JPH0625962Y2 - コンテナ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はコンテナに関し、詳しくは、半導体装置の製造
等の各種製造ラインに使用され、ワークであるウェーハ
ロットを収納して保管、運搬するためのコンテナに関す
る。

〔従来の技術」 各種製造ライン、例えば半導体装置の製造ラインでは、
多数の半導体ウェーハを整列させたキャリア、即ち、多
数のウェーハロットを箱型のコンテナに収納して保管・
運搬するのが一般的である。近年、上記半導体装置は、
多品種少量生産される傾向にあり、ユーザーの要望に応
じたカスタム品が多い。一方、上記半導体製造ライン
は、多数の処理工程からなり、この処理工程中、不純物
拡散工程に先立って同一の設備で複数回に亘る成膜処理
が繰り返し行われる。従って、前述したウェーハロット
を収納したコンテナが、上記成膜工程に搬入されてくる
と、先行するコンテナが存在するために、多数のコンテ
ナが停滞することが常であった。このように多数のコン
テナが停滞すると、各コンテナ内のウェーハロットが多
品種に亘るカスタム品である場合、そのユーザーの要望
に応じて優先すべき製品ロットのコンテナが他のコンテ
ナと混在することになる。そこで、上記コンテナの作業
着手優先度を識別し、それに応じてコンテナを取扱う必
要があった。

そこで、上述した工程への搬入停滞時、多数のコンテナ
をその作業着手優先度に応じて識別する手段として、例
えば、上記コンテナにラベル表示や色分け表示を施した
り、また、処理設備と共に端末装置を設置し、この端末
装置による表示を作業者が認識するようにしたり、或い
は、上記処理設備と共にコンテナを収容するための保管
棚を設置し、保管棚のコンテナ毎にランプ表示してこれ
により作業者が認識するようにしている。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところで、上述したようにコンテナにラベル表示或いは
色分け表示を施す場合には、上記コンテナに対する作業
着手優先度が変更された時に、作業者がその都度ラベル
を取替えなければならず、非常に煩雑かつ工数大とな
り、作業性が悪い。また、処理設備と共に端末装置を設
置した場合、その端末装置に表示された情報データに応
じて、そのコンテナを選定しなければならず、而も上記
情報データが時々刻々と変更されるために、コンテナと
一致しないことも生ずる。更に、コンテナを収容するた
めの保管棚を設置した場合、上記保管棚自体が高価であ
り設置スペースを必要とする。またコンテナに対する情
報データが認識できるのはそのコンテナが保管棚に収容
されている時のみであり、一旦、保管棚から取出してし
まえば認識することは困難である。而も、コンテナの停
滞数が増加すると、保管棚の容量を超えることもあって
保管棚に収容できないコンテナが発生することもあっ
た。

〔課題を解決するための手段〕

そこで、本考案は上記問題点に鑑みて提案されたもの
で、その目的とするところは、簡便な手段にて時々刻々
変更される作業着手優先度の情報データを即時認識し得
るコンテナを提供することにある。

本考案における上記目的を達成するための技術的手段
は、ワークロットを収納し、製造ラインの処理工程への
搬入停滞時でそのワークロットに応じた作業着手優先度
を持つコンテナに、ホストコンピュータとワイヤレスモ
デム接続され、且つ、上記作業着手優先度の情報データ
を表示する小型ディスプレイを設けたことである。

〔作用〕

本考案によれば、製造ラインの処理工程へのコンテナの
搬入停滞時、ホストコンピュータとワイヤレスモデム接
続された小型ディスプレイで上記コンテナに応じて作業
着手優先度の情報データを時々刻々変更しながら表示
し、コンテナ自身にリアルタイムな情報データを正確に
表示することが可能となる。

〔実施例〕

本考案に係るコンテナの一実施例を第１図及び第２図を
参照しながら説明する。

本考案のコンテナ（１）は、第１図に示すように有底箱
型のコンテナ本体（２）の上面に、開閉自在な蓋体
（３）を枢着したものであり、その特徴とするところ
は、上記コンテナ本体（２）の外側壁面に小型液晶ディ
スプレイ等の薄形のディスプレイ（４）を装着したこと
にある。このディスプレイ（４）は、上記の表示方式に
限らず、その他に例えば、ＥＬディスプレイやプラズマ
ディスプレイ等が使用可能である。また上記ディスプレ
イ（４）は、後述するホストコンピュータとワイヤレス
モデム接続され、このホストコンピュータからの情報デ
ータを受信して必要な情報データのみを判別するＩＣを
内蔵する。

上記コンテナ（１）を半導体装置の製造ラインで使用す
る場合、半導体ウェーハを整列させたキャリア、即ち、
ワークロットが収納される。そして、上記製造ラインの
処理工程中、不純物拡散工程に先立って同一設備により
繰り返し行われる成膜処理工程（Ａ）に搬入されたコン
テナ（１）（１）…が停滞した場合、第２図に示すよう
に、ホストコンピュータ（５）からワイヤレスモデム
（６）を介して各コンテナ（１）（１）…に、そのコン
テナ（１）（１）…に応じた作業着手優先度の情報デー
タを送信する。一方、処理工程（Ａ）に停滞した多数の
コンテナ（１）（１）…は、それが収納するワークロッ
トのＩＤコード及びディスプレイ（４）（４）…のアド
レスに基づいて、上記ディスプレイ（４）（４）…のＩ
Ｃにより必要とする情報データか否かを判別し、そのコ
ンテナ（１）（１）…に応じて必要な情報データをディ
スプレイ（４）（４）…で表示する。このディスプレイ
（４）（４）…に表示された作業着手優先度に基づいて
作業者が上記コンテナ（１）（１）…を順次処理設備
（７）に投入する。この処理設備（７）ではその処理内
容に基づく情報データをホストコンピュータ（５）に送
信し、そのホストコンピュータ（５）にてデータ処理さ
れる。このようにして上記情報データは時々刻々変更さ
れるが、その都度、ホストコンピュータ（５）から最新
の情報データがコンテナ（１）（１）…に送信されてデ
ィスプレイ（４）（４）…に表示され、その表示された
情報データの作業着手優先度に基づいてコンテナ（１）
（１）…を順次処理する。

〔考案の効果〕

本考案によれば、コンテナに作業着手優先度の情報デー
タを表示する安価でコンパクトな小型ディスプレイを設
けたから、製造ラインの処理工程へのコンテナ搬入停滞
時、各コンテナ自体にリアルタイムな情報データを表示
させることができ、作業者はそのコンテナについて正確
な優先度を認識することが容易となって作業性の向上が
図れ、生産工期の短縮化が実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るコンテナの一実施例を示す斜視
図、第２図は第１図のコンテナを使用した製造ラインの
処理工程でのシステム構成図である。 （１）……コンテナ、 （４）……小型ディスプレイ、 （５）……ホストコンピュータ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ 8418−4Ｍ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークロットを収納し、製造ラインの処理
   工程への搬入停滞時でそのワークロットに応じた作業着
   手優先度を持つコンテナに、ホストコンピュータとワイ
   ヤレスモデム接続され、且つ、上記作業着手優先度の情
   報データを表示する小型ディスプレイを設けたことを特
   徴とするコンテナ。