
【００１９】図１〜図２は、請求項１記載の発明に係る
出力鏡の一例とこの出力鏡を用いた請求項２記載の発明
に係る光軸調整方法の一例を示す説明断面図である。
出力鏡の一例とこの出力鏡を用いた請求項２記載の発明
に係る光軸調整方法の一例を示す説明断面図である。
【００２０】まず、上記出力鏡１は、円錐台状の出力鏡
本体２と、一方の開放端側に上記出力鏡本体２が遊嵌さ
れる円錐台状の嵌合部３０を有する筒状の出力鏡ホルダ
ー３とでその主要部が構成されており、上記出力鏡本体
２の平行な２面２１、２２は共に光学研磨されかつ面積
の小さい面２１には基本波に対する高反射膜２３が製膜
されている。
本体２と、一方の開放端側に上記出力鏡本体２が遊嵌さ
れる円錐台状の嵌合部３０を有する筒状の出力鏡ホルダ
ー３とでその主要部が構成されており、上記出力鏡本体
２の平行な２面２１、２２は共に光学研磨されかつ面積
の小さい面２１には基本波に対する高反射膜２３が製膜
されている。
【００２１】そして、この出力鏡１を用いた光軸調整方
法は、例えば、以下のようにしてなされる。すなわち、
ＬＤ励起グリーンレーザ装置において図示外の他の構成
部品（例えば、集光レンズ、固体レーザ素子等）を配置
した後、所定の位置に上記出力鏡ホルダー３を配置す
る。次に、この出力鏡ホルダー３の嵌合部３０に上記出
力鏡本体２を嵌入し、かつ、弾力性を有する支持パイプ
４１とこの支持パイプ４１を保持しその中心部に貫通孔
４０が設けられたパイプホルダー４２から成る支持手段
４により上記出力鏡本体２をその嵌入方向へ付勢しなが
ら支持させると共に、上記出力鏡ホルダー３の嵌合部３
０内壁面と出力鏡本体２の嵌合面との隙間部５に４本の
楔状部材６を差込む。更に、差込まれた各楔状部材６を
アクチュエータ７により動かすことにより上記出力鏡ホ
ルダー３に対する出力鏡本体２の嵌合位置が任意方向へ
微小変化し、かつ、上記支持手段４の背面側に配置され
たレーザパワーメータ９によりレーザ出力が最大となる
位置を観察することにより図示外の固体レーザ素子に対
する出力鏡１の光軸調整を高精度で行うことが可能とな
る。光軸調整後、上記出力鏡本体２と出力鏡ホルダー３
の隙間部５に接着剤８を注入し、これを硬化させて出力
鏡本体２と出力鏡ホルダー３とを固着させる。そして、
上記アクチュエータ７、各楔状部材６、及び、支持手段
４を取外してこの光軸調整方法は終了する。
法は、例えば、以下のようにしてなされる。すなわち、
ＬＤ励起グリーンレーザ装置において図示外の他の構成
部品（例えば、集光レンズ、固体レーザ素子等）を配置
した後、所定の位置に上記出力鏡ホルダー３を配置す
る。次に、この出力鏡ホルダー３の嵌合部３０に上記出
力鏡本体２を嵌入し、かつ、弾力性を有する支持パイプ
４１とこの支持パイプ４１を保持しその中心部に貫通孔
４０が設けられたパイプホルダー４２から成る支持手段
４により上記出力鏡本体２をその嵌入方向へ付勢しなが
ら支持させると共に、上記出力鏡ホルダー３の嵌合部３
０内壁面と出力鏡本体２の嵌合面との隙間部５に４本の
楔状部材６を差込む。更に、差込まれた各楔状部材６を
アクチュエータ７により動かすことにより上記出力鏡ホ
ルダー３に対する出力鏡本体２の嵌合位置が任意方向へ
微小変化し、かつ、上記支持手段４の背面側に配置され
たレーザパワーメータ９によりレーザ出力が最大となる
位置を観察することにより図示外の固体レーザ素子に対
する出力鏡１の光軸調整を高精度で行うことが可能とな
る。光軸調整後、上記出力鏡本体２と出力鏡ホルダー３
の隙間部５に接着剤８を注入し、これを硬化させて出力
鏡本体２と出力鏡ホルダー３とを固着させる。そして、
上記アクチュエータ７、各楔状部材６、及び、支持手段
４を取外してこの光軸調整方法は終了する。
【００２２】尚、上記楔状部材６についてはその一部を
カットして図２に示すように隙間部５に残留させてもよ
く、あるいは、支障がなければ上記アクチュエータ７、
各楔状部材６、及び、支持手段４の全てについて取外す
ことなくそのまま残しておいても当然のことながらよ
い。
カットして図２に示すように隙間部５に残留させてもよ
く、あるいは、支障がなければ上記アクチュエータ７、
各楔状部材６、及び、支持手段４の全てについて取外す
ことなくそのまま残しておいても当然のことながらよ
い。
【００２３】
【作用】請求項１記載の発明に係る出力鏡によれば、円
錐台状又は角錐台状の出力鏡本体と、一方の開放端側に
上記出力鏡本体が遊嵌される円錐台状又は角錐台状の嵌
合部を有する筒状の出力鏡ホルダーと、この出力鏡ホル
ダーの嵌合部内壁面と上記出力鏡本体の嵌合面との隙間
部に注入され上記出力鏡ホルダーと出力鏡本体とを固着
させる接着剤とを備え、従来におけるジンバル型出力鏡
ホルダーを使用するものに較べて光軸調整用のマイクロ
メータが必要なくなるため、その分、小型化と軽量化が
図れる。
錐台状又は角錐台状の出力鏡本体と、一方の開放端側に
上記出力鏡本体が遊嵌される円錐台状又は角錐台状の嵌
合部を有する筒状の出力鏡ホルダーと、この出力鏡ホル
ダーの嵌合部内壁面と上記出力鏡本体の嵌合面との隙間
部に注入され上記出力鏡ホルダーと出力鏡本体とを固着
させる接着剤とを備え、従来におけるジンバル型出力鏡
ホルダーを使用するものに較べて光軸調整用のマイクロ
メータが必要なくなるため、その分、小型化と軽量化が
図れる。
【００２４】また、請求項２記載の発明に係る光軸調整
方法によれば、上記出力鏡ホルダーの嵌合部内壁面とこ
の嵌合部に遊嵌された出力鏡本体の嵌合面との隙間部に
３以上の楔状部材を差込むと共に、差込まれた各楔状部
材を適宜動かすことにより上記出力鏡ホルダーに対する
出力鏡本体の嵌合位置を任意方向へ変えられるため、固
体レーザ素子に対する出力鏡の光軸調整を高精度で行う
ことが可能となる。
方法によれば、上記出力鏡ホルダーの嵌合部内壁面とこ
の嵌合部に遊嵌された出力鏡本体の嵌合面との隙間部に
３以上の楔状部材を差込むと共に、差込まれた各楔状部
材を適宜動かすことにより上記出力鏡ホルダーに対する
出力鏡本体の嵌合位置を任意方向へ変えられるため、固
体レーザ素子に対する出力鏡の光軸調整を高精度で行う
ことが可能となる。
【００２５】他方、請求項３記載の発明にＬＤ励起グリ
ーンレーザ装置によれば、出力鏡として請求項１記載の
出力鏡が組み込まれているため、その分、ＬＤ励起グリ
ーンレーザ装置の小型化と軽量化が図れる。
ーンレーザ装置によれば、出力鏡として請求項１記載の
出力鏡が組み込まれているため、その分、ＬＤ励起グリ
ーンレーザ装置の小型化と軽量化が図れる。
【００２６】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００２７】底面の直径が５ｍｍ、上面の直径が４ｍ
ｍ、厚さが３ｍｍに加工された円錐台状の合成石英につ
いて上記底面と上面とを光学研磨した後、上記上面にＳ
ｉＯ2とＴａ2Ｏ5を真空蒸着法により交互に積層し基本
波に対する４５層の高反射膜を施して合成石英製の出力
鏡本体を作成した。
ｍ、厚さが３ｍｍに加工された円錐台状の合成石英につ
いて上記底面と上面とを光学研磨した後、上記上面にＳ
ｉＯ2とＴａ2Ｏ5を真空蒸着法により交互に積層し基本
波に対する４５層の高反射膜を施して合成石英製の出力
鏡本体を作成した。
【００２８】一方、中心に直径４ｍｍの貫通孔が形成さ
れた直径１０ｍｍ、厚さ１０ｍｍのアルミニウム製筒状
体について、その一方の開放端側に上記出力鏡本体と同
じ角度でテーパを設け円錐台状の嵌合部を形成して出力
鏡ホルダーを作成した。
れた直径１０ｍｍ、厚さ１０ｍｍのアルミニウム製筒状
体について、その一方の開放端側に上記出力鏡本体と同
じ角度でテーパを設け円錐台状の嵌合部を形成して出力
鏡ホルダーを作成した。
【００２９】次いで、この出力鏡ホルダーの嵌合部に上
記出力鏡本体を嵌入し、かつ、弾力性を有する３本の塩
化ビニル製支持パイプとこの支持パイプを保持しその中
心部に貫通孔が設けられたパイプホルダーから成る支持
手段により上記出力鏡本体をその嵌入方向へ付勢しなが
らその出射側円周部付近を支持させると共に、出力鏡ホ
ルダーの嵌合部内壁面と出力鏡本体の嵌合面との隙間部
に長さ４ｍｍのテフロン（ポリテトラフルオロエチレン
の商標名）製の楔状部材を４本差込んだ。
記出力鏡本体を嵌入し、かつ、弾力性を有する３本の塩
化ビニル製支持パイプとこの支持パイプを保持しその中
心部に貫通孔が設けられたパイプホルダーから成る支持
手段により上記出力鏡本体をその嵌入方向へ付勢しなが
らその出射側円周部付近を支持させると共に、出力鏡ホ
ルダーの嵌合部内壁面と出力鏡本体の嵌合面との隙間部
に長さ４ｍｍのテフロン（ポリテトラフルオロエチレン
の商標名）製の楔状部材を４本差込んだ。
【００３０】次に、ＬＤ励起グリーンレーザ装置の構成
部品を配置した後、レーザの出射側に配置されたレーザ
パワーメータを観察しながら上記各楔状部材を４本のア
クチュエータにより動かしてレーザ出力が最大になるよ
うに位置調整を行った。この位置で出力鏡本体と出力鏡
ホルダーの隙間部にエポキシ系接着剤を注入し、これを
硬化させて出力鏡本体と出力鏡ホルダーとを固着させ
た。
部品を配置した後、レーザの出射側に配置されたレーザ
パワーメータを観察しながら上記各楔状部材を４本のア
クチュエータにより動かしてレーザ出力が最大になるよ
うに位置調整を行った。この位置で出力鏡本体と出力鏡
ホルダーの隙間部にエポキシ系接着剤を注入し、これを
硬化させて出力鏡本体と出力鏡ホルダーとを固着させ
た。
【００３１】光軸調整後に上記出力鏡本体と出力鏡ホル
ダーとが完全に固着されたことを確認した後、上記アク
チュエータと支持手段とを取外し、かつ、楔状部材の飛
出している部位を切断して操作を終了した。
ダーとが完全に固着されたことを確認した後、上記アク
チュエータと支持手段とを取外し、かつ、楔状部材の飛
出している部位を切断して操作を終了した。
【００３２】そして、この実施例に係る出力鏡が組込ま
れたＬＤ励起グリーンレーザ装置はその体積が従来のも
のの約２分の１になり、かつ、その重量も従来のものの
約３分の２になった。また、従来のジンバル型出力鏡ホ
ルダーが適用されたものに較べてそのレーザ出力は当然
のことながら変わらなかった。
れたＬＤ励起グリーンレーザ装置はその体積が従来のも
のの約２分の１になり、かつ、その重量も従来のものの
約３分の２になった。また、従来のジンバル型出力鏡ホ
ルダーが適用されたものに較べてそのレーザ出力は当然
のことながら変わらなかった。
【００３３】
【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、従来にお
けるジンバル型出力鏡ホルダーを使用するものに較べて
光軸調整用のマイクロメータが必要なくなるため、その
分、出力鏡の小型化と軽量化が図れる効果を有してい
る。
けるジンバル型出力鏡ホルダーを使用するものに較べて
光軸調整用のマイクロメータが必要なくなるため、その
分、出力鏡の小型化と軽量化が図れる効果を有してい
る。
【００３４】また、請求項２に係る発明によれば、出力
鏡ホルダーの嵌合部内壁面とこの嵌合部に遊嵌された出
力鏡本体の嵌合面との隙間部に３以上の楔状部材を差込
むと共に、差込まれた各楔状部材を適宜動かすことによ
り上記出力鏡ホルダーに対する出力鏡本体の嵌合位置を
任意方向へ変えられるため、出力鏡の光軸調整を高精度
で行える効果を有している。
鏡ホルダーの嵌合部内壁面とこの嵌合部に遊嵌された出
力鏡本体の嵌合面との隙間部に３以上の楔状部材を差込
むと共に、差込まれた各楔状部材を適宜動かすことによ
り上記出力鏡ホルダーに対する出力鏡本体の嵌合位置を
任意方向へ変えられるため、出力鏡の光軸調整を高精度
で行える効果を有している。
【００３５】他方、請求項３に係る発明によれば、小
型、軽量化を図った出力鏡が組み込まれているため、そ
の分、ＬＤ励起グリーンレーザ装置の小型化と軽量化も
図れる効果を有している。
型、軽量化を図った出力鏡が組み込まれているため、そ
の分、ＬＤ励起グリーンレーザ装置の小型化と軽量化も
図れる効果を有している。
【図１】本発明に係る出力鏡とその光軸調整方法を示す
説明断面図。
説明断面図。
【図２】図１のII−II面の概略断面図。
【図３】従来のＬＤ励起グリーンレーザ装置の概略構成
図。
図。
【図４】従来例に係るジンバル型出力鏡ホルダーの概略
斜視図。
斜視図。
【図５】図５（Ａ）と（Ｂ）は他の従来例に係るジンバ
ル型出力鏡ホルダーの正面図と側面図。
ル型出力鏡ホルダーの正面図と側面図。
１ 出力鏡 ２ 出力鏡本体 ３ 出力鏡ホルダー ４ 支持手段 ５ 隙間部 ６ 楔状部材 ８ 接着剤 ３０ 嵌合部 ４１ 支持パイプ
Claims (3)
- 【請求項１】ＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ装置に
おける第二高調波の出力側に配置され、かつ、半導体レ
ーザからの励起光により基本波を発生する固体レーザ素
子の上記半導体レーザ側に設けられた光学薄膜との間で
基本波を共振させる光学薄膜が設けられた出力鏡におい
て、 円錐台状又は角錐台状の出力鏡本体と、一方の開放端側
に上記出力鏡本体が遊嵌される円錐台状又は角錐台状の
嵌合部を有する筒状の出力鏡ホルダーと、この出力鏡ホ
ルダーの嵌合部内壁面と上記出力鏡本体の嵌合面との隙
間部に注入され上記出力鏡ホルダーと出力鏡本体とを固
着させる接着剤とを備えることを特徴とする出力鏡。 - 【請求項２】上記出力鏡本体を出力鏡ホルダーの嵌合部
に嵌入し、かつ、弾性支持部を備えた支持手段により上
記出力鏡本体をその嵌入方向へ付勢しながら支持させる
と共に、上記出力鏡ホルダーの嵌合部内壁面と出力鏡本
体の嵌合面との隙間部に３以上の楔状部材を差込んでそ
の光軸調整を行った後、上記隙間部に接着剤を注入して
出力鏡本体と出力鏡ホルダーとを固着させることを特徴
とする請求項１記載の出力鏡の光軸調整方法。 - 【請求項３】半導体レーザと、半導体レーザからの励起
光を集光する集光レンズと、励起光が照射されて基本波
を発生する固体レーザ素子と、入射された基本波を第二
高調波に変換する第二高調波発生素子と、第二高調波の
出力側に配置された出力鏡を備えるＬＤ励起第二高調波
発生固体レーザ装置において、 上記出力鏡として請求項１記載の出力鏡が組込まれてい
ることを特徴とするＬＤ励起第二高調波発生固体レーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2462693A JPH06244482A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | 出力鏡とその光軸調整方法及びこの出力鏡を用いたｌｄ励起第二高調波発生固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2462693A JPH06244482A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | 出力鏡とその光軸調整方法及びこの出力鏡を用いたｌｄ励起第二高調波発生固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06244482A true JPH06244482A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12143357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2462693A Pending JPH06244482A (ja) | 1993-02-15 | 1993-02-15 | 出力鏡とその光軸調整方法及びこの出力鏡を用いたｌｄ励起第二高調波発生固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06244482A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8284806B2 (en) | 2009-11-26 | 2012-10-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Apparatus and method for manufacturing light source |
| CN120377038A (zh) * | 2025-05-14 | 2025-07-25 | 广东中鸿精密技术有限公司 | 一种激光发生器的密封结构及激光发生器 |
-
1993
- 1993-02-15 JP JP2462693A patent/JPH06244482A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8284806B2 (en) | 2009-11-26 | 2012-10-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Apparatus and method for manufacturing light source |
| CN120377038A (zh) * | 2025-05-14 | 2025-07-25 | 广东中鸿精密技术有限公司 | 一种激光发生器的密封结构及激光发生器 |
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