JPH06273465A - 電位測定装置 - Google Patents
電位測定装置Info
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- JPH06273465A JPH06273465A JP5852593A JP5852593A JPH06273465A JP H06273465 A JPH06273465 A JP H06273465A JP 5852593 A JP5852593 A JP 5852593A JP 5852593 A JP5852593 A JP 5852593A JP H06273465 A JPH06273465 A JP H06273465A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、微小な領域の電位測定を可能とす
ることを目的とする。 【構成】 この発明は、電位測定面１に対して微小な間
隔を隔てて位置し、かつ、少なくともこの電位測定面２
に対向する部分に絶縁性物質１ａが付いた導電性の測定
プローブ１と、この測定プローブ１と定電位源４との間
に接続される電気素子３と、この電気素子３を出入りす
る電荷を測定する電荷測定手段５とを備えたものであ
る。
ることを目的とする。 【構成】 この発明は、電位測定面１に対して微小な間
隔を隔てて位置し、かつ、少なくともこの電位測定面２
に対向する部分に絶縁性物質１ａが付いた導電性の測定
プローブ１と、この測定プローブ１と定電位源４との間
に接続される電気素子３と、この電気素子３を出入りす
る電荷を測定する電荷測定手段５とを備えたものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微小な領域の電位測定が
可能な電位測定装置に関する。
可能な電位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電位測定装置としては、被測定物
に検出電極を振動させながら近付けることにより、被測
定物の表面電位に応じた大きさの交流が検出電極に流れ
ることを利用した表面電位センサが超音波ＴＥＣＨＮＯ
８月号第５６〜６０頁に記載されている。
に検出電極を振動させながら近付けることにより、被測
定物の表面電位に応じた大きさの交流が検出電極に流れ
ることを利用した表面電位センサが超音波ＴＥＣＨＮＯ
８月号第５６〜６０頁に記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】現在、乾式普通紙複写
機やファクシミリ等においては、高画質化は、低コスト
化、小型化、低騒音化と共に重要な課題となっている。
電子写真技術を利用した乾式普通紙複写機やファクシミ
リ等の場合には、高画質化のための１つの解決手段とし
て、帯電後，露光後等の感光体の表面電位分布を高解像
で測定し、それをもとに各種の制御を行うことが考えら
れる。そのためには、感光体の微小領域の表面電位を測
定できる小型な装置が必要である。
機やファクシミリ等においては、高画質化は、低コスト
化、小型化、低騒音化と共に重要な課題となっている。
電子写真技術を利用した乾式普通紙複写機やファクシミ
リ等の場合には、高画質化のための１つの解決手段とし
て、帯電後，露光後等の感光体の表面電位分布を高解像
で測定し、それをもとに各種の制御を行うことが考えら
れる。そのためには、感光体の微小領域の表面電位を測
定できる小型な装置が必要である。
【０００４】現在、電位測定装置は、主流になっている
表面電位計でも、小型化すれば、ある程度解像度を上げ
ることができるが、構造が多少複雑であるので、小型化
に限界があるだけでなく、小型化した場合にその出力が
小さくなってしまって測定精度が落ちるというような問
題が生ずる。したがつて、現在の表面電位計では、微小
な領域の表面電位を測定できず、高解像な表面電位分布
を測定することは不可能である。
表面電位計でも、小型化すれば、ある程度解像度を上げ
ることができるが、構造が多少複雑であるので、小型化
に限界があるだけでなく、小型化した場合にその出力が
小さくなってしまって測定精度が落ちるというような問
題が生ずる。したがつて、現在の表面電位計では、微小
な領域の表面電位を測定できず、高解像な表面電位分布
を測定することは不可能である。
【０００５】本発明は、上記欠点を改善し、微小な領域
の電位測定が可能な電位測定装置を提供することを目的
とする。
の電位測定が可能な電位測定装置を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、電位測定面に対して微小な
間隔を隔てて位置し、かつ、少なくともこの電位測定面
に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プロ
ーブと、この測定プローブと定電位源との間に接続され
る電気素子と、この電気素子を出入りする電荷を測定す
る電荷測定手段とを備えたものである。
め、請求項１記載の発明は、電位測定面に対して微小な
間隔を隔てて位置し、かつ、少なくともこの電位測定面
に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プロ
ーブと、この測定プローブと定電位源との間に接続され
る電気素子と、この電気素子を出入りする電荷を測定す
る電荷測定手段とを備えたものである。
【０００７】請求項２記載の発明は、電位測定面に接触
し、かつ、少なくともこの電位測定面に対向する部分に
絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定
プローブと定電位源との間に接続される電気素子と、こ
の電気素子を出入りする電荷を測定する電荷測定手段と
を備えたものである。
し、かつ、少なくともこの電位測定面に対向する部分に
絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定
プローブと定電位源との間に接続される電気素子と、こ
の電気素子を出入りする電荷を測定する電荷測定手段と
を備えたものである。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の電位測定装置において、前記測定プローブの電位
測定面に対向する部分に絶縁性物質として強誘電体を固
着したものである。
記載の電位測定装置において、前記測定プローブの電位
測定面に対向する部分に絶縁性物質として強誘電体を固
着したものである。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明では、導電性の測定プロー
ブは、電位測定面に対して微小な間隔を隔てて位置し、
かつ、少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物
質が付いている。電位測定面と定電位源との間には絶縁
性物質及び測定プローブ、電気素子を通して電荷が流
れ、電気素子を出入りする電荷が電荷測定手段により測
定される。
ブは、電位測定面に対して微小な間隔を隔てて位置し、
かつ、少なくとも電位測定面に対向する部分に絶縁性物
質が付いている。電位測定面と定電位源との間には絶縁
性物質及び測定プローブ、電気素子を通して電荷が流
れ、電気素子を出入りする電荷が電荷測定手段により測
定される。
【００１０】請求項２記載の発明では、導電性の測定プ
ローブは、電位測定面に接触し、かつ、少なくとも電位
測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いている。電位
測定面と定電位源との間には絶縁性物質及び測定プロー
ブ、電気素子を通して電荷が流れ、電気素子を出入りす
る電荷が電荷測定手段により測定される。
ローブは、電位測定面に接触し、かつ、少なくとも電位
測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いている。電位
測定面と定電位源との間には絶縁性物質及び測定プロー
ブ、電気素子を通して電荷が流れ、電気素子を出入りす
る電荷が電荷測定手段により測定される。
【００１１】請求項３記載の発明では、請求項１または
２記載の電位測定装置において、電位測定面と定電位源
との間には強誘電体及び測定プローブ、電気素子を通し
て電荷が流れる。
２記載の電位測定装置において、電位測定面と定電位源
との間には強誘電体及び測定プローブ、電気素子を通し
て電荷が流れる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の第１実施例を示す。測定プロ
ーブ１は、電位測定面２に対して微小な間隔を隔てて対
向して配置され、かつ、電位測定面２と対向する先端部
に樹脂、セラミック等の絶縁性物質１ａが固着される。
また、測定プローブ１はスイッチ素子、抵抗素子、コン
デンサ等から構成される電気素子３を介して定電位源４
に接続される。電気素子３は電荷測定手段５が接続さ
れ、電気素子３を通過する電荷が電荷測定手段５により
測定される。ここに、測定プローブ１と電位測定面２と
の間の空隙は一種のコンデンサを形成しており、その容
量Ｃは測定プローブ１の電位測定面２側の面積と、測定
プローブ１と電位測定面２との間のギャップ長で決ま
る。
ーブ１は、電位測定面２に対して微小な間隔を隔てて対
向して配置され、かつ、電位測定面２と対向する先端部
に樹脂、セラミック等の絶縁性物質１ａが固着される。
また、測定プローブ１はスイッチ素子、抵抗素子、コン
デンサ等から構成される電気素子３を介して定電位源４
に接続される。電気素子３は電荷測定手段５が接続さ
れ、電気素子３を通過する電荷が電荷測定手段５により
測定される。ここに、測定プローブ１と電位測定面２と
の間の空隙は一種のコンデンサを形成しており、その容
量Ｃは測定プローブ１の電位測定面２側の面積と、測定
プローブ１と電位測定面２との間のギャップ長で決ま
る。
【００１３】次に、この第１実施例の動作を説明する。
測定プローブ１を接地電位の物体に近付けた後に、図１
に示すように電位測定面２に測定プローブ１を近付ける
と、測定プローブ１と電位測定面２との間の空隙や電気
素子３の静電容量、電位測定面２の電位Ｖなどによって
決まる電荷Ｑが定電位源４から電気素子３及び測定プロ
ーブ１、絶縁性物質１ａを通して電位測定面２に対して
流入し又は流出する。電荷測定手段５は電気素子３を出
入りする電荷量Ｑを検出することによって電位測定面２
の電位Ｖを測定する。
測定プローブ１を接地電位の物体に近付けた後に、図１
に示すように電位測定面２に測定プローブ１を近付ける
と、測定プローブ１と電位測定面２との間の空隙や電気
素子３の静電容量、電位測定面２の電位Ｖなどによって
決まる電荷Ｑが定電位源４から電気素子３及び測定プロ
ーブ１、絶縁性物質１ａを通して電位測定面２に対して
流入し又は流出する。電荷測定手段５は電気素子３を出
入りする電荷量Ｑを検出することによって電位測定面２
の電位Ｖを測定する。
【００１４】図２はこの第１実施例の具体的な構成を示
す。電気素子３はスイッチ６が用いられ、電荷測定手段
５は電流計７が用いられる。測定プローブ１はスイッチ
６及び電流計７を介して定電位源４を構成する接地点に
接続される。スイッチ６をオンさせた際には電位測定面
２から絶縁性物質１ａ、測定プローブ１、スイッチ６、
電流計７を介して接地点に電流が流れ、この電流が電流
計７により測定されて積分されることで、電気素子３を
出入りする電荷量Ｑが検出されて電位測定面２の電位Ｖ
が測定される。
す。電気素子３はスイッチ６が用いられ、電荷測定手段
５は電流計７が用いられる。測定プローブ１はスイッチ
６及び電流計７を介して定電位源４を構成する接地点に
接続される。スイッチ６をオンさせた際には電位測定面
２から絶縁性物質１ａ、測定プローブ１、スイッチ６、
電流計７を介して接地点に電流が流れ、この電流が電流
計７により測定されて積分されることで、電気素子３を
出入りする電荷量Ｑが検出されて電位測定面２の電位Ｖ
が測定される。
【００１５】この第１実施例では、測定プローブ１の先
端部に絶縁性物質１ａを固着しているので、放電しにく
く、微小な領域の電位を非接触で測定することができ
る。また、測定プローブ１の構成が非常にシンプルであ
るので、小型化に適している。
端部に絶縁性物質１ａを固着しているので、放電しにく
く、微小な領域の電位を非接触で測定することができ
る。また、測定プローブ１の構成が非常にシンプルであ
るので、小型化に適している。
【００１６】図３は本発明の第２実施例を示す。この第
２実施例は、上記第１実施例において、電気素子３とし
てスイッチ６及び抵抗素子８を用いて電荷測定手段５と
して電圧計９を用いたものである。測定プローブ１はス
イッチ６及び抵抗素子８を介して接地点４に接続され、
電圧計９は抵抗素子８に並列に接続される。
２実施例は、上記第１実施例において、電気素子３とし
てスイッチ６及び抵抗素子８を用いて電荷測定手段５と
して電圧計９を用いたものである。測定プローブ１はス
イッチ６及び抵抗素子８を介して接地点４に接続され、
電圧計９は抵抗素子８に並列に接続される。
【００１７】スイッチ６をオンさせた際には電位測定面
２から絶縁性物質１ａ、測定プローブ１、スイッチ６、
抵抗素子８を介して接地点に電荷が流れ、抵抗素子８の
両端間の電圧が電圧計９により測定されて積分されるこ
とで、電気素子３を出入りする電荷量Ｑが検出されて電
位測定面２の電位Ｖが測定される。この第２実施例で
は、第１実施例と同様に微小な領域の電位を非接触で測
定することができ、測定プローブ１の構成が非常にシン
プルで小型化に適している。
２から絶縁性物質１ａ、測定プローブ１、スイッチ６、
抵抗素子８を介して接地点に電荷が流れ、抵抗素子８の
両端間の電圧が電圧計９により測定されて積分されるこ
とで、電気素子３を出入りする電荷量Ｑが検出されて電
位測定面２の電位Ｖが測定される。この第２実施例で
は、第１実施例と同様に微小な領域の電位を非接触で測
定することができ、測定プローブ１の構成が非常にシン
プルで小型化に適している。
【００１８】上記第１実施例及び第２実施例では、測定
プローブ１の先端部に絶縁性物質１ａを固着している
が、この絶縁性物質１ａは電位測定面２の電位が低い場
合や、低解像度の電位測定でよくて測定プローブ１を電
位測定面２からある程度離せる場合には無くてもよい。
しかし、高解像度で電位測定を行う場合には、測定プロ
ーブ１を電位測定面２にかなり近接させる必要があり、
絶縁性物質１ａを測定プローブ１の先端部に固着するこ
とで、放電を回避して電位測定を行うことができるとい
う効果が得られる。
プローブ１の先端部に絶縁性物質１ａを固着している
が、この絶縁性物質１ａは電位測定面２の電位が低い場
合や、低解像度の電位測定でよくて測定プローブ１を電
位測定面２からある程度離せる場合には無くてもよい。
しかし、高解像度で電位測定を行う場合には、測定プロ
ーブ１を電位測定面２にかなり近接させる必要があり、
絶縁性物質１ａを測定プローブ１の先端部に固着するこ
とで、放電を回避して電位測定を行うことができるとい
う効果が得られる。
【００１９】図４は本発明の第３実施例を示す。測定プ
ローブ１１は、電位測定面１２に接触して配置され、か
つ、電位測定面１２側の先端部に樹脂、セラミック等の
絶縁性物質１１ａが固着される。また、測定プローブ１
１はスイッチ素子、抵抗素子、コンデンサ等から構成さ
れる電気素子１３を介して定電位源１４に接続される。
電気素子１３は電荷測定手段１５が接続され、電気素子
１３を通過する電荷が電荷測定手段１５により測定され
る。ここに、測定プローブ１１と電位測定面１２との間
には絶縁性物質１１ａが介在しているので、絶縁性物質
１１ａが一種のコンデンサを形成しており、その容量Ｃ
は絶縁性物質１１ａの材料、厚み、面積などで決まる。
ローブ１１は、電位測定面１２に接触して配置され、か
つ、電位測定面１２側の先端部に樹脂、セラミック等の
絶縁性物質１１ａが固着される。また、測定プローブ１
１はスイッチ素子、抵抗素子、コンデンサ等から構成さ
れる電気素子１３を介して定電位源１４に接続される。
電気素子１３は電荷測定手段１５が接続され、電気素子
１３を通過する電荷が電荷測定手段１５により測定され
る。ここに、測定プローブ１１と電位測定面１２との間
には絶縁性物質１１ａが介在しているので、絶縁性物質
１１ａが一種のコンデンサを形成しており、その容量Ｃ
は絶縁性物質１１ａの材料、厚み、面積などで決まる。
【００２０】次に、この第３実施例の動作を説明する。
測定プローブ１１を接地電位の物体に接触させた後に、
図４に示すように電位測定面１２に測定プローブ１１を
接触させると、絶縁性物質１１ａの静電容量や電位測定
面１２の電位Ｖなどによって決まる電荷Ｑが定電位源１
４から電気素子１３及び測定プローブ１１、絶縁性物質
１１ａを通して電位測定面１２に対して流入し又は流出
する。電荷測定手段１５は電気素子３を出入りする電荷
量Ｑを検出することによって電位測定面１２の電位Ｖを
測定する。
測定プローブ１１を接地電位の物体に接触させた後に、
図４に示すように電位測定面１２に測定プローブ１１を
接触させると、絶縁性物質１１ａの静電容量や電位測定
面１２の電位Ｖなどによって決まる電荷Ｑが定電位源１
４から電気素子１３及び測定プローブ１１、絶縁性物質
１１ａを通して電位測定面１２に対して流入し又は流出
する。電荷測定手段１５は電気素子３を出入りする電荷
量Ｑを検出することによって電位測定面１２の電位Ｖを
測定する。
【００２１】図５はこの第３実施例の具体的な構成を示
す。電気素子１３はスイッチ１６及びコンデンサ１７が
用いられ、電荷測定手段１５はスイッチ１８及び電流計
１９が用いられる。測定プローブ１１はスイッチ１６及
びコンデンサ１７を介して定電位源１４を構成する接地
点に接続され、電流計１９がスイッチ１８を介してコン
デンサ１７と並列に接続される。
す。電気素子１３はスイッチ１６及びコンデンサ１７が
用いられ、電荷測定手段１５はスイッチ１８及び電流計
１９が用いられる。測定プローブ１１はスイッチ１６及
びコンデンサ１７を介して定電位源１４を構成する接地
点に接続され、電流計１９がスイッチ１８を介してコン
デンサ１７と並列に接続される。
【００２２】スイッチ１６をオンさせてスイッチ１８を
オフさせた際には電位測定面１２から絶縁性物質１１
ａ、測定プローブ１１、スイッチ１６、コンデンサ１７
を介して接地点に電荷が流れ、この電荷は絶縁性物質１
１ａ及びコンデンサ１７の静電容量、電位測定面１２の
電位に応じた電荷となる。次に、スイッチ１６をオフさ
せてスイッチ１８をオンさせると、コンデンサ１７がス
イッチ１８及び電流計１９を通して放電してその放電電
流が電流計１９により測定されて積分されることで、電
気素子１３を出入りする電荷量Ｑが検出されて電位測定
面１２の電位Ｖが測定される。
オフさせた際には電位測定面１２から絶縁性物質１１
ａ、測定プローブ１１、スイッチ１６、コンデンサ１７
を介して接地点に電荷が流れ、この電荷は絶縁性物質１
１ａ及びコンデンサ１７の静電容量、電位測定面１２の
電位に応じた電荷となる。次に、スイッチ１６をオフさ
せてスイッチ１８をオンさせると、コンデンサ１７がス
イッチ１８及び電流計１９を通して放電してその放電電
流が電流計１９により測定されて積分されることで、電
気素子１３を出入りする電荷量Ｑが検出されて電位測定
面１２の電位Ｖが測定される。
【００２３】この第３実施例では、測定プローブ１１を
絶縁性物質１１ａを介して電位測定面１２に接触させて
電位測定を行うので、微小な領域の電位を測定すること
ができる。また、測定プローブ１１の構成が非常にシン
プルで小型化に適していると共に絶縁性物質１１ａと電
位測定面１２との間の微小なギャップの制御あるいは測
定の必要が無くなる。
絶縁性物質１１ａを介して電位測定面１２に接触させて
電位測定を行うので、微小な領域の電位を測定すること
ができる。また、測定プローブ１１の構成が非常にシン
プルで小型化に適していると共に絶縁性物質１１ａと電
位測定面１２との間の微小なギャップの制御あるいは測
定の必要が無くなる。
【００２４】図６は本発明の第４実施例を示す。この第
４実施例では、上記第３実施例において、定電位源１４
として直流電源２０が用いられて測定プローブ１１がス
イッチ１６及びコンデンサ１７を介して直流電源２０に
接続され、電荷測定手段５としてスイッチ２１及び電圧
計２２が用いられて電圧計２２がスイッチ２１を介して
コンデンサ１７に並列に接続される。
４実施例では、上記第３実施例において、定電位源１４
として直流電源２０が用いられて測定プローブ１１がス
イッチ１６及びコンデンサ１７を介して直流電源２０に
接続され、電荷測定手段５としてスイッチ２１及び電圧
計２２が用いられて電圧計２２がスイッチ２１を介して
コンデンサ１７に並列に接続される。
【００２５】スイッチ１６をオンさせてスイッチ２１を
オフさせた際には直流電源２０から絶縁性物質１１ａ、
測定プローブ１１、スイッチ１６、コンデンサ１７を介
して電位測定面１２に電荷が流れてコンデンサ１７が充
電され、この電荷は絶縁性物質１１ａ及びコンデンサ１
７の静電容量、電位測定面１２の電位、直流電源２１の
電圧に応じた電荷となる。次に、スイッチ１６をオフさ
せてスイッチ１８をオンさせると、コンデンサ１７の両
端間の電圧がスイッチ２１を介して電圧計２２により測
定されて積分されることで、電気素子１３を出入りする
電荷量Ｑが検出されて電位測定面１２の電位Ｖが測定さ
れる。
オフさせた際には直流電源２０から絶縁性物質１１ａ、
測定プローブ１１、スイッチ１６、コンデンサ１７を介
して電位測定面１２に電荷が流れてコンデンサ１７が充
電され、この電荷は絶縁性物質１１ａ及びコンデンサ１
７の静電容量、電位測定面１２の電位、直流電源２１の
電圧に応じた電荷となる。次に、スイッチ１６をオフさ
せてスイッチ１８をオンさせると、コンデンサ１７の両
端間の電圧がスイッチ２１を介して電圧計２２により測
定されて積分されることで、電気素子１３を出入りする
電荷量Ｑが検出されて電位測定面１２の電位Ｖが測定さ
れる。
【００２６】この第４実施例では、第３実施例と同様に
微小な領域の電位を測定することができ、測定プローブ
１１の構成が非常にシンプルで小型化に適していると共
に絶縁性物質１１ａと電位測定面１２との間の微小なギ
ャップの制御あるいは測定の必要が無くなる。
微小な領域の電位を測定することができ、測定プローブ
１１の構成が非常にシンプルで小型化に適していると共
に絶縁性物質１１ａと電位測定面１２との間の微小なギ
ャップの制御あるいは測定の必要が無くなる。
【００２７】上記第３実施例及び第４実施例では、絶縁
性物質１１ａの材料は特に強誘電体などの誘電率の大き
な物質を用いれば、放電しにくいだけでなく大きな出力
を得ることができ、測定精度が向上する。その理由は、
絶縁性物質１１ａの材料として誘電率の大きな物質を用
いた場合には測定プローブ１１と電位測定面１２との間
の絶縁性物質１１ａにより形成されるコンデンサの静電
容量が大きくなり、多くの電荷が移動するので、放電し
にくいだけでなく大きな出力を得ることができて電位測
定を高精度で行えるからである。
性物質１１ａの材料は特に強誘電体などの誘電率の大き
な物質を用いれば、放電しにくいだけでなく大きな出力
を得ることができ、測定精度が向上する。その理由は、
絶縁性物質１１ａの材料として誘電率の大きな物質を用
いた場合には測定プローブ１１と電位測定面１２との間
の絶縁性物質１１ａにより形成されるコンデンサの静電
容量が大きくなり、多くの電荷が移動するので、放電し
にくいだけでなく大きな出力を得ることができて電位測
定を高精度で行えるからである。
【００２８】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、電気素子３，１３としてコンデンサと抵
抗素子を用いるようにしたり、コンデンサ１７の充電時
の電流、電圧を測定するようにしたりすることができ
る。
ものではなく、電気素子３，１３としてコンデンサと抵
抗素子を用いるようにしたり、コンデンサ１７の充電時
の電流、電圧を測定するようにしたりすることができ
る。
【００２９】
【発明の効果】以上のように請求項１記載の発明によれ
ば、電位測定面に対して微小な間隔を隔てて位置し、か
つ、少なくともこの電位測定面に対向する部分に絶縁性
物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プロー
ブと定電位源との間に接続される電気素子と、この電気
素子を出入りする電荷を測定する電荷測定手段とを備え
たので、放電しにくく、微小な領域の電位を非接触で測
定することができる。また、測定プローブの構成が非常
にシンプルであるので、小型化に適している。
ば、電位測定面に対して微小な間隔を隔てて位置し、か
つ、少なくともこの電位測定面に対向する部分に絶縁性
物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プロー
ブと定電位源との間に接続される電気素子と、この電気
素子を出入りする電荷を測定する電荷測定手段とを備え
たので、放電しにくく、微小な領域の電位を非接触で測
定することができる。また、測定プローブの構成が非常
にシンプルであるので、小型化に適している。
【００３０】請求項２記載の発明によれば、電位測定面
に接触し、かつ、少なくともこの電位測定面に対向する
部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、こ
の測定プローブと定電位源との間に接続される電気素子
と、この電気素子を出入りする電荷を測定する電荷測定
手段とを備えたので、微小な領域の電位を測定すること
ができ、測定プローブの構成が非常にシンプルで小型化
に適していると共に絶縁性物質と電位測定面との間の微
小なギャップの制御あるいは測定の必要が無くなる。
に接触し、かつ、少なくともこの電位測定面に対向する
部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、こ
の測定プローブと定電位源との間に接続される電気素子
と、この電気素子を出入りする電荷を測定する電荷測定
手段とを備えたので、微小な領域の電位を測定すること
ができ、測定プローブの構成が非常にシンプルで小型化
に適していると共に絶縁性物質と電位測定面との間の微
小なギャップの制御あるいは測定の必要が無くなる。
【００３１】請求項３記載の発明によれば、請求項１ま
たは２記載の電位測定装置において、前記測定プローブ
の電位測定面に対向する部分に絶縁性物質として強誘電
体を固着したので、放電しにくいと共に大きな出力を得
ることができ、測定精度が向上する。
たは２記載の電位測定装置において、前記測定プローブ
の電位測定面に対向する部分に絶縁性物質として強誘電
体を固着したので、放電しにくいと共に大きな出力を得
ることができ、測定精度が向上する。
【図１】本発明の第１実施例を示すブロック図である。
【図２】同第１実施例を具体的に示す回路図である。
【図３】本発明の第２実施例を示す回路図である。
【図４】本発明の第３実施例を示すブロック図である。
【図５】同第３実施例を具体的に示す回路図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す回路図である。
１，１１ 測定プローブ １ａ，１１ａ 絶縁性物質 ２，１２ 電位測定面 ３，１３ 電気素子 ４，１４，２０ 定電位源 ５，１５ 電荷測定手段 ６，１６，１８，２１ スイッチ ７，１９ 電流計 ８ 抵抗素子 ９，２２ 電圧計 １７ コンデンサ
Claims (3)
- 【請求項１】電位測定面に対して微小な間隔を隔てて位
置し、かつ、少なくともこの電位測定面に対向する部分
に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測
定プローブと定電位源との間に接続される電気素子と、
この電気素子を出入りする電荷を測定する電荷測定手段
とを備えたことを特徴とする電位測定装置。 - 【請求項２】電位測定面に接触し、かつ、少なくともこ
の電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電
性の測定プローブと、この測定プローブと定電位源との
間に接続される電気素子と、この電気素子を出入りする
電荷を測定する電荷測定手段とを備えたことを特徴とす
る電位測定装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の電位測定装置にお
いて、前記測定プローブの電位測定面に対向する部分に
絶縁性物質として強誘電体を固着したことを特徴とする
電位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5852593A JPH06273465A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 電位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5852593A JPH06273465A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 電位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273465A true JPH06273465A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13086850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5852593A Pending JPH06273465A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 電位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06273465A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007132734A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Hitachi Computer Peripherals Co Ltd | 回転体の非接触式電位測定方法、および、同装置 |
| WO2014155680A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 電圧測定装置 |
| CN107533091A (zh) * | 2015-04-28 | 2018-01-02 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 非接触电压测量装置 |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP5852593A patent/JPH06273465A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007132734A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Hitachi Computer Peripherals Co Ltd | 回転体の非接触式電位測定方法、および、同装置 |
| WO2014155680A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 電圧測定装置 |
| CN105051549A (zh) * | 2013-03-29 | 2015-11-11 | 东芝三菱电机产业系统株式会社 | 电压测定装置 |
| JPWO2014155680A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-02-16 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 電圧測定装置 |
| CN107533091A (zh) * | 2015-04-28 | 2018-01-02 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 非接触电压测量装置 |
| CN107533091B (zh) * | 2015-04-28 | 2019-12-31 | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 | 非接触电压测量装置 |
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