JPH06250093A - 試料検出装置 - Google Patents
試料検出装置Info
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- JPH06250093A JPH06250093A JP3707693A JP3707693A JPH06250093A JP H06250093 A JPH06250093 A JP H06250093A JP 3707693 A JP3707693 A JP 3707693A JP 3707693 A JP3707693 A JP 3707693A JP H06250093 A JPH06250093 A JP H06250093A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 241000238876 Acari Species 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 同時に異なる倍率の試料の像を得ることがで
きる試料検出装置を提供する。 【構成】 試料から入射された光は対物レンズ４１を通
ってビームスプリッタ４２，４３で３本の光路に分けら
れる。ビームスプリッタ４２で分岐された光はミラー４
４で反射されて凸レンズ４５ａを経て高倍率像としてＴ
Ｖカメラ１４ａで撮像される。ビームスプリッタ４２、
４３を直進した光はＴＶカメラ１４ｂに入射し、中倍率
画像として検出される。ビームスプリッタ４３で分岐さ
れた光はミラー４６で反射され、凹レンズ４７ｂを経て
ＴＶカメラ１４ｃに入射され、低倍率画像として検出さ
れる。
きる試料検出装置を提供する。 【構成】 試料から入射された光は対物レンズ４１を通
ってビームスプリッタ４２，４３で３本の光路に分けら
れる。ビームスプリッタ４２で分岐された光はミラー４
４で反射されて凸レンズ４５ａを経て高倍率像としてＴ
Ｖカメラ１４ａで撮像される。ビームスプリッタ４２、
４３を直進した光はＴＶカメラ１４ｂに入射し、中倍率
画像として検出される。ビームスプリッタ４３で分岐さ
れた光はミラー４６で反射され、凹レンズ４７ｂを経て
ＴＶカメラ１４ｃに入射され、低倍率画像として検出さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は載置台に置かれた試料
を検出するための試料検出装置に関し、特に異なる倍率
の試料の像を得ることができる試料検出装置に関する。
を検出するための試料検出装置に関し、特に異なる倍率
の試料の像を得ることができる試料検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡等の光学機器を使って、試料を拡
大、縮小した像に画像処理を行ない、試料内の目的対象
の区分、同定、計数、寸法などの幾何量などの解析を行
なう場合がある。このような場合に、画像処理対象域を
必要な倍率像で一度に画像処理装置に入力することがで
きない。そのため画像処理対象域を走査することになる
が、この領域を全面走査するだけでなく、その結果を基
に必要域を拡大して画像処理を行なうことが必要になる
ことがある。
大、縮小した像に画像処理を行ない、試料内の目的対象
の区分、同定、計数、寸法などの幾何量などの解析を行
なう場合がある。このような場合に、画像処理対象域を
必要な倍率像で一度に画像処理装置に入力することがで
きない。そのため画像処理対象域を走査することになる
が、この領域を全面走査するだけでなく、その結果を基
に必要域を拡大して画像処理を行なうことが必要になる
ことがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように画像処理
対象域を拡大または縮小して画像処理を行なう場合、何
らかの形で複数の倍率像が必要となる。このため、２系
列の光学機器を設置する方法や、１系列の光学系の倍率
を対物レンズレボルバ回転や、ズームレンズ調整で時間
的にずらせて倍率を変える方法が考えられる。しかしな
がらこれらの方法では、時間的に変化する像については
同時に異なる倍率の像が得られないという問題点があ
る。
対象域を拡大または縮小して画像処理を行なう場合、何
らかの形で複数の倍率像が必要となる。このため、２系
列の光学機器を設置する方法や、１系列の光学系の倍率
を対物レンズレボルバ回転や、ズームレンズ調整で時間
的にずらせて倍率を変える方法が考えられる。しかしな
がらこれらの方法では、時間的に変化する像については
同時に異なる倍率の像が得られないという問題点があ
る。
【０００４】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、時間的に変化する像についても
同時に異なる倍率の像を得ることができる試料検出装置
を提供することを目的とする。
ためになされたもので、時間的に変化する像についても
同時に異なる倍率の像を得ることができる試料検出装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる試料検
出装置は、試料を載置する手段と、載置手段に対向して
設けられた試料の像を形成するための光学系と、光学系
によって形成された光学経路を複数の経路に分岐するた
めの分岐手段と、分岐手段によって分岐された複数の光
学系上に設けられ、各々が相互に異なる倍率で試料の像
を検出する複数の検出手段とを含む。
出装置は、試料を載置する手段と、載置手段に対向して
設けられた試料の像を形成するための光学系と、光学系
によって形成された光学経路を複数の経路に分岐するた
めの分岐手段と、分岐手段によって分岐された複数の光
学系上に設けられ、各々が相互に異なる倍率で試料の像
を検出する複数の検出手段とを含む。
【０００６】
【作用】試料の像が光学系によって形成され、それが分
岐手段によって複数の光学経路に分けられ、各々の経路
において異なる複数の倍率で試料の像が検出される。
岐手段によって複数の光学経路に分けられ、各々の経路
において異なる複数の倍率で試料の像が検出される。
【０００７】
【実施例】以下この発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１はこの発明にかかる試料検出装置の全体を示
す斜視図である。図１を参照して、試料検出装置は制御
部１０と、画像検出部３１および試料載置部５１とを含
む。
する。図１はこの発明にかかる試料検出装置の全体を示
す斜視図である。図１を参照して、試料検出装置は制御
部１０と、画像検出部３１および試料載置部５１とを含
む。
【０００８】画像検出部３１は、試料載置部５１に対向
して設けられ、試料の像を得るための光学系が含まれた
鏡筒３６と、鏡筒３６に接続され、試料の像を３つの光
路に分ける三光路分割光学系３５と、三光路分割光学系
３５によって分けられた３つの光路の各々に設けられた
高倍率画像検出検出部３２、中倍率画像検出部３３およ
び低倍率画像検出部３４とを含む。試料載置部５１は装
置全体を保持する台５２と、台５２上に設けられ、画像
検出部３１を支持するための支柱５３と、試料台全体を
保持する試料台支持部５４と、試料台支持部５４の上に
設けられた試料台支持テーブル５５と、試料台支持テー
ブル５５の上に設けられたＸ軸台５６と、Ｘ軸台５６の
上に設けられた試料台５８とを含む。
して設けられ、試料の像を得るための光学系が含まれた
鏡筒３６と、鏡筒３６に接続され、試料の像を３つの光
路に分ける三光路分割光学系３５と、三光路分割光学系
３５によって分けられた３つの光路の各々に設けられた
高倍率画像検出検出部３２、中倍率画像検出部３３およ
び低倍率画像検出部３４とを含む。試料載置部５１は装
置全体を保持する台５２と、台５２上に設けられ、画像
検出部３１を支持するための支柱５３と、試料台全体を
保持する試料台支持部５４と、試料台支持部５４の上に
設けられた試料台支持テーブル５５と、試料台支持テー
ブル５５の上に設けられたＸ軸台５６と、Ｘ軸台５６の
上に設けられた試料台５８とを含む。
【０００９】試料台支持テーブル５５の上にはＸ軸方向
に１対のＸ軸レール５７が設けられ、その１対のＸ軸レ
ール５７に沿ってＸ軸台５６は図中矢印方向に移動が可
能である。また、Ｘ軸台５６の上には１対のＹ軸レール
５９が設けられ、試料台５８はその１対のＹ軸レール５
９に沿って図中矢印方向に移動が可能である。Ｘ軸台５
６の移動はＸ軸モータ６０で行なわれ、試料台５８のＹ
軸方向の移動はＹ軸モータ６１で行なわれる。また、画
像検出部３１は支柱５３の上部に設けられたＺ軸モータ
６２を回転させることによって溝３７に沿って図中矢印
で示すＺ軸方向に上下動される。試料載置部５１は上記
のように構成されているため、試料は画像検出部３１に
対してＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸に沿って自由に移動が可能
である。
に１対のＸ軸レール５７が設けられ、その１対のＸ軸レ
ール５７に沿ってＸ軸台５６は図中矢印方向に移動が可
能である。また、Ｘ軸台５６の上には１対のＹ軸レール
５９が設けられ、試料台５８はその１対のＹ軸レール５
９に沿って図中矢印方向に移動が可能である。Ｘ軸台５
６の移動はＸ軸モータ６０で行なわれ、試料台５８のＹ
軸方向の移動はＹ軸モータ６１で行なわれる。また、画
像検出部３１は支柱５３の上部に設けられたＺ軸モータ
６２を回転させることによって溝３７に沿って図中矢印
で示すＺ軸方向に上下動される。試料載置部５１は上記
のように構成されているため、試料は画像検出部３１に
対してＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸に沿って自由に移動が可能
である。
【００１０】制御部１０は装置全体を処理するための主
処理装置１１と、主処理装置１１に接続され、高倍率画
像検出部３２、中倍率画像検出部３３、および低倍率画
像検出部３４からの画像信号を処理する画像処理装置１
２と、画像処理装置１２に接続され、画像処理が行なわ
れた画像を表示するモニタ１３と、主処理装置１１に接
続され、後に説明する高倍率画像検出部３２および低倍
率画像検出部３４において視野の移動を制御する補助視
野制御装置１５と、Ｘ軸モータ６０、Ｙ軸モータ６１お
よびＺ軸モータ６２の移動を制御するＸ・Ｙ・Ｚ電動駆
動制御装置２１とを含む。
処理装置１１と、主処理装置１１に接続され、高倍率画
像検出部３２、中倍率画像検出部３３、および低倍率画
像検出部３４からの画像信号を処理する画像処理装置１
２と、画像処理装置１２に接続され、画像処理が行なわ
れた画像を表示するモニタ１３と、主処理装置１１に接
続され、後に説明する高倍率画像検出部３２および低倍
率画像検出部３４において視野の移動を制御する補助視
野制御装置１５と、Ｘ軸モータ６０、Ｙ軸モータ６１お
よびＺ軸モータ６２の移動を制御するＸ・Ｙ・Ｚ電動駆
動制御装置２１とを含む。
【００１１】次に画像検出部３１の詳細について説明す
る。図２は画像検出部３１の光学系を示す図である。図
２を参照して、画像検出部の光学系は試料からの光を集
光する対物レンズ４１を含む。対物レンズ４１を経た試
料からの光はビームスプリッタ４２および４３によって
３つの光路に分割される。ビームスプリッタ４２で分割
された試料の像はミラー４４で反射され、凸レンズを含
む高倍率画像移動部４５へ入射され、その像が高倍率画
像としてＴＶカメラ１４ａで検出される。ビームスプリ
ッタ４２，４３を直進した試料からの光はＴＶカメラ１
４ｂへ入射し、中倍率画像として撮像される。ビームス
プリッタ４２を直進し、ビームスプリッタ４３で分割さ
れた試料からの光は、ミラー４６で反射され、凹レンズ
を含む低倍率画像移動部４７を経て低倍率画像としてＴ
Ｖカメラ１４ｃに入射し撮像される。
る。図２は画像検出部３１の光学系を示す図である。図
２を参照して、画像検出部の光学系は試料からの光を集
光する対物レンズ４１を含む。対物レンズ４１を経た試
料からの光はビームスプリッタ４２および４３によって
３つの光路に分割される。ビームスプリッタ４２で分割
された試料の像はミラー４４で反射され、凸レンズを含
む高倍率画像移動部４５へ入射され、その像が高倍率画
像としてＴＶカメラ１４ａで検出される。ビームスプリ
ッタ４２，４３を直進した試料からの光はＴＶカメラ１
４ｂへ入射し、中倍率画像として撮像される。ビームス
プリッタ４２を直進し、ビームスプリッタ４３で分割さ
れた試料からの光は、ミラー４６で反射され、凹レンズ
を含む低倍率画像移動部４７を経て低倍率画像としてＴ
Ｖカメラ１４ｃに入射し撮像される。
【００１２】なお、ビームスプリッタ４２，４３はこれ
ら異なる倍率で試料を撮像する場合に各分割された光学
系に倍率の二乗の逆数に光量を配分されるよう調整され
ている。すなわち、ビームスプリッタ４２，４３の光分
割面に塗布される材質および厚さはそれぞれの光量を満
たすように調整されている。
ら異なる倍率で試料を撮像する場合に各分割された光学
系に倍率の二乗の逆数に光量を配分されるよう調整され
ている。すなわち、ビームスプリッタ４２，４３の光分
割面に塗布される材質および厚さはそれぞれの光量を満
たすように調整されている。
【００１３】高倍率移動部４５は凸レンズ４５ａを三次
元方向に移動させる凸レンズ移動部を含む。そのため、
後で説明するように高倍率において視野の移動が可能に
なる。一方低倍率画像移動部４７も凹レンズ４７ａを三
次元方向に移動可能な構成を有し、それによって低倍率
視野の移動が可能である。
元方向に移動させる凸レンズ移動部を含む。そのため、
後で説明するように高倍率において視野の移動が可能に
なる。一方低倍率画像移動部４７も凹レンズ４７ａを三
次元方向に移動可能な構成を有し、それによって低倍率
視野の移動が可能である。
【００１４】試料検出装置が上記のように構成されてい
るため、低倍率視野における中倍率視野の位置関係、中
倍率視野における高倍率視野の位置関係が外部の制御系
により目的に合わせて変化させることができる。
るため、低倍率視野における中倍率視野の位置関係、中
倍率視野における高倍率視野の位置関係が外部の制御系
により目的に合わせて変化させることができる。
【００１５】図３は高倍率、中倍率および低倍率での視
野の関係を示す図である。図中７１ａが低倍率視野に対
応し、７２が中倍率視野に対応し、７３ａが高倍率視野
に対応する。まず低倍率視野７１ａで試料を観察し、そ
の視野を移動したいときには低倍率画像移動部４７を操
作することにより視野を移動することができる（７１
ｂ）。同様に高倍率視野７３ａで試料を観察している状
態で視野を移動したいときは高倍率画像移動部４５を操
作することによって視野の移動（７３ｂ）が可能であ
る。
野の関係を示す図である。図中７１ａが低倍率視野に対
応し、７２が中倍率視野に対応し、７３ａが高倍率視野
に対応する。まず低倍率視野７１ａで試料を観察し、そ
の視野を移動したいときには低倍率画像移動部４７を操
作することにより視野を移動することができる（７１
ｂ）。同様に高倍率視野７３ａで試料を観察している状
態で視野を移動したいときは高倍率画像移動部４５を操
作することによって視野の移動（７３ｂ）が可能であ
る。
【００１６】次に各倍率の使用方法について説明する。
低倍率はたとえば、試料すなわち、画像処理対象物の静
的、動的全体像把握と中倍率視野対象域決定のために用
いられる。すなわち、静的な場合としては、対象の分布
状態から中倍率以上の像を得る領域決定等に用いること
ができ、動的な場合としては、対象の動的変化部分の検
出や中倍率以上で検出する場合の走査領域の決定等に用
いることができる。中倍率はたとえば、個別区分化後の
計数、試料の各動きの検出および高倍率視野の対象域の
決定のために用いられる。高倍率は個別化対象の種別同
定や個別動きの解析等に用いられる。
低倍率はたとえば、試料すなわち、画像処理対象物の静
的、動的全体像把握と中倍率視野対象域決定のために用
いられる。すなわち、静的な場合としては、対象の分布
状態から中倍率以上の像を得る領域決定等に用いること
ができ、動的な場合としては、対象の動的変化部分の検
出や中倍率以上で検出する場合の走査領域の決定等に用
いることができる。中倍率はたとえば、個別区分化後の
計数、試料の各動きの検出および高倍率視野の対象域の
決定のために用いられる。高倍率は個別化対象の種別同
定や個別動きの解析等に用いられる。
【００１７】次に具体的な使用例について図４を参照し
て説明する。ここでは試料としてダニを用いるものとす
る。まず低倍率でダニの分布状態を知り、中倍率以上の
像を得る箇所を定める（Ｃ）。次に中倍率にして低倍率
で特定した領域を拡大し（Ｂ）、ダニの計数を行なう。
次に高倍率にすることによって（Ａ）、ダニの種別同定
が可能になる。
て説明する。ここでは試料としてダニを用いるものとす
る。まず低倍率でダニの分布状態を知り、中倍率以上の
像を得る箇所を定める（Ｃ）。次に中倍率にして低倍率
で特定した領域を拡大し（Ｂ）、ダニの計数を行なう。
次に高倍率にすることによって（Ａ）、ダニの種別同定
が可能になる。
【００１８】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、光学系
によって得られた試料からの光が複数の光学経路に分け
られ、各々の経路において異なる複数の倍率で対象物の
像が検出される。その結果、同一試料について同時に異
なる倍率の像を得ることができる。
によって得られた試料からの光が複数の光学経路に分け
られ、各々の経路において異なる複数の倍率で対象物の
像が検出される。その結果、同一試料について同時に異
なる倍率の像を得ることができる。
【図１】この発明にかかる試料検出装置の全体を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】光学系の内容を示す図である。
【図３】各倍率における視野の関係を示す図である。
【図４】具体的な視野の例を示す図である。
１１ 主処理装置 １２ 画像処理装置 １３ モニタ １４ ＴＶカメラ １５ 補助視野制御装置 ２１ Ｘ・Ｙ・Ｚ電動駆動制御装置 ４１ 対物レンズ ４２，４３ ビームスプリッタ ４４，４６ 反射ミラー ４５ 高倍率移動部 ４７ 低倍率移動部
Claims (1)
- 【請求項１】 試料を載置する手段と、 前記載置手段に対向して設けられ、前記試料の像を形成
するための光学系と、 前記光学系によって形成される光学経路を複数の経路に
分岐するための分岐手段と、 前記分岐手段によって分岐された複数の光学経路上に設
けられ、各々が相互に異なる倍率で前記試料の像を検出
する複数の検出手段とを含む、試料検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3707693A JPH06250093A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 試料検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3707693A JPH06250093A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 試料検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06250093A true JPH06250093A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12487469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3707693A Withdrawn JPH06250093A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 試料検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06250093A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001117018A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-04-27 | Olympus Optical Co Ltd | 画像表示装置 |
| JP2014056060A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Keyence Corp | 光学顕微鏡 |
| CN110837200A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-02-25 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 变倍率x射线高速摄影装置 |
| WO2022196050A1 (ja) * | 2021-03-17 | 2022-09-22 | 株式会社アマダ | デジタル投影機、工作機械及び投影像表示方法 |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP3707693A patent/JPH06250093A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001117018A (ja) * | 1999-10-19 | 2001-04-27 | Olympus Optical Co Ltd | 画像表示装置 |
| JP2014056060A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Keyence Corp | 光学顕微鏡 |
| CN110837200A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-02-25 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 变倍率x射线高速摄影装置 |
| WO2022196050A1 (ja) * | 2021-03-17 | 2022-09-22 | 株式会社アマダ | デジタル投影機、工作機械及び投影像表示方法 |
| JP2022143508A (ja) * | 2021-03-17 | 2022-10-03 | 株式会社アマダ | デジタル投影機、工作機械及び投影像表示方法 |
| US12585174B2 (en) | 2021-03-17 | 2026-03-24 | Amada Co., Ltd. | Digital projector, machine tool, and projected image display method |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |