JPH06258659A - 液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 有機薄膜を用いた層間絶縁膜上に画素電極を
形成した液晶表示装置に於いて、ドライバーの信頼性を
低下させる事無く対向基板間距離を一定に保ち、かつ基
板の小型化を図る事を目的とする。 【構成】 有機薄膜上に画素電極を形成し、同時にシー
ル部よりも画素表示部寄りに形成したドライバー上、及
びシール部にも有機薄膜を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】有機薄膜上に画素電極を形成したことを
特徴とする従来例としては、特公平１−３５３５１号の
ようなものが上げられる。この例では画素電極としてア
ルミニウムを用い、反射型液晶表示装置の構成としてい
る。

【０００３】また一般にドライバーをアクティブマトリ
クス基板に内蔵する場合、特開昭６４−６８７２５号の
ごとくドライバーは基板間の接着部（以下シール部と称
する）よりも画素部に対して外側に配置され、かつドラ
イバーの耐湿性向上のためポリイミド等の有機樹脂膜で
封止してある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし画素表示部の面
積を変える事無くアクティブマトリクス基板を小型化し
ようとするとき、従来のようにドライバーが外側に配置
されているとドライバー用のスペースが必要であり、結
果として基板面積の増大を招く。また通常アクティブマ
トリクス基板は１枚の絶縁性基板上に多数個形成して一
個当たりの製造コストを下げているが、基板面積が増大
すると製造コストを下げれないと言う課題を有する。

【０００５】本発明の目的は、ドライバーの信頼性を低
下させる事無く省スペース化を図り、同時に製造コスト
を下げる事の可能な液晶表示装置の構造を提供する事に
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明はドライバー内蔵
アクティブマトリクス方式の液晶表示装置において、ア
クティブマトリクス基板はゲート配線とソース配線を層
間分離する第一の層間絶縁膜と、ソース配線と画素電極
を層間分離する第二の層間絶縁膜とを備え、ドライバー
を対向する２枚の基板の接着部よりも画素表示部寄り配
置することと、少なくとも第二の層間絶縁膜は前記ドラ
イバー上にも形成する事と、少なくとも第二の層間絶縁
膜は対向基板との接着部及びその外周には形成しない事
と、前記ドライバー上の層間絶縁膜上には他の配線など
と導通をとらず浮遊電位としたＩＴＯなどの導電性薄膜
を形成することと、対向する基板のドライバーに対応す
る位置には対向電極である導電性薄膜を形成しない事を
特徴とする。

【０００７】

【実施例】本発明による一実施例の液晶表示装置の平面
図を図１に示し、そのＡ−Ａ’間における断面図を図２
に示す。絶縁性基板１０１上に導電性半導体、真性半導
体、ゲート絶縁膜、ゲート電極、ソース電極、第一の層
間絶縁膜１１３からなる画素スイッチング用ＴＦＴ（以
下画素ＴＦＴと称す）１０２及び前記画素ＴＦＴ群の駆
動用ＴＦＴ（以下ドライバーと称す）１０３を同時に形
成する。次に第二層間絶縁膜１０４として例えばポリイ
ミドを２μｍ程度の膜厚となるように塗布する。前記ポ
リイミドを乾燥後、クロム薄膜を１０００Å程度堆積
し、パターニングしてエッチングマスク１０５とする。
この後ドライエッチング法にて第二層間絶縁膜１０４を
パターニングする。このとき第二層間絶縁膜１０４の被
エッチング部分は、画素ＴＦＴ１０２の画素電極接続部
と、対向電極１０９とアクティブマトリクス基板との導
通部と、アクティブマトリクス基板と対向基板との接着
部（以下シール部と称す）１１０、及びシール部１１０
よりも外周部とする。エッチング終了後エッチングマス
ク１０５を剥離し、画素電極１０６をＩＴＯで形成す
る。このとき第二層間絶縁膜１０４上のドライバー部に
対応する位置にもＩＴＯを形成し、シールド１１２とす
る。次に絶縁性基板１０１と対向基板１０７を接着部
（以下シール部と称す）１１０で接着するがその際ギャ
ップ材を混入した接着剤で接着する。最後にギャップ材
を混入した液晶を封入する。

【０００８】別の実施例として前記実施例に加え、第二
層間絶縁膜１０４の被エッチング部分をシール部１１
０、画素ＴＦＴ１０２の画素電極接続部、対向電極１０
９とアクティブマトリクス基板との導通部、及びアクテ
ィブマトリクス基板の外部接続端子部とした。これを用
いると通常Ａｌを主成分とする導電性薄膜を用いるドラ
イバー１０３から外部接続端子への配線の腐食を低減可
能であり結果として、従来のようにアクティブマトリク
ス基板形成後にポリイミドで封止する事無く液晶表示装
置の信頼性を保つ事が可能となった。

【０００９】以上の実施例ではエッチングマスクとして
クロムを用いたが、エッチングマスクになるものなら例
えば窒化ケイ素膜や二酸化ケイ素膜のような別の材料で
もかまわない。

【００１０】さらにエッチングマスクの除去は必ずしも
必要ではなく、エッチングマスクを介して層間絶縁膜の
上層に画素電極を形成する事も可能である。この場合エ
ッチングマスク剥離工程の削除を伴うので、第二層間絶
縁膜へのダメージを更に低減できる。またエッチングマ
スクのパターニング後、フォトレジストの剥離を行うと
第二層間絶縁膜１０４のエッチング時に、エッチングマ
スクがエッチングガスに曝されてダメージを受け易くな
るため、前記フォトレジストは剥離しないまま第二層間
絶縁膜のエッチングを行うのが望ましい。

【００１１】また画素電極も例えばアルミニウムが使え
るなどＩＴＯには限らない。

【００１２】以上が本発明の実施例であるが、シール部
１１０には比較的水分の侵入経路となりやすい有機樹脂
を用いた第二層間絶縁膜１０４が形成されていない。従
って第二層間絶縁膜１０４を経路として液晶層に水分が
侵入する事は防げ、結果として液晶の劣化を防止でき
る。

【００１３】同時にドライバー１０３はシール部１１０
より内側である画素表示部側にあるためわざわざドライ
バー用のスペースを確保する必要がなく省スペース化が
はかれる。さらにドライバー１０３上の第二層間絶縁膜
１０４を除去せずに済むためドライバーはエッチングに
よるダメージを受けない。また従来の構造では最終的に
ポリイミドからなるドライバー保護膜１１４を形成して
ドライバーを封止する必要があったが本発明を用いると
すでに第二層間絶縁膜１０４で覆われているのでさらな
る封止は不必要となる。

【００１４】またＩＴＯなどの導電性薄膜であるシール
ド１１２がドライバー上の第二層間絶縁膜１０４上に存
在するため外部電場によるドライバーの信頼性低下を招
かない。同時に対向基板上のシールド１１２に対応する
位置には対向電極を形成しない事によりシールド１１２
近辺の電界強度は格段に低下する。よってドライバー１
０３は外部電場を受けにくくなる。

【００１５】

【発明の効果】本発明を用いれば、ドライバーはシール
部よりも画素表示部寄りにあるため省スペース化が図れ
る。またドライバー上には画素部と共に同じ膜厚の層間
絶縁膜を形成するのでドライバーに液晶が直接触れる事
が無くドライバーが液晶封入部にあっても信頼性の低下
は防げる。

【００１６】またドライバーは層間絶縁膜上の導電性薄
膜にも保護されているため、外部電場による悪影響も低
減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例記載の液晶表示装置の平面図。

【図２】 実施例記載の液晶表示装置のＡ−Ａ’間に於
ける断面図。

【図３】 実施例の工程を表す断面図。

【図４】 従来例の液晶表示装置の断面図。

【符号の説明】

１０１ ガラス基板 １０２ 画素ＴＦＴ １０３ ドライバー １０４ 第二層間絶縁膜 １０５ エッチングマスク １０６ 画素電極 １０７ 対向基板 １０８ 接着剤 １０９ 対向電極 １１０ シール部 １１１ 画素部 １１２ シールド １１３ 第一層間絶縁膜 １１４ ドライバー保護膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ドライバー内蔵アクティブマトリクス方
   式の液晶表示装置において、アクティブマトリクス基板
   はゲート配線とソース配線を層間分離する第一の層間絶
   縁膜と、ソース配線と画素電極を層間分離する第二の層
   間絶縁膜とを備え、ドライバーを対向する２枚の基板の
   接着部よりも画素表示部寄り配置することと、少なくと
   も第二の層間絶縁膜は前記ドライバー上にも形成する事
   と、少なくとも第二の層間絶縁膜は対向基板との接着部
   及びその外周には形成しない事と、前記ドライバー上の
   層間絶縁膜上には他の配線などと導通をとらず浮遊電位
   としたＩＴＯなどの導電性薄膜を形成することと、対向
   する基板のドライバーに対応する位置には対向電極であ
   る導電性薄膜を形成しない事を特徴とする液晶表示装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１において第二の層間絶縁膜はポ
   リイミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、ポリアミド樹脂
   などの有機樹脂からなる事を特徴とする液晶表示装置。