JPH06265516A - 酸素湿度センサ - Google Patents
酸素湿度センサInfo
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- JPH06265516A JPH06265516A JP5054480A JP5448093A JPH06265516A JP H06265516 A JPH06265516 A JP H06265516A JP 5054480 A JP5054480 A JP 5054480A JP 5448093 A JP5448093 A JP 5448093A JP H06265516 A JPH06265516 A JP H06265516A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 酸素濃度と湿度を同時に検出できる多機能セ
ンサを提供する。 【構成】 酸素イオン伝導性を有する第１固体電解質板
１１と、その表面に形成された第１陰極電極膜２１ｂお
よび第１陽極電極膜２１ａと、前記第１陰極電極膜２１
ｂを囲むスペーサ５と、前記スペーサ５上に前記記第１
固体電解質板１１と相対向するように配置された第２固
体電解質板１２と、その表面に形成された第２陰極電極
膜２２ｂおよび第２陽極電極膜２２ａと、前記スペーサ
の隔壁と前記第１および第２固体電解質板で囲まれて形
成された密閉空間と、前記密閉空間と外部空間とを結ぶ
拡散通路４とから成る酸素湿度センサである。
ンサを提供する。 【構成】 酸素イオン伝導性を有する第１固体電解質板
１１と、その表面に形成された第１陰極電極膜２１ｂお
よび第１陽極電極膜２１ａと、前記第１陰極電極膜２１
ｂを囲むスペーサ５と、前記スペーサ５上に前記記第１
固体電解質板１１と相対向するように配置された第２固
体電解質板１２と、その表面に形成された第２陰極電極
膜２２ｂおよび第２陽極電極膜２２ａと、前記スペーサ
の隔壁と前記第１および第２固体電解質板で囲まれて形
成された密閉空間と、前記密閉空間と外部空間とを結ぶ
拡散通路４とから成る酸素湿度センサである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は室内環境中の酸素および
湿度の各濃度を測定するための単一の酸素湿度検出装置
に関するものである。
湿度の各濃度を測定するための単一の酸素湿度検出装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、酸素濃度および湿度の両者を同時
に測定できる単一のセンサ素子は知られていない。この
ため室内環境中の酸素濃度および湿度を測定する場合、
酸素センサおよび湿度センサの２種類のセンサを用いる
必要があった。例えば、酸素センサとして、図２に示す
センサが知られている。酸素イオン伝導性を有する例え
ばジルコニア系セラミックから成る固体電解質板１の両
面に白金などの金属電極膜２（陽極２ａ、陰極２ｂ）を
形成し、さらに前記陰極２ｂ側の固体電解質板１の上に
シール板３を配置し、さらにシール板３に酸素の拡散穴
４を設けている。シール板３と固体電解質板１は、通
常、硝子、セラミックなどのスペーサ５により気密に接
着される。密閉空間６は拡散穴４を通じて外部空間に連
通している。
に測定できる単一のセンサ素子は知られていない。この
ため室内環境中の酸素濃度および湿度を測定する場合、
酸素センサおよび湿度センサの２種類のセンサを用いる
必要があった。例えば、酸素センサとして、図２に示す
センサが知られている。酸素イオン伝導性を有する例え
ばジルコニア系セラミックから成る固体電解質板１の両
面に白金などの金属電極膜２（陽極２ａ、陰極２ｂ）を
形成し、さらに前記陰極２ｂ側の固体電解質板１の上に
シール板３を配置し、さらにシール板３に酸素の拡散穴
４を設けている。シール板３と固体電解質板１は、通
常、硝子、セラミックなどのスペーサ５により気密に接
着される。密閉空間６は拡散穴４を通じて外部空間に連
通している。
【０００３】この構成において、酸素センサを動作可能
な温度に加熱したのち、電極間に直流電圧を印加する
と、陰極２ｂで酸素分子のイオン化反応が起こり、イオ
ン化した酸素イオンが固体電解質板１中を陽極２ａに向
かって陽極２ａで酸素イオンの分子化反応が起こり外部
空間へ排出される。一方、密閉空間への酸素の流入はシ
ール板３に設けられた拡散穴４により制限され、陰極２
ｂへの酸素の流入が拡散律速となる。その結果、固体電
解質板１中を酸素イオンが移動することによって生じる
電流は、印加電圧の増加に対し、ある電圧以降一定値を
示す。この一定となる電流が限界電流である。これが雰
囲気ガス中の酸素濃度にほぼ比例することから、前記限
界電流を検出することにより酸素濃度を測定できる（例
えば、特開昭５９−１９２９５３号公報、特開昭６０−
２５２２５４号公報）。
な温度に加熱したのち、電極間に直流電圧を印加する
と、陰極２ｂで酸素分子のイオン化反応が起こり、イオ
ン化した酸素イオンが固体電解質板１中を陽極２ａに向
かって陽極２ａで酸素イオンの分子化反応が起こり外部
空間へ排出される。一方、密閉空間への酸素の流入はシ
ール板３に設けられた拡散穴４により制限され、陰極２
ｂへの酸素の流入が拡散律速となる。その結果、固体電
解質板１中を酸素イオンが移動することによって生じる
電流は、印加電圧の増加に対し、ある電圧以降一定値を
示す。この一定となる電流が限界電流である。これが雰
囲気ガス中の酸素濃度にほぼ比例することから、前記限
界電流を検出することにより酸素濃度を測定できる（例
えば、特開昭５９−１９２９５３号公報、特開昭６０−
２５２２５４号公報）。
【０００４】また、前記拡散通路４に代えて、図３に示
すように、前記シール板３と前記固体電解質１とをスペ
ーサ５で気密に接着し、このスペーサ５の側壁とシール
板３と固体電解質１とで囲まれた拡散通路４も知られて
いる。この拡散通路４の始端４１は外部空間に接し、終
端４２は密閉空間に接している（例えば、特開昭６３−
１５４９５８号公報）。
すように、前記シール板３と前記固体電解質１とをスペ
ーサ５で気密に接着し、このスペーサ５の側壁とシール
板３と固体電解質１とで囲まれた拡散通路４も知られて
いる。この拡散通路４の始端４１は外部空間に接し、終
端４２は密閉空間に接している（例えば、特開昭６３−
１５４９５８号公報）。
【０００５】他方、湿度センサとして図４に示すような
湿度センサが知られている。このセンサは感湿性セラミ
ック板７とその両面に形成された電極膜８とから構成さ
れ、相対湿度の増加と共に電極膜間の抵抗値が減少する
ことを利用して湿度を検出している（例えば、ナショナ
ルテクニカルレポート Vol.24, No.3, 422-435頁、1
978）。
湿度センサが知られている。このセンサは感湿性セラミ
ック板７とその両面に形成された電極膜８とから構成さ
れ、相対湿度の増加と共に電極膜間の抵抗値が減少する
ことを利用して湿度を検出している（例えば、ナショナ
ルテクニカルレポート Vol.24, No.3, 422-435頁、1
978）。
【０００６】また、湿度センサの他の例として、図２も
しくは図３に示した酸素センサを利用する湿度センサが
ある（例えば、センサ技術１９８９年６月号 ３５−３
７頁）。同図において、陽極２ａと陰極２ｂの間に水の
電解電圧以上の電圧を印加したときに得られる限界電流
値から、水の分解電圧以下の電圧を印加したときに得ら
れる限界電流値を差し引いて得られる限界電流値に基づ
き湿度を検出する方式の湿度センサである。この場合、
分解電圧以上の電圧と以下の電圧は時間的に交互に印加
される。このため酸素と湿度を同時に測定することはで
きない。
しくは図３に示した酸素センサを利用する湿度センサが
ある（例えば、センサ技術１９８９年６月号 ３５−３
７頁）。同図において、陽極２ａと陰極２ｂの間に水の
電解電圧以上の電圧を印加したときに得られる限界電流
値から、水の分解電圧以下の電圧を印加したときに得ら
れる限界電流値を差し引いて得られる限界電流値に基づ
き湿度を検出する方式の湿度センサである。この場合、
分解電圧以上の電圧と以下の電圧は時間的に交互に印加
される。このため酸素と湿度を同時に測定することはで
きない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように従来は酸素
と湿度の両者を単一の素子で同時に検出できるセンサ素
子がなかった。このため両者を同時に測定する場合、そ
れぞれ別個の酸素センサと湿度センサを使用する必要が
あった。このことは、装置が複雑になる、高価格になる
などの問題点が発生した。この場合、更に、センサを収
納するのに必要な空間も大きくなるという課題もあっ
た。
と湿度の両者を単一の素子で同時に検出できるセンサ素
子がなかった。このため両者を同時に測定する場合、そ
れぞれ別個の酸素センサと湿度センサを使用する必要が
あった。このことは、装置が複雑になる、高価格になる
などの問題点が発生した。この場合、更に、センサを収
納するのに必要な空間も大きくなるという課題もあっ
た。
【０００８】本発明は上記課題を解決するもので、単一
のセンサ素子を用いて酸素と湿度を同時に測定できるセ
ンサを提供することを目的とする。
のセンサ素子を用いて酸素と湿度を同時に測定できるセ
ンサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、酸素イオン伝導性を有する第１固体電解
質板と、前記第１固体電解質板の一方の表面に形成され
た第１電極電極膜と、前記第１固体電解質板の他の表面
に形成され、前記第１陰極電極膜と対向する第１陽極電
極膜と、前記第１陰極電極膜を囲むスペーサと、前記ス
ペーサ上に前記第１固体電解質板と相対向するように配
置された第２固体電解質板と、前記第２固体電解質板の
一方の表面に形成され、前記第１陰極電極膜と対向する
第２陰極電極膜と、前記第２固体電解質板の他の表面に
形成され、前記第２陰極電極膜と対向する第２陽極電極
膜と、前記スペーサの隔壁と前記第１および第２の固体
電解質板で囲まれて形成された密閉空間と、前記密閉空
間と外部空間とを結ぶ拡散通路とから成る酸素湿度セン
サである。
決するために、酸素イオン伝導性を有する第１固体電解
質板と、前記第１固体電解質板の一方の表面に形成され
た第１電極電極膜と、前記第１固体電解質板の他の表面
に形成され、前記第１陰極電極膜と対向する第１陽極電
極膜と、前記第１陰極電極膜を囲むスペーサと、前記ス
ペーサ上に前記第１固体電解質板と相対向するように配
置された第２固体電解質板と、前記第２固体電解質板の
一方の表面に形成され、前記第１陰極電極膜と対向する
第２陰極電極膜と、前記第２固体電解質板の他の表面に
形成され、前記第２陰極電極膜と対向する第２陽極電極
膜と、前記スペーサの隔壁と前記第１および第２の固体
電解質板で囲まれて形成された密閉空間と、前記密閉空
間と外部空間とを結ぶ拡散通路とから成る酸素湿度セン
サである。
【００１０】
【作用】本発明は上記構成において、第１陰極電極膜と
第１陽極電極膜と第１固体電解質板とから成る第１検出
部に水分子の分解電圧以下の電圧を印加することによ
り、外部空間の酸素濃度に対応した第１限界電流値が得
られる。他方、第２陰極電極膜と第２陽極電極膜と第２
固体電解質板とから成る第２検出部に水分子の分解電圧
以上の電圧を印加することにより、外部空間の酸素濃度
と外部空間の湿度の和に対応した第２限界電流値が得ら
れる。従って、第２検出部から得られる第２限界電流値
から第１検出部から得られる第１限界電流値を差し引い
た値を用いて湿度を測定できる。このように第１検出部
と第２検出部が一つの密閉空間を共有して集積され、お
のおのの検出部の限界電流値を独立して検出できるの
で、酸素濃度と湿度を同時に検出できる。
第１陽極電極膜と第１固体電解質板とから成る第１検出
部に水分子の分解電圧以下の電圧を印加することによ
り、外部空間の酸素濃度に対応した第１限界電流値が得
られる。他方、第２陰極電極膜と第２陽極電極膜と第２
固体電解質板とから成る第２検出部に水分子の分解電圧
以上の電圧を印加することにより、外部空間の酸素濃度
と外部空間の湿度の和に対応した第２限界電流値が得ら
れる。従って、第２検出部から得られる第２限界電流値
から第１検出部から得られる第１限界電流値を差し引い
た値を用いて湿度を測定できる。このように第１検出部
と第２検出部が一つの密閉空間を共有して集積され、お
のおのの検出部の限界電流値を独立して検出できるの
で、酸素濃度と湿度を同時に検出できる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。
明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例を示す断面図であ
る。第１固体電解質板１１の両面に第１陽極電極膜２１
ａおよび第１陰極電極膜２１ｂを形成し、更に拡散通路
４を形成した。また、第２固体電解質板１２の両面に第
２陽極電極膜２２ａおよび第２陰極電極膜２２ｂを形成
した。次に、拡散通路４と第１陰極電極膜２２ａおよび
第２陰極電極膜２２ｂをそれぞれ取り囲むようにして両
者をスペーサ５で気密に接着し、気密空間６を形成し
た。
る。第１固体電解質板１１の両面に第１陽極電極膜２１
ａおよび第１陰極電極膜２１ｂを形成し、更に拡散通路
４を形成した。また、第２固体電解質板１２の両面に第
２陽極電極膜２２ａおよび第２陰極電極膜２２ｂを形成
した。次に、拡散通路４と第１陰極電極膜２２ａおよび
第２陰極電極膜２２ｂをそれぞれ取り囲むようにして両
者をスペーサ５で気密に接着し、気密空間６を形成し
た。
【００１３】図１に示した実施例では、第１および第２
固体電解質板１１、１２は矩形状のＺｒＯ2（８ｍｏｌ
のＹをドープ）で、その厚さは約０．５mm、一辺の長さ
は約１０mmとした。第１および第２陽極電極膜２１ａ、
２２ａ、第１および第２陰極電極膜２１ｂ、２２ｂは厚
膜Ｐｔ電極膜を用い、その厚さは約８μmとした。陰極
電極膜２１ｂ、２２ｂの面積は約２０mm2とした。拡散
通路４の断面は第１固体電解質板１１の中央部に設けら
れ、直径約２５μmの円形とした。スペーサ５は厚膜硝
子膜を用い、その厚さは約２０μmとした。第１陽極電
極膜２１ａと第１陰極電極膜２１ｂの形成された第１固
体電解質板１１の表面に厚膜硝子スペーサ５を印刷し、
その上に第２陽極電極膜２２ａと第２陰極電極膜２２ｂ
の形成された第２固体電解質板１２を積層した。この積
層物を焼成して両者を気密に接着した。このとき、拡散
通路４と第１陰極電極膜２１ｂ、第２陰極膜２２ｂをそ
れぞれ取り囲むようなパターンで厚膜硝子スペーサ５を
印刷した。固体電解質板１１と１２を接着した後、リー
ド線９１ａ、９２ａ、９１ｂ、９２ｂをそれぞれ接続し
た。
固体電解質板１１、１２は矩形状のＺｒＯ2（８ｍｏｌ
のＹをドープ）で、その厚さは約０．５mm、一辺の長さ
は約１０mmとした。第１および第２陽極電極膜２１ａ、
２２ａ、第１および第２陰極電極膜２１ｂ、２２ｂは厚
膜Ｐｔ電極膜を用い、その厚さは約８μmとした。陰極
電極膜２１ｂ、２２ｂの面積は約２０mm2とした。拡散
通路４の断面は第１固体電解質板１１の中央部に設けら
れ、直径約２５μmの円形とした。スペーサ５は厚膜硝
子膜を用い、その厚さは約２０μmとした。第１陽極電
極膜２１ａと第１陰極電極膜２１ｂの形成された第１固
体電解質板１１の表面に厚膜硝子スペーサ５を印刷し、
その上に第２陽極電極膜２２ａと第２陰極電極膜２２ｂ
の形成された第２固体電解質板１２を積層した。この積
層物を焼成して両者を気密に接着した。このとき、拡散
通路４と第１陰極電極膜２１ｂ、第２陰極膜２２ｂをそ
れぞれ取り囲むようなパターンで厚膜硝子スペーサ５を
印刷した。固体電解質板１１と１２を接着した後、リー
ド線９１ａ、９２ａ、９１ｂ、９２ｂをそれぞれ接続し
た。
【００１４】この後、第１陽極電極膜２ａと第１陰極電
極膜２１ｂの間に第１直流電源１０１と直列抵抗体１１
１を接続し、更に第２陽極電極膜２ａと第２陰極電極膜
２２ｂの間に第２直流電源１０２と第２直列抵抗体１１
２を接続した。このとき陽極電極膜２１ａ、２２ａは
正、陰極電極膜２１ｂ、２２ｂは負になるように、第１
直流電源１０１および第２直流電源１０２を接続した。
第１直流電源１０１の電圧は水分子の分解電圧（約１．
５Ｖ）以上に、他方第２直流電源１０２の電圧は水分子
の分解電圧以下に保持した。また、第１直列抵抗体１１
１および第２直列抵抗体１１２とも約１００Ωとした。
第１および第２限界電流値Ｉ1、Ｉ2はこれら直列抵抗体
１１１および１１２の両端の電圧からそれぞれ求めた。
極膜２１ｂの間に第１直流電源１０１と直列抵抗体１１
１を接続し、更に第２陽極電極膜２ａと第２陰極電極膜
２２ｂの間に第２直流電源１０２と第２直列抵抗体１１
２を接続した。このとき陽極電極膜２１ａ、２２ａは
正、陰極電極膜２１ｂ、２２ｂは負になるように、第１
直流電源１０１および第２直流電源１０２を接続した。
第１直流電源１０１の電圧は水分子の分解電圧（約１．
５Ｖ）以上に、他方第２直流電源１０２の電圧は水分子
の分解電圧以下に保持した。また、第１直列抵抗体１１
１および第２直列抵抗体１１２とも約１００Ωとした。
第１および第２限界電流値Ｉ1、Ｉ2はこれら直列抵抗体
１１１および１１２の両端の電圧からそれぞれ求めた。
【００１５】このようにして本発明の酸素湿度検出装置
を構成した後、４００〜５００℃に加熱して、第１限界
電流値Ｉ1、第２限界電流値Ｉ2をそれぞれ種々の湿度雰
囲気中で測定した。乾燥空気中（酸素濃度約２０．９
％）で測定されたＩ1およびＩ2は、ほぼ同じ限界電流値
（約１４２μＡ）を示した。しかし、空気温度を６０℃
に保持して、相対湿度を変化させて同様の測定をしたと
ころ、相対湿度４０％でＩ1＝約１３０μＡ、Ｉ2＝１７
０μＡ、相対湿度６０％でＩ1＝約１２３μＡ、Ｉ2＝約
１８５μＡ、相対湿度８０％でＩ1＝約１１８μＡ、Ｉ2
＝約２００μＡを示した。これらの結果から、（Ｉ1−
Ｉ2）は、ほぼ水蒸気圧に比例しているので、（Ｉ1−Ｉ
2）から湿度を検出できることが分かる。また、Ｉ1から
酸素濃度が検出できる。このように本発明の酸素湿度検
出装置は一つの気密空間６を共有して第１限界電流Ｉ1
と検出部の第２限界電流Ｉ2検出部が２個の固体電解質
板１１、１２と一つのシール板３に集積されているの
で、酸素濃度と湿度を同時に検出できる。なお、上記実
施例では固体電解質板１１に設けられた拡散通路４を用
いた場合について記述したが、図３に示すような拡散通
路４、すなわちスペーサ５の側壁とシール板３と固体電
解質板１１とで囲まれた拡散通路４を用いてもよいこと
は明かであろう。
を構成した後、４００〜５００℃に加熱して、第１限界
電流値Ｉ1、第２限界電流値Ｉ2をそれぞれ種々の湿度雰
囲気中で測定した。乾燥空気中（酸素濃度約２０．９
％）で測定されたＩ1およびＩ2は、ほぼ同じ限界電流値
（約１４２μＡ）を示した。しかし、空気温度を６０℃
に保持して、相対湿度を変化させて同様の測定をしたと
ころ、相対湿度４０％でＩ1＝約１３０μＡ、Ｉ2＝１７
０μＡ、相対湿度６０％でＩ1＝約１２３μＡ、Ｉ2＝約
１８５μＡ、相対湿度８０％でＩ1＝約１１８μＡ、Ｉ2
＝約２００μＡを示した。これらの結果から、（Ｉ1−
Ｉ2）は、ほぼ水蒸気圧に比例しているので、（Ｉ1−Ｉ
2）から湿度を検出できることが分かる。また、Ｉ1から
酸素濃度が検出できる。このように本発明の酸素湿度検
出装置は一つの気密空間６を共有して第１限界電流Ｉ1
と検出部の第２限界電流Ｉ2検出部が２個の固体電解質
板１１、１２と一つのシール板３に集積されているの
で、酸素濃度と湿度を同時に検出できる。なお、上記実
施例では固体電解質板１１に設けられた拡散通路４を用
いた場合について記述したが、図３に示すような拡散通
路４、すなわちスペーサ５の側壁とシール板３と固体電
解質板１１とで囲まれた拡散通路４を用いてもよいこと
は明かであろう。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば次の効果が
得られる。
得られる。
【００１７】（１）第１限界電流Ｉ1の検出部と第２限
界電流Ｉ2の検出部が２個の固体電解質板と一つのシー
ル板に集積され、おのおのの限界電流値を独立して検出
できるので、酸素濃度と湿度を同時に検出できる。
界電流Ｉ2の検出部が２個の固体電解質板と一つのシー
ル板に集積され、おのおのの限界電流値を独立して検出
できるので、酸素濃度と湿度を同時に検出できる。
【００１８】（２）第１酸素センサと第２酸素センサを
一つの固体電解質板と一つのシール板に集積する製造工
程は、一つの酸素センサを形成する製造工程とほぼ同一
であるので、集積化に伴う製造工程の複雑化は生じな
い。
一つの固体電解質板と一つのシール板に集積する製造工
程は、一つの酸素センサを形成する製造工程とほぼ同一
であるので、集積化に伴う製造工程の複雑化は生じな
い。
【００１９】（３）酸素センサと湿度センサをそれぞれ
に別個に２個使用して酸素と湿度を同時に検出する場合
に比べ、本発明の酸素湿度検出装置は測定システムの簡
素化、低価格を実現できる。
に別個に２個使用して酸素と湿度を同時に検出する場合
に比べ、本発明の酸素湿度検出装置は測定システムの簡
素化、低価格を実現できる。
【図１】本発明の一実施例を示す酸素湿度検出装置の断
面図
面図
【図２】従来の酸素センサを示す断面図
【図３】従来の他の酸素センサを示す断面図
【図４】従来の湿度センサを示す断面図
４ 拡散通路 ５ スペーサ １１ 第１固体電解質板 １２ 第２固体電解質板 ２１ａ 第１陽極電極膜 ２１ｂ 第１陰極電極膜 ２２ａ 第２陽極電極膜 ２２ｂ 第２陰極電極膜 １０１ 第１直流電源 １０２ 第２直流電源 １１１ 第１直列抵抗体 １１２ 第２直列抵抗体
Claims (2)
- 【請求項１】酸素イオン伝導性を有する第１固体電解質
板と、前記第１固体電解質板の一方の表面に形成された
第１陰極電極膜と、前記第１固体電解質板の他の表面に
形成され、前記第１固体電解質板を介して前記第１陰極
電極膜と対向する第１陽極電極膜と、前記第１陰極電極
膜を囲むスペーサと、前記スペーサ上に前記第１固体電
解質板と相対向するように配置された第２固体電解質板
と、前記第２固体電解質板の一方の表面に形成され前記
第１陰極電極膜と対向する第２陰極電極膜と、前記第２
固体電解質板の他の表面に形成され、前記第２固体電解
質板を介して前記第２陰極電極膜と対向する第２陽極電
極膜と、前記スペーサの隔壁と前記第１および第２固体
電解質板で囲まれて形成された密閉空間と前記密閉空間
と外部空間とを結ぶ拡散通路とから成る酸素湿度セン
サ。 - 【請求項２】酸素イオン伝導性を有する第１固体電解質
板と、前記第１固体電解質板の一方の表面に形成された
第１陰極電極膜と、前記第１固体電解質板の他の表面に
形成され、前記第１固体電解質板を介して前記第１陰極
電極膜と対向する第１陽極電極膜と、前記第１陰極電極
膜を囲むスペーサと、前記スペーサ上に前記第１固体電
解質板と相対向するように配置された第２固体電解質板
と、前記第２固体電解質板の一方の表面に形成され前記
第２固体電解質板を介して前記第１陰極電極膜と対向す
る第２陰極電極膜と、前記第２固体電解質板の他の表面
に形成され、前記第２陰極電極膜と対向する第２陽極電
極膜と、他の表面に形成され、前記第２陰極電極膜と対
向する第２陰極電極膜と前記スペーサの隔壁と前記第１
および第２固体電解質板で囲まれて形成された密閉空間
と、前記密閉空間と外部空間とを結ぶ拡散通路と、前記
第１陰極電極膜と前記第１陽極電極膜の間に水分子の分
解電圧以下の電圧を印加する第１電圧印加手段および第
１電流検出手段と、前記第２陰極電極膜と前記第２陽極
電極膜の間に水分子の分解電圧以上の電圧を印加する第
２電圧印加手段および第２電流検出手段とから構成され
た酸素湿度検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5054480A JPH06265516A (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 酸素湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5054480A JPH06265516A (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 酸素湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265516A true JPH06265516A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=12971831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5054480A Pending JPH06265516A (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 酸素湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06265516A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010140293A1 (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-09 | 日本特殊陶業株式会社 | ガス濃度湿度検出装置 |
| WO2013179545A1 (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ制御装置 |
| JP2013250166A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ制御装置 |
| JP2013250164A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ制御装置 |
-
1993
- 1993-03-16 JP JP5054480A patent/JPH06265516A/ja active Pending
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| JP2010281732A (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス濃度湿度検出装置 |
| US8603310B2 (en) | 2009-06-05 | 2013-12-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas-concentration/humidity detection apparatus |
| WO2013179545A1 (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ制御装置 |
| JP2013250163A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ制御装置 |
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| JP2013250164A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ制御装置 |
| US10132774B2 (en) | 2012-05-31 | 2018-11-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor control device |
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