JPH0626804A - ギャップセンサの励磁方法 - Google Patents
ギャップセンサの励磁方法Info
- Publication number
- JPH0626804A JPH0626804A JP20442092A JP20442092A JPH0626804A JP H0626804 A JPH0626804 A JP H0626804A JP 20442092 A JP20442092 A JP 20442092A JP 20442092 A JP20442092 A JP 20442092A JP H0626804 A JPH0626804 A JP H0626804A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- coil
- detection
- wave
- voltage
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- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ギャップセンサ信号から励磁周波数成分やそ
の倍調波成分を除去するための数段のノッチフィルタを
なくす。 【構成】 ターゲットにギャップと隔てて対向した磁性
体に励磁コイルと検出コイルを巻き、一対の磁極をもつ
ヘッドをそなえ、検出コイルの検出電圧に対応してギャ
ップ長を検出するギャップセンサにおいて、励磁コイル
に供給する励磁電流を三角波とする。
の倍調波成分を除去するための数段のノッチフィルタを
なくす。 【構成】 ターゲットにギャップと隔てて対向した磁性
体に励磁コイルと検出コイルを巻き、一対の磁極をもつ
ヘッドをそなえ、検出コイルの検出電圧に対応してギャ
ップ長を検出するギャップセンサにおいて、励磁コイル
に供給する励磁電流を三角波とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、普通の環境や真空、ク
リーン環境で使用される磁気浮上搬送装置などの制御用
ギャップセンサに関する。
リーン環境で使用される磁気浮上搬送装置などの制御用
ギャップセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、コアに巻回した励磁巻線と検出巻
線を持つセンサヘッドとこれをギャップを介して対向す
るターゲット間のギャップ長を計測するギャップトラン
ス形のギャップセンサにおいては、励磁電流は正弦波と
なっている。このため検出信号電圧も正弦波となる。検
出信号処理回路ではギャップ長を知るために、この検出
信号電圧を全波整流し、ギャップ長に応じた直流電圧を
得ている。この全波整流後の直流電圧には、励磁周波数
成分やその倍調波成分などが含まれており、その除去の
ためには、数段のノッチフィルタが必要となっている。
例えば特願平2−210266号の第4図にはこのノッ
チフィルタが示されている。
線を持つセンサヘッドとこれをギャップを介して対向す
るターゲット間のギャップ長を計測するギャップトラン
ス形のギャップセンサにおいては、励磁電流は正弦波と
なっている。このため検出信号電圧も正弦波となる。検
出信号処理回路ではギャップ長を知るために、この検出
信号電圧を全波整流し、ギャップ長に応じた直流電圧を
得ている。この全波整流後の直流電圧には、励磁周波数
成分やその倍調波成分などが含まれており、その除去の
ためには、数段のノッチフィルタが必要となっている。
例えば特願平2−210266号の第4図にはこのノッ
チフィルタが示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ギャップトランス形の
ギャップセンサの検出信号処理回路において、従来検出
信号電圧を全波整流した後の直流電圧に含まれていた、
励磁周波数成分やその倍調波成分などを検出信号に含ま
ないようにし、これらの除去のために使用していた数段
のノッチフィルタをなくすことを目的とする。
ギャップセンサの検出信号処理回路において、従来検出
信号電圧を全波整流した後の直流電圧に含まれていた、
励磁周波数成分やその倍調波成分などを検出信号に含ま
ないようにし、これらの除去のために使用していた数段
のノッチフィルタをなくすことを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】ターゲットにギャップを
隔てて対向した磁性体に励磁コイルと検出コイルを巻回
し、一対の磁極をもつヘッドをそなえ検出コイルの検出
電圧に対応してギャップ長を知るギャップトランス形ギ
ャップセンサにおいて、前記励磁コイルに供給する励磁
電流を三角波とする。
隔てて対向した磁性体に励磁コイルと検出コイルを巻回
し、一対の磁極をもつヘッドをそなえ検出コイルの検出
電圧に対応してギャップ長を知るギャップトランス形ギ
ャップセンサにおいて、前記励磁コイルに供給する励磁
電流を三角波とする。
【0005】
【作用】検出信号処理回路において方形波の検出信号電
圧を全波整流すれば、リップルのないギャップ長に応じ
た直流電圧が得られる。また、励磁コイルに供給する励
磁電流を三角波でも特に、のこぎり波とすることで、検
出巻線に誘起する検出信号電圧が直接に直流電圧とな
る。
圧を全波整流すれば、リップルのないギャップ長に応じ
た直流電圧が得られる。また、励磁コイルに供給する励
磁電流を三角波でも特に、のこぎり波とすることで、検
出巻線に誘起する検出信号電圧が直接に直流電圧とな
る。
【0006】
【実施例】図1に本発明の実施例を示す。また、ギャッ
プトランス形ギャップセンサの原理図を図2に示す。図
2において、磁性体材料を用いて作られるセンサヘッド
とターゲット間のギャップ長をδ、センサヘッド部の磁
気回路の断面積をS、ギャップ中の透磁率をu0 、励磁
巻線、検出巻線の巻数をそれぞれn1 、n2 とすれば、
励磁電流によって生じる鎖交磁束ΦはΦ=u0 Sn1 i
1 /δである。検出電圧v2 は、v2 =−n2 dΦ/d
tなので v2 =(1/δ)・u0 Sn1 n2 (di1 /dt) (1) となる。したがって三角波電流で励磁すれば検出電圧v
2 はギャップ長に反比例した振幅を持つ方形波となる
(図3)。これを全波整流すれば、リップルのない直流
電圧が得られる(図3)。実際は、理想的方形波は得ら
れないので、全波整流の後段にローパスフィルタ程度は
付けた方がよい。図3に示す励磁電流の三角波の期間t
1 、t2 は任意でよい。そこでt1 またはt2 のうちの
一方だけを零とした場合は、三角波でも特に、のこぎり
波(鋸歯状波)となる。こののこぎり波を励磁電流とし
た場合の各部波形を図4に示す。励磁電流をのこぎり波
としたときの検出電圧v2 は、直流電圧となるため、全
波整流回路7を取り去ることができる。また、検出電圧
v2 は(1)式で決まることから、励磁電流にDC成分
を重畳しても、動作に影響はないため、励磁電流にオフ
セットがあってもよい。また、ギャップセンサを真空、
クリーン環境で使用する際は、ギャップセンサの外側を
キャンなどでシールすれば、磁気浮上搬送装置などの制
御用に用いることができる。例えば、特願昭62−29
3850と実願昭63−147878には制御用ギャッ
プセンサが磁気浮上搬送装置に使用されている例を示し
ており、これにも本発明のギャップセンサの励磁方法を
適用できることは明らかである。
プトランス形ギャップセンサの原理図を図2に示す。図
2において、磁性体材料を用いて作られるセンサヘッド
とターゲット間のギャップ長をδ、センサヘッド部の磁
気回路の断面積をS、ギャップ中の透磁率をu0 、励磁
巻線、検出巻線の巻数をそれぞれn1 、n2 とすれば、
励磁電流によって生じる鎖交磁束ΦはΦ=u0 Sn1 i
1 /δである。検出電圧v2 は、v2 =−n2 dΦ/d
tなので v2 =(1/δ)・u0 Sn1 n2 (di1 /dt) (1) となる。したがって三角波電流で励磁すれば検出電圧v
2 はギャップ長に反比例した振幅を持つ方形波となる
(図3)。これを全波整流すれば、リップルのない直流
電圧が得られる(図3)。実際は、理想的方形波は得ら
れないので、全波整流の後段にローパスフィルタ程度は
付けた方がよい。図3に示す励磁電流の三角波の期間t
1 、t2 は任意でよい。そこでt1 またはt2 のうちの
一方だけを零とした場合は、三角波でも特に、のこぎり
波(鋸歯状波)となる。こののこぎり波を励磁電流とし
た場合の各部波形を図4に示す。励磁電流をのこぎり波
としたときの検出電圧v2 は、直流電圧となるため、全
波整流回路7を取り去ることができる。また、検出電圧
v2 は(1)式で決まることから、励磁電流にDC成分
を重畳しても、動作に影響はないため、励磁電流にオフ
セットがあってもよい。また、ギャップセンサを真空、
クリーン環境で使用する際は、ギャップセンサの外側を
キャンなどでシールすれば、磁気浮上搬送装置などの制
御用に用いることができる。例えば、特願昭62−29
3850と実願昭63−147878には制御用ギャッ
プセンサが磁気浮上搬送装置に使用されている例を示し
ており、これにも本発明のギャップセンサの励磁方法を
適用できることは明らかである。
【0007】
1.検出電圧が方形波となるので、全波整流後の励磁周
波数成分やその倍調波成分が格段に小さくなるので、ノ
ッチフィルタが不要となり、信号処理回路を小さく、ま
た低コストにできる。 2.励磁電流波形を三角波にすることで、従来の正弦波
励磁より、励磁信号発生回路を簡単に構成できる。三角
波を特に、のこぎり波とした場合は、全波整流回路を除
去できる。
波数成分やその倍調波成分が格段に小さくなるので、ノ
ッチフィルタが不要となり、信号処理回路を小さく、ま
た低コストにできる。 2.励磁電流波形を三角波にすることで、従来の正弦波
励磁より、励磁信号発生回路を簡単に構成できる。三角
波を特に、のこぎり波とした場合は、全波整流回路を除
去できる。
【図1】本発明の実施例
【図2】ギャップトランス形ギャップセンサの原理図
【図3】本発明の各部波形
【図4】本発明の各部波形
1 三角波発生回路 2 パワーアンプ 3 鉄心 4 励磁巻線 5 ターゲット 6 検出巻線 7 全波整流回路 8 ローパスフィルタ 9 リニアライザ i1 励磁電流 v2 検出電圧 δ ギャップ Φ 鎖交磁束 n1 検出巻線の巻数 n2 検出巻線の巻数
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田嶋 栄二朗 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号 株式会社安川電機内
Claims (1)
- 【請求項1】 ターゲットにギャップを隔てて対向した
磁性体に励磁コイルと検出コイルを巻回し、一対の磁極
をもつヘッドをそなえ検出コイルの検出電圧に対応して
ギャップ長を知るギャップトランス形ギャップセンサに
おいて、前記励磁コイルに供給する励磁電流を三角波に
したことを特徴とするギャップセンサの励磁方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20442092A JPH0626804A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | ギャップセンサの励磁方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20442092A JPH0626804A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | ギャップセンサの励磁方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626804A true JPH0626804A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16490250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20442092A Pending JPH0626804A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | ギャップセンサの励磁方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626804A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615597B2 (en) | 2002-09-06 | 2009-11-10 | Basell Polyolefine Gmbh | Process for the copolymerization of ethylene |
| JP2012185033A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Makome Kenkyusho:Kk | 近接センサ |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP20442092A patent/JPH0626804A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615597B2 (en) | 2002-09-06 | 2009-11-10 | Basell Polyolefine Gmbh | Process for the copolymerization of ethylene |
| JP2012185033A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Makome Kenkyusho:Kk | 近接センサ |
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