JPH0627963Y2 - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH0627963Y2
JPH0627963Y2 JP1987175552U JP17555287U JPH0627963Y2 JP H0627963 Y2 JPH0627963 Y2 JP H0627963Y2 JP 1987175552 U JP1987175552 U JP 1987175552U JP 17555287 U JP17555287 U JP 17555287U JP H0627963 Y2 JPH0627963 Y2 JP H0627963Y2
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JP
Japan
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glass plate
solid
image pickup
state imaging
imaging device
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JP1987175552U
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JPH0179858U (ja
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楠也 岩崎
稔 浜田
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本考案は固体撮像装置に関する。
(ロ)従来の技術 固体撮像装置の基本構造は、例えば日経マイクロデバイ
スの1987年８月号第40頁乃至第41頁に開示されているよ
うに、接続端子ピンを両側に配置したパッケージの凹所
内に撮像素子を配して電気的接続を為し、必要に応じて
撮像素子上に色分離フィルタを貼り合わせた後、その上
面に保護用のガラス板を配設したものである。
また、斯る固体撮像装置においては、その搬送時にキズ
の生じる虞れがあるため、これを防止すべくガラス板を
含む固体撮像装置の表面に保護フィルムを貼り付けてい
る。
(ハ)考案が解決しようとする問題点 こうした固体撮像装置では、その使用時に際して当然、
表面から保護フィルムを剥離することになるが、この場
合、ガラス板が帯電することがある。また、固体撮像装
置を組み込んだ機器が固体撮像装置近傍で帯電すると、
その影響を受けてガラス板も帯電することになる。
この帯電により、ガラス板の表面にホコリが付着し易く
なり、ホコリの付着によって光電変換特性を低下させ
る。また、より強い帯電が生じると、電荷転送動作が妨
害され、信号出力特性の劣化を招く。更に、斯る帯電は
ガラス板全体ではなく局部的に発生し、撮像画面を不鮮
明なものとする。
そこで、本考案の目的は、撮像素子上の局部的な帯電
を、更には帯電自体を防止することにある。
(ニ)問題点を解決するための手段 本考案は、撮像素子上にガラス板を配設した固体撮像装
置において、上記ガラス板表面の上記撮像素子と対向す
る部分には面状に、その他の部分には線状に導電性薄膜
を形成したことを特徴とする。
(ホ)作用 本考案によれば、ガラス板表面に形成された導電性薄膜
のうち、撮像素子と対向する部分に形成された面状部が
この部分での局部的な帯電の発生を防止し、また線状部
がそれ自身の自己放電によりガラス板上の帯電を消滅さ
せる。
(ヘ)実施例 図は本考案の一実施例を示す分解斜視図である。
(1)はその表面中央に所定大きさの凹所(2)を有するセラ
ミックパッケージ、(3)(3)…はこのセラミックパッケー
ジ(1)の長手方向の両側に配列された接続端子ピン、(4)
はセラミックパッケージ(1)の凹所(2)内に配置接着され
たＣＣＤから成る撮像素子、(5)(5)…は接続端子ピン
(3)(3)…に連なるフレーム電極(6)(6)…と撮像素子(4)
とを電気的に接続するボンディングワイヤ、(7)は撮像
素子(4)の上方に配され、撮像素子(4)を封止するガラス
板、(8)はこのガラス板(7)の表面に形成された導電性薄
膜であり、撮像素子(4)と対向する部分の面状部(8a)と
その他の部分のストライプ状の線状部(8b)とから成る。
この導電性薄膜(8)の材料としては、酸化インジウム錫
（ＩＴＯ）、酸化インジウム（In2O3）、酸化錫（Sn
O2）等の十分な光透過性を有するものを使用することが
でき、ガラス板(7)の表面全面に数千Åの膜厚に一様に
形成された後、面状部(8a)と線状部(8b)とから成る形状
にエッチングされる。なお、線状部(8b)は幅を数μｍ〜
数十μｍとし、ピッチを数mm程度とされる。
而して、斯る構造によれば、撮像素子(4)と対向するガ
ラス板(7)の表面に形成された導電性薄膜(8)の面状部(8
a)により、この部分は局部的に帯電されず、略同電位と
なる。また、帯電が進むと、線状部(8b)における電界が
空気の絶縁破壊強度を越えてコロナ放電が生じることに
より、ガラス板上の帯電が消滅する。
なお、線状部(8b)はストライプ状に限らず、格子状でも
良い。
(ト)考案の効果 本考案によれば、ガラス板表面に面状部と線状部とから
成る導電性薄膜を形成したので、撮像素子と対向する部
分のガラス板での局部的な帯電をなくすると共に、自己
放電による帯電の消滅を生ぜしめることができ、よっ
て、信号出力特性の劣化や撮像画面の不鮮明さを防止
し、ホコルの付着を抑制し得る。
【図面の簡単な説明】
図は本考案の一実施例を示す分解斜視図であり、(4)は
撮像素子、(7)はガラス板、(8)は導電性薄膜である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】撮像素子上にガラス板を配設した固体撮像
    装置において、 上記ガラス板表面の上記撮像素子と対向する部分には面
    状に、その他の部分には線状に形成され且つ上記ガラス
    板表面で終端し他の部分と電気的に接続されていない導
    電性薄膜を、 有することを特徴とする固体撮像装置。
JP1987175552U 1987-11-17 1987-11-17 固体撮像装置 Expired - Lifetime JPH0627963Y2 (ja)

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JPH0179858U JPH0179858U (ja) 1989-05-29
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS562818A (en) * 1979-06-18 1981-01-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Mist eliminator

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JPH0179858U (ja) 1989-05-29

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