JPH06258047A

JPH06258047A - バンプ検査用データの教示方法

Info

Publication number: JPH06258047A
Application number: JP6760293A
Authority: JP
Inventors: Yukiya Sawanoi; 幸哉澤野井; Yoshiki Fujii; 良樹藤井
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1993-03-02
Filing date: 1993-03-02
Publication date: 1994-09-16

Abstract

(57)【要約】【目的】検査用データの教示に要する労力と時間とを大
幅に節減する。【構成】各バンプの形成状態が良好な基準ウエハ１Ｓを
用いてバンプの自動検査用のデータを教示する。まず、
ウエハ１Ｓの左下端の第１のチップＴ₁を撮像し、その
撮像画像より各バンプＢ₁₁〜Ｂ₁₄の位置座標，しきい値
などの色パラメータ情報Ｃ₁〜Ｃ_{4 ,}バンプの良否判定
のための検査基準の情報Ｐ₁〜Ｐ₄などを教示する。こ
れら検査用データのうちバンプの位置座標を除くデータ
については、他のチップＴ_iについても同様であり、各
データは共通データファイル２５として制御処理部のメ
モリ１３内に記憶される。他のチップＴ_iの検査用デー
タ教示時には、各バンプＢ_i1〜Ｂ_i4の位置座標を教示し
た後、共通データファイル２５のデータをそのままこの
バンプ群の検査用データとして流用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ウエハ上に形成され
た各バンプの形状などを画像処理技術を用いて自動検査
するのに用いられるバンプの自動検査装置に関し、殊に
この発明は、バンプの検査に必要なデータを自動検査装
置に教示するための教示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＩＣやＬＳＩは、チップの周辺へ
ワイヤボンディングによりリード線を導出してパッケー
ジ側のリードに電気接続して成る。ところがこの種の接
続構造では、接続作業に手数を要し、製品がコスト高と
なるばかりでなく、回路の高密度化や部品の小型化に対
応できないという問題がある。

【０００３】そこで近年、チップの表面にバンプと称さ
れる接続用の電極を多数形成し、これらバンプを介して
チップを基板へ直接電気接続する方法が実用化された。

【０００４】このバンプは、その材質が金やはんだなど
の微小球体であり、その直径は通常１００〜２００μｍ
程度のものである。このバンプの形状が不良であると、
接続不良が発生するため、バンプの品質検査が不可欠で
あるが、従来、その種の検査は顕微鏡を用いた目視検査
に頼っている。

【０００５】通常、チップ１個につき数百個のバンプが
形成されるため、ウエハ１枚についてのバンプ数は数万
個の単位となり、従来の目視検査ではウエハ上のバンプ
全てを検査することは実際上不可能である。このためウ
エハ上のバンプを無作為に抽出して検査するという検査
方法による他はなく、不良品の発生を完全に抑えること
ができないという問題がある。

【０００６】そこで出願人は、先般、画像処理技術を用
いてウエハ上のバンプの品質を自動的に検査することに
より、人手によらず高精度の検査を行うバンプ自動検査
装置を提案した。

【０００７】このバンプ自動検査装置を使用する場合、
検査に先立ち、被検査ウエハ上のどの位置に、どのよう
なバンプが、どのように形成されるかを、ウエハの種別
ごとにバンプ自動検査装置に教示する必要がある。この
教示作業は一般に「ティーチング」と呼ばれる。

【０００８】バンプの品質の検査に関わる情報（以下、
単に「検査用データ」という）には、被検査ウエハ上の
バンプの位置や種類の他に、検査領域として設定される
ウィンドウに関する情報（形状，大きさなど）、ウエハ
上の各バンプに関する情報（形状，長さ，幅など）、バ
ンプの形成状態などを表す特徴パラメータに関する情報
（色相，明度など）、特徴パラメータなどの良否を判定
するための判定基準などがある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところでウエハには、
同一構成のバンプ群がチップ単位で多数形成されてお
り、各バンプ群の検査用データは、各バンプの位置以外
は全て同一である。それにもかかわらず各バンプについ
て同じ検査用データを繰り返し教示しているため、教示
作業に多大の労力と時間とを要する上、すべての教示デ
ータを記憶するために膨大なメモリ容量が必要になると
いう問題がある。

【００１０】この発明は、上記問題に着目してなされた
もので、教示に際して特定のバンプの一群についての検
査用データを流用することにより、教示作業における労
力や時間を大幅に削減すると共に、教示データを記憶す
るためのメモリ容量を大幅に削減できるバンプ検査用デ
ータの教示方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、ウエハ上に
形成された複数のバンプの各品質を自動検査するための
検査用データをバンプ自動検査装置に教示する方法であ
って、特定のバンプの一群について前記バンプ自動検査
装置に教示された検査用データの集合を、他のバンプの
一群に含まれる各バンプの検査用データに流用してバン
プ自動検査装置に教示することを特徴としている。

【００１２】前記バンプ自動検査装置に教示するデータ
として、請求項２の発明では、ウエハ上のすべてのバン
プの位置データが含まれており、また請求項３の発明で
は、特定のバンプの一群を構成する各バンプの位置デー
タと、他のバンプの一群の前記特定のバンプの一群に対
する相対位置データとが含まれている。

【００１３】

【作用】ウエハ上の特定のバンプの一群について教示さ
れた検査用データを、このバンプの一群と同一構成の他
のバンプの一群についての検査用データに流用するの
で、教示に要する労力と時間とが大幅に節減される。

【００１４】請求項３の発明では、各バンプの位置デー
タとして、特定のバンプの一群についての位置データ
と、他のバンプの一群の前記特定のバンプの一群に対す
る相対位置データとを教示するようにしたので、教示デ
ータ記憶用のメモリ容量が削減される。

【００１５】

【実施例】図１は、バンプ自動検査装置の全体構成を示
す。このバンプ自動検査装置は、基準ウエハ１Ｓを撮像
して得られた前記基準ウエハ１Ｓ上にある各バンプ２Ｓ
の検査領域の特徴パラメータと、被検査ウエハ１Ｔを撮
像して得られた前記被検査ウエハ１Ｔ上にある各バンプ
２Ｔの検査領域の特徴パラメータとを比較して、各バン
プ２Ｔの品質を検査するためのもので、Ｘ軸テーブル部
３，Ｙ軸テーブル部４，投光部５，撮像部６，制御処理
部７などをその構成として含んでいる。

【００１６】前記Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テーブル
部４は、それぞれ制御処理部７からの制御信号に基づい
て動作するモータ（図示せず）を備えており、これらモ
ータの駆動によりＸ軸テーブル部３が撮像部６をＸ方向
へ移動させ、またＹ軸テーブル部４がウエハ１Ｓ，１Ｔ
を支持するコンベヤ８をＹ方向へ移動させる。

【００１７】前記投光部５は、異なる径を有しかつ制御
処理部７からの制御信号に基づき緑色光，赤色光，青色
光を同時に照射する３個の円環状光源９，１０，１１に
より構成されており、各光源９，１０，１１を検査位置
の真上位置に中心を合わせかつ検査位置から見て異なる
仰角に対応する方向に位置させている。

【００１８】この実施例では、各光源９，１０，１１と
して白色光源に緑色，赤色，青色の各着色透明板を被せ
た構造のものが用いてあるが、これに代えて、緑色光，
赤色光，青色光をそれぞれ発生する３本の円環状のカラ
ー蛍光灯やネオン管を用いてもよい。

【００１９】つぎに撮像部６は、カラーテレビカメラが
用いられ、検査位置の真上位置に下方に向けて位置決め
してある。これにより検査対象であるウエハ１Ｓ，１Ｔ
の表面の反射光が撮像部６により撮像され、三原色のカ
ラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂに変換されて制御処理部７へ供給さ
れる。

【００２０】制御処理部７は、Ａ／Ｄ変換部１２，メモ
リ１３，ティーチングテーブル１４，画像処理部１５，
判定部１６，ＸＹテーブルコントローラ１７，撮像コン
トローラ１８，表示部２０，プリンタ２１，キーボード
２２，フロッピディスク装置２３，制御部２４などで構
成されるもので、ティーチングモードのとき、検査位置
に搬入された基準ウエハ１Ｓについてのカラー信号Ｒ，
Ｇ，Ｂを処理し、基準ウエハ１Ｓの各バンプの検査領域
について赤，緑，青の色相や明度などの特徴パラメータ
を適用して判定データファイルを作成する。

【００２１】また検査モードのとき、被検査ウエハ１Ｔ
についてのカラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂを処理し、被検査ウエ
ハ１Ｔ上の各バンプ２Ｔの検査領域につき赤，緑，青の
各色パターンを検出して特徴パラメータを生成し、被検
査データファイルを作成する。そしてこの被検査データ
ファイルと前記判定データファイルとを比較して、この
比較結果から被検査ウエハ１Ｔ上の各バンプ２Ｔにつき
形状の良否などの品質を自動的に判定する。

【００２２】図２は、バンプの形状が良好であるとき、
バンプが欠落しているとき、バンプ形状が不良であると
きのバンプ４４〜４６の断面形態と、各場合の撮像部６
による撮像パターン，赤色パターン，緑色パターン，青
色パターンとの関係を一覧表で例示している。

【００２３】同図の撮像パターンにおいて、３０Ｇ，３
０Ｒ，３０Ｂはバンプ表面で緑色光，赤色光，青色光が
それぞれ正反射して撮像部６へ入射することにより生成
される緑色領域，赤色領域，青色領域である。３０ＢＬ
はいずれの光の正反射光も撮像部６に入射しないかまた
は入射光量が少ないために生成される黒色領域である。
３１Ｇは緑色の背景で混合光が反射して撮像部６へ入射
するこにより生成される淡い緑色領域である。従って緑
色パターンには緑色領域３０Ｇ，３１Ｇが、赤色パター
ンには赤色領域３０Ｒが、青色パターンには青色領域３
０Ｂが、それぞれ抽出されて現れる。

【００２４】同図によれば、バンプの形状が良好である
ときの各色パターンと、バンプが欠落しているときおよ
びバンプの形状が不良であるときのそれぞれの各色パタ
ーンとは、明確に相違するため、検査対象にかかる各色
パターンを正常な色パターンと比較することによりバン
プの有無やバンプの形状の良否を判定することが可能で
ある。

【００２５】またバンプの欠落がなくかつバンプの形状
が不良でない場合であっても、黒色領域３０ＢＬの外周
縁は上方から見たバンプの外形に対応しているので、例
えば緑色パターンを用いてＸ方向またはＹ方向の直径Ｄ
_X，Ｄ_Yや外側の緑色領域３１Ｇ内の面積を算出すれ
ば、バンプのサイズを求めることができ、バンプの大き
さの度数分析評価やサイズの良否を判定できる。またＸ
方向の直径Ｄ_XとＹ方向の直径Ｄ_Yとの比率や円形度
（４π×面積／周囲長²）を算出すれば、バンプの形状
の歪み度合いを判定できる。

【００２６】さらに各光源９，１０，１１の幅、光源間
の距離、各光源９，１０，１１の高さが決まっているの
で、各光源９，１０，１１の幅および光源間の距離を各
色パターンより計測することにより、バンプの高さを算
出でき、バンプの高さの良否判定を行うことが可能であ
る。

【００２７】図１に戻って、Ａ／Ｄ変換部１２は前記撮
像部６からのカラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂをディジタル信号に
変換して制御部２４へ出力する。メモリ１３はＲＡＭな
どを備え、制御部２４の作業エリアとして使用される。
画像処理部１５は制御部２４を介して供給された画像デ
ータを画像処理して前記被検査データファイルや判定デ
ータファイルを作成し、これらを制御部２４や判定部１
６へ供給する。

【００２８】ティーチングテーブル１４はティーチング
時に制御部２４から判定データファイルが供給されたと
き、これを記憶し、また検査時に制御部２４が転送要求
を出力したとき、この要求に応じて判定データファイル
を読み出してこれを制御部２４や判定部１６などへ供給
する。

【００２９】判定部１６は、検査時に制御部２４から供
給された判定データファイルと、前記画像処理部１５か
ら転送された被検査データファイルとを比較して、被検
査ウエハ１Ｔの各バンプ２Ｔにつきバンプ形状の良否な
どを判定し、その判定結果を制御部２４へ出力する。

【００３０】撮像コントローラ１８は、制御部２４と投
光部５および撮像部６とを接続するインターフェイスな
どを備え、制御部２４の出力に基づき投光部５の各光源
９〜１１の光量を調整したり、撮像部６の各色相光出力
の相互バランスを保つなどの制御を行う。

【００３１】ＸＹテーブルコントローラ１７は制御部２
４と前記Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テーブル部４とを
接続するインターフェイスなどを備え、制御部２４の出
力に基づきＸ軸テーブル部３およびＹ軸テーブル部４を
制御する。

【００３２】表示部２０は、制御部２４から画像デー
タ、検査結果、キー入力データなどが供給されたとき、
これを表示画面上に表示し、またプリンタ２１は、制御
部２４から検査結果などが供給されたとき、これを予め
決められた書式（フォーマット）でプリントアウトす
る。

【００３３】キーボード２２は、操作情報や基準ウエハ
１Ｓや被検査ウエハ１Ｔに関するデータなどを入力する
のに必要な各種キーを備えており、キー入力データは前
記制御部２４へ供給される。制御部２４は、マイクロプ
ロセッサなどを備えており、後述する手順に従って、テ
ィーチングおよび検査におけるバンプ自動検査装置の動
作を制御する。

【００３４】この実施例では、バンプ自動検査装置に各
バンプの検査用データを教示するに際し、特定のバンプ
群、すなわちここでは１つのチップのバンプ群につい
て、検査用データを教示した後、この検査用データを他
のチップのバンプ群の検査用データとして流用してバン
プ自動検査装置へ教示する。

【００３５】図３，４は、ティーチングの一例を示し、
以下、図４（１）（２）を参照しつつ図３に従ってこの
ティーチングの手順を説明する。なお、図４（１）に例
示した基準ウエハ１Ｓは、説明の都合上、チップＴ_i毎
に同一構成の４個のバンプＢ_i1，Ｂ_i2，Ｂ_i3，Ｂ_i4）が
形成されているものとする。

【００３６】まず図３のステップ１において、オペレー
タはキーボード２２を操作して教示対象とするウエハ名
の登録を行い、またウエハサイズをキー入力した後、つ
ぎのステップ２で、基準ウエハ１ＳをＹ軸テーブル部４
上にセットしてスタートキーを押操作する。つぎにステ
ップ３でその基準ウエハ１Ｓの原点と右上および左下の
各角部を撮像部６にて撮像させて各点の位置により実際
の基準ウエハ１Ｓのサイズを入力した後、制御部２４は
入力データに基づきＸ軸テーブル部３およびＹ軸テーブ
ル部４を制御して基準ウエハ１Ｓを初期位置、すなわち
第１のチップＴ₁（図４（１）の例では基準ウエハ１Ｓ
の左下端のチップ）上に位置出しする。

【００３７】前記基準ウエハ１Ｓは、バンプ形成位置に
所定のバンプ２Ｓが適正に形成された良好な形状を有す
るものであって、この基準ウエハ１Ｓが初期位置に位置
決めされると、つぎのステップ４で、撮像部６により第
１のチップＴ₁についてのバンプ群を撮像し、各バンプ
Ｂ₁₁〜Ｂ₁₄ごとにその位置を教示した後、撮像画像より
バンプの自動検査に必要な特徴パラメータを抽出してこ
れを検査用データとして教示する（ステップ５〜７）。

【００３８】このとき教示される検査用データは、図４
（２）に示すごとく、各バンプＢ₁₁〜Ｂ₁₄の位置座標
（ｘ₁₁，ｙ₁₁），（ｘ₁₂，ｙ₁₂），（ｘ₁₃，ｙ₁₃），
（ｘ₁₄，ｙ₁₄）の他、図２に示したような各バンプＢ₁₁
〜Ｂ₁₄の各色パターンを抽出するための明度や色度の２
値化しきい値などの情報（以下これを「色パラメータ情
報」という）Ｃ₁〜Ｃ₄，バンプＢ₁₁〜Ｂ₁₄の品質の良
否を判定するための検査基準の情報Ｐ₁〜Ｐ₄などであ
る。

【００３９】前記色パラメータ情報Ｃ₁〜Ｃ₄，検査基
準の情報Ｐ₁〜Ｐ₄などの検査用データは、他のチップ
Ｔ_iのバンプＢ_i1〜Ｂ_i4についても同じであり、これら
のデータはすべてのチップに共通の検査用データファイ
ル２５（以下「共通データファイル２５」という）とし
てメモリ１３内に記憶される（ステップ８）。

【００４０】つぎのステップ９では、隣接するつぎのチ
ップ（この場合、チップＴ₁の右隣のチップＴ₂）上に
撮像装置６を移動させ、ステップ１０で、チップＴ₂の
各バンプＢ₂₁〜Ｂ₂₄を順次撮像してその位置を教示す
る。すべてのバンプＢ₂₁〜Ｂ₂₄の位置が教示されると、
ステップ１１が「ＹＥＳ」となってステップ１２へと移
行し、制御部２４はメモリ１３より前記共通データファ
イル２５を読み出して、各バンプＢ₂₁〜Ｂ₂₄のそれぞれ
について対応する検査用データを教示する（ステップ１
２）。

【００４１】上記ステップ１０〜１２の手順により、図
４（２）に示すごとく、バンプＢ₂₁についてはその位置
座標（ｘ₂₁，ｙ₂₁）の他に前記バンプＢ₁₁と同様の色パ
ラメータ情報Ｃ₁と検査基準の情報Ｐ₁とが教示され
る。同様に、バンプＢ₂₂については位置座標（ｘ₂₂，ｙ
₂₂），色パラメータ情報Ｃ₂，検査基準の情報Ｐ₂が、
バンプＢ₂₃については位置座標（ｘ₂₃，ｙ₂₃），色パラ
メータ情報Ｃ_3,検査基準の情報Ｐ₃が、バンプＢ₂₄につ
いては位置座標（ｘ₂₄，ｙ₂₄），色パラメータ情報
Ｃ₄，検査基準の情報Ｐ₄が、それぞれ教示され、これ
らの情報が判定データファイル２６内に格納される。

【００４２】以下同様にして、順次各チップＴ_iについ
て前記ステップ９〜１２の手順が実行され、各バンプＢ
_i1〜Ｂ_i4についての検査用データとして各位置座標，色
パラメータ情報，検査基準の情報などが教示される。す
べてのチップについての教示が完了するとステップ１３
の判定が「ＹＥＳ」となり、つぎのステップ１４で制御
部２４は、図４（２）に示した内容の判定データファイ
ル２６をティーチングテーブル１４に記憶させる。

【００４３】図５，６は、ティーチングの他の例を示
す。このティーチングも前記の図４（１）と同様の基準
ウエハ１Ｓを用いて行うもので、まずステップ１〜３
で、図３のステップ１〜３と同様の手順を実行した後、
つぎのステップ４で各チップＴ_iについての基準点ｔ_i
（図６（１）に示す）の位置が教示される。なお、この
基準点ｔ_iの教示は、オペレータによる手入力のほか、
ウエハ作成時に用いられるＣＡＤデータなどを利用する
こともできる。

【００４４】つぎのステップ５で、第１の実施例と同
様、基準とするチップＴ₁が撮像されて、各バンプＢ₁₁
〜Ｂ₁₄について、位置座標や、色パラメータ情報Ｃ₁〜
Ｃ₄，検査基準の情報Ｐ₁〜Ｐ₄などが検査用データと
して順次教示される（ステップ６，７）。この教示が終
了すると、ステップ８の判定が「ＹＥＳ」となってステ
ップ９へ移行し、制御部２４は、教示された各データを
判定データファイルとしてまとめてティーチングテーブ
ル１４に記憶させる。

【００４５】このとき作成される判定データファイル２
６´は、図６（２）に示すごとく、基準データファイル
２７と位置データファイル２８とで構成される。前記基
準データファイル２７は、図５のステップ５，６で教示
された第１のチップＴ₁についての各バンプＢ₁₁〜Ｂ₁₄
の検査用データ、すなわち各バンプの位置座標，および
色パラメータ情報Ｃ₁〜Ｃ₄，検査基準の情報Ｐ₁〜Ｐ
₄などを記憶したものである。また位置データファイル
２８は、図５のステップ４で記憶された各チップＴ_iの
基準点ｔ_iの座標（Ｘ_i，Ｙ_i）を記憶したものであ
る。

【００４６】なお、前記基準点ｔ_iは図６（１）に示し
た位置に限らず各チップＴ_i間で対応する位置に自由に
設定してよい。

【００４７】図７は、図３の手順によって作成された判
定データファイル２６を用いたバンプ自動検査の手順を
示すもので、同図のステップ１，２で検査すべきウエハ
名を選択してバンプ自動検査の開始操作を行う。つぎの
ステップ３は、バンプ自動検査装置への被検査ウエハ１
Ｔの供給をチェックしており、「ＹＥＳ」の判定でコン
ベヤ８が作動して、Ｙ軸テーブル部４に被検査ウエハ１
Ｔが搬入される（ステップ４）。

【００４８】ステップ５において、制御部２４はＸ軸テ
ーブル部３およびＹ軸テーブル部４を制御して、被検査
ウエハ１Ｔ上の１番目のバンプ２Ｔについて教示された
位置座標データをもとに撮像部６の視野を位置決めして
撮像を行わせ、検査領域を自動抽出する。つぎのステッ
プ６では教示された色パラメータ情報に基づいて画像処
理を行い、被検査データファイルを作成する。ついで制
御部２４は、前記被検査データファイルを判定部１６に
転送させ、この被検査データファイルと前記判定データ
ファイル２６中の該当する検査基準の情報とを比較し
て、１番目のバンプ２Ｔにつき形状の良否などの品質を
判定させる（ステップ７）。

【００４９】このような検査が終了すると、つぎのステ
ップ８で、ウエハ１Ｔ上のすべてのバンプの検査が終了
したかどうかがチェックされ、この判定が「ＮＯ」のと
き、ステップ９で撮像部６をつぎのバンプ２Ｔ上へ移動
させた後、このバンプ２Ｔについて再びステップ５〜７
の手順で検査を行う。

【００５０】上記の検査が被検査ウエハ１Ｔ上の全ての
バンプ２Ｔにつき繰り返し実行されると、ステップ８が
「ＹＥＳ」となってステップ１０へ移行し、不良バンプ
の有無がチェックされる。その結果、不良のバンプがあ
ると、その不良バンプと不良内容とが表示部２０あるい
はプリンタ２１に出力された後、被検査ウエハ１Ｔは観
測位置より搬出される（ステップ１１，１２）。かくし
て同様の検査手順が全ての被検査ウエハ１Ｔにつき実行
されると、ステップ１３の判定が「ＹＥＳ」となって検
査が完了する。

【００５１】図８は、図６の手順により作成された判定
データファイル２６´によるバンプ自動検査の手順を示
す。まずステップ１〜ステップ４で、図７のステップ１
〜ステップ４と同様の手順が実行された後、つぎのステ
ップ５で、制御部２４は、位置データファイル２８より
チップＴ_iの基準点ｔ_iと第１のチップＴ₁の基準点ｔ
₁との位置座標を読み出し、つぎの式を用いてチッ
プＴ_iの基準となるチップＴ₁に対するＸ，Ｙ方向のピ
ッチα_i，β_iを求める。

【００５２】

【数１】

【００５３】

【数２】

【００５４】つぎのステップ６で制御部２４は、前記基
準データファイル２７のデータを読み出し、各バンプの
位置座標を元の座標に前記ピッチα_i,β_iを加算したも
のに変更し、これをチップＴ_iの検査用データとしてメ
モリ１３内に記憶させる。

【００５５】図９は、各チップＴ_iの検査に用いられる
検査用データの内容を示す。図示例から明らかなよう
に、第１のチップＴ₁についての検査用データは、基準
データファイル２７のデータをそのまま用いることにな
る。また２番目以降のチップＴ_iにおける各バンプＢ₁
〜Ｂ₄についての検査用データは、位置座標について
は、基準データファイル２７のデータ、すなわち第１の
チップＴ₁のバンプＢ₁〜Ｂ₄の座標に前記式で算
出されたピッチα_i,β_iを加算したものに変更され、他
の検査用データ、すなわち色パラメータ情報Ｃ₁〜
Ｃ₄，検査基準の情報Ｐ₁〜Ｐ₄については、基準デー
タファイル２７のデータがそのまま流用されることにな
る。

【００５６】図８に戻って、つぎのステップ７〜９で、
前記の検査用データを用いてチップＴ_i上の各バンプに
ついての検査（図７のステップ５〜７と同様のもの）が
行われる。つぎのステップ１０では、チップＴ_i上のす
べてのバンプが検査されたかどうかがチェックされ、こ
の判定が「ＮＯ」のときは、ステップ１１で、撮像装置
６をつぎのバンプ上へ移動させて再びステップ７〜１０
の検査手順を実行する。

【００５７】チップＴ_i上のすべてのバンプの検査が終
了すると、ステップ１２で、メモリ１３内に記憶されて
いたチップＴ_iの検査用データはクリアされ、つぎのス
テップ１３で、ウエハ１Ｔ上のすべてのチップＴ_iにつ
いて検査が行われたか否かがチェックされる。この判定
が「ＮＯ」のときは、ステップ５へ戻り、つぎのチップ
Ｔ_iについて上記と同様の手順が実行される。

【００５８】ウエハ１Ｔ上のすべてのチップＴ_iについ
ての検査が終了すると、ステップ１３が「ＹＥＳ」とな
ってステップ１４へ移行し、以下、図７のステップ１０
〜ステップ１３と同様の手順が実行される（ステップ１
４〜１７）。

【００５９】なお、上記２つの実施例では、１チップの
バンプ群についての検査用データを記憶させているが、
これに限らず、１つのチップの半分のバンプ群，あるい
は２枚のチップのバンプ群など、任意の大きさのバンプ
群を一単位として、同様に各実施例を適用することがで
きる。

【００６０】

【発明の効果】この発明は上記の如く、ウエハ上に形成
された複数のバンプの各品質を検査する際に、ウエハ上
の特定のバンプの一群についての検査用データを他のバ
ンプの一群に含まれる各バンプの検査用データに流用す
るようにしたから、教示に要する労力と時間とが大幅に
節減できる。請求項３の発明では、特定のバンプの一群
については各バンプの位置データを、また他のバンプの
一群については前記特定のバンプの一群に対する相対位
置データを、それぞれ教示するようにしたから、メモリ
容量を大幅に節減できるなど、発明目的を達成した顕著
な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】バンプ自動検査装置の全体構成を示す説明図で
ある。

【図２】バンプの形状の良否とパターンとの関係を示す
説明図である。

【図３】制御処理部によるティーチングの手順を示す説
明図である。

【図４】基準ウエハの構成および判定データファイルの
構成を示す説明図である。

【図５】制御処理部による第２のティーチングの手順を
示す説明図である。

【図６】基準ウエハの構成および判定データファイルの
構成を示す説明図である。

【図７】自動検査の手順を示すフローチャートである。

【図８】第２の自動検査の手順を示すフローチャートで
ある。

【図９】図８の手順における各チップについての検査用
データを示す説明図である。

【符号の説明】

１Ｓ，１Ｔウエハ２Ｓ，２Ｔバンプ７制御処理部１３メモリ１４ティーチングテーブル２４制御部２５共通データファイル２６２６´ 判定データファイル２７基準データファイル２８位置データファイル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハ上に形成された複数のバンプの各
品質を自動検査するための検査用データをバンプ自動検
査装置に教示する方法であって、特定のバンプの一群について前記バンプ自動検査装置に
教示された検査用データの集合を、他のバンプの一群に
含まれる各バンプの検査用データに流用してバンプ自動
検査装置に教示することを特徴とするバンプ検査用デー
タの教示方法。
【請求項２】前記バンプ自動検査装置に教示するデー
タとして、ウエハ上のすべてのバンプの位置データが含
まれている請求項１に記載されたバンプ検査用データの
教示方法。
【請求項３】前記バンプ自動検査装置に教示するデー
タとして、特定のバンプの一群を構成する各バンプの位
置データと、他のバンプの一群の前記特定のバンプの一
群に対する相対位置データとが含まれる請求項１に記載
されたバンプ検査用データの教示方法。