JPH06258243A - 実装部品検査装置 - Google Patents
実装部品検査装置Info
- Publication number
- JPH06258243A JPH06258243A JP6760093A JP6760093A JPH06258243A JP H06258243 A JPH06258243 A JP H06258243A JP 6760093 A JP6760093 A JP 6760093A JP 6760093 A JP6760093 A JP 6760093A JP H06258243 A JPH06258243 A JP H06258243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- calculated
- image
- chromaticity
- whiteness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
容易に決定できる。 【構成】部品の実装品質の検査に必要な色彩パターンを
抽出するための色パラメータの教示時に、対象となる部
品のカラー画像28を表示部20に表示する。オペレー
タがこのカラー画像28中の任意の点を指定すると、制
御部はこの指定点に対応する画素Aについての明度,三
原色の各色度,白さの値を算出して、表示部20の枠2
7内に表示させる。オペレータは表示された各値を参考
にして、明度,各色度,白さそれぞれについての2値化
しきい値を決定する。
Description
(以下単に「基板」という)に実装された電子部品につ
き、はんだ付け前は電子部品の有無や姿勢などを、はん
だ付け後ははんだ付け状態の良否などを、それぞれ検査
するのに用いられる実装部品検査装置に関連し、特にこ
の発明は、基板を撮像して得られたカラー画像より実装
部品の実装品質を検査するのに必要な任意の色彩パター
ンを抽出する機能を備えた実装部品検査装置に関する。
付け前のものとはんだ付け後のものとを総称して「実
装」という)について実装品質を検査するのに、目視に
よる検査が行われている。ところがこの種の目視検査で
は、検査ミスの発生が避けられず、検査結果も検査する
者によりまちまちであり、また検査処理能力にも限界が
ある。
につき、実装品質を画像処理技術を用いて自動的に検査
する実装部品検査装置が実用化された。この実装部品検
査装置は、基板上に実装された部品のはんだ付け状態な
どを自動検査するためのもので、部品の実装位置へ入射
角が異なる三原色光を照射する3個の光源と、はんだ付
け部位の表面からの反射光像を撮像するカラーテレビカ
メラと、このカラーテレビカメラで得られたカラー画像
を処理してはんだ付け状態の良否を判別する制御処理部
とを備えている。
査に先立ち、どのような部品が、どのように実装される
かにつき、基板の種別毎に実装部品検査装置に教示する
必要がある。この教示作業は「ティーチング」と呼ばれ
る。この実装部品の検査用データには、被検査基板上に
実装される部品の位置や種類の他に、検査領域に関する
情報や検査領域内の画像に関する情報や判定基準などが
含まれている。
像より任意の色彩パターンを抽出するための2値化しき
い値などの色パラメータが含まれる。前記色彩パターン
は、実装部品の実装品質を判別するのに必要な特徴パラ
メータを抽出するために用いられるもので、適正な基板
検査を実現するためには、この色彩パターンの抽出を正
確に行うことが前提となる。
像信号をA/D変換して得られた各画像データを色相毎
の2値化しきい値と画素単位で比較して2値化処理する
ことにより得られるもので、図9および図10に、カラ
ー画像の2値化処理方法の一例が示してある。
度の関係を表しており、明度の変化を縦軸31にとり、
円周上に波長の順序で赤,黄,緑,青,紫と並べてあ
る。色相は縦軸を中心とするリング32で、また彩度は
放射線33で、それぞれ表される。色相と彩度を併せて
色度と呼び、色度を表すものが色度図である。
表的なXY色度図である。このXY色度図において、任
意の色彩の領域34を斜線で示した場合、X=ru,X
=rd(ただしru≧rd)という関数を表せば、これ
ら関数はX軸(赤の色相に対応するR軸)のru,rd
の各点を通り、X軸に直交しかつスペクトル軌跡と交叉
する直線となる。同様に、Y=gu,Y=gd(ただし
gu≧gd)という関数を表せば、これら関数はY軸
(緑の色相に対応するG軸)のgu,gdの各点を通
り、Y軸に直交しかつスペクトル軌跡と交叉する直線と
なる。
ものであって、X+Y+Z=1(Zは青の色相に対応す
るB軸)の関係にあるから、青の色相についての定数b
u,bd(ただしbu≧bd)は次式で与えられる。
度r,g,bに対して前記定数ru,gu,buを色度
の2値化しきい値の上限値に、前記定数rd,gd,b
dを色度の2値化しきい値の下限値に、また明度Lに対
して定数Lu,Ldを明度の2値化しきい値の上限値お
よび下限値に、それぞれ予め設定しておき、カラーテレ
ビカメラからカラー画像を入力したとき、そのカラー入
力画像につき明度Lおよび赤,緑,青の各色度r,g,
bをつぎの(3) 式〜(6) 式により画素単位で算出し、明
度の算出データは前記上限値Luおよび下限値Ldと比
較し、各色度の算出データは前記上限値ru,gu,b
uおよび下限値rd,gd,bdとそれぞれ比較するこ
とによりカラー入力画像を2値化処理するものである。
いられる各2値化しきい値の設定は、ティーチング時
に、オペレータが画面に表示されたカラー画像を見なが
ら、各部品毎に経験的に決定し、これを実装部品検査装
置に教示している。しかしながらこのような教示方法で
は、オペレータの負担が増大し、教示作業に多大の労力
と時間とを要する上、決定された2値化しきい値がオペ
レータによってまちまちとなり、ティーチングデータが
正確性に欠けるという問題がある。
もので、カラー画像より実装部品の実装品質を検査する
のに必要な任意の色彩パターンを正確かつ容易に抽出す
ることが可能な実装部品検査装置を提供することを目的
とする。
装部品を撮像して得られたカラー画像より実装部品の実
装品質を検査するのに必要な任意の色彩パターンを抽出
する機能を備えた実装部品検査装置において、前記カラ
ー画像を記憶させる画像記憶手段と、前記カラー画像を
表示させる画像表示手段と、前記画像表示手段に表示さ
れたカラー画像に対して前記色彩パターンの抽出対象領
域を指定するための指定手段と、前記指定手段により指
定された領域についてのカラー画像情報を前記画像記憶
手段より読み出して明度,色度,白さに関わる値を算出
する演算手段と、前記演算手段による各算出値を前記画
像表示手段に表示させる表示制御手段とを備えたもので
ある。
では、前記指定手段は、前記抽出対象領域をその領域内
の1点で指定する手段であって、前記演算手段は、前記
指定手段により指定された点に対応する画素についての
カラー画像情報を前記画像記憶手段より読み出して、そ
の画素の明度,色度,白さを算出している。
では、前記指定手段は、前記抽出対象領域をその領域内
の複数の点で指定する手段であって、前記演算手段は、
前記指定手段により指定された各点に対応する各画素に
ついてのカラー画像情報を前記画像記憶手段より読み出
して、各画素の明度,色度,白さを算出すると共に、明
度,色度,白さの各算出値の最大値および最小値,平均
値,標準偏差の少なくともひとつを算出している。
では、前記指定手段は、前記抽出対象領域をその領域内
の領域で指定する手段であって、前記演算手段は、前記
指定手段により指定された領域に含まれる各画素につい
てのカラー画像情報を前記画像記憶手段より読み出し
て、各画素の明度,色度,白さを算出すると共に、明
度,色度,白さの各算出値の最大値および最小値,平均
値,標準偏差の少なくともひとつを算出している。
抽出対象領域を指定すると、その指定領域についてのカ
ラー画像情報より明度,色度,白さに関わる値が算出さ
れて各算出値が表示されるので、オペレータはその表示
を参照して色彩パターンを抽出するための色パラメータ
を容易に決定できる。
意の色彩パターンの抽出対象領域を1点で指定すると、
その点に対応する画素についてのカラー画像情報よりそ
の画素の明度,色度,白さを算出して各算出値を表示す
るので、指定操作が簡易であり、しかも演算および表示
に要する時間も短くて済む。
任意の色彩パターンの抽出対象領域を複数の点で指定す
ると、各点に対応する各画素についてのカラー画像情報
より、また請求項4の実装部品検査装置では、色彩パタ
ーンの抽出対象領域を領域で指定すると、その領域内に
含まれる各画素についてのカラー画像情報より、それぞ
れ各画素の明度,色度,白さを算出した後、各算出値の
最大値および最小値,平均値,標準偏差の少なくともひ
とつを算出して各算出値を表示するので、最適な色パラ
メータの決定が容易である。
品検査装置の全体構成を示す。この実装部品検査装置
は、実装品質の良好な基準基板1Sを撮像して得られた
前記基準基板1S上にある各部品2Sの検査領域の特徴
パラメータと、被検査基板1Tを撮像して得られた前記
被検査基板1T上にある各部品2Tの検査領域の特徴パ
ラメータとを比較するなどして、各部品2Tの実装品質
を検査するためのもので、X軸テーブル部3,Y軸テー
ブル部4,投光部5,撮像部6,制御処理部7などをそ
の構成として含んでいる。
部4は、それぞれ制御処理部7からの制御信号に基づい
て動作するモータ(図示せず)を備えており、これらモ
ータの駆動によりX軸テーブル部3が撮像部6をX軸方
向へ移動させ、またY軸テーブル部4が基板1S,1T
を支持するコンベヤ8をY軸方向へ移動させる。
処理部7からの制御信号に基づき赤色光,緑色光,青色
光を同時に照射する3個の円環状光源9,10,11に
より構成されており、各光源9,10,11を観測位置
の真上位置に中心を合わせかつ観測位置から見て異なる
仰角に対応する方向に位置させている。
て、観測位置の真上位置に下方に向けて位置決めしてあ
る。これにより観測対象である基板1S,1Tの表面の
反射光が撮像部6により撮像され、三原色のカラー信号
R,G,Bに変換されて制御処理部7へ供給される。
メモリ13,画像メモリ24,ティーチングテーブル1
4,画像処理部15,判定部16,XYテーブルコント
ローラ17,撮像コントローラ18,制御部19,表示
部20,プリンタ21,キーボード22,フロッピーデ
ィスク装置23などで構成されるもので、ティーチング
モードのとき、基準基板1Sについてのカラー信号R,
G,Bを処理し、実装状態が良好な各部品2Sの検査領
域について所定の色彩パターンを抽出し、その色彩パタ
ーンより特徴パラメータを算出して判定データファイル
を作成する。
検査基板1Tについてのカラー信号R,G,Bを処理
し、被検査基板1T上の各部品2Tの検査領域について
所定の色彩パターンを抽出し、その色彩パターンより特
徴パラメータを算出して被検査データファイルを作成す
る。そしてこの被検査データファイルと前記判定データ
ファイルとを比較して、この比較結果から被検査基板1
T上の各部品2Tにつき実装品質を自動的に判定する。
品が欠落しているとき、はんだ不足の状態にあるときの
はんだ25の断面形態と、各場合の撮像部6による撮像
パターン,赤色,緑色,青色の各色相パターンとの関係
を一覧表で例示したもので、いずれかの色相パターン間
には明確な差異が現れるため、部品の有無やはんだ付け
の良否を判定することが可能となる。
像部6からの三原色のカラー画像信号をA/D変換して
三原色の画像データR,G,Bを生成し、この画像デー
タR,G,Bは画素単位で画像メモリ24に格納され
る。メモリ13は、明度L,三原色の色度r,g,b,
白さwに関するしきい値テーブルなどを備え、制御部1
9の作業エリアとして使用される。
い値テーブルTBの内容を示しており、2値化しきい値
として、明度Lの上限値Luおよび下限値Ld,三原色
の各色度r,g,bの上限値ru,gu,buおよび下
限値rd,gd,bd,白さwの上限値wuおよび下限
値wd(以下これらを「色パラメータ」と総称する)と
が、それぞれセットされている。
きい値の設定対象を指定するためのものであって、使用
スイッチがonであれば、上限値および下限値を設定し
て特定の領域を抽出するための2値化処理が行われ、ま
た使用スイッチがoffであれば、上限値および下限値
を設定せずに全領域を抽出するための2値化処理が行わ
れることになる。なお使用スイッチがoffの場合は、
具体的に、上限値として最大値(色度であれば1.0)
を、下限値として最小値(色度であれば0)を、それぞ
れ設定する。
9を介して供給された赤色,緑色,青色の各画像データ
R,G,Bより明度L,三原色の色度r,g,b,白さ
wを画素単位で算出し、これらを前記しきい値テーブル
TBの色パラメータと比較することにより2値化処理を
行った後、前記被検査データファイルや判定データファ
イルを作成し、これらを制御部19や判定部16へ供給
する。
時に制御部19から判定データファイルが供給されたと
き、これを記憶し、また検査時に制御部19が転送要求
を出力したとき、この要求に応じて判定データファイル
を制御部19や判定部16などへ供給する。
給された判定データファイルと、前記画像処理部15か
ら転送された被検査データファイルとを比較して、被検
査基板1Tの各部品2Tにつきはんだ付け状態の良否な
どを判定し、その判定結果を制御部19へ出力する。
光部5および撮像部6とを接続するインターフェイスな
どを備え、制御部19の出力に基づき投光部5の各光源
9〜11の光量を調整したり、撮像部6の各色相光出力
の相互バランスを保つなどの制御を行う。
9と前記X軸テーブル部3およびY軸テーブル部1とを
接続するインターフェイスなどを備え、制御部19の出
力に基づきX軸テーブル部3およびY軸テーブル部4を
制御する。
タ、検査結果、キー入力データなどが供給されたとき、
これを表示画面上に表示し、またプリンタ21は、制御
部19から検査結果などが供給されたとき、これを予め
決められた書式(フォーマット)でプリントアウトす
る。
Sや被検査基板1Tに関する情報,色パラメータなどを
入力するのに必要な各種キーを備えており、キー入力デ
ータは前記制御部19へ供給される。制御部19は、マ
イクロプロセッサなどを備えており、図4,5,8に示
す手順に従って、ティーチングおよび検査における実装
部品検査装置の動作を制御する。
ングの制御手順を示す。まず同図のステップ1におい
て、オペレータはキーボード22を操作して教示対象と
する基板名の登録を行い、また基板サイズをキー入力し
た後、つぎのステップ2で、各部品の実装品質が良好な
基準基板1SをY軸テーブル部4上にセットしてスター
トキーを押操作する。
右上および左下の各角部を撮像部6にて撮像させて各点
の位置により実際の基準基板1Sのサイズを入力する
と、制御部19は入力データに基づきX軸テーブル部3
およびY軸テーブル部4を制御して基準基板1Sを初期
位置に位置出しする。
の部品2Sが適正に実装された良好な実装品質を有する
ものであって、この基準基板1Sが初期位置に位置決め
されると、つぎのステップ4で撮像部6が基準基板1S
上の領域を撮像して最初の部品2Sの実装位置を教示
し、続くステップ5で前記部品2Sについての検査領域
が、ステップ6でこの検査領域における検査時の判定基
準がそれぞれ教示される。
ける色パラメータの教示が行われる。図5は、このステ
ップ7の詳細な手順を示すもので、まずステップ7─1
で、オペレータは、表示部20に表示された図6に示す
ようなカラー画像28を見ながらキーボード22を操作
し、抽出したい色彩パターンの領域へカーソル29を移
動させて任意の点を指定する。
(x,y),この画素Aについての三原色の画像データ
をそれぞれR(x,y),G(x,y),B(x,y)
とすると、画像処理部15は、つぎの演算を実行するこ
とにより、この画素Aの明度L(x,y),赤の色度r
(x,y),緑の色度g(x,y),青の色度b(x,
y),白さw(x,y)を算出する(ステップ7─
2)。
値が表示部20の同じ表示画面上に表示される。図6に
示す表示例では、表示画面中に表示された枠27内に、
算出された明度L(x,y),各色度r(x,y),g
(x,y),b(x,y),白さw(x,y)の値がそ
れぞれ表示される。
された各値を参考にして、明度,各色度,白さのそれぞ
れについての上限値Lu,ru,gu,bu,wuおよ
び下限値Ld,rd,gd,bd,wdをキーボード2
2を操作してキー入力する(ステップ7─4)。つぎに
この色パラメータを用いて抽出されたパターンを表示部
20に表示させるなどして教示したしきい値の適否を判
断し、もし適切でなければステップ7─1へ戻って再度
指定を行って同様の手順を実行し、もし適切であれば、
ステップ7─5が「YES」となって色パラメータの設
定が終了する。
おいて任意の1点を指定してその指定点に対応する画素
Aの明度,各色度,白さの各値を算出しているが、複数
の点を指定し、これら各点に対応する各画素の明度,各
色度,白さを算出した後、その算出値び最大値および最
小値,平均値,標準偏差の少なくともひとつを算出して
表示するようにしてもよい。
定してそれぞれの画素A1,A2により矩形領域Bを画
定し、この矩形領域B内のすべての画素についての明
度,各色度,白さを算出した後、その算出値の最大値お
よび最小値,平均値,標準偏差の少なくともひとつを算
出して表示するようにしてもよい。
記ステップ4〜ステップ7の手順が実行されると、ステ
ップ8が「YES」となって、画像処理部15は教示さ
れた部品の位置,部品種,各部品の検査領域,各検査領
域内の色パラメータ,判定基準などから成る判定データ
ファイルをティーチングテーブル14に格納してティー
チング手順を完了する(ステップ9)。
れる各検査用データを予め部品種毎のテーブルに記憶さ
せておき、教示に際して、そのテーブルより該当する部
品種の検査用データを読み出して用いることも可能であ
る。この場合も色パラメータの設定時には図5に示す手
順が実行されることになる。また、教示された色パラメ
ータを修正する必要が生じたときは、修正ティーチング
時において同様の手順が実行される。
ップ1〜ステップ9で示す。まず同図のステップ1,2
では、検査すべき基板名を選択して基板検査の開始操作
を行う。つぎのステップ3は、実装部品検査装置への被
検査基板1Tの供給をチェックしており、その「YE
S」が判定であれば、コンベヤ8が作動してY軸テーブ
ル部4に被検査基板1Tが搬入され、自動検査が開始さ
れる(ステップ4,5)。
ーブル部3およびY軸テーブル部4を制御して、被検査
基板1T上の1番目の部品2Tに対し撮像部6の視野を
位置決めして撮像を行わせ、検査領域内の各ランド領域
を自動抽出すると共に、画像処理部15は、各ランド領
域の特徴パラメータを算出して、被検査データファイル
を作成する。ついで制御部19は、この被検査データフ
ァイルを判定部16に転送させ、この被検査データファ
イルと前記判定データファイルとを比較させて、1番目
の部品2Tにつきはんだ付け状態の良否などの実装品質
を判定させる。
の部品2Tにつき繰り返し実行され、その結果、はんだ
付け不良などがあると、その不良部品と不良内容とが表
示部20に表示され或いはプリンタ21に印字された
後、被検査基板1Tは観測位置より搬出される(ステッ
プ7,8)。かくして同様の検査手順が全ての被検査基
板1Tにつき実行されると、ステップ9の判定が「YE
S」となって検査が完了する。
ー画像に対して任意の色彩パターンの抽出対象領域を指
定することにより、その指定された領域についてのカラ
ー画像情報より明度,色度,白さに関わる値を算出して
各算出値を表示させるようにしたから、オペレータはそ
の表示を参照して色彩パターンを抽出するための色パラ
メータを容易に決定できる。
ーンの抽出対象領域を1点で指定することにより、その
点に対応する画素についてのカラー画像情報より明度,
色度,白さを算出して各算出値を表示するようにしたか
ら、指定操作が簡易であり、しかも演算および表示に要
する時間が短くて済む。
ターンの抽出対象領域を複数の点で指定することによ
り、各点に対応する各画素についてのカラー画像情報よ
り各画素の明度,色度,白さを算出し、また請求項4の
発明では、任意の色彩パターンの抽出対象領域を領域で
指定することにより、その領域内に含まれる各画素につ
いてのカラー画像情報より各画素の明度,色度,白さを
算出した後、それぞれ各算出値の最大値および最小値,
平均値,標準偏差の少なくともひとつを算出して表示す
るようにしたから、最適な色パラメータの決定が容易で
あるなど、幾多の顕著な効果を奏する。
全体構成を示す説明図である。
す説明図である。
る。
ャートである。
明図である。
明図である。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 基板上の実装部品を撮像して得られたカ
ラー画像より実装部品の実装品質を検査するのに必要な
任意の色彩パターンを抽出する機能を備えた実装部品検
査装置において、 前記カラー画像を記憶させる画像記憶手段と、 前記カラー画像を表示させる画像表示手段と、 前記画像表示手段に表示されたカラー画像に対して前記
色彩パターンの抽出対象領域を指定するための指定手段
と、 前記指定手段により指定された領域についてのカラー画
像情報を前記画像記憶手段より読み出して明度,色度,
白さに関わる値を算出する演算手段と、 前記演算手段による各算出値を前記画像表示手段に表示
させる表示制御手段とを備えて成る実装部品検査装置。 - 【請求項2】 前記指定手段は、前記抽出対象領域をそ
の領域内の1点で指定する手段であって、前記演算手段
は、前記指定手段により指定された点に対応する画素に
ついてのカラー画像情報を前記画像記憶手段より読み出
して、その画素の明度,色度,白さを算出するようにし
た請求項1に記載された実装部品検査装置。 - 【請求項3】 前記指定手段は、前記抽出対象領域をそ
の領域内の複数の点で指定する手段であって、前記演算
手段は、前記指定手段により指定された各点に対応する
各画素についてのカラー画像情報を前記画像記憶手段よ
り読み出して、各画素の明度,色度,白さを算出すると
共に、明度,色度,白さの各算出値の最大値および最小
値,平均値,標準偏差の少なくともひとつを算出するよ
うにした請求項1に記載された実装部品検査装置。 - 【請求項4】 前記指定手段は、前記抽出対象領域をそ
の領域内の領域で指定する手段であって、前記演算手段
は、前記指定手段により指定された領域に含まれる各画
素についてのカラー画像情報を前記画像記憶手段より読
み出して、各画素の明度,色度,白さを算出すると共
に、明度,色度,白さの各算出値の最大値および最小
値,平均値,標準偏差の少なくともひとつを算出するよ
うにした請求項1に記載された実装部品検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06760093A JP3289070B2 (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 実装部品検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06760093A JP3289070B2 (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 実装部品検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258243A true JPH06258243A (ja) | 1994-09-16 |
| JP3289070B2 JP3289070B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=13349580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06760093A Expired - Lifetime JP3289070B2 (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 実装部品検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3289070B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292725A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-10-26 | Omron Corp | 基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置 |
| JP2011196827A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lasertec Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 |
| JP2015094589A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | 株式会社リコー | 外観検査装置 |
| JP2016114382A (ja) * | 2014-12-11 | 2016-06-23 | 矢崎総業株式会社 | 検査装置及び照度監視装置 |
-
1993
- 1993-03-02 JP JP06760093A patent/JP3289070B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292725A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-10-26 | Omron Corp | 基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置 |
| JP2011196827A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Lasertec Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 |
| JP2015094589A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | 株式会社リコー | 外観検査装置 |
| JP2016114382A (ja) * | 2014-12-11 | 2016-06-23 | 矢崎総業株式会社 | 検査装置及び照度監視装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3289070B2 (ja) | 2002-06-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW201346251A (zh) | 焊料檢查用之檢查基準登錄方法及使用該方法的基板檢查裝置 | |
| JP3906780B2 (ja) | 部品コード変換テーブルに対するデータ登録方法、基板検査データの作成装置、登録処理用のプログラムおよびその記憶媒体 | |
| JPH07107514B2 (ja) | 基板検査装置における表示方法および表示装置 | |
| JPH09145633A (ja) | パラメータの設定支援方法、ならびにその方法を用いたパラメータ設定方法およびその装置、ならびにこのパラメータ設定装置を用いた実装部品検査装置 | |
| JPH0535849A (ja) | 教示データ作成方法 | |
| JP3289070B2 (ja) | 実装部品検査装置 | |
| JP2006105777A (ja) | 基板検査装置並びにそのパラメータ設定方法およびパラメータ設定装置 | |
| JP3173050B2 (ja) | 教示データ作成方法およびその方法を用いた教示データ作成装置 | |
| JP2000004079A (ja) | はんだ検査装置 | |
| JPH09152317A (ja) | 実装部品検査方法およびその装置 | |
| JP3250309B2 (ja) | 実装部品検査用データの教示方法 | |
| JPH09145334A (ja) | 実装部品検査方法およびその装置 | |
| JPH0526815A (ja) | 実装部品検査用データの教示方法 | |
| US20240420338A1 (en) | Component inspection method and component inspection device | |
| JP3146644B2 (ja) | 実装部品検査用データの教示方法 | |
| JP3264020B2 (ja) | 検査用データ作成方法および実装部品検査装置 | |
| JP3273378B2 (ja) | 基板検査装置における特徴パラメータ決定装置 | |
| JPH11258176A (ja) | 検査装置および方法 | |
| JPH10150299A (ja) | 実装部品検査方法及び実装部品検査装置 | |
| JP3035574B2 (ja) | 実装部品検査装置の教示方法 | |
| JP3189308B2 (ja) | はんだ付検査結果の表示方法およびその装置,はんだ付不良の修正方法,ならびにはんだ付検査装置 | |
| JP3189441B2 (ja) | 実装部品検査装置における教示データ修正方法 | |
| JP3185430B2 (ja) | 基板検査方法およびその装置 | |
| JPH06201340A (ja) | 実装部品検査装置 | |
| JP3189440B2 (ja) | 実装部品検査装置の教示方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090322 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090322 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100322 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100322 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110322 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110322 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120322 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120322 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130322 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |