JPH01321647A - 電子ビーム測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の電位を測定する電子ビーム測定装
置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の電子ビーム測定装置は、電子ビームの加
速電圧や量（照射電流）などの測定条件を操作者の経験
等にもとづいて設定するようになっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の電子ビーム測定装置は、電子ビーム加速
電圧を操作者の経験等にもとづいて設定しているので、
加速電圧の設定値が不適切なため半導体装置に損傷を与
えたり、誤動作をひきおこすという欠点がある。又、測
定中にラッチアップ現象により半導体装置に損傷を与え
たり、誤動作をひきおこすという欠点もあった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の電子ビーム測定装置は、所定電圧に加速した電
子ビームで半導体装置の表面を走査し、放出される二次
電子を検出して前記半導体装置の電位分布を測定する電
子ビーム測定装置において、前記電子ビームにより誘起
されて前記半導体装置に流れる誘起電流を検出し所定値
と比較して制御信号を発生する誘起電流検出回路と、前
記制御信号を受けて前記電子ビームの量を制御する手段
とを有している。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の電子ビーム測定装置のブロ
ック図である。

鏡筒１の内部は真空になっている。電子銃のフィラメン
ト２から放出された電子ビームは、パルス電子ビーム発
生器５でパルス化され、さらに電子レンズ３，４で集束
走査され半導体装置１０に到達する。

半導体装置１０は半導体装置駆動系２２で駆動されてい
る。

半導体装置１０から放出された二次電子は二次電子検出
器６で検出され二次電子検出信号を出力する。信号処理
系２３は半導体装置駆動系２２と同期しており、またパ
ルス電子ビーム発生器５゜電子レンズ３．４を制御する
とともに、二次電子検出信号の信号処理を行なう。電子
ビーム発生回路２４は電子ビームの加速電圧（つまりフ
ィラメント２の電位）を制御し、前記加速電圧の電子ビ
ームを半導体装置１０に照射する。

電子ビームにより半導体装置１０に誘起された誘起電流
を誘起電流検出回路２１が検出する。この誘起電流は半
導体装置の電源電圧端子又は特定の信号端子の電流とし
て検出できる。つまり、例えば電源電流が電子ビームを
照射することによって変化する。

誘起電流が所定の値と異なる時には電流検出回路２１が
制御信号を発生し、この制御信号により電子ビーム発生
回路２４を制御し、電子銃の加速電圧を変更させる。

変更された加速電圧の電子ビームにより誘起された電流
を電流検出回路２１が検出し、電流が所定の値と一致す
るまで、電子ビーム発生回路２４に制御信号を送り、電
子銃２の加速電圧を変更せしめる。

パルス電子ビーム発生器の直流電位が固定されているな
らば、フィラメント２の電位により主として電子ビーム
の量が変化する。加速電圧の変化は相対値が小さく、電
子ビームのエネルギーの変化はあまりないと考えてよい
。

電子ビーム発生回路を制御する代りに、パルス電子ビー
ム発生器の直流電位を可変させて電子ビーム量を制御し
てもよい。

第２図は本発明の第２の実施例のブロック図である。

この実施例では第１の実施例にラッチアップ電流検出回
路３１が付加されている。

誘起電流検出回路２１は電子ビームにより半導体装置１
０に誘起された誘起電流（例えば電源電流〉を検出し、
誘起電流が所定の値と異なる時には、制御信号を発生し
、電子ビーム発生回路２４を制御する。

ラッチアップ電流検出回路、３１は半導体装置１０のラ
ッチアップ電流を検出し、ラッチアップ電流が所定の値
を超えた時にはラッチアップ検出信号３２を発生する。

半導体装置駆動系２２はラッチアップ検出信号３２を受
けると、半導体装置１０を駆動する信号の印加を所定の
時間停止した後、信号の印加を開始する。この実施例で
はラッチアップ電流検出回路を有しているためラッチア
ップによる半導体装置の誤動作を防止できるという利点
がある。

ラッチアップ電流は、誘起電流と同様に半導体装置の電
源電流又は特定の端子電流として測定できる。従って、
ラッチアップ電流検出回路３１を特別に設けず、誘起電
流検出回路の出力である制御信号を、二次電子検出器６
の出力の有無に応じて電子ビーム発生回路２４又は半導
体装置駆動系２２のどちらかに加えるようにしてもよい
。つまり、電子ビームを照射していないときラッチアッ
プの起きない条件に設定し、ついで電子ビームを照射し
て誘起電流を一定値に保つようにすればよい。二次電子
検出器の出力又はその反転出力と制御信号の論理積をと
り電子ビーム発生回路２４又は半導体装置駆動系２２に
加えればよいのである。

なお、以上の説明で用いた半導体装置という語は、パッ
ケージを開封してペレットの表面を露出させたもの又は
ペレットそのものを意味している。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、電子ビームにより半導体
装置に誘起される電流の検出回路を有し、前記誘起電流
が所定の値の時に、前記検出回路が制御信号を発生し、
電子ビームの量を制御することにより、電子ビーム照射
による半導体装置の誤動作を防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例のブロック図、第２図は
本発明の第２の実施例のブロック図である。 １・・・鏡筒、２・・・電子銃（フィラメント）、３゜
４・・・電子レンズ、５・・・パルス電子ビーム発生器
、６・・・二次電子検出器、１０・・・半導体装置、２
１・・・誘起電流検出回路、２２・・・半導体装置駆動
系、２３・・・信号処理系、２４・・・電子ビーム発生
回路、３１・・・ラッチアップ電流検出回路。 ）Ｎ１ 」／図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　所定電圧に加速した電子ビームで半導体装置の表面を
   走査し、放出される二次電子を検出して前記半導体装置
   の電位分布を測定する電子ビーム測定装置において、前
   記電子ビームにより誘起されて前記半導体装置に流れる
   誘起電流を検出し所定値と比較して制御信号を発生する
   誘起電流検出回路と、前記制御信号を受けて前記電子ビ
   ームの量を制御する手段とを有していることを特徴とす
   る電子ビーム測定装置。