JPH0627646B2 - 光フアイバ母材の形状測定装置 - Google Patents
光フアイバ母材の形状測定装置Info
- Publication number
- JPH0627646B2 JPH0627646B2 JP15355185A JP15355185A JPH0627646B2 JP H0627646 B2 JPH0627646 B2 JP H0627646B2 JP 15355185 A JP15355185 A JP 15355185A JP 15355185 A JP15355185 A JP 15355185A JP H0627646 B2 JPH0627646 B2 JP H0627646B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- measured
- container
- outer diameter
- fiber preform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、高速かつ高精度な光ファイバ母材の形状測定
装置に関するものである。
装置に関するものである。
（従来の技術） 第１図は、従来のこの種の装置の概念図であって、１は
レーザ光束の送出（走査）部、２はレーザ光束、３は受
光部（系）、４は被測定物である。
レーザ光束の送出（走査）部、２はレーザ光束、３は受
光部（系）、４は被測定物である。
これを動作するには、レーザ光束の走査部１により、レ
ーザ光束２を第１図の矢印の方向に被測定物４に対し走
査し、その「影」の出力を、受光系３で検出し、測定値
は簡単な演算ののち表示部５に表示される。ここで受光
系３により検出される光出力は、不透明物体の場合模式
的に第２図のような形状となり、図中の光強度の減衰す
る時間ｔｏを測定することにより、被測定物４の外径が
求められる。
ーザ光束２を第１図の矢印の方向に被測定物４に対し走
査し、その「影」の出力を、受光系３で検出し、測定値
は簡単な演算ののち表示部５に表示される。ここで受光
系３により検出される光出力は、不透明物体の場合模式
的に第２図のような形状となり、図中の光強度の減衰す
る時間ｔｏを測定することにより、被測定物４の外径が
求められる。
（発明が解決しようとする問題点） 従来の装置は、第１図に示すごとくレーザ光束の送出部
１と受光部３の間は空間であり、この空間に被測定物４
を配置する構成となっていたので、線状物体の外径又は
透明ガラス管の外径、肉厚等の測定を行うことはできた
が、光ファイバ母材のごとくその内部に微少な（数％以
下）屈折率差のある透明物体の内部の寸法を測定するこ
とができない欠点があった。
１と受光部３の間は空間であり、この空間に被測定物４
を配置する構成となっていたので、線状物体の外径又は
透明ガラス管の外径、肉厚等の測定を行うことはできた
が、光ファイバ母材のごとくその内部に微少な（数％以
下）屈折率差のある透明物体の内部の寸法を測定するこ
とができない欠点があった。
（発明の目的） 本発明の目的は、高精度に調整された屈折率調整油の満
たされた容器内に被測定光ファイバ母材を配置し、光フ
ァイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、コア非
円率、コア偏心率を同時に測定できる光ファイバ母材の
形状測定装置を提供することにある。
たされた容器内に被測定光ファイバ母材を配置し、光フ
ァイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、コア非
円率、コア偏心率を同時に測定できる光ファイバ母材の
形状測定装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明は上記目的を達成するため、外径を計測する被測
定物の中心軸に対し垂直方向にレーザ光束を走査し、該
レーザ光束が該測定物によって遮られる時間を電気的に
計測することによって、該測定物の外径を高精度で測定
する外径測定装置において、該光束の送出部と受光部の
中間に、該光束に対し垂直な面内に前後２枚の透明な窓
材を有する容器を配し、該容器内に光束と直角方向に被
測定の光ファイバ母材の中心軸を回転可能に配し、かつ
該容器内に満たされた屈折率調整油の屈折率ｎが なる関係を満足するようになしたことを特徴とし、或い
は外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂直方向にレ
ーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物によって遮
られる時間を電気的に計測することによって、該測定物
の外径を高精度で測定する外径測定装置において、該光
束の送出部と受光部の中間に、該光束に対し垂直な面内
に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配し、該容器内
に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母材の中心軸を
回転可能に配し、かつ該容器内に満たされた屈折率調整
油の屈折率ｎが なる関係を満足し、該光ファイバ母材をその中心軸に関
し任意の角度毎に回転すると共に軸方向へ任意の長さ毎
に移動可能な機構を有することを特徴とする。
定物の中心軸に対し垂直方向にレーザ光束を走査し、該
レーザ光束が該測定物によって遮られる時間を電気的に
計測することによって、該測定物の外径を高精度で測定
する外径測定装置において、該光束の送出部と受光部の
中間に、該光束に対し垂直な面内に前後２枚の透明な窓
材を有する容器を配し、該容器内に光束と直角方向に被
測定の光ファイバ母材の中心軸を回転可能に配し、かつ
該容器内に満たされた屈折率調整油の屈折率ｎが なる関係を満足するようになしたことを特徴とし、或い
は外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂直方向にレ
ーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物によって遮
られる時間を電気的に計測することによって、該測定物
の外径を高精度で測定する外径測定装置において、該光
束の送出部と受光部の中間に、該光束に対し垂直な面内
に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配し、該容器内
に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母材の中心軸を
回転可能に配し、かつ該容器内に満たされた屈折率調整
油の屈折率ｎが なる関係を満足し、該光ファイバ母材をその中心軸に関
し任意の角度毎に回転すると共に軸方向へ任意の長さ毎
に移動可能な機構を有することを特徴とする。
（作用） 光ファイバ母材における屈折率差の影響を受けることな
く光ファイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、
コア非円率、コア偏心率を同時に測定できる。
く光ファイバ母材の外径、非円率のみならず、コア径、
コア非円率、コア偏心率を同時に測定できる。
（実施例） 第３図は本発明の実施例の概念図であって、６は非接触
のレーザ形状測定部の光学系で、レーザ光束の送出（走
査部）６ａと受光部（系）６ｂとを一体に連結してな
る。７は測定対象の石英系の光ファイバ母材、８は光フ
ァイバ母材７を保持する一対のチャック、９は屈折率調
整油を収容するガラス容器、１０はレーザ光束１１と直
角な面内にある石英製の透明な窓材、１２はチャック８
と連結した回転シャフト１３とガラス容器９内の気密を
保持するオイルシール軸受、１４はガラス容器９内に充
填された屈折率調整油、１５は回転シャフト１３を一定
角度毎に回転させる機能を有するパルスモータ、１５′
は回転シャフト１３の軸受、１６は光学系６を光ファイ
バ母材７の軸方向へ一定の間隔で移動せしめるパルスモ
ータ、１７はパルスモータ１６の駆動力を伝達するネジ
付回転シャフトで、前記光学系６の一部に螺装されてお
り、この回転シャフト１７の回転により光学系６が光フ
ァイバ７の軸方向に対して前進後退する。１８は回転シ
ャフト１７の軸受、１９は光学系６で測定した信号を処
理する電気信号処理部、２０は装置全体を制御すると共
に処理された電気信号を演算処理するミニコンピュー
タ、２１は演算結果を表示するＸ−Ｙプロッタである。
のレーザ形状測定部の光学系で、レーザ光束の送出（走
査部）６ａと受光部（系）６ｂとを一体に連結してな
る。７は測定対象の石英系の光ファイバ母材、８は光フ
ァイバ母材７を保持する一対のチャック、９は屈折率調
整油を収容するガラス容器、１０はレーザ光束１１と直
角な面内にある石英製の透明な窓材、１２はチャック８
と連結した回転シャフト１３とガラス容器９内の気密を
保持するオイルシール軸受、１４はガラス容器９内に充
填された屈折率調整油、１５は回転シャフト１３を一定
角度毎に回転させる機能を有するパルスモータ、１５′
は回転シャフト１３の軸受、１６は光学系６を光ファイ
バ母材７の軸方向へ一定の間隔で移動せしめるパルスモ
ータ、１７はパルスモータ１６の駆動力を伝達するネジ
付回転シャフトで、前記光学系６の一部に螺装されてお
り、この回転シャフト１７の回転により光学系６が光フ
ァイバ７の軸方向に対して前進後退する。１８は回転シ
ャフト１７の軸受、１９は光学系６で測定した信号を処
理する電気信号処理部、２０は装置全体を制御すると共
に処理された電気信号を演算処理するミニコンピュー
タ、２１は演算結果を表示するＸ−Ｙプロッタである。
これを動作するには、先ず石英系の単一モード用光ファ
イバ母材７をチャック８により固定し、ガラス容器９の
内部に屈折率１．４５７０のシリコンオイル（屈折率調
整油１４）を満たす。ついで、光学系６を動作させ、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザの平行光束１１を光ファイバ母材７の中
心軸に対し直角方向に走査し、そのときの受光信号を、
電気信号処理部１９へ送出する。第４図は受光信号の測
定例を模式的に示したものであり、信号強度が著しく減
少するＡ及びＡ′点は光ファイバ母材７のクラッド部と
屈折率調整油１４との境界を、同様にＢ及びＢ′点は、
光ファイバ母材７のクラッド部とコア部の境界に対応す
る。ここで、これらのパルス状信号間の時間ｔ１及びｔ
２を電気的に測定することにより光ファイバ母材７のコ
ア径、外径を決定することができる。さらにレーザ光束
の走査は、適当な偏向器を用いることにより１走査当り
数ｍｓｅｃ以下の速度で行なえるため高速の測定及び信
号の平均化処理を容易に行うことができる。なお、第４
図に示すような光信号が得られることは、後で詳述す
る。
イバ母材７をチャック８により固定し、ガラス容器９の
内部に屈折率１．４５７０のシリコンオイル（屈折率調
整油１４）を満たす。ついで、光学系６を動作させ、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザの平行光束１１を光ファイバ母材７の中
心軸に対し直角方向に走査し、そのときの受光信号を、
電気信号処理部１９へ送出する。第４図は受光信号の測
定例を模式的に示したものであり、信号強度が著しく減
少するＡ及びＡ′点は光ファイバ母材７のクラッド部と
屈折率調整油１４との境界を、同様にＢ及びＢ′点は、
光ファイバ母材７のクラッド部とコア部の境界に対応す
る。ここで、これらのパルス状信号間の時間ｔ１及びｔ
２を電気的に測定することにより光ファイバ母材７のコ
ア径、外径を決定することができる。さらにレーザ光束
の走査は、適当な偏向器を用いることにより１走査当り
数ｍｓｅｃ以下の速度で行なえるため高速の測定及び信
号の平均化処理を容易に行うことができる。なお、第４
図に示すような光信号が得られることは、後で詳述す
る。
次に、これらのデータは電気信号処理部１９で数十回か
ら数千回の平均化処理を行なった後、ミニコンピュータ
２０に内臓された記憶装置に記憶される。ついで、ミニ
コンピュータ２０よりパルスモータ１５にパルス信号を
送り、回転シャフト１３を５゜回転せしめ、上記と同様
の測定を行う。
ら数千回の平均化処理を行なった後、ミニコンピュータ
２０に内臓された記憶装置に記憶される。ついで、ミニ
コンピュータ２０よりパルスモータ１５にパルス信号を
送り、回転シャフト１３を５゜回転せしめ、上記と同様
の測定を行う。
この際、第４図のＡ，Ａ′，Ｂ，Ｂ′の各点はそれらの
相対的な時間位置もデータとして記録される。これらの
データは、第４図においてコアが偏心している場合、そ
の偏心量を、さらにコア径及び外径の非円率を決定する
のに用いることができる。
相対的な時間位置もデータとして記録される。これらの
データは、第４図においてコアが偏心している場合、そ
の偏心量を、さらにコア径及び外径の非円率を決定する
のに用いることができる。
以下、上記と同様な測定を、全回転角（３６０゜方向）
について実施し（測定点７２点）、それらのデータをミ
ンコンピュータ２０に記録する。
について実施し（測定点７２点）、それらのデータをミ
ンコンピュータ２０に記録する。
ついで、ミニコンピュータ２０より、パルスモータ１６
へパルスを送出し回転シャフト１７を回転させ光学系６
を光ファイバ母材７の軸方向へ１０ｍｍ移動せしめ、上
記と同様の測定（測定点７２点）を実施する。以下、光
学系６を１０ｍｍ間隔で繰り返し移動させながら上記の
測定を実施し結果をプロッタ２１で表示すれば、光ファ
イバ母材７の軸方向での外径、外径非円率、コア径、コ
アの非円率、コアの偏心率の長手方向依存性が高精度で
求められる。また、測定間隔は、所要の範囲で任意に選
定できる。
へパルスを送出し回転シャフト１７を回転させ光学系６
を光ファイバ母材７の軸方向へ１０ｍｍ移動せしめ、上
記と同様の測定（測定点７２点）を実施する。以下、光
学系６を１０ｍｍ間隔で繰り返し移動させながら上記の
測定を実施し結果をプロッタ２１で表示すれば、光ファ
イバ母材７の軸方向での外径、外径非円率、コア径、コ
アの非円率、コアの偏心率の長手方向依存性が高精度で
求められる。また、測定間隔は、所要の範囲で任意に選
定できる。
なお、外径及びコア径の非円率、コア径の偏心率は、単
一モードファイバ母材の場合、次式で与えられる。
一モードファイバ母材の場合、次式で与えられる。
外径の非円率＝（最大外径−最小外径）／（標準外径）
×１００（％） コア径の非円率＝（最大コア径−最小コア径）／（標準
コア径）×１００（％） コアの偏心率＝（母材の中心とコアの中心との距離）／
（標準外径）×１００（％） ここに、母材の中心及びコアの中心は、前記の３６０゜
方向の測定値（測定点７２点）に対し最小二乗法を適用
して容易に決定される。
×１００（％） コア径の非円率＝（最大コア径−最小コア径）／（標準
コア径）×１００（％） コアの偏心率＝（母材の中心とコアの中心との距離）／
（標準外径）×１００（％） ここに、母材の中心及びコアの中心は、前記の３６０゜
方向の測定値（測定点７２点）に対し最小二乗法を適用
して容易に決定される。
第５図は、上記の測定の一例を示すもので、長さ約４０
ｃｍの単一モード光ファイバ母材のコアの偏心率の長手
方向依存性である。この測定から、測定に用いた光ファ
イバ母材の偏心率は０．５２％以内にあることが確認さ
れた。
ｃｍの単一モード光ファイバ母材のコアの偏心率の長手
方向依存性である。この測定から、測定に用いた光ファ
イバ母材の偏心率は０．５２％以内にあることが確認さ
れた。
なお、本実施例では、光ファイバ母材を横に保持する場
合について説明したが、装置構造上縦型にすることでき
る。
合について説明したが、装置構造上縦型にすることでき
る。
以下では、屈折率調整油の屈折率の条件と第４図に示す
信号が得られる原理について説明する。第６図は、本測
定装置の動作に関する説明図であって、第３図の光学系
６の断面を示したものであり、２２は集光レンズ、２３
は光探知器である。
信号が得られる原理について説明する。第６図は、本測
定装置の動作に関する説明図であって、第３図の光学系
６の断面を示したものであり、２２は集光レンズ、２３
は光探知器である。
第６図において、Ｐ−Ｐ′，Ｑ−Ｑ′，Ｒ−Ｒ′，Ｓ−
Ｓ′，Ｔ−Ｔ′はｘ方向に走査されたＨｅ−Ｎｅレーザ
光束を示しており、ｘ方向での光束の位置と受信される
光信号の関係はｎ＜ｎ１の場合以下の通りである。ここ
で第６図は、窓材１０が屈折率ｎ１の石英からなる場合
について示しており、このようにすることにより屈折率
調整油１４との間の無用の反射を低減することができ
る。窓材の屈折率のｎ１からのずれは、測定に本質的な
影響を与えることはない。
Ｓ′，Ｔ−Ｔ′はｘ方向に走査されたＨｅ−Ｎｅレーザ
光束を示しており、ｘ方向での光束の位置と受信される
光信号の関係はｎ＜ｎ１の場合以下の通りである。ここ
で第６図は、窓材１０が屈折率ｎ１の石英からなる場合
について示しており、このようにすることにより屈折率
調整油１４との間の無用の反射を低減することができ
る。窓材の屈折率のｎ１からのずれは、測定に本質的な
影響を与えることはない。
すなわち、窓材１０に対し垂直方向に入射したＨｅ−Ｎ
ｅレーザ光束は、光ファイバ母材７のクラッド及びコア
に接する際、接点における媒質相互間の屈折率の大小関
係によって、屈折又は反射し集光系２２から外れるため
光検知器２３にほとんど受光されなくなる。屈折又は反
射の条件は下記の通りである。
ｅレーザ光束は、光ファイバ母材７のクラッド及びコア
に接する際、接点における媒質相互間の屈折率の大小関
係によって、屈折又は反射し集光系２２から外れるため
光検知器２３にほとんど受光されなくなる。屈折又は反
射の条件は下記の通りである。
(1) 光ファイバ母材７のクラッド外周上での屈折と反射 (a) ｎ＜ｎ１の場合屈折する。
(b) ｎ＞ｎ１の場合反射する。
(2) 光ファイバ母材７のコア外周での屈折 (a) 常にｎ１＜ｎ０であるため屈折する。
上記の接点以外では、角媒質間の屈折率の差は少ないた
め光束はほぼ直進し、集光系２２により集光され、光検
知器２３に受光される。
め光束はほぼ直進し、集光系２２により集光され、光検
知器２３に受光される。
以上のような理由で、第４図にようなパルス状の光出力
が得られることが説明された。ここで、このパルスがあ
る程度の幅を有するのは、入射光束のスポットサイズが
有限でありかつその強度分布がほぼガウス状の分布をし
てなり、光検知器の受光面がある程度の大きさを有して
いるためである。第４図の測定例では、スポットサイズ
は０．３ｍｍφ（１／ｅ２）、受光器の閉口は幅０．５
ｍｍであり、受光器の前の集光レンズの集点距離は１１
０ｍｍであった。こうしたパルスの広がりによる測定誤
差は、基準サンプルを用いて較正することにより十分な
精度まで容易に低減することができる。
が得られることが説明された。ここで、このパルスがあ
る程度の幅を有するのは、入射光束のスポットサイズが
有限でありかつその強度分布がほぼガウス状の分布をし
てなり、光検知器の受光面がある程度の大きさを有して
いるためである。第４図の測定例では、スポットサイズ
は０．３ｍｍφ（１／ｅ２）、受光器の閉口は幅０．５
ｍｍであり、受光器の前の集光レンズの集点距離は１１
０ｍｍであった。こうしたパルスの広がりによる測定誤
差は、基準サンプルを用いて較正することにより十分な
精度まで容易に低減することができる。
つぎに、クラッド表面での光束の屈折によって生じる誤
差は、以下のように求められる。第６図においてスネル
の法則により次式が得られる。
差は、以下のように求められる。第６図においてスネル
の法則により次式が得られる。
一方、光束Ｓが０′点で接したとき、第６図の距離ｄは ｄ＝ｂｓｉｎθ１ （２） で与えられる。
また三角形Ｓ″００′で、 ∠０′Ｓ″０＝θ２であるから、次式が得られる。
ｂｓｉｎθ２＝ａ （３） 式（１）〜（３）式より、光束Ｓがコアに接するときの
コア半径に相当する測定値ｄは で与えられる。
コア半径に相当する測定値ｄは で与えられる。
したがって、コア径２ａの測定誤差ΔＥは次式で与えら
れる。
れる。
一般に、光ファイバ母材の非円率及び偏心率は１〜２％
以下であり、これを高精度で決定するには、母材形状の
測定精度として少なくとも０．１％以下が要求されるた
め、次式の条件が必要となる。
以下であり、これを高精度で決定するには、母材形状の
測定精度として少なくとも０．１％以下が要求されるた
め、次式の条件が必要となる。
また、クラッドの形状を測定するためには、第４図のＡ
及びＡ′の信号を得る必要があり、その条件は次式で与
えられる。
及びＡ′の信号を得る必要があり、その条件は次式で与
えられる。
ｎ１≠ｎ （７） なお、クラッド径の計測に関しては、光束がクラッドに
接する以前に屈折の要因がないため、上記の屈折率調整
油による誤差要因はない。
接する以前に屈折の要因がないため、上記の屈折率調整
油による誤差要因はない。
（発明の効果） 以上説明したように、第１の発明によれば、レーザ光束
を走査しつつ光ファイバ母材を回転させることにより、
屈折率差の影響を受けることなく光ファイバ母材の形状
を的確に測定できる。また第２の発明によれば、光ファ
イバ母材の外径、外径の非円率、コア径、コア径の非円
率、コアの偏心率を長手方向において非破壊かつ高精度
に連続自動測定できるため、光ファイバ母材の品質管理
に極めて有効である利点がある。
を走査しつつ光ファイバ母材を回転させることにより、
屈折率差の影響を受けることなく光ファイバ母材の形状
を的確に測定できる。また第２の発明によれば、光ファ
イバ母材の外径、外径の非円率、コア径、コア径の非円
率、コアの偏心率を長手方向において非破壊かつ高精度
に連続自動測定できるため、光ファイバ母材の品質管理
に極めて有効である利点がある。
第１図は従来のこの種の装置の概念図、第２図はその測
定例を示すグラフ、第３図は本発明の実施例を示す装置
全体の概念図、第４図は本発明装置による受光信号の測
定例の説明図、第５図は本発明装置による光ファイバ母
材のコア偏心率長手方向依存性の測定例を示すグラフ、
第６図は本発明装置の動作原理及び測定誤差算出の説明
図、第７図は本発明装置による測定のフローチャートで
ある。 ６……レーザ形状測定部の光学系、７……光ファイバ母
材、８……チャック、９……ガラス容器、１０……窓
材、１１……レーザ光束、１２……オイルシール軸受、
１３……回転シャフト、１４……屈折率調整油、１５…
…試料回転用のパルスモータ、１６……光学系移動用の
パルスモータ、１７……ネジ付回転シャフト、１８……
軸受、１９……電気信号処理部、２０……ミニコンピュ
ータ、２１……Ｘ−Ｙプロッタ、２２……集光レンズ、
２３……光検知器。
定例を示すグラフ、第３図は本発明の実施例を示す装置
全体の概念図、第４図は本発明装置による受光信号の測
定例の説明図、第５図は本発明装置による光ファイバ母
材のコア偏心率長手方向依存性の測定例を示すグラフ、
第６図は本発明装置の動作原理及び測定誤差算出の説明
図、第７図は本発明装置による測定のフローチャートで
ある。 ６……レーザ形状測定部の光学系、７……光ファイバ母
材、８……チャック、９……ガラス容器、１０……窓
材、１１……レーザ光束、１２……オイルシール軸受、
１３……回転シャフト、１４……屈折率調整油、１５…
…試料回転用のパルスモータ、１６……光学系移動用の
パルスモータ、１７……ネジ付回転シャフト、１８……
軸受、１９……電気信号処理部、２０……ミニコンピュ
ータ、２１……Ｘ−Ｙプロッタ、２２……集光レンズ、
２３……光検知器。
Claims (2)
- 【請求項１】外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂
直方向にレーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物
によって遮られる時間を電気的に計測することによっ
て、該測定物の外径を高精度で測定する外径測定装置に
おいて、該光束の送出部と受光部の中間に、該光束に対
し垂直な面内に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配
し、該容器内に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母
材の中心軸を回転可能に配し、かつ該容器内に満たされ
た屈折率調整油の屈折率ｎが なる関係を満足するようになしたことを特徴とする光フ
ァイバ母材の形状測定装置。 - 【請求項２】外径を計測する被測定物の中心軸に対し垂
直方向にレーザ光束を走査し、該レーザ光束が該測定物
によって遮られる時間を電気的に計測することによっ
て、該測定物の外径を高精度で測定する外径測定装置に
おいて、該光束の送出部と受光部の中間に、該光束に対
し垂直な面内に前後２枚の透明な窓材を有する容器を配
し、該容器内に光束と直角方向に被測定の光ファイバ母
材の中心軸を回転可能に配し、かつ該容器内に満たされ
た屈折率調整油の屈折率ｎが なる関係を満足し、該光ファイバ母材をその中心軸に関
し任意の角度毎に回転すると共に軸方向へ任意の長さ毎
に移動可能な機構を有することを特徴とする光ファイバ
母材の形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15355185A JPH0627646B2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光フアイバ母材の形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15355185A JPH0627646B2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光フアイバ母材の形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214006A JPS6214006A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH0627646B2 true JPH0627646B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=15564977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15355185A Expired - Lifetime JPH0627646B2 (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 光フアイバ母材の形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627646B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006090524A1 (ja) | 2005-02-22 | 2006-08-31 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材のコア部非円率測定方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195505A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光フアイバ母材の形状測定方法 |
| JP2005308717A (ja) | 2004-03-23 | 2005-11-04 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ母材のコア部非円率の測定方法及びその装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5510172B2 (ja) | 2010-08-09 | 2014-06-04 | 日産自動車株式会社 | 車両制御装置 |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP15355185A patent/JPH0627646B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5510172B2 (ja) | 2010-08-09 | 2014-06-04 | 日産自動車株式会社 | 車両制御装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006090524A1 (ja) | 2005-02-22 | 2006-08-31 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ母材のコア部非円率測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6214006A (ja) | 1987-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0348607B1 (en) | Measuring curvature of transparent or translucent material | |
| JPH03162606A (ja) | 透明管の幾何学的特微付け方法および装置 | |
| JPH01195305A (ja) | 容器の肉厚の測定方法 | |
| RU2136124C1 (ru) | Лазерный центратор для рентгеновского излучателя | |
| US4583851A (en) | Method and apparatus for monitoring optical fiber concentricity | |
| US4561778A (en) | Apparatus for measuring the dimensions of cylindrical objects by means of a scanning laser beam | |
| JPH0627646B2 (ja) | 光フアイバ母材の形状測定装置 | |
| EP3696499B1 (en) | Surveying system having a rotating mirror | |
| JPH01277731A (ja) | 円筒状コネクタピン内に埋込まれた導波路の偏心度を測定する方法および装置 | |
| CN110799816B (zh) | 用于光束扫描的测量探针 | |
| JP2865337B2 (ja) | 光学測定装置 | |
| CN112147104A (zh) | 一种基于ccd法测量液体折射率的方法 | |
| JPH0325731B2 (ja) | ||
| JP3705863B2 (ja) | 高さ測定装置及び高さ測定方法 | |
| JP3374941B2 (ja) | 透明板の厚み測定装置 | |
| US5497228A (en) | Laser bevel meter | |
| SU1523907A1 (ru) | Сферометр | |
| JP2661001B2 (ja) | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 | |
| EP0532291A1 (en) | Measuring geometry of optical fibre coatings | |
| JPH1114328A (ja) | 回転体の回転精度測定装置 | |
| JPS63195505A (ja) | 光フアイバ母材の形状測定方法 | |
| JPS62287107A (ja) | 中心位置測定装置 | |
| RU2006792C1 (ru) | Устройство для измерения радиусов кривизны поверхности детали | |
| JPH07109381B2 (ja) | 屈折率分布測定装置 | |
| JPH06137818A (ja) | レーザー利用測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |