JPH0627276Y2 - レーザ出射装置 - Google Patents
レーザ出射装置Info
- Publication number
- JPH0627276Y2 JPH0627276Y2 JP1988052458U JP5245888U JPH0627276Y2 JP H0627276 Y2 JPH0627276 Y2 JP H0627276Y2 JP 1988052458 U JP1988052458 U JP 1988052458U JP 5245888 U JP5245888 U JP 5245888U JP H0627276 Y2 JPH0627276 Y2 JP H0627276Y2
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- JP
- Japan
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- laser beam
- section
- laser
- cross
- quadrangular prism
- Prior art date
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Links
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、断面形状が四角形のレーザ光線を出射する装
置に関する。
置に関する。
[従来の技術] 一般にレーザ光線の断面は円形であるが、レーザ加工に
おいては断面を四角形したほうが都合のよい場合があ
る。
おいては断面を四角形したほうが都合のよい場合があ
る。
例えば、第3図に示すように、ある本体100に対して
細長い板状の小部材102を断面円形のレーザ光線によ
りスポット溶接で接合すると、矢印Gの方向の回転モー
メントに対する保持力ないし強度が弱く、これがもとで
本体100と小部材102との接合が外れやすい。この
図において、104は断面円形のレーザ光線によって得
られる円形の溶接パターン,106はレーザ光線で溶け
た溶接部である。
細長い板状の小部材102を断面円形のレーザ光線によ
りスポット溶接で接合すると、矢印Gの方向の回転モー
メントに対する保持力ないし強度が弱く、これがもとで
本体100と小部材102との接合が外れやすい。この
図において、104は断面円形のレーザ光線によって得
られる円形の溶接パターン,106はレーザ光線で溶け
た溶接部である。
しかし、第2図に示すように、断面長方形のレーザ光線
を用いて溶接パターン108を長方形とすると、矢印G
の方向の回転モーメントに対して強い保持力が得られ
る。
を用いて溶接パターン108を長方形とすると、矢印G
の方向の回転モーメントに対して強い保持力が得られ
る。
このような断面四角形のレーザ光線は、断面円形のレー
ザ光線を基にしてつくられる。そのための従来の装置と
しては、レーザ光線を、遮蔽板に形成した四角形のアパ
ーチャ(開口)に通すものや、2個のシリンドリカルレ
ンズを互いに軸を直交させて配置した光学系に通すもの
が知られている。後者の装置においては、両シリンドリ
カルレンズが互いに直交する方向(X,Y)にレーザ光
線を集光することによって断面円形のレーザ光線を四角
形に絞る。
ザ光線を基にしてつくられる。そのための従来の装置と
しては、レーザ光線を、遮蔽板に形成した四角形のアパ
ーチャ(開口)に通すものや、2個のシリンドリカルレ
ンズを互いに軸を直交させて配置した光学系に通すもの
が知られている。後者の装置においては、両シリンドリ
カルレンズが互いに直交する方向(X,Y)にレーザ光
線を集光することによって断面円形のレーザ光線を四角
形に絞る。
[考案が解決しようとする課題] しかしながら、四角形のアパーチャにレーザ光線を通す
装置では、レーザ光線の外周部が遮光板によってケラレ
るために、その分のレーザエネルギが失われ、レーザ加
工のエネルギ利用効率が低いという問題がある。
装置では、レーザ光線の外周部が遮光板によってケラレ
るために、その分のレーザエネルギが失われ、レーザ加
工のエネルギ利用効率が低いという問題がある。
一方、シリンドリカルレンズ方式の装置によれば、断面
円形のレーザ光線を互いに直交する方向(X,Y)に絞
ってもまだ丸みが残り、角のはっきりした厳密な断面四
角形(角型)のビームにはならないという問題がある。
円形のレーザ光線を互いに直交する方向(X,Y)に絞
ってもまだ丸みが残り、角のはっきりした厳密な断面四
角形(角型)のビームにはならないという問題がある。
本考案は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもの
で、断面形状がほぼ完全な四角形のレーザ光線を少ない
エネルギ損失で得ることの可能な簡易な構成のレーザ出
射装置を提供することを目的とする。
で、断面形状がほぼ完全な四角形のレーザ光線を少ない
エネルギ損失で得ることの可能な簡易な構成のレーザ出
射装置を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本考案のレーザ出射装置
は、光透過性の材質からなる四角柱の側面に全反射性の
コーティングを施し、その四角柱の一方の端面にレーザ
光線を長軸方向に入射させ、その四角柱の他方の端面よ
り断面形状が四角形のレーザ光線を出射させるように構
成した。
は、光透過性の材質からなる四角柱の側面に全反射性の
コーティングを施し、その四角柱の一方の端面にレーザ
光線を長軸方向に入射させ、その四角柱の他方の端面よ
り断面形状が四角形のレーザ光線を出射させるように構
成した。
[作用] 本考案のレーザ出射装置では、四角柱の一方の端面より
内部に入射したレーザ光線が入射角と四角柱の材質の屈
折率とできまる屈折角の方向に進行し、遂には四角柱の
側面と全反射コーティングとの境界面に達し、そこで全
反射してその反射角の方向に進行する。このようにし
て、レーザ光線は四角柱の側面で全反射を何回か繰り返
しながら外に漏れることなく四角柱の他方の端面まで進
み、その四角柱の端面のほぼ全面より出射され、これに
よって断面形状がほぼ完全な四角形のビームが現れる。
内部に入射したレーザ光線が入射角と四角柱の材質の屈
折率とできまる屈折角の方向に進行し、遂には四角柱の
側面と全反射コーティングとの境界面に達し、そこで全
反射してその反射角の方向に進行する。このようにし
て、レーザ光線は四角柱の側面で全反射を何回か繰り返
しながら外に漏れることなく四角柱の他方の端面まで進
み、その四角柱の端面のほぼ全面より出射され、これに
よって断面形状がほぼ完全な四角形のビームが現れる。
本考案のレーザ出射装置においては、レーザ光線が角型
ビームに変換されるに際して失われるレーザエネルギは
四角柱内部での伝送損失だけである。
ビームに変換されるに際して失われるレーザエネルギは
四角柱内部での伝送損失だけである。
[実施例] 第1図は、本考案の第1の実施例によるレーザ出射装置
の構成を示す。
の構成を示す。
この出射装置は、円形の凸レンズからなる集光レンズ1
0と、側面に全反射性のコーティング12を施された石
英ガラスからなる四角柱14と、それぞれ円形の凸レン
ズからなるコリメータレンズ16,集光レンズ18とで
構成される。
0と、側面に全反射性のコーティング12を施された石
英ガラスからなる四角柱14と、それぞれ円形の凸レン
ズからなるコリメータレンズ16,集光レンズ18とで
構成される。
全反射コーティング12の材料としては、例えば誘電体
As2Se3,As2S3,ZnSe,ZnS,PbF
2,ThF4などや金属が使用可能である。
As2Se3,As2S3,ZnSe,ZnS,PbF
2,ThF4などや金属が使用可能である。
集光レンズ10には、例えばコリメータレンズ(図示せ
ず)を通ってきた断面形状が円形のレーザ光線LB0が
入射する。レンズ10は、このレーザ光線LB0を断面
円形のまま絞って四角柱14の一方の端面14aに四角
柱の長軸方向に入射せしめる。
ず)を通ってきた断面形状が円形のレーザ光線LB0が
入射する。レンズ10は、このレーザ光線LB0を断面
円形のまま絞って四角柱14の一方の端面14aに四角
柱の長軸方向に入射せしめる。
四角柱14内に入ったレーザ光線は、入射角と石英ガラ
スの屈折率とできまる屈折角の方向に進行し、遂には四
角柱14の側面と全反射コーティング12との境界面に
達し、そこで全反射してその反射角の方向に進行する。
このようにして、レーザ光線は四角柱の側面で全反射を
何回か繰り返しながら外に漏れることなく四角柱14の
他方の端面14bまで進行する。
スの屈折率とできまる屈折角の方向に進行し、遂には四
角柱14の側面と全反射コーティング12との境界面に
達し、そこで全反射してその反射角の方向に進行する。
このようにして、レーザ光線は四角柱の側面で全反射を
何回か繰り返しながら外に漏れることなく四角柱14の
他方の端面14bまで進行する。
しかして、レーザ光線は、四角柱14の他方の四角形の
端面14bのほぼ全面より出射されることによって断面
形状がほぼ完全な四角形の放射状ビームLB1となって
現れ、次いでコリメータレンズ16によって断面四角形
のまま平行光にされ集光レンズ18により絞られる。こ
の角型ビームのレーザ光線LB1を加工点に照射する
と、例えば第3図に示すような四角形の溶接パターン1
08が得られる。
端面14bのほぼ全面より出射されることによって断面
形状がほぼ完全な四角形の放射状ビームLB1となって
現れ、次いでコリメータレンズ16によって断面四角形
のまま平行光にされ集光レンズ18により絞られる。こ
の角型ビームのレーザ光線LB1を加工点に照射する
と、例えば第3図に示すような四角形の溶接パターン1
08が得られる。
このように、この実施例では、断面形状の丸いレーザ光
線LB0を石英ガラスからなる四角柱14に入れてその
中を側面で何度か全反射させながら伝搬させることで断
面形状がほぼ完全に四角形のレーザ光線LB1に変換す
るものであり、この変換に際して失われるレーザエネル
ギは石英ガラス内での伝送損失だけで、これはアパーチ
ャやスリット等で丸いビームを四角に削るものと比較す
れば格段に少ない損失である。
線LB0を石英ガラスからなる四角柱14に入れてその
中を側面で何度か全反射させながら伝搬させることで断
面形状がほぼ完全に四角形のレーザ光線LB1に変換す
るものであり、この変換に際して失われるレーザエネル
ギは石英ガラス内での伝送損失だけで、これはアパーチ
ャやスリット等で丸いビームを四角に削るものと比較す
れば格段に少ない損失である。
なお、石英ガラスよりも伝送損失は大きくなるが、多成
分ガラスやプラスチック等も四角柱の材質として使用可
能である。また、四角柱の断面形状も正方形としたり、
細長い長方形とすることも可能である。
分ガラスやプラスチック等も四角柱の材質として使用可
能である。また、四角柱の断面形状も正方形としたり、
細長い長方形とすることも可能である。
[考案の効果] 本考案は、上述のような構成を有することにより、次の
ような効果を奏する。
ような効果を奏する。
本考案のレーザ出射装置においては、透明な四角柱の一
方の端面よりレーザ光線を入射させて四角柱の側面に施
した全反射コーティングによってレーザ光線を何度か全
反射させながら外に漏らすことなく四角柱の内部を進行
させ、四角柱の他方の端面より角型ビームのレーザ光線
を出射させるようにしたので、装置構成が簡易であっ
て、レーザ損失が少なく、断面形状がほぼ完全に四角形
のレーザ光線が得られる。
方の端面よりレーザ光線を入射させて四角柱の側面に施
した全反射コーティングによってレーザ光線を何度か全
反射させながら外に漏らすことなく四角柱の内部を進行
させ、四角柱の他方の端面より角型ビームのレーザ光線
を出射させるようにしたので、装置構成が簡易であっ
て、レーザ損失が少なく、断面形状がほぼ完全に四角形
のレーザ光線が得られる。
第1図は、本考案の第1の実施例によるレーザ出射装置
の構成を示す斜視図、 第2図は、四角形の溶接パターン例を示す平面図、およ
び 第3図(A)は円形の溶接パターン例を示す平面図、第3
図(B)はその円形溶接パターンの接合部を示す断面図で
ある。 図面において、 10…集光レンズ、 12…全反射性コーティング、 14…四角柱、 14a…四角柱14の一方の端面、 14b…四角柱14の他方の端面、 16…集光レンズ、
の構成を示す斜視図、 第2図は、四角形の溶接パターン例を示す平面図、およ
び 第3図(A)は円形の溶接パターン例を示す平面図、第3
図(B)はその円形溶接パターンの接合部を示す断面図で
ある。 図面において、 10…集光レンズ、 12…全反射性コーティング、 14…四角柱、 14a…四角柱14の一方の端面、 14b…四角柱14の他方の端面、 16…集光レンズ、
Claims (1)
- 【請求項1】光透過性の材質からなる四角柱の側面に全
反射性のコーティングを施し、前記四角柱の一方の端面
にレーザ光線を長軸方向に入射させ、前記四角柱の他方
の端面より断面形状が四角形のレーザ光線を出射させる
ように構成したことを特徴とするレーザ出射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988052458U JPH0627276Y2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | レーザ出射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988052458U JPH0627276Y2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | レーザ出射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01159990U JPH01159990U (ja) | 1989-11-07 |
| JPH0627276Y2 true JPH0627276Y2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=31278457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988052458U Expired - Lifetime JPH0627276Y2 (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | レーザ出射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627276Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57142242A (en) * | 1981-02-26 | 1982-09-02 | Tokyo Shibaura Electric Co | Laser apparatus |
| JPS5883973A (ja) * | 1981-11-13 | 1983-05-19 | 株式会社東芝 | レ−ザ装置 |
| JPS63173322A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-16 | Toshiba Corp | 半導体露光装置 |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP1988052458U patent/JPH0627276Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01159990U (ja) | 1989-11-07 |
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