JPH06264116A - 金属微粉末の製法とその製造装置 - Google Patents
金属微粉末の製法とその製造装置Info
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- JPH06264116A JPH06264116A JP7875693A JP7875693A JPH06264116A JP H06264116 A JPH06264116 A JP H06264116A JP 7875693 A JP7875693 A JP 7875693A JP 7875693 A JP7875693 A JP 7875693A JP H06264116 A JPH06264116 A JP H06264116A
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Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 遠心噴霧法（回転ディスク法）によって、そ
の粒子形が真球に近くしかも粒子表面にサテイト粒子が
付着していない、極めて微細で一定の粒径を持った金属
微粉末を効率よく生成することを目的とする。 【構成】 溶融金属２を回転体９で受け、この回転体の
遠心力で溶融金属２ａを飛散させて金属微粉末１１を生
成する装置において、上記回転体の周囲に金属微粉末サ
イズ調整手段として、電解ニッケルメッキ及びその熱処
理がしてあるステンレス製のメッシュ２２、又はこのメ
ッシュにガラス繊維又はシリカ繊維製のフィルタ２３を
組み合わせてある。
の粒子形が真球に近くしかも粒子表面にサテイト粒子が
付着していない、極めて微細で一定の粒径を持った金属
微粉末を効率よく生成することを目的とする。 【構成】 溶融金属２を回転体９で受け、この回転体の
遠心力で溶融金属２ａを飛散させて金属微粉末１１を生
成する装置において、上記回転体の周囲に金属微粉末サ
イズ調整手段として、電解ニッケルメッキ及びその熱処
理がしてあるステンレス製のメッシュ２２、又はこのメ
ッシュにガラス繊維又はシリカ繊維製のフィルタ２３を
組み合わせてある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子工業用のはんだ
粉末の生成に好適な金属微粉末の製法とその製造装置に
関する。
粉末の生成に好適な金属微粉末の製法とその製造装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より金属微粉末の生成には各種の方
法が採用されているが、最近は電子部品の表面実装技術
の進展に伴いクリームはんだによるスクリーン印刷にて
電子部品を接合するようになっており、使用するはんだ
粉末に要求される条件は従来にもまして厳しくなる傾向
にある。例えば、金属微粉末の形状が真球に近く、粒径
が小さくしかも粒径サイズが揃っていること等が上げら
れる。
法が採用されているが、最近は電子部品の表面実装技術
の進展に伴いクリームはんだによるスクリーン印刷にて
電子部品を接合するようになっており、使用するはんだ
粉末に要求される条件は従来にもまして厳しくなる傾向
にある。例えば、金属微粉末の形状が真球に近く、粒径
が小さくしかも粒径サイズが揃っていること等が上げら
れる。
【０００３】そして遠心噴霧法あるいは回転ディスク法
と呼ばれる技術が、比較的このような条件に叶うものと
して注目され、特許出願公開番号平２ー１４５７１０号
公報や同平２ー２９０９０７号公報に開示されるように
幾つかの改良技術が提案されている。
と呼ばれる技術が、比較的このような条件に叶うものと
して注目され、特許出願公開番号平２ー１４５７１０号
公報や同平２ー２９０９０７号公報に開示されるように
幾つかの改良技術が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら遠心噴霧
法あるいは回転ディスク法によって極めて微細な、例え
ば粒度分布４５μｍ以下の、細かな金属微粉末を生成し
ようとすると従来知られている技術では実際には非常に
難しく、概して生成される金属微粉末の粒子表面にサテ
ライト粒子と称する超微粉末が付着することが多く、こ
れがクリームはんだの品質に悪い影響を与えることにな
る。
法あるいは回転ディスク法によって極めて微細な、例え
ば粒度分布４５μｍ以下の、細かな金属微粉末を生成し
ようとすると従来知られている技術では実際には非常に
難しく、概して生成される金属微粉末の粒子表面にサテ
ライト粒子と称する超微粉末が付着することが多く、こ
れがクリームはんだの品質に悪い影響を与えることにな
る。
【０００５】そこで本発明者らは遠心噴霧法（回転ディ
スク法）に於ける金属微粉末の生成メカニズムを改めて
注目したところ、回転体の表面に広く薄く形成される溶
融金属の層はその周辺部位が回転体の遠心力によって多
数の紐状に分裂し次いでその先端が千切れて飛ぶように
なること、この状態は前記溶融金属の層の表面張力と回
転体による遠心力とのバランスによって左右されるが総
体的には先端の千切れ現象はランダムであり千切られる
量や大きさが一定ではないこと、そして一方、先端の千
切れ現象を利用しているので回転体にサイズ調整手段を
組合せると、このサイズ調整手段より飛散する溶融金属
の量や大きさを千切れ現象利用の従来技術に比べて微小
域でのある範囲に規制できるとの知見を得ることができ
た。そしてこの発明はこの知見に基づき提案されるもの
である。
スク法）に於ける金属微粉末の生成メカニズムを改めて
注目したところ、回転体の表面に広く薄く形成される溶
融金属の層はその周辺部位が回転体の遠心力によって多
数の紐状に分裂し次いでその先端が千切れて飛ぶように
なること、この状態は前記溶融金属の層の表面張力と回
転体による遠心力とのバランスによって左右されるが総
体的には先端の千切れ現象はランダムであり千切られる
量や大きさが一定ではないこと、そして一方、先端の千
切れ現象を利用しているので回転体にサイズ調整手段を
組合せると、このサイズ調整手段より飛散する溶融金属
の量や大きさを千切れ現象利用の従来技術に比べて微小
域でのある範囲に規制できるとの知見を得ることができ
た。そしてこの発明はこの知見に基づき提案されるもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明では、金属微粉
末の製法として、溶融金属を回転体で受けこの回転体の
遠心力で溶融金属を飛散させて金属微粉末を生成する際
に回転体に金属微粉末サイズ調整手段としてのメッシュ
を配しこのメッシュを通して溶融金属を飛散させること
にしたものである。更に金属微粉末の製造装置として、
溶融金属を受け遠心力で溶融金属を飛散させる回転体の
周囲に、金属微粉末サイズ調整手段として微小サイズの
網目を有するメッシュを交換可能にして備え、このメッ
シュを通して溶融金属を飛散させて金属微粉末を生成す
るものとした。そして上記製造装置には、ステンレス製
で電解ニッケルメッキ及びその熱処理が施してあるメッ
シュ、又はこのメッシュにガラス繊維又はシリカ繊維製
のフィルタが組み合わせてあるメッシュを使用すること
ができるようにした。
末の製法として、溶融金属を回転体で受けこの回転体の
遠心力で溶融金属を飛散させて金属微粉末を生成する際
に回転体に金属微粉末サイズ調整手段としてのメッシュ
を配しこのメッシュを通して溶融金属を飛散させること
にしたものである。更に金属微粉末の製造装置として、
溶融金属を受け遠心力で溶融金属を飛散させる回転体の
周囲に、金属微粉末サイズ調整手段として微小サイズの
網目を有するメッシュを交換可能にして備え、このメッ
シュを通して溶融金属を飛散させて金属微粉末を生成す
るものとした。そして上記製造装置には、ステンレス製
で電解ニッケルメッキ及びその熱処理が施してあるメッ
シュ、又はこのメッシュにガラス繊維又はシリカ繊維製
のフィルタが組み合わせてあるメッシュを使用すること
ができるようにした。
【０００７】
【作用】金属微粉末の生成メカニズムに於いて、回転体
表面に供給された溶融金属は回転体の遠心力によってメ
ッシュの内側面にいわば「へばりつく」状態を呈し、そ
して瞬時にしてメッシュの網目がそこを通過することを
許す量、サイズの溶融金属（粒子）のみが飛散されるこ
とになるので、極めて微細な金属微粉末を生成でき、ま
た粒子表面にサテライト粒子が生成・付着する度合いも
激減する。そしてメッシュを交換可能とすることで、意
図する粒度分布の金属微粉末の生成が可能となる。また
ステンレス製で電解ニッケルメッキ及びその熱処理が施
してあるメッシュを使用すると溶融金属が付着しづらく
なり、ガラス繊維またはシリカ繊維製のフィルタをメッ
シュに組み合わせると溶融金属に生じる酸化物の除去が
可能であってメッシュの網目が詰まらない。
表面に供給された溶融金属は回転体の遠心力によってメ
ッシュの内側面にいわば「へばりつく」状態を呈し、そ
して瞬時にしてメッシュの網目がそこを通過することを
許す量、サイズの溶融金属（粒子）のみが飛散されるこ
とになるので、極めて微細な金属微粉末を生成でき、ま
た粒子表面にサテライト粒子が生成・付着する度合いも
激減する。そしてメッシュを交換可能とすることで、意
図する粒度分布の金属微粉末の生成が可能となる。また
ステンレス製で電解ニッケルメッキ及びその熱処理が施
してあるメッシュを使用すると溶融金属が付着しづらく
なり、ガラス繊維またはシリカ繊維製のフィルタをメッ
シュに組み合わせると溶融金属に生じる酸化物の除去が
可能であってメッシュの網目が詰まらない。
【０００８】
【実施例】次に実施例を説明する。説明の便宜上以下で
は最初に金属微粉末の製造装置の実施例につき図面を参
照して説明し、金属微粉末の製法の実施例はそのつど必
要に応じて言及するものとする。図１では金属微粉末の
製造装置の全体が概略的に示され、その要部となる「回
転体」の詳細が図２及び図３で示される。図１に於い
て、１は電気炉兼用の圧力容器で約８００°Ｃ前後に加
熱保温自在としてあり、中に溶融金属として「溶融はん
だ」２が入れてある。尚、３は圧力計を示す。
は最初に金属微粉末の製造装置の実施例につき図面を参
照して説明し、金属微粉末の製法の実施例はそのつど必
要に応じて言及するものとする。図１では金属微粉末の
製造装置の全体が概略的に示され、その要部となる「回
転体」の詳細が図２及び図３で示される。図１に於い
て、１は電気炉兼用の圧力容器で約８００°Ｃ前後に加
熱保温自在としてあり、中に溶融金属として「溶融はん
だ」２が入れてある。尚、３は圧力計を示す。
【０００９】圧力容器１の下側は噴霧室４となってお
り、内部空間を不活性雰囲気に保つため真空ポンプ５で
噴霧室４内を真空にし、不活性ガス精製炉６で精製した
不活性ガスを噴霧室４内に供給する。不活性ガスは供給
管７と排出管８により適量分が噴霧室４内に供給され回
転体９の周辺を完全な不活性雰囲気に保ち溶融はんだ２
とそこで生成されるはんだ粉末１１の酸化を防止するも
のである。尚、１２は真空計を示す。
り、内部空間を不活性雰囲気に保つため真空ポンプ５で
噴霧室４内を真空にし、不活性ガス精製炉６で精製した
不活性ガスを噴霧室４内に供給する。不活性ガスは供給
管７と排出管８により適量分が噴霧室４内に供給され回
転体９の周辺を完全な不活性雰囲気に保ち溶融はんだ２
とそこで生成されるはんだ粉末１１の酸化を防止するも
のである。尚、１２は真空計を示す。
【００１０】回転体９は噴霧室４の内部空間で圧力容器
１に近接させてその真下に配置され、フィルタ系１３及
びノズル１４を介して圧力容器１から供給される溶融は
んだ２を受け取り易くしている。回転体９には加熱ヒー
タ１５が配されており受け取った溶融はんだ２が冷却せ
ぬよう常時回転体９を加熱する。そして架台１６内に組
み込んだモータ部１７から回転体９に高速回転力を与え
るものである。噴霧室４の下部は傾斜底１８となってお
り、そこに落下してくるはんだ粉末１１を集めて受け皿
１９に案内し、適量毎に取り出せるようにしてある。
１に近接させてその真下に配置され、フィルタ系１３及
びノズル１４を介して圧力容器１から供給される溶融は
んだ２を受け取り易くしている。回転体９には加熱ヒー
タ１５が配されており受け取った溶融はんだ２が冷却せ
ぬよう常時回転体９を加熱する。そして架台１６内に組
み込んだモータ部１７から回転体９に高速回転力を与え
るものである。噴霧室４の下部は傾斜底１８となってお
り、そこに落下してくるはんだ粉末１１を集めて受け皿
１９に案内し、適量毎に取り出せるようにしてある。
【００１１】次にこの装置で使用する回転体９の詳細を
図２と図３を参照して説明する。概略的に回転体９は、
モータ部１７と直結するベース２０上に、ケース２１
と、メッシュ２２と、フィルタ２３とそして蓋２４とを
組み合わせた全体が偏平円筒状容器のごときものとして
ある。メッシュ２２は微小サイズの編み目２５を有し全
体が偏平円筒状に形成してあり、交換可能にしてケース
２１の円筒壁２６の外側に添わせる。メッシュ２２はス
テンレス製でそこに電解ニッケルメッキ及びその熱処理
を施し、溶融はんだ２の濡性を考慮してメッシュ２２に
溶融はんだ２が付着しないようにしてある。更にメッシ
ュ２２の内側面には、ガラス繊維またはシリカ繊維製の
フィルタ２３が添わされ、溶融はんだ２の酸化防止とメ
ッシュ２２の編み目２５の目詰まり防止を行う。メッシ
ュ２２は、「金属微粉末サイズ調整手段」を主に構成す
るものであり、そこにフィルタ２３が添わされるもので
ある。
図２と図３を参照して説明する。概略的に回転体９は、
モータ部１７と直結するベース２０上に、ケース２１
と、メッシュ２２と、フィルタ２３とそして蓋２４とを
組み合わせた全体が偏平円筒状容器のごときものとして
ある。メッシュ２２は微小サイズの編み目２５を有し全
体が偏平円筒状に形成してあり、交換可能にしてケース
２１の円筒壁２６の外側に添わせる。メッシュ２２はス
テンレス製でそこに電解ニッケルメッキ及びその熱処理
を施し、溶融はんだ２の濡性を考慮してメッシュ２２に
溶融はんだ２が付着しないようにしてある。更にメッシ
ュ２２の内側面には、ガラス繊維またはシリカ繊維製の
フィルタ２３が添わされ、溶融はんだ２の酸化防止とメ
ッシュ２２の編み目２５の目詰まり防止を行う。メッシ
ュ２２は、「金属微粉末サイズ調整手段」を主に構成す
るものであり、そこにフィルタ２３が添わされるもので
ある。
【００１２】止めネジ２７でケース２１に固定され一体
化された状態において、回転体９は外より内側へ向か
い、ベース２０の円筒壁２８、メッシュ２２、フィルタ
２３、ケース２１の円筒壁２６というサンドイッチ構造
を呈し、その全体を蓋２４で覆うことで内部空間を上方
は蓋２４で、下方はベース２０の底面２９で、周囲はケ
ース２１の円筒壁２６で各々区画化することになり、そ
してその全体が高速回転自在なものになる。このために
ケース２１の円筒壁面２６にネジ孔３０が形成されそこ
に用いる止めネジ２７がメッシュ２２とフィルタ２３を
止着しメッシュ２２とフィルタ２３とケース２１との一
体化を果たす。またケース２１を受け入れるベース２０
の円筒壁２８とこの円筒壁２８の周辺上部を覆う蓋２４
のフランジ部３１とには、それぞれ、止めネジ２７を受
入れ且つ回転方向のズレを防止するために切欠部３２、
３３が形成されている。そして、ベース２０とケース２
１の各円筒壁２８、２６には複数の窓３４、３５が各々
開いており円筒壁２８、２６の殆どの壁面部位が開放さ
れ、溶融はんだ２の飛散に邪魔とならない形状構造が採
用されている。そして窓３４、３５には内側のフィルタ
２３を介して外側のメッシュ２２が臨まされる。蓋２４
の頂部中央には開孔３６があり、ノズル１４の先端を受
入れて、フィルタ系１３及びノズル１４を介して圧力容
器１から供給される溶融はんだ２をベース２０の底面２
９で受け取り易くしている。
化された状態において、回転体９は外より内側へ向か
い、ベース２０の円筒壁２８、メッシュ２２、フィルタ
２３、ケース２１の円筒壁２６というサンドイッチ構造
を呈し、その全体を蓋２４で覆うことで内部空間を上方
は蓋２４で、下方はベース２０の底面２９で、周囲はケ
ース２１の円筒壁２６で各々区画化することになり、そ
してその全体が高速回転自在なものになる。このために
ケース２１の円筒壁面２６にネジ孔３０が形成されそこ
に用いる止めネジ２７がメッシュ２２とフィルタ２３を
止着しメッシュ２２とフィルタ２３とケース２１との一
体化を果たす。またケース２１を受け入れるベース２０
の円筒壁２８とこの円筒壁２８の周辺上部を覆う蓋２４
のフランジ部３１とには、それぞれ、止めネジ２７を受
入れ且つ回転方向のズレを防止するために切欠部３２、
３３が形成されている。そして、ベース２０とケース２
１の各円筒壁２８、２６には複数の窓３４、３５が各々
開いており円筒壁２８、２６の殆どの壁面部位が開放さ
れ、溶融はんだ２の飛散に邪魔とならない形状構造が採
用されている。そして窓３４、３５には内側のフィルタ
２３を介して外側のメッシュ２２が臨まされる。蓋２４
の頂部中央には開孔３６があり、ノズル１４の先端を受
入れて、フィルタ系１３及びノズル１４を介して圧力容
器１から供給される溶融はんだ２をベース２０の底面２
９で受け取り易くしている。
【００１３】次にこのような装置の使用状態を説明す
る。圧力容器１内の溶融はんだ２はフィルタ系１３及び
ノズル１４を介して圧力容器１からその真下に位置する
回転体９に供給される。即ちノズル１４の先端からベー
ス２０の底面２９に供給された溶融はんだ２ａは「生
地」のようにそこで薄く広がるが、回転体９にはモータ
部１７から高速回転力が与えられベース２０やケース２
１が高速回転しているため、溶融はんだ２ａは瞬時にし
て窓３５に露呈しているフィルタ２３の内面に「へばり
つく」状態を呈し、更にその外側へと飛散するようにな
る。そして回転体９にはメッシュ２２が配してあるた
め、メッシュ２２の微小な編み目２５がそこを通過する
ことを許す量、サイズの溶融はんだ２ａを粉末粒子とし
て飛散させることになる。したがって、溶融はんだ２ａ
が粉末粒子として飛散する直前にその粒子の量とサイズ
が規制されてしまう。溶融はんだ２ａから飛散した個々
の粒子はそのまま微小なはんだ粉末１１となるが、これ
らは全て極めて微小なものであり、噴霧室４の内部空間
を落下する間に冷却され受け皿１９に集められ外部に取
り出される。そしてメッシュ２２はステンレス製で電解
ニッケルメッキ及びその熱処理が施してあるため溶融は
んだ２ａが付着せず、更にガラス繊維またはシリカ繊維
製のフィルタ２３をメッシュ２２の内側に施してあるの
で溶融はんだ２ａに生じる酸化物の除去が可能であって
メッシュの編み目２５が詰まらない。
る。圧力容器１内の溶融はんだ２はフィルタ系１３及び
ノズル１４を介して圧力容器１からその真下に位置する
回転体９に供給される。即ちノズル１４の先端からベー
ス２０の底面２９に供給された溶融はんだ２ａは「生
地」のようにそこで薄く広がるが、回転体９にはモータ
部１７から高速回転力が与えられベース２０やケース２
１が高速回転しているため、溶融はんだ２ａは瞬時にし
て窓３５に露呈しているフィルタ２３の内面に「へばり
つく」状態を呈し、更にその外側へと飛散するようにな
る。そして回転体９にはメッシュ２２が配してあるた
め、メッシュ２２の微小な編み目２５がそこを通過する
ことを許す量、サイズの溶融はんだ２ａを粉末粒子とし
て飛散させることになる。したがって、溶融はんだ２ａ
が粉末粒子として飛散する直前にその粒子の量とサイズ
が規制されてしまう。溶融はんだ２ａから飛散した個々
の粒子はそのまま微小なはんだ粉末１１となるが、これ
らは全て極めて微小なものであり、噴霧室４の内部空間
を落下する間に冷却され受け皿１９に集められ外部に取
り出される。そしてメッシュ２２はステンレス製で電解
ニッケルメッキ及びその熱処理が施してあるため溶融は
んだ２ａが付着せず、更にガラス繊維またはシリカ繊維
製のフィルタ２３をメッシュ２２の内側に施してあるの
で溶融はんだ２ａに生じる酸化物の除去が可能であって
メッシュの編み目２５が詰まらない。
【００１４】以上および以下の説明に於いて、「メッシ
ュ」は広い概念の用語として使用されており、そこに微
小サイズの編み目、孔、間隙、スリット等が形成される
か施されるか或いは備えるものであればどのようなので
も採用可能であり、狭義の「網体」に限定されるもので
はない。したがって「フイルタ」のごときものであって
も良い。また、上記の実施例では「溶融金属」として溶
融はんだを例示したが、むろん溶融金属は溶融はんだに
限定されず溶融銅合金、溶融金合金、溶融銀合金やその
他の合金であっても良い。
ュ」は広い概念の用語として使用されており、そこに微
小サイズの編み目、孔、間隙、スリット等が形成される
か施されるか或いは備えるものであればどのようなので
も採用可能であり、狭義の「網体」に限定されるもので
はない。したがって「フイルタ」のごときものであって
も良い。また、上記の実施例では「溶融金属」として溶
融はんだを例示したが、むろん溶融金属は溶融はんだに
限定されず溶融銅合金、溶融金合金、溶融銀合金やその
他の合金であっても良い。
【００１５】次に図４ないし図７を参照して、金属微粉
末の製法の実施例を説明する。装置として図１ないし図
３に示すものを使用し、メッシュはＳＵＳ製で電解ニッ
ケルめっき及びその熱処理を施しその編み目が約１０μ
ｍのものを使用した。溶融金属は６３Ｓｎ−３７Ｐｂの
溶融はんだとし、流下速度を１．０ｋｇ／ｍｉｎとして
回転体に供給した。回転体の回転速度は約１０，０００
ｒｐｍに調整した。生成された微小はんだ粉末の粒度分
布は以下のとおりであった。 ９０μｍ以上 ５０％ ９０−４５μｍ ３０％ ４５−２０μｍ １５％ ２０μｍ以下 ５％ 図４と図５は各々上記の２０μｍ以下の微小はんだ粉末
を×５００倍、×１５００倍にして示すものであり、ま
た図６と図７は上記の４５−２０μｍの微小はんだ粉末
を×２００倍、×１０００倍して示すものである。これ
らの顕微鏡写真から生成された微小はんだ粉末にはサテ
ライト粒子と称する「超微粉末」がなく粒形も真球に近
いものであることが判明する。
末の製法の実施例を説明する。装置として図１ないし図
３に示すものを使用し、メッシュはＳＵＳ製で電解ニッ
ケルめっき及びその熱処理を施しその編み目が約１０μ
ｍのものを使用した。溶融金属は６３Ｓｎ−３７Ｐｂの
溶融はんだとし、流下速度を１．０ｋｇ／ｍｉｎとして
回転体に供給した。回転体の回転速度は約１０，０００
ｒｐｍに調整した。生成された微小はんだ粉末の粒度分
布は以下のとおりであった。 ９０μｍ以上 ５０％ ９０−４５μｍ ３０％ ４５−２０μｍ １５％ ２０μｍ以下 ５％ 図４と図５は各々上記の２０μｍ以下の微小はんだ粉末
を×５００倍、×１５００倍にして示すものであり、ま
た図６と図７は上記の４５−２０μｍの微小はんだ粉末
を×２００倍、×１０００倍して示すものである。これ
らの顕微鏡写真から生成された微小はんだ粉末にはサテ
ライト粒子と称する「超微粉末」がなく粒形も真球に近
いものであることが判明する。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したごとく本発明に係る金属微
粉末の製法とその製造装置によれば、従来生成が困難で
あった粒度分布４５μｍ以下の極めて微小な金属微粉末
を効率良く生成でき、得られる金属微粉末の粒形は真球
に近くしかも粒子表面にサテライト粒子が付着せず、は
んだ粉末の場合であれば特にスクリーン印刷のような厳
しい使用条件に合致することのできる微粉末を生成でき
るという大きな効果がある。
粉末の製法とその製造装置によれば、従来生成が困難で
あった粒度分布４５μｍ以下の極めて微小な金属微粉末
を効率良く生成でき、得られる金属微粉末の粒形は真球
に近くしかも粒子表面にサテライト粒子が付着せず、は
んだ粉末の場合であれば特にスクリーン印刷のような厳
しい使用条件に合致することのできる微粉末を生成でき
るという大きな効果がある。
【図１】金属微粉末の製造装置の全体を概略的に示す一
部破断面の側面図。
部破断面の側面図。
【図２】図１に示す回転体の分解組み立て図。
【図３】図２に示す回転体の概略断面図。
【図４】粒度分布が２０μｍ以下の微小はんだ粉末の粒
子構造を示す×５００倍の顕微鏡写真。
子構造を示す×５００倍の顕微鏡写真。
【図５】粒度分布が２０μｍ以下の微小はんだ粉末の粒
子構造を示す×１５００倍の顕微鏡写真。
子構造を示す×１５００倍の顕微鏡写真。
【図６】粒度分布が４５−２０μｍの微小はんだ粉末の
粒子構造を示す×２００倍の顕微鏡写真。
粒子構造を示す×２００倍の顕微鏡写真。
【図７】粒度分布が４５−２０μｍの微小はんだ粉末の
粒子構造を示す×１０００倍の顕微鏡写真。
粒子構造を示す×１０００倍の顕微鏡写真。
１ 圧力容器 ２、２ａ 溶融金属（溶融はんだ） ４ 噴霧室 ９ 回転体 １１ 金属微粉末（はんだ粉末） ２０ ベース ２１ ケース ２２ メッシュ
Claims (4)
- 【請求項１】 溶融金属を回転体で受け、この回転体の
遠心力で溶融金属を飛散させて金属微粉末を生成する金
属微粉末の製法に於いて、 上記回転体に金属微粉末サイズ調整手段としてのメッシ
ュを配し、このメッシュを通して溶融金属を飛散させる
ことを特徴とする金属微粉末の製法。 - 【請求項２】 溶融金属を回転体で受け、この回転体の
遠心力で溶融金属を飛散させて金属微粉末を生成する金
属微粉末の製造装置に於いて、 上記回転体は、その周囲に金属微粉末サイズ調整手段と
して微小サイズの網目を有するメッシュを交換可能にし
て備え、このメッシュを通して溶融金属を飛散させて金
属微粉末を生成することを特徴とする金属微粉末の製造
装置。 - 【請求項３】 メッシュがステンレス製で電解ニッケル
メッキ及びその熱処理が施してある、請求項２記載の金
属微粉末の製造装置。 - 【請求項４】 メッシュには、ガラス繊維またはシリカ
繊維製のフィルタが組み合わせてある、請求項２または
３記載の、金属微粉末の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7875693A JPH06264116A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | 金属微粉末の製法とその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7875693A JPH06264116A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | 金属微粉末の製法とその製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06264116A true JPH06264116A (ja) | 1994-09-20 |
Family
ID=13670750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7875693A Pending JPH06264116A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | 金属微粉末の製法とその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06264116A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120098513A (ko) | 2011-02-28 | 2012-09-05 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 프리코트용 땜납 페이스트 |
| WO2013031588A1 (ja) | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 三菱マテリアル株式会社 | ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト |
| KR102217025B1 (ko) * | 2019-12-05 | 2021-02-18 | (주)알투비 | 3d 프린터용 금속분말 제조장치 |
| KR20240112298A (ko) | 2021-11-15 | 2024-07-18 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 땜납 입자, 땜납 입자 제조방법 및 도전성 조성물 |
| CN120680003A (zh) * | 2025-08-01 | 2025-09-23 | 湖南奥科新材料科技有限公司 | 一种有色金属预合金粉制造装置 |
| CN120940652A (zh) * | 2025-08-26 | 2025-11-14 | 中航迈特增材科技(北京)有限公司 | 一种3d打印金属粉末离心雾化盘 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS61194345A (ja) * | 1985-02-23 | 1986-08-28 | Ngk Insulators Ltd | ガス濃度検出方法 |
| JPS62240703A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-21 | Kubota Ltd | 急冷凝固粉末の製造装置 |
| JPH04337017A (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-25 | Kubota Corp | 金属粉末製造装置 |
-
1993
- 1993-03-12 JP JP7875693A patent/JPH06264116A/ja active Pending
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| US8882934B2 (en) | 2011-09-02 | 2014-11-11 | Mitsubishi Materials Corporation | Solder powder, and solder paste using solder powder |
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| KR20240112298A (ko) | 2021-11-15 | 2024-07-18 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 땜납 입자, 땜납 입자 제조방법 및 도전성 조성물 |
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