JPH0628039A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH0628039A JPH0628039A JP18117292A JP18117292A JPH0628039A JP H0628039 A JPH0628039 A JP H0628039A JP 18117292 A JP18117292 A JP 18117292A JP 18117292 A JP18117292 A JP 18117292A JP H0628039 A JPH0628039 A JP H0628039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- flow rate
- constant
- heating means
- temperature difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 使用する流体の種類が変更されるような場合
であっても設置状態のままで校正作業をすることができ
る。 【構成】 バイパスから測定ガスが分流されるセンサ管
の上流側と下流側に設けられた一対のサーモレジスタの
温度差に基づいて、主ガス流路に流れるガス流量を制御
するマスフローコントローラであって、センサ管に強制
的に熱変化を与える加熱手段と、この加熱手段の作動し
ない状態と作動した状態とで特性が既知のガスを流し、
それぞれの条件で測定したガス流量とサーモレジスタが
得た温度差とに基づき、異なった条件での装置定数を求
める第１の演算手段と、加熱手段を作動した状態と作動
しない状態で一定流量の未知のガスを流し、第１の演算
手段によって得た異なった条件での装置定数に基づき、
未知のガスの特性定数を求める第２の演算手段とを備え
たことを特徴としている。
であっても設置状態のままで校正作業をすることができ
る。 【構成】 バイパスから測定ガスが分流されるセンサ管
の上流側と下流側に設けられた一対のサーモレジスタの
温度差に基づいて、主ガス流路に流れるガス流量を制御
するマスフローコントローラであって、センサ管に強制
的に熱変化を与える加熱手段と、この加熱手段の作動し
ない状態と作動した状態とで特性が既知のガスを流し、
それぞれの条件で測定したガス流量とサーモレジスタが
得た温度差とに基づき、異なった条件での装置定数を求
める第１の演算手段と、加熱手段を作動した状態と作動
しない状態で一定流量の未知のガスを流し、第１の演算
手段によって得た異なった条件での装置定数に基づき、
未知のガスの特性定数を求める第２の演算手段とを備え
たことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定するガスの種類に
応じて校正データを得ることができるマスフローコント
ローラに関する。
応じて校正データを得ることができるマスフローコント
ローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】マスフローコントローラによる流量の測
定は、センサ管の上流側と下流側に設けられた一対のサ
ーモレジスタの温度差を測定することによって行われて
いる。サーモレジスタは、上流側で奪われる熱に比し
て、下流で奪われる熱が小さいため図２に示すような温
度差ΔＴが生じる。この温度差ΔＴと流量Ｑとの関係
は、下式のように示すような関係になっている。 Ｑ＝ｆ・ｇ・ΔＴ＋Ｋ （１） ここで、ｆは比熱等の測定流体固有の定数、ｇ及びＫは
装置固有の定数である。
定は、センサ管の上流側と下流側に設けられた一対のサ
ーモレジスタの温度差を測定することによって行われて
いる。サーモレジスタは、上流側で奪われる熱に比し
て、下流で奪われる熱が小さいため図２に示すような温
度差ΔＴが生じる。この温度差ΔＴと流量Ｑとの関係
は、下式のように示すような関係になっている。 Ｑ＝ｆ・ｇ・ΔＴ＋Ｋ （１） ここで、ｆは比熱等の測定流体固有の定数、ｇ及びＫは
装置固有の定数である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のマス
フローコントローラは、使用する流体に応じて納入時
に、校正が行われているため、使用する流体の種類が変
更されるような場合には、設置場所から取り外し改めて
校正をするという作業が必要であった。
フローコントローラは、使用する流体に応じて納入時
に、校正が行われているため、使用する流体の種類が変
更されるような場合には、設置場所から取り外し改めて
校正をするという作業が必要であった。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、センサ管に加熱素子を設け、異なった条件下で
測定を行い、未知のガスの特性定数を求めるようにした
もので、使用する流体の種類が変更されるような場合に
おいても設置状態のままで校正作業をすることができる
マスフローコントローラを提供することを目的としてい
る。
もので、センサ管に加熱素子を設け、異なった条件下で
測定を行い、未知のガスの特性定数を求めるようにした
もので、使用する流体の種類が変更されるような場合に
おいても設置状態のままで校正作業をすることができる
マスフローコントローラを提供することを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、バイパスから測定ガスが分流され
るセンサ管の上流側と下流側に設けられた一対のサーモ
レジスタの温度差に基づいて、主ガス流路に流れるガス
流量を制御するマスフローコントローラであって、前記
センサ管に強制的に熱変化を得える加熱手段と、この加
熱手段の作動しない状態と作動した状態とで特性が既知
のガスを流し、それぞれの条件で測定したガス流量と前
記サーモレジスタが得た温度差とに基づき、異なった条
件での装置定数を求める第１の演算手段と、前記加熱手
段を作動した状態と作動しない状態で一定流量の未知の
ガスを流し、前記第１の演算手段によって得た異なった
条件での装置定数に基づき、前記未知のガスの特性定数
を求める第２の演算手段とを備えたことを特徴としてい
る。
るために、本発明は、バイパスから測定ガスが分流され
るセンサ管の上流側と下流側に設けられた一対のサーモ
レジスタの温度差に基づいて、主ガス流路に流れるガス
流量を制御するマスフローコントローラであって、前記
センサ管に強制的に熱変化を得える加熱手段と、この加
熱手段の作動しない状態と作動した状態とで特性が既知
のガスを流し、それぞれの条件で測定したガス流量と前
記サーモレジスタが得た温度差とに基づき、異なった条
件での装置定数を求める第１の演算手段と、前記加熱手
段を作動した状態と作動しない状態で一定流量の未知の
ガスを流し、前記第１の演算手段によって得た異なった
条件での装置定数に基づき、前記未知のガスの特性定数
を求める第２の演算手段とを備えたことを特徴としてい
る。
【０００６】
【作用】加熱手段を作動した状態と作動しない状態で一
定流量の未知のガスを流し、第２の演算手段は、第１の
演算手段によって得た異なった条件での装置定数に基づ
き、演算を行い未知のガスの特性定数を求める。
定流量の未知のガスを流し、第２の演算手段は、第１の
演算手段によって得た異なった条件での装置定数に基づ
き、演算を行い未知のガスの特性定数を求める。
【０００７】
【実施例】以下図面を用いて本発明の一実施例を詳細に
説明する。図１は、本発明のマスフローコントローラの
一実施例を示す構成ブロック図である。図中、１０はガ
ス流入口、１１は主ガス流路、１２は主ガス流路１１に
設けたセンサ管である。１３はガス出口１４側に設けら
れたバルブで、制御回路部１５によって制御され、主ガ
ス流路１１の流量を調整する。１６はセンサ管１２の外
周に巻かれた一対のサーモレジスタで、抵抗Ｒ1、Ｒ2と
によってブリッジ回路を構成している。
説明する。図１は、本発明のマスフローコントローラの
一実施例を示す構成ブロック図である。図中、１０はガ
ス流入口、１１は主ガス流路、１２は主ガス流路１１に
設けたセンサ管である。１３はガス出口１４側に設けら
れたバルブで、制御回路部１５によって制御され、主ガ
ス流路１１の流量を調整する。１６はセンサ管１２の外
周に巻かれた一対のサーモレジスタで、抵抗Ｒ1、Ｒ2と
によってブリッジ回路を構成している。
【０００８】ブリッジ回路は、ガスが流れていないとき
はバランスされていて０Ｖを出力していて、流れがある
時には上流側が冷やされるため流量に比例した電圧が出
力される。このブリッジ回路からの信号は、制御回路部
１５で温度に換算された後、ＣＰＵ１７で式（１）に基
づく演算が行われ、流量Ｑとして得られる。ＣＰＵ１７
は、この流量Ｑに基づき、バルブ１３の制御データを制
御回路部１５に出力する。
はバランスされていて０Ｖを出力していて、流れがある
時には上流側が冷やされるため流量に比例した電圧が出
力される。このブリッジ回路からの信号は、制御回路部
１５で温度に換算された後、ＣＰＵ１７で式（１）に基
づく演算が行われ、流量Ｑとして得られる。ＣＰＵ１７
は、この流量Ｑに基づき、バルブ１３の制御データを制
御回路部１５に出力する。
【０００９】１８はセンサ管１２の熱バランスを強制的
に変化させるヒータで、流体の種類が変化された場合の
校正時に使用される。そして、ＣＰＵ１７には、流体の
種類が変化された場合の校正の演算を行う、第１の演算
手段１７Ａと第２の演算手段１７Ｂが設けられている。
流体の種類が変化された場合の校正は、先ず、このヒー
タ１８を作動しない状態で特性ｆNが既知のガスを流し
て行われる。
に変化させるヒータで、流体の種類が変化された場合の
校正時に使用される。そして、ＣＰＵ１７には、流体の
種類が変化された場合の校正の演算を行う、第１の演算
手段１７Ａと第２の演算手段１７Ｂが設けられている。
流体の種類が変化された場合の校正は、先ず、このヒー
タ１８を作動しない状態で特性ｆNが既知のガスを流し
て行われる。
【００１０】ガス出口１４側で測定した流量Ｑと制御回
路部１５で得た温度差ΔＴに基づき、第１の演算手段１
７Ａは、式（１）の演算を行って、ｇ1、Ｋ1を求める。
この場合は、異なった２流量で行えばｇ1、Ｋ1を求める
ことができる。更に、第１の演算手段１７Ａは、ヒータ
１８を作動した場合に付いても同様な演算を行い、
ｇ2、Ｋ2を求める。
路部１５で得た温度差ΔＴに基づき、第１の演算手段１
７Ａは、式（１）の演算を行って、ｇ1、Ｋ1を求める。
この場合は、異なった２流量で行えばｇ1、Ｋ1を求める
ことができる。更に、第１の演算手段１７Ａは、ヒータ
１８を作動した場合に付いても同様な演算を行い、
ｇ2、Ｋ2を求める。
【００１１】次に、ヒータ１８を作動した状態と作動し
ない状態で一定流量の未知のガスを流し、測定を行う。
ヒータ１８を作動しない場合は、（１）式より次式の関
係が成り立つ。 Ｑx＝ｆx・ｇ1・ΔＴ1＋Ｋ1 （２） ヒータ１８を作動した場合は、（１）式より次式の関係
が成り立つ。 Ｑx＝ｆX・ｇ2・ΔＴ2＋Ｋ2 （３） 第２の演算手段１７Ｂは、第１の演算手段１７Ａで得た
ｇ1、Ｋ1、ｇ2、Ｋ2の値と、（２）、（３）式より下記
の演算を行い、未知のガスの定数ｆxを求める。 ｆx・ｇ1・ΔＴ1＋Ｋ1＝ｆX・ｇ2・ΔＴ2＋Ｋ2 ｆx＝（Ｋ2−Ｋ1）／（ｇ1・ΔＴ1／ｇ2・ΔＴ2） （４） このガスの定数ｆxを用い、マスフローコントローラ
は、式（１）に基づき、未知のガスの流量制御を精度良
く行うことができる。
ない状態で一定流量の未知のガスを流し、測定を行う。
ヒータ１８を作動しない場合は、（１）式より次式の関
係が成り立つ。 Ｑx＝ｆx・ｇ1・ΔＴ1＋Ｋ1 （２） ヒータ１８を作動した場合は、（１）式より次式の関係
が成り立つ。 Ｑx＝ｆX・ｇ2・ΔＴ2＋Ｋ2 （３） 第２の演算手段１７Ｂは、第１の演算手段１７Ａで得た
ｇ1、Ｋ1、ｇ2、Ｋ2の値と、（２）、（３）式より下記
の演算を行い、未知のガスの定数ｆxを求める。 ｆx・ｇ1・ΔＴ1＋Ｋ1＝ｆX・ｇ2・ΔＴ2＋Ｋ2 ｆx＝（Ｋ2−Ｋ1）／（ｇ1・ΔＴ1／ｇ2・ΔＴ2） （４） このガスの定数ｆxを用い、マスフローコントローラ
は、式（１）に基づき、未知のガスの流量制御を精度良
く行うことができる。
【００１２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明のマ
スフローコントローラは、センサ管に加熱素子を設け、
異なった条件下で測定を行い、未知のガスの特性定数を
求めるようにしたもので、使用する流体の種類が変更さ
れるような場合であっても設置状態のままで校正作業を
することができる。このため、測定する流体の範囲に限
定がないという利点を有する。
スフローコントローラは、センサ管に加熱素子を設け、
異なった条件下で測定を行い、未知のガスの特性定数を
求めるようにしたもので、使用する流体の種類が変更さ
れるような場合であっても設置状態のままで校正作業を
することができる。このため、測定する流体の範囲に限
定がないという利点を有する。
【図１】本発明のマスフローコントローラの一実施例を
示す構成ブロック図である。
示す構成ブロック図である。
【図２】サーモレジスタの温度変化を説明する図であ
る。
る。
１５制御回路 １６ サーモレジスタ １７Ａ 第１の演算回路 １７Ｂ 第２の演算回路 １８ ヒータ
Claims (1)
- 【請求項１】 バイパスから測定ガスが分流されるセン
サ管の上流側と下流側に設けられた一対のサーモレジス
タの温度差に基づいて、主ガス流路に流れるガス流量を
制御するマスフローコントローラであって、 前記センサ管に強制的に熱変化を与える加熱手段と、 この加熱手段の作動しない状態と作動した状態とで特性
が既知のガスを流し、それぞれの条件で測定したガス流
量と前記サーモレジスタが得た温度差とに基づき、異な
った条件での装置定数を求める第１の演算手段と、 前記加熱手段を作動した状態と作動しない状態で一定流
量の未知のガスを流し、前記第１の演算手段によって得
た異なった条件での装置定数に基づき、前記未知のガス
の特性定数を求める第２の演算手段と、 を備えたことを特徴としたマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18117292A JPH0628039A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18117292A JPH0628039A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628039A true JPH0628039A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16096148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18117292A Pending JPH0628039A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628039A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102053859B1 (ko) * | 2019-04-30 | 2019-12-09 | (주)미르철강 | 선조립형 건설구조물 |
-
1992
- 1992-07-08 JP JP18117292A patent/JPH0628039A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102053859B1 (ko) * | 2019-04-30 | 2019-12-09 | (주)미르철강 | 선조립형 건설구조물 |
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