JPH06263219A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH06263219A JPH06263219A JP5084393A JP5084393A JPH06263219A JP H06263219 A JPH06263219 A JP H06263219A JP 5084393 A JP5084393 A JP 5084393A JP 5084393 A JP5084393 A JP 5084393A JP H06263219 A JPH06263219 A JP H06263219A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transfer
- transfer arm
- suction
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の吸着が不完全な場合であっても、その
まま基板の搬送を安全に継続することが可能な搬送装置
を提供する。 【構成】 搬送アーム３に対する基板１の吸着状態を検
出するバキュームセンサ５に加えて、搬送アーム３の移
動経路中に基板の存在を検出する超音波センサ６を設け
る。バキュームセンサ５と超音波センサ６との両方で基
板１を検出した場合は、所定の移動速度で搬送アーム３
を移動する。超音波センサ６のみで基板を検出した場合
は、所定の移動速度より減速して搬送アームを移動す
る。超音波センサ６が基板を検出しない場合は、搬送ア
ームの移動を停止する。
まま基板の搬送を安全に継続することが可能な搬送装置
を提供する。 【構成】 搬送アーム３に対する基板１の吸着状態を検
出するバキュームセンサ５に加えて、搬送アーム３の移
動経路中に基板の存在を検出する超音波センサ６を設け
る。バキュームセンサ５と超音波センサ６との両方で基
板１を検出した場合は、所定の移動速度で搬送アーム３
を移動する。超音波センサ６のみで基板を検出した場合
は、所定の移動速度より減速して搬送アームを移動す
る。超音波センサ６が基板を検出しない場合は、搬送ア
ームの移動を停止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハやガラス基板等
を搬送する搬送装置に用いられるものである。
を搬送する搬送装置に用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の装置は、基板を搬送手段
上に真空吸着する等し、この吸着をバキュームセンサ等
で確認した後、所定の位置へ搬送する構成となってい
た。即ち、複数の基板を一時的にストックしておく基板
カセットに搬送アームを進入させ、搬送アーム上に真空
吸引等によって基板を吸着する。バキュームセンサ等に
よって搬送アーム上に基板を吸着したことが確認される
と、搬送アームは移動して基板カセットから基板を取り
出し、露光装置の露光位置へ基板を搬送する。
上に真空吸着する等し、この吸着をバキュームセンサ等
で確認した後、所定の位置へ搬送する構成となってい
た。即ち、複数の基板を一時的にストックしておく基板
カセットに搬送アームを進入させ、搬送アーム上に真空
吸引等によって基板を吸着する。バキュームセンサ等に
よって搬送アーム上に基板を吸着したことが確認される
と、搬送アームは移動して基板カセットから基板を取り
出し、露光装置の露光位置へ基板を搬送する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の如
き従来の装置では、基板が反り等の変形を起こしている
場合は完全に搬送アーム上に吸着することができない。
この場合、バキュームセンサは真空圧がリークして所定
の吸着圧を検出することができないため、基板を載置し
ていないと判断することになる。基板を載置していない
と判断されると、搬送装置の動作を停止して作業者に対
して警告を発することになる。
き従来の装置では、基板が反り等の変形を起こしている
場合は完全に搬送アーム上に吸着することができない。
この場合、バキュームセンサは真空圧がリークして所定
の吸着圧を検出することができないため、基板を載置し
ていないと判断することになる。基板を載置していない
と判断されると、搬送装置の動作を停止して作業者に対
して警告を発することになる。
【０００４】このように、基板の反り等によって吸着不
良を起こしている場合に基板の搬送を継続すると基板が
搬送装置から脱落する恐れがある反面、基板を載置して
いないと判断してその都度装置を停止すると装置のスル
ープットを低下させる原因となる。本発明は上記の如き
問題点に鑑みて成されたものであり、基板の吸着が不完
全な場合であっても、そのまま基板の搬送を安全に継続
することが可能な搬送装置を提供することを目的とす
る。
良を起こしている場合に基板の搬送を継続すると基板が
搬送装置から脱落する恐れがある反面、基板を載置して
いないと判断してその都度装置を停止すると装置のスル
ープットを低下させる原因となる。本発明は上記の如き
問題点に鑑みて成されたものであり、基板の吸着が不完
全な場合であっても、そのまま基板の搬送を安全に継続
することが可能な搬送装置を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点解決のため本
発明では、基板（１）を載置して移動する搬送手段
（３）と、搬送手段に対して基板を吸着する吸着手段
（４）と、吸着手段による基板の吸着状態を検出する吸
着状態検出手段（５）とを備え、基板を所定の位置に搬
送する搬送装置において、搬送手段（３）の移動中に、
基板が搬送手段上に存在するか否かを非接触で検出する
基板検出手段（６）と；吸着状態検出手段（５）による
検出結果に基づいて搬送手段（３）の移動速度を変化さ
せるとともに、基板検出手段（６）による検出結果に基
づいて搬送手段の移動を停止する搬送制御手段（８）と
を備えることとした。
発明では、基板（１）を載置して移動する搬送手段
（３）と、搬送手段に対して基板を吸着する吸着手段
（４）と、吸着手段による基板の吸着状態を検出する吸
着状態検出手段（５）とを備え、基板を所定の位置に搬
送する搬送装置において、搬送手段（３）の移動中に、
基板が搬送手段上に存在するか否かを非接触で検出する
基板検出手段（６）と；吸着状態検出手段（５）による
検出結果に基づいて搬送手段（３）の移動速度を変化さ
せるとともに、基板検出手段（６）による検出結果に基
づいて搬送手段の移動を停止する搬送制御手段（８）と
を備えることとした。
【０００６】
【作用】本発明では、基板を吸着する真空圧を検出する
バキュームセンサに加えて、搬送アーム上の基板の有無
を検出する非接触型のセンサを搬送経路中に設けたこと
により、吸着不良によって基板の有無が正確に判断でき
ない場合でも確実に基板の有無を判断し、さらに基板の
吸着状態に応じて搬送アームの移動を制御することがで
きる。
バキュームセンサに加えて、搬送アーム上の基板の有無
を検出する非接触型のセンサを搬送経路中に設けたこと
により、吸着不良によって基板の有無が正確に判断でき
ない場合でも確実に基板の有無を判断し、さらに基板の
吸着状態に応じて搬送アームの移動を制御することがで
きる。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の実施例による搬送装置を備
えた露光装置における搬送系の概略的な構成を示す図で
ある。この搬送系（搬送装置とその周辺の装置とを含
む）は、複数の基板１を収納した基板カセット２、カセ
ット２に対して進退可能に配置されて基板１の搬入出を
行う搬送アーム３、真空吸着装置４によって搬送アーム
３に対して基板を吸着保持する際の吸着圧を検出するバ
キュームセンサ５、搬送経路中に配置されて搬送アーム
３上の基板の存在を検出する超音波センサ６、基板１に
露光処理を施す際にこの基板１を保持する基板ステージ
７、及びバキュームセンサ５と超音波センサ６からの情
報によって搬送アーム３の移動を制御する制御部８とか
ら成る。
えた露光装置における搬送系の概略的な構成を示す図で
ある。この搬送系（搬送装置とその周辺の装置とを含
む）は、複数の基板１を収納した基板カセット２、カセ
ット２に対して進退可能に配置されて基板１の搬入出を
行う搬送アーム３、真空吸着装置４によって搬送アーム
３に対して基板を吸着保持する際の吸着圧を検出するバ
キュームセンサ５、搬送経路中に配置されて搬送アーム
３上の基板の存在を検出する超音波センサ６、基板１に
露光処理を施す際にこの基板１を保持する基板ステージ
７、及びバキュームセンサ５と超音波センサ６からの情
報によって搬送アーム３の移動を制御する制御部８とか
ら成る。
【０００８】上記の搬送装置（搬送系）による基板の搬
送動作について図２を参照して説明する。先ず、搬送ア
ーム３が基板カセット２内に進入し、基板１を真空吸着
装置４によって搬送アーム３上に吸着保持する（ステッ
プ１０）。この時、バキュームセンサ５がＯＮになれ
ば、基板１は所定の吸着圧で搬送アーム３に吸着されて
いることとなり、制御部８は搬送アーム３を所定の移動
速度で基板ステージ７に向けて移動する（ステップ１
１，１２）。ここで、仮にバキュームセンサ５がＯＦＦ
であると、基板１を載置していないか、もしくは基板の
吸着が所定の吸着圧で成されていない（吸着不良）かの
いずれかであるため、制御部８は基板ステージ７に向か
う搬送アーム３の移動速度を所定の速度よりも減速する
（ステップ１６）。
送動作について図２を参照して説明する。先ず、搬送ア
ーム３が基板カセット２内に進入し、基板１を真空吸着
装置４によって搬送アーム３上に吸着保持する（ステッ
プ１０）。この時、バキュームセンサ５がＯＮになれ
ば、基板１は所定の吸着圧で搬送アーム３に吸着されて
いることとなり、制御部８は搬送アーム３を所定の移動
速度で基板ステージ７に向けて移動する（ステップ１
１，１２）。ここで、仮にバキュームセンサ５がＯＦＦ
であると、基板１を載置していないか、もしくは基板の
吸着が所定の吸着圧で成されていない（吸着不良）かの
いずれかであるため、制御部８は基板ステージ７に向か
う搬送アーム３の移動速度を所定の速度よりも減速する
（ステップ１６）。
【０００９】次に、搬送アーム３が超音波センサ６の位
置を通過する際に、超音波センサ６によって搬送アーム
３上に基板１が載置されているかどうかを検出する。バ
キュームセンサ５がＯＮの時に超音波センサ６が基板１
を検出すれば、制御部８は搬送アーム３の搬送をそのま
ま継続する（ステップ１３，１４）。ステップ１３で超
音波センサ６が基板を検出しなければ、それまでの搬送
経路中に基板に対して何らかの異常が生じたことが考え
られるため、制御部８は搬送アーム３の搬送を停止する
（ステップ１５）。
置を通過する際に、超音波センサ６によって搬送アーム
３上に基板１が載置されているかどうかを検出する。バ
キュームセンサ５がＯＮの時に超音波センサ６が基板１
を検出すれば、制御部８は搬送アーム３の搬送をそのま
ま継続する（ステップ１３，１４）。ステップ１３で超
音波センサ６が基板を検出しなければ、それまでの搬送
経路中に基板に対して何らかの異常が生じたことが考え
られるため、制御部８は搬送アーム３の搬送を停止する
（ステップ１５）。
【００１０】一方、ステップ１１でバキュームセンサ５
がＯＦＦとなり搬送アームを減速して移動している場合
（ステップ１６）は、超音波センサ６が基板を検出した
としても基板の吸着が不良であるため、搬送アームの移
動速度は減速したままとする（ステップ１７，１８）。
このとき、超音波センサを複数設けて基板の載置状態を
判断するようにし、基板が正常に載置されていないと判
断される場合には、安全のためエラーとして基板の搬送
を停止するようにしてもよい。
がＯＦＦとなり搬送アームを減速して移動している場合
（ステップ１６）は、超音波センサ６が基板を検出した
としても基板の吸着が不良であるため、搬送アームの移
動速度は減速したままとする（ステップ１７，１８）。
このとき、超音波センサを複数設けて基板の載置状態を
判断するようにし、基板が正常に載置されていないと判
断される場合には、安全のためエラーとして基板の搬送
を停止するようにしてもよい。
【００１１】ステップ１７で超音波センサ６が基板を検
出しなかった場合は、基板が載置されていないとして搬
送アーム３の移動を停止する（ステップ１９）。尚、ス
テージ７上から基板を受け取り、カセット２へ搬入する
場合も上記と同様の制御を行う。上記の実施例では、基
板を検出する非接触型のセンサとして超音波センサを用
いる例を示したが、例えばシリコンウェハ等の遮光性の
基板を搬送する場合には光センサを用いても構わない。
出しなかった場合は、基板が載置されていないとして搬
送アーム３の移動を停止する（ステップ１９）。尚、ス
テージ７上から基板を受け取り、カセット２へ搬入する
場合も上記と同様の制御を行う。上記の実施例では、基
板を検出する非接触型のセンサとして超音波センサを用
いる例を示したが、例えばシリコンウェハ等の遮光性の
基板を搬送する場合には光センサを用いても構わない。
【００１２】また、基板を複数収納したカセットから基
板を搬送する搬送系の例を示したが、これは、外部の処
理装置から基板を１枚ずつ露光装置内に搬入し、この搬
入された基板を搬送アームが受け取る構成としても良
い。さらに、上記実施例による搬送装置を有する搬送系
には、基板の位置整合を行う装置や基板の周辺部の感光
剤に対して露光処理を施す装置等を備えていても良い。
また、超音波センサ等の非接触型のセンサは、これらの
装置内に配置しても構わない。
板を搬送する搬送系の例を示したが、これは、外部の処
理装置から基板を１枚ずつ露光装置内に搬入し、この搬
入された基板を搬送アームが受け取る構成としても良
い。さらに、上記実施例による搬送装置を有する搬送系
には、基板の位置整合を行う装置や基板の周辺部の感光
剤に対して露光処理を施す装置等を備えていても良い。
また、超音波センサ等の非接触型のセンサは、これらの
装置内に配置しても構わない。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、基板を吸着する真空圧
を検出するバキュームセンサに加えて、搬送アーム上の
基板の有無を検出する非接触型のセンサを搬送経路中に
設け、これら２つのセンサからの情報に基づいて搬送ア
ームの移動を制御するため、基板の有無や搬送アーム上
での吸着状態に応じて最適な搬送アームの移動を実現す
ることができる。
を検出するバキュームセンサに加えて、搬送アーム上の
基板の有無を検出する非接触型のセンサを搬送経路中に
設け、これら２つのセンサからの情報に基づいて搬送ア
ームの移動を制御するため、基板の有無や搬送アーム上
での吸着状態に応じて最適な搬送アームの移動を実現す
ることができる。
【図１】本発明の実施例による搬送装置を備えた露光装
置における搬送系の概略的な構成を示す図
置における搬送系の概略的な構成を示す図
【図２】本発明の実施例による搬送装置の動作を示すフ
ローチャート
ローチャート
１ 基板 ２ 基板カセット ３ 搬送アーム ４ 真空吸着装置 ５ バキュームセンサ ６ 超音波センサ ８ 制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 29/84 Ｊ 9278−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を載置して移動する搬送手段と、該
搬送手段に対して前記基板を吸着する吸着手段と、該吸
着手段による前記基板の吸着状態を検出する吸着状態検
出手段とを備え、前記基板を所定の位置に搬送する搬送
装置において、 前記搬送手段の移動中に、前記基板が前記搬送手段上に
存在するか否かを非接触で検出する基板検出手段と；前
記吸着状態検出手段による検出結果に基づいて前記搬送
手段の移動速度を変化させるとともに、前記基板検出手
段による検出結果に基づいて前記搬送手段の移動を停止
する搬送制御手段とを備えたことを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項２】 前記搬送制御手段は、前記吸着状態が不
良である場合に前記搬送手段の移動速度を減速し、前記
基板検出手段によって前記基板が存在しないと判断され
た場合に前記搬送手段の移動を停止することを特徴とす
る請求項１に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5084393A JPH06263219A (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5084393A JPH06263219A (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06263219A true JPH06263219A (ja) | 1994-09-20 |
Family
ID=12870023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5084393A Pending JPH06263219A (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06263219A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003126115A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-07 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡手術システム |
| JP2006269867A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Canon Inc | 露光装置 |
| KR100763251B1 (ko) * | 2006-02-01 | 2007-10-04 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 |
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| US20140241836A1 (en) * | 2013-02-27 | 2014-08-28 | Tokyo Electron Limited | Substrate transporting apparatus, substrate delivery position confirming method, and substrate processing system |
| KR20240165639A (ko) * | 2023-05-16 | 2024-11-25 | (주) 오로스테크놀로지 | 접촉 패드의 교체가 가능한 엔드 이펙터를 이용한 웨이퍼 전달 방법 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP5084393A patent/JPH06263219A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2013093615A (ja) * | 1998-07-10 | 2013-05-16 | Brooks Automation Inc | 基板取扱いロボットの基板取り出し方法 |
| JP2003126115A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-07 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡手術システム |
| JP2006269867A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Canon Inc | 露光装置 |
| KR100763251B1 (ko) * | 2006-02-01 | 2007-10-04 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 |
| US20140241836A1 (en) * | 2013-02-27 | 2014-08-28 | Tokyo Electron Limited | Substrate transporting apparatus, substrate delivery position confirming method, and substrate processing system |
| US9455166B2 (en) * | 2013-02-27 | 2016-09-27 | Tokyo Electron Limited | Substrate transporting apparatus, substrate delivery position confirming method, and substrate processing system |
| KR20240165639A (ko) * | 2023-05-16 | 2024-11-25 | (주) 오로스테크놀로지 | 접촉 패드의 교체가 가능한 엔드 이펙터를 이용한 웨이퍼 전달 방법 |
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