JPH0626808A - センサターゲット - Google Patents
センサターゲットInfo
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- JPH0626808A JPH0626808A JP4206011A JP20601192A JPH0626808A JP H0626808 A JPH0626808 A JP H0626808A JP 4206011 A JP4206011 A JP 4206011A JP 20601192 A JP20601192 A JP 20601192A JP H0626808 A JPH0626808 A JP H0626808A
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- Japan
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- sensor target
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Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
- G01D2205/70—Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
- G01D2205/77—Specific profiles
- G01D2205/775—Tapered profiles
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気浮上搬送装置における搬送台の回転角
度、回転方向の検出に好適なセンサターゲットを提供す
る。 【構成】 検出対象物（３）の回転角度、回転方向を検
出するためのセンサに用いられるセンサターゲット
（１）であって、環状の溝もしくは突起（７）を備え、
該環状の溝もしくは突起（７）の高さＨは、前記環状の
中心点（ＸＸ’）に対する角度（θ）に応じて変化した
ものであることを特徴とする。
度、回転方向の検出に好適なセンサターゲットを提供す
る。 【構成】 検出対象物（３）の回転角度、回転方向を検
出するためのセンサに用いられるセンサターゲット
（１）であって、環状の溝もしくは突起（７）を備え、
該環状の溝もしくは突起（７）の高さＨは、前記環状の
中心点（ＸＸ’）に対する角度（θ）に応じて変化した
ものであることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセンサターゲットに係
り、特に、変位を計測可能なセンサと組み合わせて用い
られることにより、検出対象物の回転角度、回転方向を
検出することができるセンサのセンサターゲットに関す
る。
り、特に、変位を計測可能なセンサと組み合わせて用い
られることにより、検出対象物の回転角度、回転方向を
検出することができるセンサのセンサターゲットに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気浮上搬送装置は、電磁石の磁力が生
成する吸引力を、変位センサの出力値を基にして制御を
行うことにより、搬送台に備えられた磁性体材料のター
ゲットを磁気力で吸引して搬送路に対して非接触状態に
浮上させ、リニアモータ駆動及び浮上磁極の切替えによ
り搬送台を搬送路に従って移動させている。かかる搬送
装置においては、搬送台の停止・保持、搬送台の移動の
いずれの場合も、搬送台とその軌道となる搬送路とは非
接触状態を維持しているので、接触にともなう塵埃発生
の恐れがなく、そのため、塵埃の発生を極端にきらう半
導体製造設備等において、上記搬送装置は利用出来る。
成する吸引力を、変位センサの出力値を基にして制御を
行うことにより、搬送台に備えられた磁性体材料のター
ゲットを磁気力で吸引して搬送路に対して非接触状態に
浮上させ、リニアモータ駆動及び浮上磁極の切替えによ
り搬送台を搬送路に従って移動させている。かかる搬送
装置においては、搬送台の停止・保持、搬送台の移動の
いずれの場合も、搬送台とその軌道となる搬送路とは非
接触状態を維持しているので、接触にともなう塵埃発生
の恐れがなく、そのため、塵埃の発生を極端にきらう半
導体製造設備等において、上記搬送装置は利用出来る。
【０００３】このような磁気浮上搬送装置においては、
例えば、搬送路が十字状に交叉しており、搬送台を交叉
した十字路に直角に進路を変更しなければならない場合
がある。かかる場合には搬送台の回転角度に応じて搬送
台に回転力を与える駆動源を制御する必要があるが、か
かる制御に必要な搬送台の回転角度を得るための好適な
センサが従来無かった。又搬送台を搬送路上の一定の場
所に、その搬送物の積み降ろし等のために停止させる必
要がある。搬送台を非接触で電磁的な力によって停止さ
せると、磁気的なばね力と搬送台の慣性力により搬送台
の重心付近の鉛直軸を中心にθ方向の回転振動が生じ
る。この回転振動に対して適当な制振方法がないのと搬
送台が非接触であることから、減衰力が作用せず完全停
止に長時間を要する。かかる振動を速やかに停止させる
ためには搬送台の回転振動を検出することにより、その
振動を抑えるような電磁的な制御力を印加すればよい
が、そのためには搬送台の回転振動を検出することが必
要である。しかしながら、かかる用途に好適な非接触で
容易に回転角度、回転方向を検出できるセンサとセンサ
ターゲットの組合わせが従来適当なものが無かった。
例えば、搬送路が十字状に交叉しており、搬送台を交叉
した十字路に直角に進路を変更しなければならない場合
がある。かかる場合には搬送台の回転角度に応じて搬送
台に回転力を与える駆動源を制御する必要があるが、か
かる制御に必要な搬送台の回転角度を得るための好適な
センサが従来無かった。又搬送台を搬送路上の一定の場
所に、その搬送物の積み降ろし等のために停止させる必
要がある。搬送台を非接触で電磁的な力によって停止さ
せると、磁気的なばね力と搬送台の慣性力により搬送台
の重心付近の鉛直軸を中心にθ方向の回転振動が生じ
る。この回転振動に対して適当な制振方法がないのと搬
送台が非接触であることから、減衰力が作用せず完全停
止に長時間を要する。かかる振動を速やかに停止させる
ためには搬送台の回転振動を検出することにより、その
振動を抑えるような電磁的な制御力を印加すればよい
が、そのためには搬送台の回転振動を検出することが必
要である。しかしながら、かかる用途に好適な非接触で
容易に回転角度、回転方向を検出できるセンサとセンサ
ターゲットの組合わせが従来適当なものが無かった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は係る従来技術
の問題点に鑑み、例えば磁気浮上搬送装置における搬送
台に取付け、搬送台が搬送路に対して回転あるいは回転
振動する場合に、その回転角度、回転方向を容易に変位
センサを用いて検出することのできるセンサターゲット
を提供する。
の問題点に鑑み、例えば磁気浮上搬送装置における搬送
台に取付け、搬送台が搬送路に対して回転あるいは回転
振動する場合に、その回転角度、回転方向を容易に変位
センサを用いて検出することのできるセンサターゲット
を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】回転角度、回転方向を検
出するためのセンサターゲットであって、環状の溝もし
くは突起を備え、該環状の溝もしくは突起は、前記環状
の中心点に対する角度に応じて、その高さ、幅等が変化
したものであることを特徴とする
出するためのセンサターゲットであって、環状の溝もし
くは突起を備え、該環状の溝もしくは突起は、前記環状
の中心点に対する角度に応じて、その高さ、幅等が変化
したものであることを特徴とする
【０００６】
【作用】係る前述の構成を具備する本発明のセンサター
ゲットによれば、環状の溝もしくは突起は、環状の中心
点に対する角度に応じて変化するものであるので、環状
のターゲットに対向して変位センサを配置することによ
って、変位センサには環状のセンサターゲットの中心点
に対する角度に応じた変位、即ち、角度に応じた信号を
検出することが可能となる。このようにして変位センサ
によって環状のセンサターゲットとの距離の変化、即
ち、変位を検出することによって、センサターゲットの
中心点に対する回転角度を検出することができ、また検
出した角度の増減傾向から回転方向を検出することがで
きる。
ゲットによれば、環状の溝もしくは突起は、環状の中心
点に対する角度に応じて変化するものであるので、環状
のターゲットに対向して変位センサを配置することによ
って、変位センサには環状のセンサターゲットの中心点
に対する角度に応じた変位、即ち、角度に応じた信号を
検出することが可能となる。このようにして変位センサ
によって環状のセンサターゲットとの距離の変化、即
ち、変位を検出することによって、センサターゲットの
中心点に対する回転角度を検出することができ、また検
出した角度の増減傾向から回転方向を検出することがで
きる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の一実施例のセンサターゲット
の説明図である。センサターゲット１は環状の突起７か
ら形成され環状の中心点ＸＸ′軸に対してその角度θに
応じて高さＨが変化したものである。センサターゲット
１は搬送台３に固定されており、搬送台３がＸＸ′軸を
中心として回転すると、センサターゲット１もこれに伴
いＸＸ′軸を中心として回転する。一方、変位センサ
５，６は図示しない搬送路に固定されており、センサタ
ーゲット１のセンサターゲット面２との間隔ｄ、即ち変
位を検出する。
の説明図である。センサターゲット１は環状の突起７か
ら形成され環状の中心点ＸＸ′軸に対してその角度θに
応じて高さＨが変化したものである。センサターゲット
１は搬送台３に固定されており、搬送台３がＸＸ′軸を
中心として回転すると、センサターゲット１もこれに伴
いＸＸ′軸を中心として回転する。一方、変位センサ
５，６は図示しない搬送路に固定されており、センサタ
ーゲット１のセンサターゲット面２との間隔ｄ、即ち変
位を検出する。
【０００８】図５は変位センサの出力特性の説明図であ
る。図示するように変位センサとセンサターゲット面の
ギャップ（センサヘッド面からセンサターゲット面２ま
での距離）ｄに応じてセンサ出力は直線的に変化する。
ここで変位センサ５，６は渦電流型センサ、あるいはイ
ンダクタンスの変化を利用した電磁誘導型センサであ
る。したがって、搬送路上に固定された変位センサ５，
６の出力は、搬送台３がＸＸ′軸を中心として回転する
と、回転角度θに応じてそれぞれ直線的な出力電圧Ｖ
1 ，Ｖ2 が得られる。
る。図示するように変位センサとセンサターゲット面の
ギャップ（センサヘッド面からセンサターゲット面２ま
での距離）ｄに応じてセンサ出力は直線的に変化する。
ここで変位センサ５，６は渦電流型センサ、あるいはイ
ンダクタンスの変化を利用した電磁誘導型センサであ
る。したがって、搬送路上に固定された変位センサ５，
６の出力は、搬送台３がＸＸ′軸を中心として回転する
と、回転角度θに応じてそれぞれ直線的な出力電圧Ｖ
1 ，Ｖ2 が得られる。
【０００９】図６は変位センサの出力特性の説明図であ
り、変位センサ５の出力Ｖ1 及び変位センサ６の出力Ｖ
2 に関するものである。搬送台３がＸＸ′軸を中心とし
て回転すると、変位センサ５のセンサ出力Ｖ1 は回転角
θが１８０°まではセンサターゲット面とのギャップｄ
が大きくなることから、出力Ｖ1 が増大し、さらに１８
０°〜３６０°までは、ギャップｄが小さくなることか
ら、その出力電圧Ｖ1は直線的に減少する。同様に、変
位センサ５，６のセンサ出力Ｖ2 は回転角度θが０〜１
８０°までは、センサターゲット面とのギャップｄが小
さくなることから、直線的に出力Ｖ2 は減少し、回転角
度θが１８０°〜３６０°までは、センサターゲット面
とのギャップｄが大きくなることからセンサ出力Ｖ2 は
直線的に増大する。
り、変位センサ５の出力Ｖ1 及び変位センサ６の出力Ｖ
2 に関するものである。搬送台３がＸＸ′軸を中心とし
て回転すると、変位センサ５のセンサ出力Ｖ1 は回転角
θが１８０°まではセンサターゲット面とのギャップｄ
が大きくなることから、出力Ｖ1 が増大し、さらに１８
０°〜３６０°までは、ギャップｄが小さくなることか
ら、その出力電圧Ｖ1は直線的に減少する。同様に、変
位センサ５，６のセンサ出力Ｖ2 は回転角度θが０〜１
８０°までは、センサターゲット面とのギャップｄが小
さくなることから、直線的に出力Ｖ2 は減少し、回転角
度θが１８０°〜３６０°までは、センサターゲット面
とのギャップｄが大きくなることからセンサ出力Ｖ2 は
直線的に増大する。
【００１０】図７は変位センサの出力特性の説明図であ
り、センサ出力Ｖ1 とセンサ出力Ｖ2 の差分である。セ
ンサ出力Ｖ1 とセンサ出力Ｖ2 を差動増幅器等によりそ
の出力を演算処理すると図７に示す出力特性が得られ
る。即ち搬送台３がＸＸ′軸を中心として３６０°回転
すると、その出力は１８０°までは直線的に下降し１８
０°〜３６０°までは直線的に上昇する。このように変
位センサ５，６及び搬送台３上にセンサターゲット１を
設けると、搬送台３がＸＸ′軸を中心として回転した場
合にその回転角度を検出することができる。また０〜１
８０°まではセンサ出力が下降し、１８０°〜３６０°
まではセンサ出力が増加する。従ってセンサ出力を微分
することによって、回転角度の回転方向を検出すること
ができる。
り、センサ出力Ｖ1 とセンサ出力Ｖ2 の差分である。セ
ンサ出力Ｖ1 とセンサ出力Ｖ2 を差動増幅器等によりそ
の出力を演算処理すると図７に示す出力特性が得られ
る。即ち搬送台３がＸＸ′軸を中心として３６０°回転
すると、その出力は１８０°までは直線的に下降し１８
０°〜３６０°までは直線的に上昇する。このように変
位センサ５，６及び搬送台３上にセンサターゲット１を
設けると、搬送台３がＸＸ′軸を中心として回転した場
合にその回転角度を検出することができる。また０〜１
８０°まではセンサ出力が下降し、１８０°〜３６０°
まではセンサ出力が増加する。従ってセンサ出力を微分
することによって、回転角度の回転方向を検出すること
ができる。
【００１１】図２は本発明の第１の実施例のセンサター
ゲットの斜視図である。図示するように環状のセンサタ
ーゲット１は環状の突起７でありその中心であるＸＸ′
軸に対する角度に応じてターゲット面２の高さＨが変化
している。なお、センサターゲット１の環状の突起７の
幅は全周に渡って一定の幅となっている。図３は本発明
の第２の実施例のセンサターゲットの斜視図である。本
実施例においては環状の溝８を備え、溝８の底部がセン
サターゲット面２となっている。従って、センサターゲ
ット表面からセンサターゲット面２までの深さＨは、環
状の中心軸ＸＸ′に対する角度θに対して直線的に変化
している。
ゲットの斜視図である。図示するように環状のセンサタ
ーゲット１は環状の突起７でありその中心であるＸＸ′
軸に対する角度に応じてターゲット面２の高さＨが変化
している。なお、センサターゲット１の環状の突起７の
幅は全周に渡って一定の幅となっている。図３は本発明
の第２の実施例のセンサターゲットの斜視図である。本
実施例においては環状の溝８を備え、溝８の底部がセン
サターゲット面２となっている。従って、センサターゲ
ット表面からセンサターゲット面２までの深さＨは、環
状の中心軸ＸＸ′に対する角度θに対して直線的に変化
している。
【００１２】図４（Ａ）は本発明の第３の実施例のセン
サターゲットの斜視図である。本実施例においては、環
状のセンサターゲット１の突起７の幅Ｗが変化するもの
である。即ちセンサターゲットの突起７の高さＨは一定
であるが、中心軸ＸＸ′に対する角度θに応じてセンサ
ターゲットのターゲット面２の幅Ｗが変化するものであ
る。図４（Ｂ）は、このセンサターゲット１を上面から
見た平面図である。このようにセンサターゲットの幅Ｗ
が変化するものであっても、渦電流型センサ、あるいは
インダクタンス型センサにおいては、センサターゲット
の幅Ｗに比例した出力が得られることから、回転角度θ
に比例した変位センサのセンサ出力Ｖ1，Ｖ2 を同様に
得ることができる。
サターゲットの斜視図である。本実施例においては、環
状のセンサターゲット１の突起７の幅Ｗが変化するもの
である。即ちセンサターゲットの突起７の高さＨは一定
であるが、中心軸ＸＸ′に対する角度θに応じてセンサ
ターゲットのターゲット面２の幅Ｗが変化するものであ
る。図４（Ｂ）は、このセンサターゲット１を上面から
見た平面図である。このようにセンサターゲットの幅Ｗ
が変化するものであっても、渦電流型センサ、あるいは
インダクタンス型センサにおいては、センサターゲット
の幅Ｗに比例した出力が得られることから、回転角度θ
に比例した変位センサのセンサ出力Ｖ1，Ｖ2 を同様に
得ることができる。
【００１３】係るセンサターゲット１を搭載した搬送台
３は、搬送路上を磁気浮上して交叉する搬送路に移動す
るような場合には、搬送路の交差点において、搬送台の
回転角度を検出する必要がある。そのような場合に、交
差点の対応する位置に配置された変位センサ５，６より
の出力に応じて回転角度、回転方向を容易に検出するこ
とができる。
３は、搬送路上を磁気浮上して交叉する搬送路に移動す
るような場合には、搬送路の交差点において、搬送台の
回転角度を検出する必要がある。そのような場合に、交
差点の対応する位置に配置された変位センサ５，６より
の出力に応じて回転角度、回転方向を容易に検出するこ
とができる。
【００１４】また磁気浮上搬送装置において、搬送台３
を停止するような場合には、搬送台の重心付近の鉛直方
向の回転軸に対して回転振動を生じ、この振動を検出す
る必要がある。係る場合に搬送台の回転振動を上記実施
例のセンサターゲットにより変位センサと組合せてその
角度、方向、速度を容易に検出できる。
を停止するような場合には、搬送台の重心付近の鉛直方
向の回転軸に対して回転振動を生じ、この振動を検出す
る必要がある。係る場合に搬送台の回転振動を上記実施
例のセンサターゲットにより変位センサと組合せてその
角度、方向、速度を容易に検出できる。
【００１５】実施例に示すようにセンサターゲット１は
環状のその中心軸からの角度に応じて突起の高さ、また
は溝の深さが変化するように構成したものである。従っ
て、その製造は容易であり、一般的な変位センサと組み
合わせて容易に回転体の回転角度、回転方向を検出でき
るセンシングが実現される。
環状のその中心軸からの角度に応じて突起の高さ、また
は溝の深さが変化するように構成したものである。従っ
て、その製造は容易であり、一般的な変位センサと組み
合わせて容易に回転体の回転角度、回転方向を検出でき
るセンシングが実現される。
【００１６】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のセンサ
ターゲットによれば、変位センサと組み合わせることに
よりセンサターゲットの中心軸を回転中心とする回転角
度、回転方向を容易に検出することが可能となる。
ターゲットによれば、変位センサと組み合わせることに
よりセンサターゲットの中心軸を回転中心とする回転角
度、回転方向を容易に検出することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例のセンサターゲットの説明
図。
図。
【図２】本発明の第一の実施例のセンサターゲットの斜
視図。
視図。
【図３】本発明の第二の実施例のセンサターゲットの斜
視図。
視図。
【図４】本発明の第三の実施例のセンサターゲットの
（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図。
（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図。
【図５】変位センサ出力特性の説明図。
【図６】変位センサ出力特性の説明図。
【図７】変位センサ出力特性の説明図。
１ センサターゲット ２ センサターゲット面 ３ 搬送台 ５，６ 変位センサ ７ 突起 ８ 溝
Claims (3)
- 【請求項１】 検出対象物の回転角度、回転方向を検出
するためのセンサターゲットであって、環状の溝もしく
は突起を備え、該環状の溝もしくは突起は、前記環状の
中心点に対する角度に応じて変化したものであることを
特徴とするセンサターゲット。 - 【請求項２】 前記環状の溝もしくは突起は、前記環状
の中心点に対する角度に応じて、その高さが変化したも
のであることを特徴とする請求項１のセンサターゲッ
ト。 - 【請求項３】 前記環状の溝もしくは突起は、前記環状
の中心点に対する角度に応じて、その幅が変化したもの
であることを特徴とする請求項１のセンサターゲット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4206011A JPH0626808A (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | センサターゲット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4206011A JPH0626808A (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | センサターゲット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626808A true JPH0626808A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16516434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4206011A Pending JPH0626808A (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | センサターゲット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626808A (ja) |
Cited By (57)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19745823A1 (de) * | 1997-10-16 | 1999-04-29 | Sensor Instr Gmbh | Vorrichtung zum gleichzeitigen Messen von Drehmoment und Drehwinkel |
| WO2006080325A1 (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-03 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 回転センサ |
| JP2008122279A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Shimadzu Corp | 回転検出装置および回転装置 |
| JP2014532870A (ja) * | 2011-11-04 | 2014-12-08 | エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 研究室試料配送システムおよび対応する動作方法 |
| JP2015502525A (ja) * | 2011-11-04 | 2015-01-22 | エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 研究室試料配送システムおよび対応する動作方法 |
| JP2015503089A (ja) * | 2011-11-04 | 2015-01-29 | エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 研究室試料配送システム、研究室システム、および動作方法 |
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| US9618525B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-04-11 | Roche Diagnostics Operations, Inc. | Module for a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system |
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