JPH06250133A - 光フィルタ装置 - Google Patents
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- JPH06250133A JPH06250133A JP6040659A JP4065994A JPH06250133A JP H06250133 A JPH06250133 A JP H06250133A JP 6040659 A JP6040659 A JP 6040659A JP 4065994 A JP4065994 A JP 4065994A JP H06250133 A JPH06250133 A JP H06250133A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12019—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the optical interconnection to or from the AWG devices, e.g. integration or coupling with lasers or photodiodes
- G02B6/12021—Comprising cascaded AWG devices; AWG multipass configuration; Plural AWG devices integrated on a single chip
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04Q—SELECTING
- H04Q11/00—Selecting arrangements for multiplex systems
- H04Q11/0001—Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
- H04Q11/0003—Details
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 広い光周波数範囲にわたって数多くの光周波
数に対して高速に同調可能なモノリシックに集積化され
た広帯域光フィルタを提供する。 【構成】 本発明のフィルタは、相互に連結した周波数
選択ポートを持つ2つの同一の1×N周波数ルーティン
グデバイス12,22を用いている。2つのデバイスを
つなぐそれぞれの通路には、ゲートのような働きをする
集積光増幅器18を有する。 いくつかの異なる周波数
チャネルを持つ入力信号は第一の周波数ルーティングデ
バイス12の出力ポート内で分割され、第2の周波数ル
ーティングデバイス22の各々の入力部へ直進する。第
2の周波数ルーティングデバイス22は周波数の多重集
合から選ばれた周波数を出力できる。それらのチャネル
のいずれもが、第1及び第2周波数ルーティングデバイ
ス12,22の間の各々のゲートを開放し各々の光増幅
器18を作動させることによって選択される。他のチャ
ネルは各々の光増幅器の非働化により高く減衰され残
る。このようにして、選択されたチャネルだけが第2周
波数ルーティングデバイス22を出る。
数に対して高速に同調可能なモノリシックに集積化され
た広帯域光フィルタを提供する。 【構成】 本発明のフィルタは、相互に連結した周波数
選択ポートを持つ2つの同一の1×N周波数ルーティン
グデバイス12,22を用いている。2つのデバイスを
つなぐそれぞれの通路には、ゲートのような働きをする
集積光増幅器18を有する。 いくつかの異なる周波数
チャネルを持つ入力信号は第一の周波数ルーティングデ
バイス12の出力ポート内で分割され、第2の周波数ル
ーティングデバイス22の各々の入力部へ直進する。第
2の周波数ルーティングデバイス22は周波数の多重集
合から選ばれた周波数を出力できる。それらのチャネル
のいずれもが、第1及び第2周波数ルーティングデバイ
ス12,22の間の各々のゲートを開放し各々の光増幅
器18を作動させることによって選択される。他のチャ
ネルは各々の光増幅器の非働化により高く減衰され残
る。このようにして、選択されたチャネルだけが第2周
波数ルーティングデバイス22を出る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信システムに関
し、特に、光通信システムにおいて用いられる集積光フ
ィルタに関する。
し、特に、光通信システムにおいて用いられる集積光フ
ィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】通信システムの容量及びスピードは、光
学的に透明なノード、ファイバ、導波路などからなるネ
ットワークを介して、光の形態で情報を送出することに
より増大する。大容量光通信システムは、光ネットワー
クのコンポーネント内において、多くの光信号が周波数
分割・多重化することが必要である。受信者は多数の多
重化された電磁波周波数によるグループから望ましい光
周波数を検出しなければならない。そのためには、複数
個の多重化された光周波数から望ましい光周波数を検出
する周波数選択光フィルタが必要である。
学的に透明なノード、ファイバ、導波路などからなるネ
ットワークを介して、光の形態で情報を送出することに
より増大する。大容量光通信システムは、光ネットワー
クのコンポーネント内において、多くの光信号が周波数
分割・多重化することが必要である。受信者は多数の多
重化された電磁波周波数によるグループから望ましい光
周波数を検出しなければならない。そのためには、複数
個の多重化された光周波数から望ましい光周波数を検出
する周波数選択光フィルタが必要である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】現在まで、望ましい光
周波数の中から不要な光周波数を除去する簡便な方策は
存在しない。従来技術に係る可変光フィルタの性能は、
電気機械、光電子、音響光学、そして磁気光学に基礎を
おいており、同調速度、周波数選択度、あるいは同調範
囲といった点において制限されている。さらに、従来技
術に係る全てのデバイスは、それを実現するために多く
の費用を必要とする。
周波数の中から不要な光周波数を除去する簡便な方策は
存在しない。従来技術に係る可変光フィルタの性能は、
電気機械、光電子、音響光学、そして磁気光学に基礎を
おいており、同調速度、周波数選択度、あるいは同調範
囲といった点において制限されている。さらに、従来技
術に係る全てのデバイスは、それを実現するために多く
の費用を必要とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて、高速同
調光フィルタが開発された。本発明による光フィルタ
は、高度な周波数選択度と広範囲の同調範囲を提供で
き、従来の光フィルタを実現させるための費用よりも低
価格で実現できる光集積回路に基づいている。本発明の
一実施例に於いて、本発明の発明者は、例えば米国特許
第5,002,350号及び第5,136,671号に
記載されているマルチプレクサ/デマルチプレクサ等を
広範囲の同調範囲を持つモノリシックな高速光フィルタ
を創造するために使用出来ることを見い出した。とりわ
けこの実施例には、相互に連結した周波数選択ポートを
持つ2つの同一の1×N周波数ルーティングデバイスを
用いている。2つのデバイスをつなぐそれぞれの通路に
は、ゲートのような働きをする集積光増幅器を有する。
いくつかの異なる周波数チャネルを持つ入力信号は、
第一の周波数ルーティングデバイスの出力ポート内で分
割され、第2の周波数ルーティングデバイスの各々の入
力部へ直進する。第2の周波数ルーティングデバイスは
周波数の多重集合から選ばれた周波数を出力できる。そ
れらのチャネルのいずれもが、第1及び第2周波数ルー
ティングデバイスの間の各々のゲートを開放し各々の光
増幅器を作動させることによって選択される。他のチャ
ネルは各々の光増幅器の非活性化により減衰される。こ
のようにして、選択されたチャネルだけが第2周波数ル
ーティングデバイスを出る。広帯域増幅器ノイズは、選
択された周波数の通路と一致する周波数ノイズ要素だけ
が第2ルーティングデバイスを出るので、取り除かれ
る。残りの増幅器ノイズは、第2周波数ルーティングの
未使用の他のN−1個の出力内に消失する。
調光フィルタが開発された。本発明による光フィルタ
は、高度な周波数選択度と広範囲の同調範囲を提供で
き、従来の光フィルタを実現させるための費用よりも低
価格で実現できる光集積回路に基づいている。本発明の
一実施例に於いて、本発明の発明者は、例えば米国特許
第5,002,350号及び第5,136,671号に
記載されているマルチプレクサ/デマルチプレクサ等を
広範囲の同調範囲を持つモノリシックな高速光フィルタ
を創造するために使用出来ることを見い出した。とりわ
けこの実施例には、相互に連結した周波数選択ポートを
持つ2つの同一の1×N周波数ルーティングデバイスを
用いている。2つのデバイスをつなぐそれぞれの通路に
は、ゲートのような働きをする集積光増幅器を有する。
いくつかの異なる周波数チャネルを持つ入力信号は、
第一の周波数ルーティングデバイスの出力ポート内で分
割され、第2の周波数ルーティングデバイスの各々の入
力部へ直進する。第2の周波数ルーティングデバイスは
周波数の多重集合から選ばれた周波数を出力できる。そ
れらのチャネルのいずれもが、第1及び第2周波数ルー
ティングデバイスの間の各々のゲートを開放し各々の光
増幅器を作動させることによって選択される。他のチャ
ネルは各々の光増幅器の非活性化により減衰される。こ
のようにして、選択されたチャネルだけが第2周波数ル
ーティングデバイスを出る。広帯域増幅器ノイズは、選
択された周波数の通路と一致する周波数ノイズ要素だけ
が第2ルーティングデバイスを出るので、取り除かれ
る。残りの増幅器ノイズは、第2周波数ルーティングの
未使用の他のN−1個の出力内に消失する。
【0005】
【実施例】図1は、広周波数範囲にわたって高速に同調
可能な本発明に係る光フィルタの一実施例を示した図で
ある。このフィルタは、周波数ルーティングデバイス、
導波路、そして光学活性部分を有している。これらの構
造は、半導体ウエハ上にモノリシックに集積して形成さ
れる。
可能な本発明に係る光フィルタの一実施例を示した図で
ある。このフィルタは、周波数ルーティングデバイス、
導波路、そして光学活性部分を有している。これらの構
造は、半導体ウエハ上にモノリシックに集積して形成さ
れる。
【0006】図1は、InGaAsPなどのInP材料
等の半導体材料よりなるウエハ10を示している。第一
入力周波数ルーティングデバイス12は、ウエハ10上
に形成されている。周波数ルーティングデバイス12
は、単一の導波路14から多重化されたN個の入力光周
波数F1、F2、...、FNを受信する。周波数ルーテ
ィングデバイス12は、この入力光周波数をデマルチプ
レクス(分離)し、これらの周波数の各々を出力に接続
された個別の出力導波路16に導く。周波数F1は出力
導波路161に導かれ、周波数F2は出力導波路162に
導かれ、同様にして周波数FNは出力導波路16Nに導か
れる。出力導波路161、162、...、16Nは、導
波路中の制御可能な透過率を有するドーピングされた部
分に対する入力に接続されている。 このドーピング
は、適切に配置された半導体接合が規定されるようにな
される。これらの部分は光学活性であり、電気エネルギ
ーを印加することによって光エネルギーフローに対して
透明になり、さらにはそれらを通過する光信号に対して
ある程度の利得を与えるようにもなる。これらドーピン
グされた部分は、電気的に活性化されない場合には、実
質的に光に対して不透明である。よって、適切にドーピ
ングされた部分は、電気エネルギーによって励起される
か否かに依存して、ゲート(あるいは光増幅器)として
みなすことが出来る。図1に示されているようなInP
製ウエハ10などのウエハにこのような部分を形成する
ことの詳細に関しては一般に公知であるにで、ここでは
説明しない。図1に即して詳細に述べれば、出力導波路
161は光学活性部分181の入力に接続されており、出
力導波路162は光学活性部分182の入力に接続されて
おり、同様にして出力導波路16Nは光学活性部分18N
の入力に接続されている。
等の半導体材料よりなるウエハ10を示している。第一
入力周波数ルーティングデバイス12は、ウエハ10上
に形成されている。周波数ルーティングデバイス12
は、単一の導波路14から多重化されたN個の入力光周
波数F1、F2、...、FNを受信する。周波数ルーテ
ィングデバイス12は、この入力光周波数をデマルチプ
レクス(分離)し、これらの周波数の各々を出力に接続
された個別の出力導波路16に導く。周波数F1は出力
導波路161に導かれ、周波数F2は出力導波路162に
導かれ、同様にして周波数FNは出力導波路16Nに導か
れる。出力導波路161、162、...、16Nは、導
波路中の制御可能な透過率を有するドーピングされた部
分に対する入力に接続されている。 このドーピング
は、適切に配置された半導体接合が規定されるようにな
される。これらの部分は光学活性であり、電気エネルギ
ーを印加することによって光エネルギーフローに対して
透明になり、さらにはそれらを通過する光信号に対して
ある程度の利得を与えるようにもなる。これらドーピン
グされた部分は、電気的に活性化されない場合には、実
質的に光に対して不透明である。よって、適切にドーピ
ングされた部分は、電気エネルギーによって励起される
か否かに依存して、ゲート(あるいは光増幅器)として
みなすことが出来る。図1に示されているようなInP
製ウエハ10などのウエハにこのような部分を形成する
ことの詳細に関しては一般に公知であるにで、ここでは
説明しない。図1に即して詳細に述べれば、出力導波路
161は光学活性部分181の入力に接続されており、出
力導波路162は光学活性部分182の入力に接続されて
おり、同様にして出力導波路16Nは光学活性部分18N
の入力に接続されている。
【0007】活性部分181、182、...、18Nの
出力は、Nx1出力周波数ルータ22の対応する入力導
波路201、202、...、20Nに接続されている。
周波数ルータ22は、入力ルータ12と出力ルータ22
との間の全ての活性部分が電気エネルギーによって活性
化されている場合には、N個の入力導波路上の単一周波
数を単一の出力導波路24上に多重化する。複数個の活
性部分18のうちの一つのみが電気エネルギーによって
活性化されている場合には、その活性化された部分を通
過する周波数のみが出力導波路24上に現れる。よっ
て、適切な活性部分18を活性化することによって、図
1に示されているデバイスは、導波路14上に現れる多
重化された入力周波数に対する光フィルタとして機能す
る。
出力は、Nx1出力周波数ルータ22の対応する入力導
波路201、202、...、20Nに接続されている。
周波数ルータ22は、入力ルータ12と出力ルータ22
との間の全ての活性部分が電気エネルギーによって活性
化されている場合には、N個の入力導波路上の単一周波
数を単一の出力導波路24上に多重化する。複数個の活
性部分18のうちの一つのみが電気エネルギーによって
活性化されている場合には、その活性化された部分を通
過する周波数のみが出力導波路24上に現れる。よっ
て、適切な活性部分18を活性化することによって、図
1に示されているデバイスは、導波路14上に現れる多
重化された入力周波数に対する光フィルタとして機能す
る。
【0008】更に、デジタルゲート制御回路26が、図
1の構造に対して付加されている。このデジタルゲート
制御回路26は、図1に示されているデバイスに対する
入力ストリーム中の不要な周波数を抑圧して、図1のデ
バイスの出力から一つあるいは複数の必要とする周波数
のみを得るよう、2つの周波数ルータ12,22間の活
性部分18のうちの所定のものに対して電気エネルギー
を選択的に供給する。
1の構造に対して付加されている。このデジタルゲート
制御回路26は、図1に示されているデバイスに対する
入力ストリーム中の不要な周波数を抑圧して、図1のデ
バイスの出力から一つあるいは複数の必要とする周波数
のみを得るよう、2つの周波数ルータ12,22間の活
性部分18のうちの所定のものに対して電気エネルギー
を選択的に供給する。
【0009】図2は、図1に示された光ルーティングデ
バイス12、22の一例を詳細に示した図である。各々
の周波数ルーティングデバイスは、自由空間領域42に
接続された複数個の入力導波路41を有している。複数
個の出力導波路43が自由空間領域42から延在してお
り、光学回折格子44に接続されている。光学回折格子
44は、複数個の異なる長さを有する導波路によって構
成されており、出力導波路43と他方の自由空間領域4
6に接続された対応する複数個の入力導波路45との間
に所定量の経路長差を実現する。自由空間領域46は、
複数個の出力導波路48に接続されている。これらの周
波数ルーティングデバイスは、光学周波数のマルチプレ
クサ及びデマルチプレクサとして機能する。これらの周
波数ルーティングデバイスの構成及びその動作は、前掲
の米国特許により詳細に記述されている。図2の構成が
図1の周波数ルーティングデバイス12の場合、入力導
波路41のうちの一つは導波路14に接続されており、
出力導波路48は、導波路161、162、...、16
Nに接続されている。図2の構成が図1の周波数ルーテ
ィングデバイス22の場合、入力導波路41は、図1に
示されている導波路201、202、...、20Nのう
ちの対応するものに接続されており、出力導波路48の
うちの一つは、図1の導波路24に接続されている。図
2に示されているような周波数ルーティングデバイスの
周波数分解能は、そのデバイスの形状、特に図2に示さ
れている光学回折格子44によって実現される経路長差
の大きさ、によって決定される。
バイス12、22の一例を詳細に示した図である。各々
の周波数ルーティングデバイスは、自由空間領域42に
接続された複数個の入力導波路41を有している。複数
個の出力導波路43が自由空間領域42から延在してお
り、光学回折格子44に接続されている。光学回折格子
44は、複数個の異なる長さを有する導波路によって構
成されており、出力導波路43と他方の自由空間領域4
6に接続された対応する複数個の入力導波路45との間
に所定量の経路長差を実現する。自由空間領域46は、
複数個の出力導波路48に接続されている。これらの周
波数ルーティングデバイスは、光学周波数のマルチプレ
クサ及びデマルチプレクサとして機能する。これらの周
波数ルーティングデバイスの構成及びその動作は、前掲
の米国特許により詳細に記述されている。図2の構成が
図1の周波数ルーティングデバイス12の場合、入力導
波路41のうちの一つは導波路14に接続されており、
出力導波路48は、導波路161、162、...、16
Nに接続されている。図2の構成が図1の周波数ルーテ
ィングデバイス22の場合、入力導波路41は、図1に
示されている導波路201、202、...、20Nのう
ちの対応するものに接続されており、出力導波路48の
うちの一つは、図1の導波路24に接続されている。図
2に示されているような周波数ルーティングデバイスの
周波数分解能は、そのデバイスの形状、特に図2に示さ
れている光学回折格子44によって実現される経路長差
の大きさ、によって決定される。
【0010】図1のデバイスは、高速大容量光通信ネッ
トワークにおいて用いられている数多くの相異なった光
周波数に対して同調可能である。例えば、32あるいは
それ以上のNを有する周波数ルーティングデバイスを単
一の半導体ウエハ上に簡便に作製することが可能であ
る。図1の周波数ルーティングデバイスの間のドープさ
れた領域は、ナノ秒の速度で切り換えでき図1のフィル
タを所望の周波数に同調できる。
トワークにおいて用いられている数多くの相異なった光
周波数に対して同調可能である。例えば、32あるいは
それ以上のNを有する周波数ルーティングデバイスを単
一の半導体ウエハ上に簡便に作製することが可能であ
る。図1の周波数ルーティングデバイスの間のドープさ
れた領域は、ナノ秒の速度で切り換えでき図1のフィル
タを所望の周波数に同調できる。
【0011】以上の説明は、本発明の一実施例に関する
もので,この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例が考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。
もので,この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例が考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。
【0012】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、光
周波数の広い範囲にわたって波長可変可能な適切な光フ
ィルタが提供される。
周波数の広い範囲にわたって波長可変可能な適切な光フ
ィルタが提供される。
【図1】本発明の広帯域同調可能フィルタの一例を示す
ブロック図。
ブロック図。
【図2】図1に示されている周波数ルーティングデバイ
スの詳細を示すブロック図。
スの詳細を示すブロック図。
10 半導体ウエハ 14、16、20、24、導波路12 、22 周波数ルーティングデバイス 18 光学活性部分 26 ゲート制御回路 41 入力導波路 42 自由空間領域 43 出力導波路 44 光学回折格子 45 入力導波路 46 自由空間領域 48 出力導波路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ビー.グランス アメリカ合衆国、07722 ニュージャージ ー、コルツ ネック、ウッドホロウ ロー ド 64 (72)発明者 アール.ダブリュ.ウィルソン アメリカ合衆国、07733 ニュージャージ ー、ホルムデル、バレイ ポイント ドラ イブ 9
Claims (7)
- 【請求項1】 複数の多重光周波数を受信する入力周波
数ルーティングデバイス(12)と、 入力周波数ルーティングデバイス(12)に応答して、
所定の多重光周波数を光出力する出力ルーティングデバ
イス(22)とを有することを特徴とする可変集積光フ
ィルタ装置。 - 【請求項2】 前記入力周波数ルーティングデバイス
(12)からの複数個の出力を前記出力周波数ルーティ
ングデバイス(22)の複数個の入力に接続する複数個
の導波路(16,20)を有し、 前記複数個の導波路(16,20)の各々が、その透過
率が制御可能である部分(18)を有することを特徴と
する請求項1に記載の装置。 - 【請求項3】 前記入力周波数ルーティングデバイスに
よって受信された複数個の多重化された光周波数のうち
の所定の一つあるいは複数に対して前記光フィルタを同
調させるために、前記透過率制御可能部分(18)の所
定の一つあるいは複数に対して電気エネルギーを選択的
に供給する制御回路(26)を有することを特徴とする
請求項2に記載の装置。 - 【請求項4】 前記入力周波数ルーティングデバイス
(12)が、 入力導波路(41)と、 前記入力導波路(41)に接続された第一の自由空間領
域(42)と、 前記第一の自由空間領域(42)に接続された複数個の
出力導波路(43)と、 複数個の異なる長さを有する導波路よりなり前記複数個
の出力導波路(43)に接続された光学回折格子(4
4)と、 前記光学回折格子(44)に接続された複数個の入力導
波路(45)と、 前記複数個の入力導波路(45)に接続された第二の自
由空間領域(46)と、 前記第二の自由空間領域(46)に接続された複数個の
出力導波路(48)と、を有することを特徴とする請求
項1に記載の装置。 - 【請求項5】 前記出力周波数ルーティングデバイス
(22)が、 複数個の入力導波路(41)と、 前記入力導波路(41)に接続された第一の自由空間領
域(42)と、 前記第一の自由空間領域(42)に接続された複数個の
出力導波路(43)と、 複数個の異なる長さを有する導波路よりなり前記複数個
の出力導波路(43)に接続された光学回折格子(4
4)と、 前記光学回折格子(44)に接続された複数個の入力導
波路(45)と、 前記複数個の入力導波路(45)に接続された第二の自
由空間領域(46)と、 前記第二の自由空間領域(46)に接続された出力導波
路(48)と、を有することを特徴とする請求項1に記
載の装置。 - 【請求項6】 前記出力周波数ルーティングデバイス
(22)が、 複数個の入力導波路(41)と、 前記入力導波路(41)に接続された第一の自由空間領
域(42)と、 前記第一の自由空間領域(42)に接続された複数個の
出力導波路(43)と、 複数個の異なる長さを有する導波路よりなり前記複数個
の出力導波路(43)に接続された光学回折格子(4
4)と、 前記光学回折格子(44)に接続された複数個の入力導
波路(45)と、 前記複数個の入力導波路(45)に接続された第二の自
由空間領域(46)と、 前記第二の自由空間領域(46)に接続された出力導波
路(48)と、を有することを特徴とする請求項4に記
載の装置。 - 【請求項7】 前記入力周波数ルーティングデバイス
(12)の複数個の出力導路波(16)の各々が、透過
率制御可能部分(18)の一つを介して、出力周波数ル
ーティングデバイス(22)の複数個の入力導波路(2
0)の各々に接続されることを特徴とする請求項6に記
載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/019,961 US5339157A (en) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | Rapidly tunable integrated optical filter |
| US019961 | 1993-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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