JPH0624690B2 - ワイヤソーのワイヤ巻付方法 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤ巻付方法Info
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- JPH0624690B2 JPH0624690B2 JP13766085A JP13766085A JPH0624690B2 JP H0624690 B2 JPH0624690 B2 JP H0624690B2 JP 13766085 A JP13766085 A JP 13766085A JP 13766085 A JP13766085 A JP 13766085A JP H0624690 B2 JPH0624690 B2 JP H0624690B2
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、シリコンの単結晶等を精密に切削加工する
ワイヤソーにおける、加工部を構成するロールカートリ
ッジにワイヤを巻き付けるためのワイヤの巻付方法に関
する。
ワイヤソーにおける、加工部を構成するロールカートリ
ッジにワイヤを巻き付けるためのワイヤの巻付方法に関
する。
一般に、ワイヤソーには第６図に例示するようなものが
あり、そのワイヤソー装置本体１は、基台部２とその上
に設置された加工機器設置部３とより成る。
あり、そのワイヤソー装置本体１は、基台部２とその上
に設置された加工機器設置部３とより成る。
この基台部２には、シリコン等の被加工物を載置するた
めのテーブル４が設置してあり、このテーブル４は、駆
動制御装置部５で昇降制御される。
めのテーブル４が設置してあり、このテーブル４は、駆
動制御装置部５で昇降制御される。
また、加工機器設置部３には、加工部６、ワイヤの緩み
吸収機構７、ワイヤのガイドローラ群８、ワイヤ供給部
９、ワイヤ巻取部１０、及び制御盤１１等が設けてあ
る。
吸収機構７、ワイヤのガイドローラ群８、ワイヤ供給部
９、ワイヤ巻取部１０、及び制御盤１１等が設けてあ
る。
この加工部６は、３本の円柱状ローラ（本例では全長１
５０mm外径８０mm）であるドライブローラ１２および２
本のヘッドローラ１３、１４を互いに平行に配置して成
り、この各ローラ１２、１３、１４には、それぞれ並列
した多数の円環状の溝であるワイヤ受周溝を所定ピッチ
（本例では０．７mm程度で穿設して成る）。そして、ワ
イヤ供給部９から引き出される特殊ピアノ線（直径０．
１〜０．３mm程度）であるワイヤを、巻き始め側のガイ
ドローラ群８にガイドされるよう導き、緩み吸収機構７
の一方のローラを経由し、加工部６に巻装する。
５０mm外径８０mm）であるドライブローラ１２および２
本のヘッドローラ１３、１４を互いに平行に配置して成
り、この各ローラ１２、１３、１４には、それぞれ並列
した多数の円環状の溝であるワイヤ受周溝を所定ピッチ
（本例では０．７mm程度で穿設して成る）。そして、ワ
イヤ供給部９から引き出される特殊ピアノ線（直径０．
１〜０．３mm程度）であるワイヤを、巻き始め側のガイ
ドローラ群８にガイドされるよう導き、緩み吸収機構７
の一方のローラを経由し、加工部６に巻装する。
この加工部６ではワイヤは、ドライブローラ１２の始端
のワイヤ受周溝より巻き付け初められ順次ヘッドローラ
１３、１４に巻き付けられるもので、ワイヤが各ローラ
１２、１３、１４を順次経由して始端部の周溝から終端
部の周溝まで次々に螺旋状に巻き付けられて一対のヘッ
ドローラ１３、１４の間に周溝のピッチに相応して配列
されたワイヤ列を形成するようワイヤを巻装するもので
ある。
のワイヤ受周溝より巻き付け初められ順次ヘッドローラ
１３、１４に巻き付けられるもので、ワイヤが各ローラ
１２、１３、１４を順次経由して始端部の周溝から終端
部の周溝まで次々に螺旋状に巻き付けられて一対のヘッ
ドローラ１３、１４の間に周溝のピッチに相応して配列
されたワイヤ列を形成するようワイヤを巻装するもので
ある。
さらに、ワイヤは上述した緩み吸収機構７の他方のロー
ラを経由し、巻き取り側ガイドローラ群８にガイドされ
ワイヤを巻取部１０に巻き取られるようにする。
ラを経由し、巻き取り側ガイドローラ群８にガイドされ
ワイヤを巻取部１０に巻き取られるようにする。
この装置で切削加工を行う場合には、加工機器設置部３
の駆動モータを働かせ、加工部６のドライブローラ１２
を正逆差動回転駆動するとともに、緩み吸収機構７をシ
ーソーの如くに傾動して、ワイヤが一定の張力を保った
まま往復差動するよう走行させる。そして、加工部６の
一対のヘッドローラ１３、１４間を走行するワイヤ列に
遊離砥粒とラッピング油との混合液を滴下し、これに対
し、テーブル４上に載置された被加工物を押し付けるよ
うにテーブル４を上昇送りして切断又は切込加工を行う
ものである。
の駆動モータを働かせ、加工部６のドライブローラ１２
を正逆差動回転駆動するとともに、緩み吸収機構７をシ
ーソーの如くに傾動して、ワイヤが一定の張力を保った
まま往復差動するよう走行させる。そして、加工部６の
一対のヘッドローラ１３、１４間を走行するワイヤ列に
遊離砥粒とラッピング油との混合液を滴下し、これに対
し、テーブル４上に載置された被加工物を押し付けるよ
うにテーブル４を上昇送りして切断又は切込加工を行う
ものである。
このようなワイヤソー装置では、消耗品であるワイヤを
補充交換する場合等、加工部６のローラ群２７にワイヤ
を巻装する作業を供なう。この巻装作業は、極めて細い
ワイヤをローラ群における各ピッチのつまった細いワイ
ヤ受け周溝にその始端部から終端部にかけてワイヤ受け
周溝を飛ばすことなく順次所定通りに巻いて、ワイヤ列
を形成するように巻装するものであるため極めて困難で
あり、熟練した作業者が長時間をかけて行わねばならな
いという問題があった。さらに、この作業中はワイヤソ
ー装置を稼働できないので、その稼働能率の向上が阻ま
れるという問題があった。
補充交換する場合等、加工部６のローラ群２７にワイヤ
を巻装する作業を供なう。この巻装作業は、極めて細い
ワイヤをローラ群における各ピッチのつまった細いワイ
ヤ受け周溝にその始端部から終端部にかけてワイヤ受け
周溝を飛ばすことなく順次所定通りに巻いて、ワイヤ列
を形成するように巻装するものであるため極めて困難で
あり、熟練した作業者が長時間をかけて行わねばならな
いという問題があった。さらに、この作業中はワイヤソ
ー装置を稼働できないので、その稼働能率の向上が阻ま
れるという問題があった。
本発明は上述の点に鑑み、加工部のローラにワイヤを巻
装する作業を熟練作業者以外の者でも容易にかつ短時間
に行えるようにする方法を新たに提供することを目的と
する。
装する作業を熟練作業者以外の者でも容易にかつ短時間
に行えるようにする方法を新たに提供することを目的と
する。
本発明によれば、上記の目的は一定間隔おきに並設され
た個々独立の環状のワイヤ受周溝をそれぞれ有する複数
の同じ構成のローラをワイヤ受周溝の位置を揃えて互い
に平行に立体配置してあるローラ群に、ワイヤを一定間
隔おきに螺旋状に自動的に巻き掛ける方法であって、ロ
ーラ群の一方端部のワイヤ受周溝にワイヤ始端部を螺旋
状に巻き付け、巻き付けたワイヤに案内支持体を装着し
て、巻き付けられた上記ワイヤの螺旋のワイヤ相互間隔
を保持すると共に、案内支持体の内側、即ちローラ群に
面する側に、案内支持体内を通るワイヤに沿って突条形
のワイヤ案内部を形成し、次いでローラ群の他端部に向
って案内支持体が上記各ローラを巡りながらねじ運動的
に回って前進するように上記ローラを回転させ、このよ
うにして得られる案内支持体の一定ピッチの螺旋前進運
動により、案内支持体に保持されているワイヤによって
先導されるワイヤをワイヤ受周溝に同じ螺旋状態に次々
に巻き掛けていくことを特徴とする、ワイヤソーのワイ
ヤ巻付方法によって達成される。
た個々独立の環状のワイヤ受周溝をそれぞれ有する複数
の同じ構成のローラをワイヤ受周溝の位置を揃えて互い
に平行に立体配置してあるローラ群に、ワイヤを一定間
隔おきに螺旋状に自動的に巻き掛ける方法であって、ロ
ーラ群の一方端部のワイヤ受周溝にワイヤ始端部を螺旋
状に巻き付け、巻き付けたワイヤに案内支持体を装着し
て、巻き付けられた上記ワイヤの螺旋のワイヤ相互間隔
を保持すると共に、案内支持体の内側、即ちローラ群に
面する側に、案内支持体内を通るワイヤに沿って突条形
のワイヤ案内部を形成し、次いでローラ群の他端部に向
って案内支持体が上記各ローラを巡りながらねじ運動的
に回って前進するように上記ローラを回転させ、このよ
うにして得られる案内支持体の一定ピッチの螺旋前進運
動により、案内支持体に保持されているワイヤによって
先導されるワイヤをワイヤ受周溝に同じ螺旋状態に次々
に巻き掛けていくことを特徴とする、ワイヤソーのワイ
ヤ巻付方法によって達成される。
上述のような本発明方法によればローラ群のローラを回
動することにより各々ローラに並列して設けられた環状
のワイヤ受周溝に対し、ローラ群をとり巻く螺旋状に自
動的にワイヤを巻き付ける作用を有する。
動することにより各々ローラに並列して設けられた環状
のワイヤ受周溝に対し、ローラ群をとり巻く螺旋状に自
動的にワイヤを巻き付ける作用を有する。
以下に、本発明のワイヤソーのワイヤ巻付方法の実施例
を第１図乃至第５図によって説明する。なおこの第１図
乃至第５図において、第６図に対応する部分には同一符
号を付すこととしその詳細な説明を省略する。
を第１図乃至第５図によって説明する。なおこの第１図
乃至第５図において、第６図に対応する部分には同一符
号を付すこととしその詳細な説明を省略する。
第１図は、本発明の要部であるワイヤソーの加工部にお
けるローラ群部分を取出して示す概略拡大斜視図で、１
２はドライブローラ、１３、１４はヘッドローラであ
り、これら３本のローラでローラ群２７を構成する。
けるローラ群部分を取出して示す概略拡大斜視図で、１
２はドライブローラ、１３、１４はヘッドローラであ
り、これら３本のローラでローラ群２７を構成する。
これら各ローラ１２、１３、１４にはそれぞれ円環状の
各々独立したワイヤ受周溝２０が所定間隔をおいて並列
して穿設してある。そして、これらローラ１２、１３、
１４の始端部にはローラ群２７全体に対してワイヤ２１
を螺旋状にとり巻くよう少なくとも１巻以上の所要巻数
（本例では５巻）巻き掛ける。
各々独立したワイヤ受周溝２０が所定間隔をおいて並列
して穿設してある。そして、これらローラ１２、１３、
１４の始端部にはローラ群２７全体に対してワイヤ２１
を螺旋状にとり巻くよう少なくとも１巻以上の所要巻数
（本例では５巻）巻き掛ける。
すなわち、このワイヤをローラ群２７に巻き掛ける方法
としては第３図乃至第５図に例示するものがあり、まず
第３図に示すものでは、ドライブローラ１２と一方のヘ
ッドローラ１３との間で、ワイヤ２１がある所定平面内
に設置されたワイヤ受周溝２０に対し、一方のヘッドロ
ーラ１３のワイヤ受周溝２０が一つ前進した位置にある
ワイヤ受周溝２０に移り進むよう巻き掛けるものであ
る。
としては第３図乃至第５図に例示するものがあり、まず
第３図に示すものでは、ドライブローラ１２と一方のヘ
ッドローラ１３との間で、ワイヤ２１がある所定平面内
に設置されたワイヤ受周溝２０に対し、一方のヘッドロ
ーラ１３のワイヤ受周溝２０が一つ前進した位置にある
ワイヤ受周溝２０に移り進むよう巻き掛けるものであ
る。
また、第４図に示すものでは、他方のヘッドローラ１４
とドライブローラ１２との間でワイヤ２１が一つ前進し
たワイヤ受周溝２０に移り進むよう巻き掛けたものであ
る。さらに第５図に示すものでは、一方のヘッドローラ
１３と他方のヘッドローラ１４との間でワイヤ２１が一
つ前進したワイヤ受周溝２０に移り進むよう巻き掛けた
ものである。
とドライブローラ１２との間でワイヤ２１が一つ前進し
たワイヤ受周溝２０に移り進むよう巻き掛けたものであ
る。さらに第５図に示すものでは、一方のヘッドローラ
１３と他方のヘッドローラ１４との間でワイヤ２１が一
つ前進したワイヤ受周溝２０に移り進むよう巻き掛けた
ものである。
なお、上述した巻き掛け方法は、これに限定されるもの
ではなく、これに準じた方法を取ることが可能で、ワイ
ヤ受周溝２０も１つ置きや２つ置きといった所要ピッチ
で巻き掛けるようにしてもよいこと勿論である。
ではなく、これに準じた方法を取ることが可能で、ワイ
ヤ受周溝２０も１つ置きや２つ置きといった所要ピッチ
で巻き掛けるようにしてもよいこと勿論である。
そして、その螺旋状に巻装された一部に案内支持体２２
を装着する。この案内支持体２２は、弾性に富む矩形薄
板（本例では厚さ０．０３mmのすきまゲージ板に相当す
るスチール薄板を用いた）を背板２３として螺旋状に巻
装したワイヤ２１の外側面に当て、この背板２３に対し
ワイヤ２１を挾み込むように紙テープ２４を接着剤２５
で貼着して構成する。この際、紙テープ２４を第２図に
断面で示すように背板２３の平面上に置かれた数条のワ
イヤ２１の形状に沿って貼着し、これによって断面Ｕ字
状の細長い突条であるワイヤ案内部２６複数を形成す
る。
を装着する。この案内支持体２２は、弾性に富む矩形薄
板（本例では厚さ０．０３mmのすきまゲージ板に相当す
るスチール薄板を用いた）を背板２３として螺旋状に巻
装したワイヤ２１の外側面に当て、この背板２３に対し
ワイヤ２１を挾み込むように紙テープ２４を接着剤２５
で貼着して構成する。この際、紙テープ２４を第２図に
断面で示すように背板２３の平面上に置かれた数条のワ
イヤ２１の形状に沿って貼着し、これによって断面Ｕ字
状の細長い突条であるワイヤ案内部２６複数を形成す
る。
これにより、螺旋状に巻装されたワイヤ２１の一部を含
む各ワイヤ案内部２６は、その部分で各隣接するワイヤ
案内部２６間の間隔を一定に保持するよう構成される。
さらに、この案内支持体２２を構成する背板２３及び紙
テープ２４は可撓性に富むものを用いることにより、各
ローラ１２、１３、１４の上を通過する際に、その外周
に沿って進行方向に対し湾曲するとともに、ワイヤ２１
がワイヤ受周溝２０に食い込もうとする力に従って図示
するよう背板２３がその巾方向に適度に波状に変形し、
各ローラ１２、１３、１４のワイヤ受周溝２０を含む外
形になじみながら、その上を滑らかに通過することを可
能とする。
む各ワイヤ案内部２６は、その部分で各隣接するワイヤ
案内部２６間の間隔を一定に保持するよう構成される。
さらに、この案内支持体２２を構成する背板２３及び紙
テープ２４は可撓性に富むものを用いることにより、各
ローラ１２、１３、１４の上を通過する際に、その外周
に沿って進行方向に対し湾曲するとともに、ワイヤ２１
がワイヤ受周溝２０に食い込もうとする力に従って図示
するよう背板２３がその巾方向に適度に波状に変形し、
各ローラ１２、１３、１４のワイヤ受周溝２０を含む外
形になじみながら、その上を滑らかに通過することを可
能とする。
次に、上述の構成によりワイヤを３本のローラ１２、１
３、１４による構成されるローラ群２７全体に巻装する
場合には、ドライブローラ１２を矢印Ａ方向に回転駆動
する。
３、１４による構成されるローラ群２７全体に巻装する
場合には、ドライブローラ１２を矢印Ａ方向に回転駆動
する。
すると、これによってワイヤ２１を巻き付けた一対のヘ
ッドローラ１３、１４もワイヤ２１の摩擦力によって矢
印Ａ方向に回動し、ワイヤ２１の３つのローラ１２、１
３、１４全体に螺旋状に巻装された部分は矢印Ｂ方向に
回動する。この回動動作により、案内支持体２２に固定
されたワイヤの先端部２１ａは、各ローラ１２、１３、
１４のワイヤ受周溝２０に順次巻き付けられつつ、ねじ
運動的に回りながら進み、各ローラ１２、１３、１４上
の案内支持体２２が進んだあとのワイヤ受周溝２０には
後続するワイヤ２１が置き換えられるようにして巻装さ
れる。
ッドローラ１３、１４もワイヤ２１の摩擦力によって矢
印Ａ方向に回動し、ワイヤ２１の３つのローラ１２、１
３、１４全体に螺旋状に巻装された部分は矢印Ｂ方向に
回動する。この回動動作により、案内支持体２２に固定
されたワイヤの先端部２１ａは、各ローラ１２、１３、
１４のワイヤ受周溝２０に順次巻き付けられつつ、ねじ
運動的に回りながら進み、各ローラ１２、１３、１４上
の案内支持体２２が進んだあとのワイヤ受周溝２０には
後続するワイヤ２１が置き換えられるようにして巻装さ
れる。
よって、案内支持体２２をローラ群２７の始端部から終
端部までねじ運動的に回し進めることにより、このロー
ラ群２７に自動的にかつ順次所定通りにワイヤ２１を巻
装することができるものである。なお、上述した実施例
の各図面では、理解を容易にするため、ワイヤ受周溝２
０、ワイヤ２１、及び案内支持体２２を実際よりも誇張
して記載してある。
端部までねじ運動的に回し進めることにより、このロー
ラ群２７に自動的にかつ順次所定通りにワイヤ２１を巻
装することができるものである。なお、上述した実施例
の各図面では、理解を容易にするため、ワイヤ受周溝２
０、ワイヤ２１、及び案内支持体２２を実際よりも誇張
して記載してある。
以上説明したように本発明のワイヤソーのワイヤ巻付方
法によれば、ローラ群全体にその各ワイヤ受周溝に対
し、案内支持体のワイヤ案内部を一部螺旋状に巻装し、
ローラを回動させることによって案内支持体をねじ運動
的に回しながら進め、これに従ってワイヤをローラ群に
自動的に所定通り巻装することができ、その作業も簡単
かつ迅速に行えるという効果を有する。
法によれば、ローラ群全体にその各ワイヤ受周溝に対
し、案内支持体のワイヤ案内部を一部螺旋状に巻装し、
ローラを回動させることによって案内支持体をねじ運動
的に回しながら進め、これに従ってワイヤをローラ群に
自動的に所定通り巻装することができ、その作業も簡単
かつ迅速に行えるという効果を有する。
第１図は本発明のワイヤソーのワイヤ巻付方法の実施例
を示す斜視図、第２図はローラに案内支持体が巻き付い
た状態の要部の拡大断面図、第３図乃至第５図は、それ
ぞれローラ群にワイヤを巻き掛けた状態を例示する要部
の平面図、第６図は従来のワイヤソー装置の全体斜視図
である。 １……ワイヤソー装置本体、１２……ドライブローラ、
１３，１４……ヘッドローラ、２０……ワイヤ受周溝、
２１……ワイヤ、２２……案内支持体、２６……ワイヤ
案内部、２７……ローラ群
を示す斜視図、第２図はローラに案内支持体が巻き付い
た状態の要部の拡大断面図、第３図乃至第５図は、それ
ぞれローラ群にワイヤを巻き掛けた状態を例示する要部
の平面図、第６図は従来のワイヤソー装置の全体斜視図
である。 １……ワイヤソー装置本体、１２……ドライブローラ、
１３，１４……ヘッドローラ、２０……ワイヤ受周溝、
２１……ワイヤ、２２……案内支持体、２６……ワイヤ
案内部、２７……ローラ群
Claims (1)
- 【請求項１】一定間隔おきに並設された個々独立の環状
のワイヤ受周溝（２０）をそれぞれ有する複数の同じ構
成のローラ（１２、１３、１４）をワイヤ受周溝（２
０）の位置を揃えて互いに平行に立体配置してあるロー
ラ群（２７）に、ワイヤ（２１）を一定間隔おきに螺旋
状に自動的に巻き掛ける方法であって、ローラ群（２
７）の一方端部のワイヤ受周溝（２０）にワイヤ始端部
を螺旋状に巻き付け、巻き付けたワイヤに案内支持体
（２２）を装着して、巻き付けられた上記ワイヤの螺旋
のワイヤ相互間隔を保持すると共に、案内支持体（２
２）の内側、即ちローラ群（２７）に面する側に、案内
支持体（２２）内を通るワイヤに沿って突条形のワイヤ
案内部（２６）を形成し、次いでローラ群（２７）の他
端部に向って案内支持体（２２）が上記各ローラ（１
２、１３、１４）を巡りながらねじ運動的に回って前進
するように上記ローラを回転させ、このようにして得ら
れる案内支持体（２２）の一定ピッチの螺旋前進運動に
より、案内支持体（２２）に保持されているワイヤによ
って先導されるワイヤをワイヤ受周溝（２０）に同じ螺
旋状態に次々に巻き掛けていくことを特徴とする、ワイ
ヤソーのワイヤ巻付方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13766085A JPH0624690B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | ワイヤソーのワイヤ巻付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13766085A JPH0624690B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | ワイヤソーのワイヤ巻付方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61297075A JPS61297075A (ja) | 1986-12-27 |
| JPH0624690B2 true JPH0624690B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=15203835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13766085A Expired - Fee Related JPH0624690B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | ワイヤソーのワイヤ巻付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624690B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5964204B2 (ja) * | 2012-10-31 | 2016-08-03 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー用自動ワイヤ巻き方法およびその装置 |
| JP2014161924A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤソー |
| CN116373143A (zh) * | 2023-05-26 | 2023-07-04 | 厦门品河精密科技有限公司 | 一种布线装置及布线方法 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP13766085A patent/JPH0624690B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61297075A (ja) | 1986-12-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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