JPH0625855A - ルツボ及びその製造方法 - Google Patents
ルツボ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0625855A JPH0625855A JP18514292A JP18514292A JPH0625855A JP H0625855 A JPH0625855 A JP H0625855A JP 18514292 A JP18514292 A JP 18514292A JP 18514292 A JP18514292 A JP 18514292A JP H0625855 A JPH0625855 A JP H0625855A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- molybdenum
- peripheral surface
- tungsten
- tungsten film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 47
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 47
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 47
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 39
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 39
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 abstract description 10
- 150000002751 molybdenum Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 2
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 タングステンの高温強度を備えたルツボとそ
の製造方法を提供する。 【構成】 ルツボ１０は，モリブデンルツボ本体１とタ
ングステン膜２と備えている。モリブデン本体１は，内
周面１２と外周面１４とを有する。タングステン膜２
は，外周面１２に形成されている。このルツボは，モリ
ブデンルツボ本体１の少なくとも外周面１４に，ＣＶＤ
法又は溶射法によって，タングステン膜２を形成するこ
とで製造される。
の製造方法を提供する。 【構成】 ルツボ１０は，モリブデンルツボ本体１とタ
ングステン膜２と備えている。モリブデン本体１は，内
周面１２と外周面１４とを有する。タングステン膜２
は，外周面１２に形成されている。このルツボは，モリ
ブデンルツボ本体１の少なくとも外周面１４に，ＣＶＤ
法又は溶射法によって，タングステン膜２を形成するこ
とで製造される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，金属モリブデンを含む
金属材料から形成されたルツボ（以下，モリブデンルツ
ボと呼ぶ）とその製造方法に関し，詳しくは，１８００
℃以上の超高温での使用に適した高温強度の優れたモリ
ブデンルツボとその製造方法に関する。
金属材料から形成されたルツボ（以下，モリブデンルツ
ボと呼ぶ）とその製造方法に関し，詳しくは，１８００
℃以上の超高温での使用に適した高温強度の優れたモリ
ブデンルツボとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に金属又は金属酸化物等の高融点材
料は，ルツボ中で，不活性ガス或いは真空の雰囲気中で
溶解される。高融点金属溶解用のルツボとしては，金属
モリブデン又はモリブデン合金のように，金属モリブデ
ンを含むルツボ（以下，全てこの種のルツボをモリブデ
ンルツボと呼ぶ）が使用されている。
料は，ルツボ中で，不活性ガス或いは真空の雰囲気中で
溶解される。高融点金属溶解用のルツボとしては，金属
モリブデン又はモリブデン合金のように，金属モリブデ
ンを含むルツボ（以下，全てこの種のルツボをモリブデ
ンルツボと呼ぶ）が使用されている。
【０００３】しかし，モリブデンルツボとして，純モリ
ブデン製のルツボを使用した場合，モリブデンの再結晶
温度が約１０００℃であるため，使用温度が高くなるほ
ど，また，高温での使用時間が長くなるほど，ルツボを
構成するモリブデン結晶粒の粗大化が起こる。そのた
め，純モリブデン製のルツボは，結晶粒界の脆弱化によ
る粒界に割れ，又はひびが生じ，この部分からルツボ中
の被溶解物が漏れ出して使用不能となるという欠点を有
している。この欠点を解消するために，例えば，特願昭
６２−１５４２号（以下，参考文献１と呼ぶ）に示され
た改良されたルツボが提案されている。この改良された
ルツボは，モリブデンにランタン又はランタン酸化物を
０．０１〜１ｗｔ％を含有させた材料によって形成され
ており，鍛造における加工率を余り高くしないで加工す
ることで，加工が容易で，強度が高く優れているという
利点を有する。
ブデン製のルツボを使用した場合，モリブデンの再結晶
温度が約１０００℃であるため，使用温度が高くなるほ
ど，また，高温での使用時間が長くなるほど，ルツボを
構成するモリブデン結晶粒の粗大化が起こる。そのた
め，純モリブデン製のルツボは，結晶粒界の脆弱化によ
る粒界に割れ，又はひびが生じ，この部分からルツボ中
の被溶解物が漏れ出して使用不能となるという欠点を有
している。この欠点を解消するために，例えば，特願昭
６２−１５４２号（以下，参考文献１と呼ぶ）に示され
た改良されたルツボが提案されている。この改良された
ルツボは，モリブデンにランタン又はランタン酸化物を
０．０１〜１ｗｔ％を含有させた材料によって形成され
ており，鍛造における加工率を余り高くしないで加工す
ることで，加工が容易で，強度が高く優れているという
利点を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，このモ
リブデンルツボは，外部から加熱するように使用される
ので，ルツボ外壁の熱による亀裂等の損傷に対しては十
分とはいえなかった。このため，被溶解物の粒界への溶
入を避けることができなかった。そこで，モリブデンル
ツボに代えて更に高温強度の優れたルツボ材料として，
注目されるのが，純金属タングステン又はタングステン
合金等の金属タングステンを含む材料（以下，単にタン
グステンと呼ぶ）である。
リブデンルツボは，外部から加熱するように使用される
ので，ルツボ外壁の熱による亀裂等の損傷に対しては十
分とはいえなかった。このため，被溶解物の粒界への溶
入を避けることができなかった。そこで，モリブデンル
ツボに代えて更に高温強度の優れたルツボ材料として，
注目されるのが，純金属タングステン又はタングステン
合金等の金属タングステンを含む材料（以下，単にタン
グステンと呼ぶ）である。
【０００５】しかし，現実に必要とされるルツボは，直
径で６０〜２２０ｍｍ程度，高さが３０〜１００ｍｍ程
度とかなり大型のものであり，現在のタングステン加工
技術では，このような大型のタングステンルツボを加工
することは実際上困難である。
径で６０〜２２０ｍｍ程度，高さが３０〜１００ｍｍ程
度とかなり大型のものであり，現在のタングステン加工
技術では，このような大型のタングステンルツボを加工
することは実際上困難である。
【０００６】そこで，本発明の技術的課題は，タングス
テンの高温強度を備えたモリブデンルツボとその製造方
法を提供することにある。
テンの高温強度を備えたモリブデンルツボとその製造方
法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では，ＣＶＤ法又
は溶射法によって，微細で且つ緻密なタングステン材料
からなる膜を作製することによって，上記課題を解決し
たものである。
は溶射法によって，微細で且つ緻密なタングステン材料
からなる膜を作製することによって，上記課題を解決し
たものである。
【０００８】本発明によれば，高融点金属又は高融点金
属酸化物の溶解に用いるモリブデンからなるルツボであ
って，少なくとも外周面にタングステン膜を有すること
を特徴とするモリブデンルツボが得られる。
属酸化物の溶解に用いるモリブデンからなるルツボであ
って，少なくとも外周面にタングステン膜を有すること
を特徴とするモリブデンルツボが得られる。
【０００９】ここで，本発明において，タングステンと
は，少なくとも金属タングステンを含む金属材料を呼
び，純金属タングステン，タングステン合金等を含む。
は，少なくとも金属タングステンを含む金属材料を呼
び，純金属タングステン，タングステン合金等を含む。
【００１０】本発明者の実験によれば，タングステン膜
でモリブデンルツボを被覆することによって，実質的に
タングステンの特性を具備したルツボが得られることが
判明した。
でモリブデンルツボを被覆することによって，実質的に
タングステンの特性を具備したルツボが得られることが
判明した。
【００１１】ここで，本発明において，タングステン膜
は，熱又は機械的衝撃に対する剥離強度を考慮して，５
０〜１００μｍより大とすることが好ましい。また，前
記ＣＶＤ法の代わりに，低廉で，使用温度の著しく高く
ないものは，溶射法によって被覆しても，ＣＶＤ法によ
るタングステン膜と同等の特性が得られることがわかっ
た。
は，熱又は機械的衝撃に対する剥離強度を考慮して，５
０〜１００μｍより大とすることが好ましい。また，前
記ＣＶＤ法の代わりに，低廉で，使用温度の著しく高く
ないものは，溶射法によって被覆しても，ＣＶＤ法によ
るタングステン膜と同等の特性が得られることがわかっ
た。
【００１２】
【作用】本発明においては，モリブデンルツボ本体の少
なくとも外周面に，タングステン膜を設けることで，タ
ングステンの高温強度を備えたルツボが得られる。
なくとも外周面に，タングステン膜を設けることで，タ
ングステンの高温強度を備えたルツボが得られる。
【００１３】
【実施例】以下に，本発明の実施例について，図面を参
照して説明する。
照して説明する。
【００１４】図１は，本発明のルツボの一例を示す図で
ある。図１において，ルツボ１０は，モリブデンルツボ
本体１と，タングステン膜を備えている。
ある。図１において，ルツボ１０は，モリブデンルツボ
本体１と，タングステン膜を備えている。
【００１５】モリブデンルツボ本体１は，モリブデン材
料から切削加工されており，内周面１２，外周面１４，
縁面１６，内底面１７及び外底面１８とによって，構成
されている。
料から切削加工されており，内周面１２，外周面１４，
縁面１６，内底面１７及び外底面１８とによって，構成
されている。
【００１６】内周面１２と内底面１７及び外周面１４と
外底面１８との境界部は，曲率を持つように形成されて
いる。タングステン膜２は，縁面１６の略中央部から外
周面１４及び凹部に渡って施されている。
外底面１８との境界部は，曲率を持つように形成されて
いる。タングステン膜２は，縁面１６の略中央部から外
周面１４及び凹部に渡って施されている。
【００１７】図２は，本発明のルツボの他の例を示す図
である。図１のルツボ１０との相違点は，図２で示すル
ツボ２０は，タングステン膜２´が，モリブデンルツボ
本体１の縁面１６全体を覆い，更に内底面１７及び内周
面１２にも施されている点である。このように外周面１
４だけでなく，内底面１７及び内周面１２をもタングス
テン膜２´によって，覆うことによって，溶解した液に
よる粒界への侵入を防止するに適し，図１のルツボ１０
よりも高温強度が高いルツボを得ることができる。
である。図１のルツボ１０との相違点は，図２で示すル
ツボ２０は，タングステン膜２´が，モリブデンルツボ
本体１の縁面１６全体を覆い，更に内底面１７及び内周
面１２にも施されている点である。このように外周面１
４だけでなく，内底面１７及び内周面１２をもタングス
テン膜２´によって，覆うことによって，溶解した液に
よる粒界への侵入を防止するに適し，図１のルツボ１０
よりも高温強度が高いルツボを得ることができる。
【００１８】図３は，本発明のルツボの更に他の例を示
す図である。図２のルツボ２０との相違点は，図３のル
ツボ３０は，タングステン膜２''が外底面１８にも施さ
れている点である。このルツボ３０は，２３００〜２４
００℃の超高温で使用した場合においても，モリブデン
ルツボ粒界に発生する外壁の亀裂は見られなかった。
す図である。図２のルツボ２０との相違点は，図３のル
ツボ３０は，タングステン膜２''が外底面１８にも施さ
れている点である。このルツボ３０は，２３００〜２４
００℃の超高温で使用した場合においても，モリブデン
ルツボ粒界に発生する外壁の亀裂は見られなかった。
【００１９】また，外底面１８に施すことで，更に高温
強度を高め，寿命を長くすることができる。
強度を高め，寿命を長くすることができる。
【００２０】以下，上記したルツボの具体的方法を実施
例として説明する。
例として説明する。
【００２１】（実施例１）純モリブデン材と，この純モ
リブデン材に結晶粒界の脆弱防止に添加されたランタン
を含む化合物とを含むモリブデン材を最終的に切削加工
することによって，ルツボ形状に加工し，モリブデンル
ツボ本体１を得た。充分にＡｒ置換して，その後，減圧
された反応槽に，Ｈ2 を５００ｃｃ／ｍｉｎ，ＷＦ6 を
５０ｃｃ／ｍｉｎを夫々導入した。モリブデンルツボ本
体１を高周波電源等によって，４００℃に加熱し，水素
還元ＣＶＤ法によって，このモリブデンルツボ本体１表
面に，純タングステン膜２を被覆した。被覆後，約４０
分経過後，ルツボを取り出したところ，図１で示すよう
に外周面に８５μｍの厚さのタングステン膜２を有する
ルツボ１０が得られた。
リブデン材に結晶粒界の脆弱防止に添加されたランタン
を含む化合物とを含むモリブデン材を最終的に切削加工
することによって，ルツボ形状に加工し，モリブデンル
ツボ本体１を得た。充分にＡｒ置換して，その後，減圧
された反応槽に，Ｈ2 を５００ｃｃ／ｍｉｎ，ＷＦ6 を
５０ｃｃ／ｍｉｎを夫々導入した。モリブデンルツボ本
体１を高周波電源等によって，４００℃に加熱し，水素
還元ＣＶＤ法によって，このモリブデンルツボ本体１表
面に，純タングステン膜２を被覆した。被覆後，約４０
分経過後，ルツボを取り出したところ，図１で示すよう
に外周面に８５μｍの厚さのタングステン膜２を有する
ルツボ１０が得られた。
【００２２】（実施例２）実施例１と同様に切削加工を
施したモリブデンルツボ本体１を，アルミナ粒にてブラ
スト処理した。市販の溶射用造粒Ｗ粉（メテコ社製，N
o.61 ）を６５Ｖ，５００Ａのパワー，Ａｒ流速７ｋｇ
／ｃｍ2 ，Ｈ2 流速３．５ｋｇ／ｃｍ2 で噴霧速度１２
７ｂｓ／Ｈ（ポンド／時間）で，溶射を行った。この溶
射に用いたガンは，４０ｍ／ｍｉｎ送りで，加工物であ
るモリブデンルツボ本体１との距離を１００ｍｍとして
溶射を行った。数回溶射し，約３００μｍの純タングス
テン層を形成し，図１で示すようなルツボ１０が得られ
た。
施したモリブデンルツボ本体１を，アルミナ粒にてブラ
スト処理した。市販の溶射用造粒Ｗ粉（メテコ社製，N
o.61 ）を６５Ｖ，５００Ａのパワー，Ａｒ流速７ｋｇ
／ｃｍ2 ，Ｈ2 流速３．５ｋｇ／ｃｍ2 で噴霧速度１２
７ｂｓ／Ｈ（ポンド／時間）で，溶射を行った。この溶
射に用いたガンは，４０ｍ／ｍｉｎ送りで，加工物であ
るモリブデンルツボ本体１との距離を１００ｍｍとして
溶射を行った。数回溶射し，約３００μｍの純タングス
テン層を形成し，図１で示すようなルツボ１０が得られ
た。
【００２３】実施例２に係るＷ粉の溶射による被覆方法
は，使用状態において過酷さを求められないルツボに
は，適用することができる。この方法は，実施例１で示
したＣＶＤ法よりも操作，取扱いが容易であるととも
に，上記実施例１で示したようなＷＦ6 等の有害ガスを
使用しないで済むという利点も兼ね備えている。
は，使用状態において過酷さを求められないルツボに
は，適用することができる。この方法は，実施例１で示
したＣＶＤ法よりも操作，取扱いが容易であるととも
に，上記実施例１で示したようなＷＦ6 等の有害ガスを
使用しないで済むという利点も兼ね備えている。
【００２４】しかし，実施例２で説明した溶射法では，
何回か繰り返し溶射しないと，１回当り２〜３％の空孔
が残るので，この空孔を塞ぐには，減圧溶射を繰り返す
ことが好ましい。
何回か繰り返し溶射しないと，１回当り２〜３％の空孔
が残るので，この空孔を塞ぐには，減圧溶射を繰り返す
ことが好ましい。
【００２５】以上の実施例１，２においては，図１で示
すように，外周面のみにタングステン膜２を施したが，
施行する配置を考えると，図２で示すようなルツボ２０
も形成することができる。また，実施例１及び２で述べ
た方法を，複数回行うと，図３で示すルツボ３０を得る
ことができる。図２又は図３で示すルツボ２０，３０
は，ルツボ本体１の内壁部１２に至るタングステン膜２
´，２''を施すと，中味の溶融物のモリブデンルツボの
粒界への侵入も抑制できる。
すように，外周面のみにタングステン膜２を施したが，
施行する配置を考えると，図２で示すようなルツボ２０
も形成することができる。また，実施例１及び２で述べ
た方法を，複数回行うと，図３で示すルツボ３０を得る
ことができる。図２又は図３で示すルツボ２０，３０
は，ルツボ本体１の内壁部１２に至るタングステン膜２
´，２''を施すと，中味の溶融物のモリブデンルツボの
粒界への侵入も抑制できる。
【００２６】ただし，ルツボ３０の場合，実施例２で示
すノズルの施工においては２度に分けて行う必要があ
り，１８００℃以上の高温とはいえ，寿命と経費とのバ
ランスを考慮しながら適用することが必要とされる。
すノズルの施工においては２度に分けて行う必要があ
り，１８００℃以上の高温とはいえ，寿命と経費とのバ
ランスを考慮しながら適用することが必要とされる。
【００２７】
【発明の効果】以上，説明したように，本発明によれ
ば，タングステンの高温強度を備えたモリブデンルツボ
とその製造方法を提供することができる。
ば，タングステンの高温強度を備えたモリブデンルツボ
とその製造方法を提供することができる。
【図１】本発明のルツボの一例を示す図である。
【図２】本発明のルツボの他の例を示す図である。
【図３】本発明のルツボの更に他の例を示す図である。
１ モリブデンルツボ本体 ２，２´，２''タングステン膜 １０ モリブデンルツボ １１ 内周面 １４ 外周面 １６ 縁面 １７ 内底面 １８ 外底面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】（実施例２）実施例１と同様に切削加工を
施したモリブデンルツボ本体１を，アルミナ粒にてブラ
スト処理した。市販の溶射用造粒Ｗ粉（メテコ社製，Ｎ
ｏ．６１）を６５Ｖ，５００Ａのパワー，Ａｒ流速７ｋ
ｇ／ｃｍ２，Ｈ２流速３．５ｋｇ／ｃｍ２で噴霧速度１
２ｌ（エル）ｂｓ／Ｈ（ポンド／時間）で，溶射を行っ
た。この溶射に用いたガンは，４０ｍ／ｍｉｎ送りで，
加工物であるモリブデンルツボ本体１との距離を１００
ｍｍとして溶射を行った。数回溶射し，約３００μｍの
純タングステン層を形成し，図１で示すようなルツボ１
０が得られた。
施したモリブデンルツボ本体１を，アルミナ粒にてブラ
スト処理した。市販の溶射用造粒Ｗ粉（メテコ社製，Ｎ
ｏ．６１）を６５Ｖ，５００Ａのパワー，Ａｒ流速７ｋ
ｇ／ｃｍ２，Ｈ２流速３．５ｋｇ／ｃｍ２で噴霧速度１
２ｌ（エル）ｂｓ／Ｈ（ポンド／時間）で，溶射を行っ
た。この溶射に用いたガンは，４０ｍ／ｍｉｎ送りで，
加工物であるモリブデンルツボ本体１との距離を１００
ｍｍとして溶射を行った。数回溶射し，約３００μｍの
純タングステン層を形成し，図１で示すようなルツボ１
０が得られた。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のルツボの一例を示す図である。
【図２】本発明のルツボの他の例を示す図である。
【図３】本発明のルツボの更に他の例を示す図である。
【符号の説明】 １ モリブデンルツボ本体 ２，２′，２’’タングステン膜 １０ モリブデンルツボ １２ 内周面 １４ 外周面 １６ 縁面 １７ 内底面 １８ 外底面 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月３１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】ここで，本発明において，タングステン膜
は，熱又は機械的衝撃に対する剥離強度を考慮して，５
０〜１００μｍより大とすることが好ましい。また，タ
ングステン膜を形成する方法としては，ＣＶＤ法及び溶
射法のいずれかまたは両方を併用してもよいが，低廉で
使用温度の著しく高くないものについては，溶射法のみ
によって被覆しても，ＣＶＤ法によるタングステン膜と
同等の特性が得られる。
は，熱又は機械的衝撃に対する剥離強度を考慮して，５
０〜１００μｍより大とすることが好ましい。また，タ
ングステン膜を形成する方法としては，ＣＶＤ法及び溶
射法のいずれかまたは両方を併用してもよいが，低廉で
使用温度の著しく高くないものについては，溶射法のみ
によって被覆しても，ＣＶＤ法によるタングステン膜と
同等の特性が得られる。
Claims (3)
- 【請求項１】 内周面及び外周面を有するモリブデン本
体と，少なくとも外周面に形成されたタングステン膜と
を有することを特徴とするルツボ。 - 【請求項２】 内周面及び外周面を有するモリブデンル
ツボ本体を製作した後，前記モリブデンルツボ本体の少
なくとも外周面に，ＣＶＤ法によって，タングステン膜
を形成することを特徴とするルツボの製造方法。 - 【請求項３】 内周面及び外周面を有するモリブデンル
ツボ本体を製作した後，前記モリブデンルツボ本体の少
なくとも外周面に，ＣＶＤ法によって，タングステン膜
を形成することを特徴とするモリブデンルツボの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18514292A JPH0811824B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | ルツボ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18514292A JPH0811824B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | ルツボ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0625855A true JPH0625855A (ja) | 1994-02-01 |
| JPH0811824B2 JPH0811824B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=16165613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18514292A Expired - Lifetime JPH0811824B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | ルツボ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811824B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001314513A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-13 | Asahi Intecc Co Ltd | 医療用ガイドワイヤ |
| WO2013155540A1 (de) * | 2012-04-17 | 2013-10-24 | Plansee Se | Tiegel zur herstellung von oxidkeramischen einkristallen |
| WO2014050585A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| WO2013180965A3 (en) * | 2012-05-29 | 2014-05-08 | H.C. Starck Inc. | Metallic crucibles and methods of forming the same |
| WO2015099010A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝、サファイア単結晶育成方法およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| JP2015131745A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝、サファイア単結晶育成方法およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| WO2017132711A1 (de) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | Plansee Se | Tiegel |
| CN114346245A (zh) * | 2020-09-27 | 2022-04-15 | 安泰天龙钨钼科技有限公司 | 一种长寿命稀土钼坩埚及其制备方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102704415B1 (ko) * | 2023-07-10 | 2024-09-09 | 서기식 | 반려동물의 유골 결정체 제조 장치 및 유골 결정체 제조 방법 |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP18514292A patent/JPH0811824B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001314513A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-13 | Asahi Intecc Co Ltd | 医療用ガイドワイヤ |
| WO2013155540A1 (de) * | 2012-04-17 | 2013-10-24 | Plansee Se | Tiegel zur herstellung von oxidkeramischen einkristallen |
| CN104487618A (zh) * | 2012-04-17 | 2015-04-01 | 普兰西欧洲股份公司 | 用于生产氧化陶瓷单晶的坩埚 |
| CN104487618B (zh) * | 2012-04-17 | 2017-08-25 | 普兰西欧洲股份公司 | 用于生产氧化陶瓷单晶的坩埚 |
| JP2015514667A (ja) * | 2012-04-17 | 2015-05-21 | プランゼー エスエー | 酸化物セラミック単結晶製造のための坩堝 |
| JP2015521238A (ja) * | 2012-05-29 | 2015-07-27 | ハー ツェー シュタルク インコーポレイテッドＨ．Ｃ． Ｓｔａｒｃｋ， Ｉｎｃ． | 金属製るつぼ及びその形成方法 |
| US10100438B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-10-16 | H.C. Starck Inc. | Metallic crucibles and methods of forming the same |
| WO2013180965A3 (en) * | 2012-05-29 | 2014-05-08 | H.C. Starck Inc. | Metallic crucibles and methods of forming the same |
| US9457405B2 (en) | 2012-05-29 | 2016-10-04 | H.C. Starck, Inc. | Metallic crucibles and methods of forming the same |
| JPWO2014050585A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-22 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| CN104685114B (zh) * | 2012-09-28 | 2017-07-28 | 联合材料公司 | 蓝宝石单晶生长用坩锅和蓝宝石单晶生长用坩锅的制造方法 |
| WO2014050585A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| US9803291B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-10-31 | A.L.M.T. Corp. | Crucible for growing sapphire single crystal, and method for producing crucible for growing sapphire single crystal |
| CN104685114A (zh) * | 2012-09-28 | 2015-06-03 | 联合材料公司 | 蓝宝石单晶生长用坩锅和蓝宝石单晶生长用坩锅的制造方法 |
| KR20150046339A (ko) | 2012-09-28 | 2015-04-29 | 가부시끼가이샤 아라이도 마테리아루 | 사파이어 단결정 육성용 도가니 및 사파이어 단결정 육성용 도가니의 제조 방법 |
| JPWO2015099010A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-03-23 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝、サファイア単結晶育成方法およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| WO2015099010A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝、サファイア単結晶育成方法およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| CN105849322B (zh) * | 2013-12-26 | 2018-09-28 | 联合材料公司 | 蓝宝石单晶培养用坩锅、蓝宝石单晶培养方法和蓝宝石单晶培养用坩锅的制造方法 |
| CN105849322A (zh) * | 2013-12-26 | 2016-08-10 | 联合材料公司 | 蓝宝石单晶培养用坩锅、蓝宝石单晶培养方法和蓝宝石单晶培养用坩锅的制造方法 |
| JP2015131745A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 株式会社アライドマテリアル | サファイア単結晶育成用坩堝、サファイア単結晶育成方法およびサファイア単結晶育成用坩堝の製造方法 |
| WO2017132711A1 (de) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | Plansee Se | Tiegel |
| KR20180113519A (ko) * | 2016-02-05 | 2018-10-16 | 플란제 에스이 | 도가니 |
| CN108884591A (zh) * | 2016-02-05 | 2018-11-23 | 普兰西股份有限公司 | 坩埚 |
| JP2019510185A (ja) * | 2016-02-05 | 2019-04-11 | プランゼー エスエー | るつぼ |
| US10844518B2 (en) | 2016-02-05 | 2020-11-24 | Plansee Se | Crucible |
| CN114346245A (zh) * | 2020-09-27 | 2022-04-15 | 安泰天龙钨钼科技有限公司 | 一种长寿命稀土钼坩埚及其制备方法 |
| CN114346245B (zh) * | 2020-09-27 | 2023-06-20 | 安泰天龙钨钼科技有限公司 | 一种长寿命稀土钼坩埚及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0811824B2 (ja) | 1996-02-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8226741B2 (en) | Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof | |
| EP2104753B1 (en) | Method for coating a substrate and coated product | |
| US7910051B2 (en) | Low-energy method for fabrication of large-area sputtering targets | |
| CN101210290B (zh) | 用于高活性合金的物品 | |
| JPH0625855A (ja) | ルツボ及びその製造方法 | |
| US4132917A (en) | Rotating X-ray target and method for preparing same | |
| US10844518B2 (en) | Crucible | |
| CN101239844A (zh) | 一种复合阻碳涂层材料及其在基体上制备复合阻碳涂层的方法 | |
| CN108754390A (zh) | 熔炼放射性金属用小口径石墨坩埚防护涂层的制备方法 | |
| US5014768A (en) | Chill plate having high heat conductivity and wear resistance | |
| US20150368782A1 (en) | Method for depositing a corrosion-protection coating | |
| ES2284917T3 (es) | Composicion pulverizable. | |
| JPH0568812B2 (ja) | ||
| JP2020512691A (ja) | 高い腐食性又は浸食性の半導体処理用途に使用するためのセラミック材料アセンブリ | |
| JPS62127460A (ja) | 表面処理方法 | |
| JPH07102376A (ja) | 被覆部材及びその製造方法 | |
| KR101922805B1 (ko) | 박리방지를 위한 용사코팅층 제조방법 및 이를 이용한 용사코팅층 | |
| KR102845759B1 (ko) | 열방호 소재용 금속 탄화물 계면층 제조방법 및 이를 이용한 열방호 소재 | |
| KR102917705B1 (ko) | 반도체 장치용 콜드 스프레이 코팅방법 및 이를 이용한 콜드 스프레이 코팅층 | |
| US10227684B2 (en) | Method for depositing a corrosion-protection coating from a suspension | |
| US20240335881A1 (en) | Methods for 3d printing and additive manufacturing of refractory alloys | |
| JPH04103750A (ja) | 耐摩耗被覆層の形成方法 | |
| JP2006097114A (ja) | 耐蝕性溶射膜部材 | |
| KR20120127808A (ko) | 용융 도가니의 재활용 방법 및 그에 의해 제조된 도가니 | |
| JPH0275889A (ja) | 金属溶解用るつぼ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960723 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080207 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090207 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130207 Year of fee payment: 17 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130207 Year of fee payment: 17 |