JPH0628143B2 - イオンビ−ム装置 - Google Patents
イオンビ−ム装置Info
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- JPH0628143B2 JPH0628143B2 JP62051574A JP5157487A JPH0628143B2 JP H0628143 B2 JPH0628143 B2 JP H0628143B2 JP 62051574 A JP62051574 A JP 62051574A JP 5157487 A JP5157487 A JP 5157487A JP H0628143 B2 JPH0628143 B2 JP H0628143B2
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- Japan
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- signal
- circuit
- ion beam
- extraction
- output signal
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はイオンビームを発生させて被描画材料に照射す
るイオンビーム装置に関する。
るイオンビーム装置に関する。
［従来の技術］ ガスフェイズイオン源を備えたイオンビーム装置におい
ては、エミッタ先端近傍にイオン種となるガスを導入
し、エミッタ先端の電界によりガスをイオン化してイオ
ンビームを引き出している。第４図はこのようなイオン
ビーム装置の従来例を示すもので、図中１はガスフェイ
ズイオン源のエミッタ、２は引出電極、３はエミッショ
ンされたイオンの電流を検出するためのイオンビーム電
流検出器、４は集束レンズ、５は対物レンズ、６は被描
画材料、７は加速電源、８ａは引出電源、８ｂは引出電
源８ａの出力電圧を制御するための制御回路、９は増幅
器、１０は負帰還制御を行なうための差動増幅器、１１
はリミット回路、１２は加算増幅器、１３はエミッタ１
よりエミッションされるイオンビーム電流量の目標値を
設定するためのイオンビーム電流指定信号発生回路、１
４は引出電圧の目標値を設定するための引出電圧指定信
号発生回路である。上記リミット回路１１は２個の逆極
性に接続されたツェナーダイオードを主要な要素として
構成され、第５図の特性線イに示すような入出力特性を
有する。即ち、入力信号Ｘが−ΔＸ以上＋ΔＸ以上の場
合には、その入力信号値を線形変換した−ΔＹから＋Δ
Ｙまでの信号Ｙを出力し、入力信号Ｘが−ΔＸより小さ
い場合には値−ΔＹの信号を出力すると共に、入力信号
が＋ΔＸより大きい場合には値＋ΔＹの信号を出力す
る。
ては、エミッタ先端近傍にイオン種となるガスを導入
し、エミッタ先端の電界によりガスをイオン化してイオ
ンビームを引き出している。第４図はこのようなイオン
ビーム装置の従来例を示すもので、図中１はガスフェイ
ズイオン源のエミッタ、２は引出電極、３はエミッショ
ンされたイオンの電流を検出するためのイオンビーム電
流検出器、４は集束レンズ、５は対物レンズ、６は被描
画材料、７は加速電源、８ａは引出電源、８ｂは引出電
源８ａの出力電圧を制御するための制御回路、９は増幅
器、１０は負帰還制御を行なうための差動増幅器、１１
はリミット回路、１２は加算増幅器、１３はエミッタ１
よりエミッションされるイオンビーム電流量の目標値を
設定するためのイオンビーム電流指定信号発生回路、１
４は引出電圧の目標値を設定するための引出電圧指定信
号発生回路である。上記リミット回路１１は２個の逆極
性に接続されたツェナーダイオードを主要な要素として
構成され、第５図の特性線イに示すような入出力特性を
有する。即ち、入力信号Ｘが−ΔＸ以上＋ΔＸ以上の場
合には、その入力信号値を線形変換した−ΔＹから＋Δ
Ｙまでの信号Ｙを出力し、入力信号Ｘが−ΔＸより小さ
い場合には値−ΔＹの信号を出力すると共に、入力信号
が＋ΔＸより大きい場合には値＋ΔＹの信号を出力す
る。
さて、ガスフェイズイオン源の場合、第６図における特
性線イ又はロに示すように、エミッションされたイオン
ビーム電流Ｉは引出電圧Ｖに対して極大点を有する。取
り出すイオンビーム量は多いことが望まれるため、極大
値に近いイオンビーム電流量をイオン源より取り出そう
とする際には、以下のように前記指定信号を設定する。
即ち、例えば、第６図における点Ｐ０に対応するイオン
ビーム電流値Ｉ０を指定する信号をイオンビーム電流指
定信号発生回路１３より発生させると共に、引出電圧Ｖ
０に対応する信号を引出電圧指定信号発生回路１４より
発生させる。そして、イオンビーム電流検出器３よりの
出力信号とイオンビーム電流指定信号発生回路１３より
のイオンビーム電流指定信号との偏差を増幅した信号が
差動増幅器１０より出力される。この信号は前記変換特
性に従ってリミット回路１１により変換された後、加算
増幅器１２に送られる。リミット回路１１よりの出力信
号と前記引出電圧指定信号発生回路１４よりの出力信号
は加算増幅器１２において加算され、加算増幅器１２の
出力信号は前記制御回路８ｂに送られるため、引出電源
８ａは前記点Ｐ０に対応した引出電圧を発生するように
制御される。
性線イ又はロに示すように、エミッションされたイオン
ビーム電流Ｉは引出電圧Ｖに対して極大点を有する。取
り出すイオンビーム量は多いことが望まれるため、極大
値に近いイオンビーム電流量をイオン源より取り出そう
とする際には、以下のように前記指定信号を設定する。
即ち、例えば、第６図における点Ｐ０に対応するイオン
ビーム電流値Ｉ０を指定する信号をイオンビーム電流指
定信号発生回路１３より発生させると共に、引出電圧Ｖ
０に対応する信号を引出電圧指定信号発生回路１４より
発生させる。そして、イオンビーム電流検出器３よりの
出力信号とイオンビーム電流指定信号発生回路１３より
のイオンビーム電流指定信号との偏差を増幅した信号が
差動増幅器１０より出力される。この信号は前記変換特
性に従ってリミット回路１１により変換された後、加算
増幅器１２に送られる。リミット回路１１よりの出力信
号と前記引出電圧指定信号発生回路１４よりの出力信号
は加算増幅器１２において加算され、加算増幅器１２の
出力信号は前記制御回路８ｂに送られるため、引出電源
８ａは前記点Ｐ０に対応した引出電圧を発生するように
制御される。
リミット回路１１が存在しない場合、負帰還制御の最中
に何等かの原因で引出電圧がピーク値Ｉp に相当する電
圧Ｖp より右側にずれることが有る。このような場合、
前記負帰還制御系においては引出電圧が不足していると
判定され、引出電源８ａが引出電圧の最大値を引出電極
２に印加してしまう。そのため、イオンビーム電流を益
々低下させることにより、負帰還ループが外れてしま
う。リミット回路１１はこのような問題を解決するため
に設けられたもので、リミット回路１１により加算増幅
器１２への入力信号の範囲が限定されるため、上述した
ような事態が生ぜず、負帰還ループが外れることはな
い。
に何等かの原因で引出電圧がピーク値Ｉp に相当する電
圧Ｖp より右側にずれることが有る。このような場合、
前記負帰還制御系においては引出電圧が不足していると
判定され、引出電源８ａが引出電圧の最大値を引出電極
２に印加してしまう。そのため、イオンビーム電流を益
々低下させることにより、負帰還ループが外れてしま
う。リミット回路１１はこのような問題を解決するため
に設けられたもので、リミット回路１１により加算増幅
器１２への入力信号の範囲が限定されるため、上述した
ような事態が生ぜず、負帰還ループが外れることはな
い。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、第６図におけるイで示す特性を予測して引出
電圧指定信号発生回路１４より第６図のＶ０に対応する
信号を発生させ、ビーム電流指定信号発生回路１３より
第６図のＩ０に対応する信号を発生させても、イオンビ
ーム電流Ｉと引出電圧Ｖの関係を与える特性は、イオン
化されるガスの供給量、エミッタ近傍の温度等によって
変化する。そのため、実際の特性が第６図においてロで
示すようなものとなる場合、イオン電流がＩ０となる特
性曲線上の点はリミット回路１１による制御範囲内（Ｖ
０＋ΔＶ〜Ｖ０−ΔＶ）に存在しないため、増幅器１０
より偏差を増幅した信号を制御回路８ｂに送っても所望
の電流Ｉ０を実現できない。そのため従来においては、
このような場合、試行錯誤で引出電圧指定信号発生回路
１４の出力信号を手動操作にて調整し直しており、操作
が繁雑であった。
電圧指定信号発生回路１４より第６図のＶ０に対応する
信号を発生させ、ビーム電流指定信号発生回路１３より
第６図のＩ０に対応する信号を発生させても、イオンビ
ーム電流Ｉと引出電圧Ｖの関係を与える特性は、イオン
化されるガスの供給量、エミッタ近傍の温度等によって
変化する。そのため、実際の特性が第６図においてロで
示すようなものとなる場合、イオン電流がＩ０となる特
性曲線上の点はリミット回路１１による制御範囲内（Ｖ
０＋ΔＶ〜Ｖ０−ΔＶ）に存在しないため、増幅器１０
より偏差を増幅した信号を制御回路８ｂに送っても所望
の電流Ｉ０を実現できない。そのため従来においては、
このような場合、試行錯誤で引出電圧指定信号発生回路
１４の出力信号を手動操作にて調整し直しており、操作
が繁雑であった。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、ガスフェイズ
イオン源の電圧電流特性が予想されるものからずれ、そ
のため、引出電圧とイオンビーム電流指定信号の最初の
設定によっては、所望とするイオンビーム電流を維持す
るための制御を行ない得ない場合に、自動的に引出電圧
指定信号の設定値を適切な量シフトすることのできる装
置を提供することを目的としている。
イオン源の電圧電流特性が予想されるものからずれ、そ
のため、引出電圧とイオンビーム電流指定信号の最初の
設定によっては、所望とするイオンビーム電流を維持す
るための制御を行ない得ない場合に、自動的に引出電圧
指定信号の設定値を適切な量シフトすることのできる装
置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ そのため本発明は、ガスフェイズイオン源のエミッタと
引出電極間に引出電圧を印加するための引出電源と、該
エミッタより発生するイオンビーム電流量を検出するた
めの検出手段と、該検出手段よりの出力信号とイオンビ
ーム電流量の設定値を表わす信号との偏差を増幅するた
めの増幅器と、該増幅器の出力信号値の範囲を所定幅内
に限定して出力するためのリミット回路と、前記引出電
極の出力電圧を指定するための信号を発生する引出電圧
指定信号発生回路と、該リミット回路の出力信号と該引
出電圧指定信号発生回路の出力信号に基づいて前記引出
電源の出力電圧を制御するための手段とを備えた装置に
おいて、前記増幅器の出力信号が前記リミット回路の限
定範囲を逸脱することを検出する回路と、該検出回路よ
りの信号に基づいて前記増幅器の出力信号が前記リミッ
ト回路の限定範囲を逸脱しないように前記引出電圧指定
信号発生回路よりの指定信号を自動的にシフトさせるた
めの制御回路を備えたことを特徴としている。
引出電極間に引出電圧を印加するための引出電源と、該
エミッタより発生するイオンビーム電流量を検出するた
めの検出手段と、該検出手段よりの出力信号とイオンビ
ーム電流量の設定値を表わす信号との偏差を増幅するた
めの増幅器と、該増幅器の出力信号値の範囲を所定幅内
に限定して出力するためのリミット回路と、前記引出電
極の出力電圧を指定するための信号を発生する引出電圧
指定信号発生回路と、該リミット回路の出力信号と該引
出電圧指定信号発生回路の出力信号に基づいて前記引出
電源の出力電圧を制御するための手段とを備えた装置に
おいて、前記増幅器の出力信号が前記リミット回路の限
定範囲を逸脱することを検出する回路と、該検出回路よ
りの信号に基づいて前記増幅器の出力信号が前記リミッ
ト回路の限定範囲を逸脱しないように前記引出電圧指定
信号発生回路よりの指定信号を自動的にシフトさせるた
めの制御回路を備えたことを特徴としている。
［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明の一実施例を示すための図であり、第１
図においては第４図と同一の構成要素に対しては同一符
号を付している。
図においては第４図と同一の構成要素に対しては同一符
号を付している。
第１図において、１５はロータリーエンコーダであり、
１６はアップダウンパルス発生回路、１７，１８はオア
回路、１９，２０はアンド回路、２１はアップダウンカ
ウンタ、２２はＤＡ変換器であり、ＤＡ変換器２２の出
力信号は引出電圧指定信号として前記加算増幅器１２に
送られている。２３，２４は比較器であり、比較器２
３，２４には各々第１，第２の基準信号発生器２５，２
６より基準信号が送られている。比較器２３，２４の出
力信号は各々第１，第２のパルス発生回路２７，２８に
送られている。これら第１，第２のパルス発生回路２
７，２８の出力信号は各々前記アンド回路１９，２０に
送られている。アンド回路１９，２０にはゲート信号発
生回路２９よりゲート信号が送り得るようになってい
る。
１６はアップダウンパルス発生回路、１７，１８はオア
回路、１９，２０はアンド回路、２１はアップダウンカ
ウンタ、２２はＤＡ変換器であり、ＤＡ変換器２２の出
力信号は引出電圧指定信号として前記加算増幅器１２に
送られている。２３，２４は比較器であり、比較器２
３，２４には各々第１，第２の基準信号発生器２５，２
６より基準信号が送られている。比較器２３，２４の出
力信号は各々第１，第２のパルス発生回路２７，２８に
送られている。これら第１，第２のパルス発生回路２
７，２８の出力信号は各々前記アンド回路１９，２０に
送られている。アンド回路１９，２０にはゲート信号発
生回路２９よりゲート信号が送り得るようになってい
る。
このような構成において、第１の基準信号発生器２５よ
り第５図のレベルΔＹよりやや小さい第５図においてＳ
1 で示す信号が発生するように発生器２５を調整すると
共に、第２の基準信号発生器２６より第５図のレベル−
ΔＹよりやや大きい同図においてＳ2 で示す信号が発生
するように発生器２６を調整する。
り第５図のレベルΔＹよりやや小さい第５図においてＳ
1 で示す信号が発生するように発生器２５を調整すると
共に、第２の基準信号発生器２６より第５図のレベル−
ΔＹよりやや大きい同図においてＳ2 で示す信号が発生
するように発生器２６を調整する。
次に、操作者がロータリーエンコーダ１５を回転させる
と、エンコーダ１５よりのパルスはアップダウンカウン
タ２１に送られ、アップダウンカウンタ２１の計数値を
増減させる。アップダウンカウンタ２１の出力信号はＤ
Ａ変換器２２によりアナログ信号に変換されて引出電圧
指定信号として前記加算増幅器１２に送られる。そこ
で、第２図のイに示す特性曲線を予想して操作者がロー
タリーエンコーダ１５を回転させ、第２図のＶ０に対応
する引出電圧指定信号をＤＡ変換器２２より発生させる
と共に、前記ビーム電流指定信号発生回路１３より第２
図のＩ０に対応する信号を発生させたものとする。一
方、イオンビーム電流Ｉと引出電圧Ｖの実際の特性は第
２図のロで示すようなものであるとする。
と、エンコーダ１５よりのパルスはアップダウンカウン
タ２１に送られ、アップダウンカウンタ２１の計数値を
増減させる。アップダウンカウンタ２１の出力信号はＤ
Ａ変換器２２によりアナログ信号に変換されて引出電圧
指定信号として前記加算増幅器１２に送られる。そこ
で、第２図のイに示す特性曲線を予想して操作者がロー
タリーエンコーダ１５を回転させ、第２図のＶ０に対応
する引出電圧指定信号をＤＡ変換器２２より発生させる
と共に、前記ビーム電流指定信号発生回路１３より第２
図のＩ０に対応する信号を発生させたものとする。一
方、イオンビーム電流Ｉと引出電圧Ｖの実際の特性は第
２図のロで示すようなものであるとする。
このような場合、増幅器１０の出力信号Ｘは目標とする
ビーム電流Ｉ０を実現しようとして徐々に増加して行
き、遂には第５図における信号Ｓ1 のレベルを越える。
その結果、比較器２３よりそれまでのローレベル信号に
代えてハイレベル信号が出力される。比較器２３よりハ
イレベル信号が送られると、パルス発生回路２７は増幅
器１０の出力信号ＸがＳ1 を越えなくなるまでパルスを
発生し続ける。このパルスはオア回路１７を介してアッ
プダウンカウンタ２１に送られるため、アップダウンカ
ウンタ２１はアップカウントして行く。そのため、引出
電圧指定信号であるＤＡ変換器２２の出力信号に基づい
て引出電圧は第２図のＶ０からＶ1 −ΔＶ程度まで増加
して行く。その結果、イオンビーム電流検出器３に基づ
く検出信号は基準信号発生器２５よりの基準信号より小
さくなるため、比較器２３の出力信号はローレベルとな
る。パルス発生回路２７は比較器２３の出力信号がロー
レベルに変化した後、更に予め設定されている個数のパ
ルスを発生した後、パルスの発生を終了する。この予め
設定されているパルスは第２図のΔＶの大きさに対応し
ており、その結果、ＤＡ変換器２２の出力信号に基づい
て引出電圧は第２図のＶ1 の値までシフトする。このシ
フトが終了した段階においては、引出電圧はＶ1 を中心
としてリミット回路１１により２ΔＶの幅内で制限され
るが、この範囲内に特性線ロにおけるＩ＝Ｉ０の点Ｐ1
が存在するため、増幅器１０の出力信号に基づいてイオ
ンビーム電流をＩ０に維持するための負帰還制御を行な
うことができる。従って、手動による引出電圧指定信号
の繁雑な再調整無しに、最初に設定した電流Ｉ０のイオ
ンビームをエミッタ１より発生させて材料６の描画を行
なうことができる。尚、特性線ロが特性線イと逆側にシ
フトする場合には、比較器２４よりハイレベル信号が発
生して、前述と同様の硬化を達成することができる。
ビーム電流Ｉ０を実現しようとして徐々に増加して行
き、遂には第５図における信号Ｓ1 のレベルを越える。
その結果、比較器２３よりそれまでのローレベル信号に
代えてハイレベル信号が出力される。比較器２３よりハ
イレベル信号が送られると、パルス発生回路２７は増幅
器１０の出力信号ＸがＳ1 を越えなくなるまでパルスを
発生し続ける。このパルスはオア回路１７を介してアッ
プダウンカウンタ２１に送られるため、アップダウンカ
ウンタ２１はアップカウントして行く。そのため、引出
電圧指定信号であるＤＡ変換器２２の出力信号に基づい
て引出電圧は第２図のＶ０からＶ1 −ΔＶ程度まで増加
して行く。その結果、イオンビーム電流検出器３に基づ
く検出信号は基準信号発生器２５よりの基準信号より小
さくなるため、比較器２３の出力信号はローレベルとな
る。パルス発生回路２７は比較器２３の出力信号がロー
レベルに変化した後、更に予め設定されている個数のパ
ルスを発生した後、パルスの発生を終了する。この予め
設定されているパルスは第２図のΔＶの大きさに対応し
ており、その結果、ＤＡ変換器２２の出力信号に基づい
て引出電圧は第２図のＶ1 の値までシフトする。このシ
フトが終了した段階においては、引出電圧はＶ1 を中心
としてリミット回路１１により２ΔＶの幅内で制限され
るが、この範囲内に特性線ロにおけるＩ＝Ｉ０の点Ｐ1
が存在するため、増幅器１０の出力信号に基づいてイオ
ンビーム電流をＩ０に維持するための負帰還制御を行な
うことができる。従って、手動による引出電圧指定信号
の繁雑な再調整無しに、最初に設定した電流Ｉ０のイオ
ンビームをエミッタ１より発生させて材料６の描画を行
なうことができる。尚、特性線ロが特性線イと逆側にシ
フトする場合には、比較器２４よりハイレベル信号が発
生して、前述と同様の硬化を達成することができる。
又、エミッタのフラッシング時や、イオンビームが発生
していない時には、ゲート信号発生回路２９よりゲート
信号を発生させないようにすれば良い。
していない時には、ゲート信号発生回路２９よりゲート
信号を発生させないようにすれば良い。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発明は
変形して実施することができる。
変形して実施することができる。
例えば上述した実施例においては、リミット回路１１の
特性を第３図に示すように、Ｘの−側の範囲を＋の側の
例えば２倍の広さに設定すると共に、それに応じて基準
信号発生器２６よりの出力信号の絶対値を基準信号発生
器２５の出力信号の絶対値の２倍になるようにしても良
い。
特性を第３図に示すように、Ｘの−側の範囲を＋の側の
例えば２倍の広さに設定すると共に、それに応じて基準
信号発生器２６よりの出力信号の絶対値を基準信号発生
器２５の出力信号の絶対値の２倍になるようにしても良
い。
又、上述した実施例においては、エミッタ１より発生す
る電流をイオンビーム光路中に配置された絞り状の検出
器を用いて検出するようにしたが、加速電源８ａとエミ
ッタ１との間に抵抗素子を配置し、この抵抗素子を流れ
る電流を取り出すことによりイオンビーム電流を検出す
るようにしても良い。
る電流をイオンビーム光路中に配置された絞り状の検出
器を用いて検出するようにしたが、加速電源８ａとエミ
ッタ１との間に抵抗素子を配置し、この抵抗素子を流れ
る電流を取り出すことによりイオンビーム電流を検出す
るようにしても良い。
更に又、引出電源を２個の電流に分割し、一方の電源の
出力電圧を引出電圧指定信号発生回路の出力信号に基づ
いて制御すると共に、他方の電源の出力電圧をイオンビ
ーム電流指定信号発生回路の出力信号に基づいて制御
し、両電源の出力電圧の加算電圧を引出電圧とすること
により、加算増幅器を省くこともできる。
出力電圧を引出電圧指定信号発生回路の出力信号に基づ
いて制御すると共に、他方の電源の出力電圧をイオンビ
ーム電流指定信号発生回路の出力信号に基づいて制御
し、両電源の出力電圧の加算電圧を引出電圧とすること
により、加算増幅器を省くこともできる。
［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明に基づく装置
においては、前記増幅器の出力信号が前記リミット回路
の限定範囲を逸脱することを検出する回路と、該検出回
路よりの信号に基づいて前記増幅器の出力信号が前記リ
ミット回路の限定範囲を逸脱しないように前記引出電圧
指定信号発生回路よりの指定信号を自動的にシフトさせ
るための制御回路を備えているため、ガスフェイズイオ
ン源の電圧電流特性が予想されるものからずれ、そのた
め、引出電圧とイオンビーム電流の最初の指定によって
は、所望とするイオンビーム電流を得ることのできない
場合に、自動的に引出電圧指定信号の設定値を適切な値
までシフトさせ、設定したイオンビーム電流を取り出す
ための負帰還制御を行なうことができ、操作性を向上さ
せたイオンビーム装置が提供される。
においては、前記増幅器の出力信号が前記リミット回路
の限定範囲を逸脱することを検出する回路と、該検出回
路よりの信号に基づいて前記増幅器の出力信号が前記リ
ミット回路の限定範囲を逸脱しないように前記引出電圧
指定信号発生回路よりの指定信号を自動的にシフトさせ
るための制御回路を備えているため、ガスフェイズイオ
ン源の電圧電流特性が予想されるものからずれ、そのた
め、引出電圧とイオンビーム電流の最初の指定によって
は、所望とするイオンビーム電流を得ることのできない
場合に、自動的に引出電圧指定信号の設定値を適切な値
までシフトさせ、設定したイオンビーム電流を取り出す
ための負帰還制御を行なうことができ、操作性を向上さ
せたイオンビーム装置が提供される。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図はガ
スフェイズイオン源の電圧電流特性の変化と上記一実施
例装置の動作を説明するための図、第３図はリミット回
路の特性の変形例を示すための図、第４図は従来装置を
示すための図、第５図はリミット回路の特性と基準信号
発生器により設定された基準信号を示すための図、第６
図は従来の欠点を示すための図である。 １：エミッタ、２：引出電極 ３：イオンビーム電流検出器 ４：集束レンズ、５：対物レンズ ６：被描画材料、７：加速電極 ８ａ：引出電源、８ｂ：制御回路 ９：増幅器、１０：差動増幅器 １１：リミット回路、１２：加算増幅器 １３：ビーム電流指定信号発生回路 １４：引出電圧指定信号発生回路 １５：ロータリーエンコーダ １６：アップダウンパルス発生回路 １７，１８：オア回路 １９，２０：アンド回路 ２１：アップダウンカウンタ ２２：ＤＡ変換器、２３，２４：比較器 ２５，２６：基準信号発生回路 ２７，２８：パルス発生回路 ２９：ゲート信号発生回路
スフェイズイオン源の電圧電流特性の変化と上記一実施
例装置の動作を説明するための図、第３図はリミット回
路の特性の変形例を示すための図、第４図は従来装置を
示すための図、第５図はリミット回路の特性と基準信号
発生器により設定された基準信号を示すための図、第６
図は従来の欠点を示すための図である。 １：エミッタ、２：引出電極 ３：イオンビーム電流検出器 ４：集束レンズ、５：対物レンズ ６：被描画材料、７：加速電極 ８ａ：引出電源、８ｂ：制御回路 ９：増幅器、１０：差動増幅器 １１：リミット回路、１２：加算増幅器 １３：ビーム電流指定信号発生回路 １４：引出電圧指定信号発生回路 １５：ロータリーエンコーダ １６：アップダウンパルス発生回路 １７，１８：オア回路 １９，２０：アンド回路 ２１：アップダウンカウンタ ２２：ＤＡ変換器、２３，２４：比較器 ２５，２６：基準信号発生回路 ２７，２８：パルス発生回路 ２９：ゲート信号発生回路
Claims (1)
- 【請求項１】ガスフェイズイオン源のエミッタと引出電
極間に引出電圧を印加するための引出電源と、該エミッ
タより発生するイオンビーム電流量を検出するための検
出手段と、該検出手段よりの出力信号とイオンビーム電
流量の設定値を表わす信号との偏差を増幅するための増
幅器と、該増幅器の出力信号値の範囲を所定幅内に限定
して出力するためのリミット回路と、前記引出電源の出
力電圧を指定するための信号を発生する引出電圧指定信
号発生回路と、該リミット回路の出力信号と該引出電圧
指定信号発生回路の出力信号に基づいて前記引出電源の
出力電圧を制御するための手段とを備えた装置におい
て、前記増幅器の出力信号が前記リミット回路の限定範
囲を逸脱することを検出する回路と、該検出回路よりの
信号に基づいて前記増幅器の出力信号が前記リミット回
路の限定範囲を逸脱しないように前記引出電圧指定信号
発生回路よりの指定信号を自動的にシフトさせるための
制御回路を備えたことを特徴とするイオンビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62051574A JPH0628143B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | イオンビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62051574A JPH0628143B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | イオンビ−ム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63218138A JPS63218138A (ja) | 1988-09-12 |
| JPH0628143B2 true JPH0628143B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=12890721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62051574A Expired - Lifetime JPH0628143B2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | イオンビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628143B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108695128A (zh) * | 2017-04-11 | 2018-10-23 | 上海伟钊光学科技股份有限公司 | 具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源 |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP62051574A patent/JPH0628143B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63218138A (ja) | 1988-09-12 |
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