JPH06281686A - 静電チャック電極検査方法 - Google Patents
静電チャック電極検査方法Info
- Publication number
- JPH06281686A JPH06281686A JP5070151A JP7015193A JPH06281686A JP H06281686 A JPH06281686 A JP H06281686A JP 5070151 A JP5070151 A JP 5070151A JP 7015193 A JP7015193 A JP 7015193A JP H06281686 A JPH06281686 A JP H06281686A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrostatic chuck
- liquid crystal
- electric field
- disconnection
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、電極の断線の有無を短時間で簡便
かつ確実に、実際の装置に装着した後でも検査可能とす
ることを目的とする。 【構成】 静電チャック２の電極４に所要値の電圧を印
加し、電極４により生じる電界を静電チャック２の表面
近傍に設置した液晶１０の明暗のコントラストの変化と
して検出し、このコントラストの変化により電極４の断
線の有無を判断することを特徴とする。
かつ確実に、実際の装置に装着した後でも検査可能とす
ることを目的とする。 【構成】 静電チャック２の電極４に所要値の電圧を印
加し、電極４により生じる電界を静電チャック２の表面
近傍に設置した液晶１０の明暗のコントラストの変化と
して検出し、このコントラストの変化により電極４の断
線の有無を判断することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造プロ
セス等で使用される静電チャックにおける電極の断線の
有無を検査する静電チャック電極検査方法に関するもの
である。
セス等で使用される静電チャックにおける電極の断線の
有無を検査する静電チャック電極検査方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】静電チャックは、図５に示すように、吸
着物１の下面に薄い絶縁膜３を介して電極４を配置し、
この電極４に高圧電源６からの電圧を印加し静電力でそ
の吸着物１を吸着固定する。一般的な静電チャック２の
製造過程では、絶縁基板５（５〜１０mm）上に電極４を
スクリーン印刷または蒸着し、さらに電極４の上に絶縁
膜３（５０〜５００μｍ）を形成する。スクリーン印刷
または蒸着によって形成される電極４の膜厚は数μｍ程
度であるため、後工程である絶縁膜３の形成過程におい
て電極４の電極パターンの一部に断線が起きる可能性が
ある。特に現在主流であるセラミクス静電チャックで
は、絶縁基板５−電極４−絶縁膜３を積層後、高温で焼
成するので焼成に伴う内部応力の変化による電極パター
ンの断線が発生する可能性がある。また、最近では図６
に一例を示すように最適な吸着力の分布を得るために電
極４を複雑な形状にしたり、複数に分割したりするため
電極４のパターン幅が狭くなる傾向があり断線が発生す
る可能性が増加する傾向にある。電極パターンの断線が
発生すると電極４の一部に給電されなくなるので電極４
の形状不良と等価になり、全体として吸着力が設計値よ
り小さくなったり、吸着力にむらができて吸着物１に設
計外の応力が発生する不具合が生じる。特に静電チャッ
クを多用している半導体製造プロセスにおいては、吸着
力の減少、むらは加工精度の低下を招き重大な問題とな
る場合がある。
着物１の下面に薄い絶縁膜３を介して電極４を配置し、
この電極４に高圧電源６からの電圧を印加し静電力でそ
の吸着物１を吸着固定する。一般的な静電チャック２の
製造過程では、絶縁基板５（５〜１０mm）上に電極４を
スクリーン印刷または蒸着し、さらに電極４の上に絶縁
膜３（５０〜５００μｍ）を形成する。スクリーン印刷
または蒸着によって形成される電極４の膜厚は数μｍ程
度であるため、後工程である絶縁膜３の形成過程におい
て電極４の電極パターンの一部に断線が起きる可能性が
ある。特に現在主流であるセラミクス静電チャックで
は、絶縁基板５−電極４−絶縁膜３を積層後、高温で焼
成するので焼成に伴う内部応力の変化による電極パター
ンの断線が発生する可能性がある。また、最近では図６
に一例を示すように最適な吸着力の分布を得るために電
極４を複雑な形状にしたり、複数に分割したりするため
電極４のパターン幅が狭くなる傾向があり断線が発生す
る可能性が増加する傾向にある。電極パターンの断線が
発生すると電極４の一部に給電されなくなるので電極４
の形状不良と等価になり、全体として吸着力が設計値よ
り小さくなったり、吸着力にむらができて吸着物１に設
計外の応力が発生する不具合が生じる。特に静電チャッ
クを多用している半導体製造プロセスにおいては、吸着
力の減少、むらは加工精度の低下を招き重大な問題とな
る場合がある。
【０００３】したがって、電極４に断線が無く、設計通
りの形状で機能するか否かを確認することは静電チャッ
ク２の信頼性を向上させるために非常に重要である。し
かし、電極４の上の絶縁膜３は一般に不透明で電極４を
直接目視できないので、従来は、図７に示すように、非
接触電位計本体（表示器）７と非接触電位計プローブ８
で構成された非接触電位計により、電極４に電圧を印加
したときの電界を測定する方法、又は図８に示すよう
に、静電チャック２にＸ線を透過させてＸ線フィルム９
上に得た電極４のＸ線写真から判断する方法の何れか一
方又は両方法によって対応していた。
りの形状で機能するか否かを確認することは静電チャッ
ク２の信頼性を向上させるために非常に重要である。し
かし、電極４の上の絶縁膜３は一般に不透明で電極４を
直接目視できないので、従来は、図７に示すように、非
接触電位計本体（表示器）７と非接触電位計プローブ８
で構成された非接触電位計により、電極４に電圧を印加
したときの電界を測定する方法、又は図８に示すよう
に、静電チャック２にＸ線を透過させてＸ線フィルム９
上に得た電極４のＸ線写真から判断する方法の何れか一
方又は両方法によって対応していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の非接触電位計を
用いる方法は、電極４に電圧を印加して電極４による電
界を直接測定するため最も確実であり、さらに、電界強
度から吸着力の大きさも知ることができ非常に優れてい
る。しかし、非接触電位計での測定は点測定のため、電
極４全体を検査しようとすると静電チャック２の表面を
非接触電位計プローブ８でスキャンしなければならずＸ
Ｙステージ等が必要であり測定が大掛かりになり測定時
間も要する。また、静電チャック２を実際の装置に装着
した後での測定は難しい。
用いる方法は、電極４に電圧を印加して電極４による電
界を直接測定するため最も確実であり、さらに、電界強
度から吸着力の大きさも知ることができ非常に優れてい
る。しかし、非接触電位計での測定は点測定のため、電
極４全体を検査しようとすると静電チャック２の表面を
非接触電位計プローブ８でスキャンしなければならずＸ
Ｙステージ等が必要であり測定が大掛かりになり測定時
間も要する。また、静電チャック２を実際の装置に装着
した後での測定は難しい。
【０００５】一方、電極４のＸ線写真を撮影する方法
は、電極形状を２次元的に見ることができ、かつ短時間
で検査できる点で優れているが静電チャック、電極の材
質によってはコントラストが取れないために電極４の亀
裂等が判別できない。また断層のように静電チャック２
に対して鉛直方向にずれて断線しているときも判別でき
ない。したがって、Ｘ線写真のみで電極４の断線の有無
を判断することは難しい。
は、電極形状を２次元的に見ることができ、かつ短時間
で検査できる点で優れているが静電チャック、電極の材
質によってはコントラストが取れないために電極４の亀
裂等が判別できない。また断層のように静電チャック２
に対して鉛直方向にずれて断線しているときも判別でき
ない。したがって、Ｘ線写真のみで電極４の断線の有無
を判断することは難しい。
【０００６】そこで、本発明は、電極の断線の有無を短
時間で簡便かつ確実に、実際の装置に装着した後でも検
査することができる静電チャック電極検査方法を提供す
ることを目的とする。
時間で簡便かつ確実に、実際の装置に装着した後でも検
査することができる静電チャック電極検査方法を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、被検査対象である静電チャックの電極に所
要値の電圧を印加し、該電極により生じる電界を前記静
電チャックの表面近傍に設置した液晶の明暗のコントラ
ストの変化として検出し、このコントラストの変化によ
り前記電極の断線の有無を判断することを要旨とする。
するために、被検査対象である静電チャックの電極に所
要値の電圧を印加し、該電極により生じる電界を前記静
電チャックの表面近傍に設置した液晶の明暗のコントラ
ストの変化として検出し、このコントラストの変化によ
り前記電極の断線の有無を判断することを要旨とする。
【０００８】
【作用】上記構成において、電極に印加された所要値の
電圧により、液晶中に「動的散乱」を生じさせるに足る
鉛直方向の電界が生じ、その電界の印加された部分は、
反射率が低下して電界の非印加部分に比べて暗く見え、
電極パターンに対応した明暗のコントラストが得られ
る。即ち電極として正常に機能している部分は暗部とな
るので、この暗部の形状が設計通りであるか否かを確認
することにより、短時間で簡便かつ確実に電極の断線の
有無が検査される。
電圧により、液晶中に「動的散乱」を生じさせるに足る
鉛直方向の電界が生じ、その電界の印加された部分は、
反射率が低下して電界の非印加部分に比べて暗く見え、
電極パターンに対応した明暗のコントラストが得られ
る。即ち電極として正常に機能している部分は暗部とな
るので、この暗部の形状が設計通りであるか否かを確認
することにより、短時間で簡便かつ確実に電極の断線の
有無が検査される。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を図１乃至図４に基づ
いて説明する。なお、図１、図３、図４において前記図
６等における部材等と同一ないし均等のものは、前記と
同一符号を以って示し、重複した説明を省略する。
いて説明する。なお、図１、図３、図４において前記図
６等における部材等と同一ないし均等のものは、前記と
同一符号を以って示し、重複した説明を省略する。
【００１０】まず、図１を用いて、液晶を用いた静電チ
ャック電極検査方法を原理的に説明する。同図（ａ）に
示すように液晶１０に可視光線を当てた状態で、同図
（ｂ）に示すように、液晶１０に電界Ｅが印加される
と、液晶１０中を電界Ｅの力を受けて走るイオンが液晶
分子に力を及ぼす。この力が液晶の弾性限界を越えると
液晶１０内に乱流が起き「動的散乱」が発生し、光学的
には可視光線に対する反射率が低下する。したがって液
晶の一部分に、「動的散乱」を発生させるに必要な電界
Ｅth以上の電界が印加されているときは、電界が印加さ
れている部分の反射率が低下するので、この部分が他の
電界の印加されていない部分に比べて暗くみえる。すな
わち、電界印加の有無によって液晶上に明暗のコントラ
ストが生じ、これは目視によって観察できる。
ャック電極検査方法を原理的に説明する。同図（ａ）に
示すように液晶１０に可視光線を当てた状態で、同図
（ｂ）に示すように、液晶１０に電界Ｅが印加される
と、液晶１０中を電界Ｅの力を受けて走るイオンが液晶
分子に力を及ぼす。この力が液晶の弾性限界を越えると
液晶１０内に乱流が起き「動的散乱」が発生し、光学的
には可視光線に対する反射率が低下する。したがって液
晶の一部分に、「動的散乱」を発生させるに必要な電界
Ｅth以上の電界が印加されているときは、電界が印加さ
れている部分の反射率が低下するので、この部分が他の
電界の印加されていない部分に比べて暗くみえる。すな
わち、電界印加の有無によって液晶上に明暗のコントラ
ストが生じ、これは目視によって観察できる。
【００１１】図１（ｃ）に示すように透明電極１１−液
晶１０−静電チャック２で積層構造を形成し、透明電極
１１を接地し、電極４を電位Ｖにすると、透明電極１１
−電極４間には図中矢印のように鉛直方向の電界が生
じ、このとき液晶１０中の電界Ｅc は次式のようにな
る。
晶１０−静電チャック２で積層構造を形成し、透明電極
１１を接地し、電極４を電位Ｖにすると、透明電極１１
−電極４間には図中矢印のように鉛直方向の電界が生
じ、このとき液晶１０中の電界Ｅc は次式のようにな
る。
【００１２】
【数１】 Ｅc ＝（εi ／（ｄc ・εi ＋ｄi ・εc ））・Ｖ …（１） ここで、εc は液晶１０の誘電率、εi は絶縁膜３の誘
電率、ｄc は液晶１０の厚み、ｄi は絶縁膜３の厚みで
ある。したがって、電位がＶとなった電極４と透明電極
１１に挟まれた部分の液晶１０は電界Ｅc により反射率
が低下し暗く見える。ただし、このときＥc ＞Ｅthを満
足するようにＶ，εc ，ｄc を設定することが必要であ
る。一方、断線により電位がＶにならなかった電極部分
と透明電極１１との間に挟まれた部分の液晶１０及びも
ともと電極４のパターンがない部分の液晶１０は電界が
ゼロであるので反射率は低下しないので明るく見える。
即ち電極として正常に機能している部分のみが目視によ
って暗く見える。したがって、この暗部の形状が設計ど
おりであるか否かを確認することによって静電チャック
電極の断線の有無を検査できることになる。
電率、ｄc は液晶１０の厚み、ｄi は絶縁膜３の厚みで
ある。したがって、電位がＶとなった電極４と透明電極
１１に挟まれた部分の液晶１０は電界Ｅc により反射率
が低下し暗く見える。ただし、このときＥc ＞Ｅthを満
足するようにＶ，εc ，ｄc を設定することが必要であ
る。一方、断線により電位がＶにならなかった電極部分
と透明電極１１との間に挟まれた部分の液晶１０及びも
ともと電極４のパターンがない部分の液晶１０は電界が
ゼロであるので反射率は低下しないので明るく見える。
即ち電極として正常に機能している部分のみが目視によ
って暗く見える。したがって、この暗部の形状が設計ど
おりであるか否かを確認することによって静電チャック
電極の断線の有無を検査できることになる。
【００１３】次に、図２を用いて、本実施例に適用され
る静電チャック電極検査装置を説明する。同図に示すよ
うに、電極検査装置１２は上部硝子１３−透明電極１１
−液晶１０−下部硝子１５の積層により構成されてい
る。１４はスペーサである。上部硝子１３は自重で反ら
ない強度があり、平坦度が比較的良く、可視光に対して
透明であれば何の材料でもよいが本実施例では板ガラス
（厚さ５〜６mm）が使用されている。一方、下部硝子１
５は液晶１０の保持が目的であり、液晶１０下面と静電
チャックの表面との距離は小さい方が電界が広がらず検
査上有利なため、薄くて平坦度のよい材料が適してい
る。下部硝子１５は電界を通すために絶縁体でなければ
ならないが、透明である必要はない。本実施例では板ガ
ラス（１〜２mm）が使用されている。透明電極１１は透
明で導電性があれば厚みは任意であり、フィルム状でも
塗膜でもよい。本実施例では、透明電極１１のみで１つ
の層としたが、上部硝子１３に導電性を持たせれば透明
電極１１の層は不要である。また本実施例では透明電極
１１は接地されている。液晶１０としてはネマティック
液晶が適しているが液晶１０の組成は、液晶層の厚み、
液晶に印加される電界の大きさを勘案して決定しなけれ
ばならない。スペーサ１４には液晶１０の厚みを所望の
値（５０〜１００μｍ）にする役割と、液晶１０が漏れ
ないためのシール材としての役割がある。スペーサ１４
は、絶縁体、導体の何れでもよいが、ポリエステルなど
が適している。
る静電チャック電極検査装置を説明する。同図に示すよ
うに、電極検査装置１２は上部硝子１３−透明電極１１
−液晶１０−下部硝子１５の積層により構成されてい
る。１４はスペーサである。上部硝子１３は自重で反ら
ない強度があり、平坦度が比較的良く、可視光に対して
透明であれば何の材料でもよいが本実施例では板ガラス
（厚さ５〜６mm）が使用されている。一方、下部硝子１
５は液晶１０の保持が目的であり、液晶１０下面と静電
チャックの表面との距離は小さい方が電界が広がらず検
査上有利なため、薄くて平坦度のよい材料が適してい
る。下部硝子１５は電界を通すために絶縁体でなければ
ならないが、透明である必要はない。本実施例では板ガ
ラス（１〜２mm）が使用されている。透明電極１１は透
明で導電性があれば厚みは任意であり、フィルム状でも
塗膜でもよい。本実施例では、透明電極１１のみで１つ
の層としたが、上部硝子１３に導電性を持たせれば透明
電極１１の層は不要である。また本実施例では透明電極
１１は接地されている。液晶１０としてはネマティック
液晶が適しているが液晶１０の組成は、液晶層の厚み、
液晶に印加される電界の大きさを勘案して決定しなけれ
ばならない。スペーサ１４には液晶１０の厚みを所望の
値（５０〜１００μｍ）にする役割と、液晶１０が漏れ
ないためのシール材としての役割がある。スペーサ１４
は、絶縁体、導体の何れでもよいが、ポリエステルなど
が適している。
【００１４】次いで、図３、図４を用いて、上述のよう
に構成された電極検査装置１２を用いての検査手順を説
明する。図３（ａ）に示すように、電極検査装置１２を
静電チャック２の表面に密着するように重ねると、電極
検査装置１２と静電チャック２とを合わせた積層構造は
同図（ｂ）のようになる。透明電極１１を接地し、電極
４を電位Ｖにすると液晶１０中の電界Ｅc は、（２）式
のようになる。
に構成された電極検査装置１２を用いての検査手順を説
明する。図３（ａ）に示すように、電極検査装置１２を
静電チャック２の表面に密着するように重ねると、電極
検査装置１２と静電チャック２とを合わせた積層構造は
同図（ｂ）のようになる。透明電極１１を接地し、電極
４を電位Ｖにすると液晶１０中の電界Ｅc は、（２）式
のようになる。
【００１５】
【数２】 Ｅc ＝（εg ・εi ／（εg ・εi ・ｄc ＋εc ・εi ・ｄg ＋εc ・εg ・ｄi ））・Ｖ …（２） ここで、εg は下部硝子１５の誘電率、ｄg は下部硝子
１５の厚みである。したがって、このときＥc ＞Ｅthを
満足するように、Ｖ，εc ，εg ，ｄc ，ｄg が設定さ
れていれば、図４（ａ）に示すように、可視光を液晶１
０に当てた状態で目視すると、同図（ｂ）に示すよう
に、電極４として正常に機能している部分のみが暗く見
える。以上により、電極４による電界を直接２次元的に
検出し、かつ短時間で簡便に、実際の装置に装着した後
でも静電チャック電極の断線の有無を検査することが可
能となる。
１５の厚みである。したがって、このときＥc ＞Ｅthを
満足するように、Ｖ，εc ，εg ，ｄc ，ｄg が設定さ
れていれば、図４（ａ）に示すように、可視光を液晶１
０に当てた状態で目視すると、同図（ｂ）に示すよう
に、電極４として正常に機能している部分のみが暗く見
える。以上により、電極４による電界を直接２次元的に
検出し、かつ短時間で簡便に、実際の装置に装着した後
でも静電チャック電極の断線の有無を検査することが可
能となる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
静電チャックの電極に所要値の電圧を印加し、この電極
により生じる電界を静電チャックの表面近傍に設置した
液晶の明暗のコントラストの変化として検出し、このコ
ントラストの変化により電極の断線の有無を判断するよ
うにしたため、短時間で簡便かつ確実に、実際の装置に
装着した後でも電極の断線の有無を検査することができ
る。
静電チャックの電極に所要値の電圧を印加し、この電極
により生じる電界を静電チャックの表面近傍に設置した
液晶の明暗のコントラストの変化として検出し、このコ
ントラストの変化により電極の断線の有無を判断するよ
うにしたため、短時間で簡便かつ確実に、実際の装置に
装着した後でも電極の断線の有無を検査することができ
る。
【図１】本発明に係る静電チャック電極検査方法を原理
的に説明するための図である。
的に説明するための図である。
【図２】本発明の実施例に適用される電極検査装置の構
成図である。
成図である。
【図３】上記実施例の検査手順を説明するための図であ
る。
る。
【図４】上記実施例の検査方法を説明するための図であ
る。
る。
【図５】静電チャックの吸着作用を説明するための図で
ある。
ある。
【図６】静電チャックの構成例を示す図である。
【図７】従来の非接触電位計による静電チャック電極の
検査方法を説明するための図である。
検査方法を説明するための図である。
【図８】従来のＸ線による静電チャック電極の検査方法
を説明するための図である。
を説明するための図である。
２ 静電チャック ４ 電極 ６ 高圧電源 １０ 液晶 １２ 電極検査装置
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査対象である静電チャックの電極に
所要値の電圧を印加し、該電極により生じる電界を前記
静電チャックの表面近傍に設置した液晶の明暗のコント
ラストの変化として検出し、このコントラストの変化に
より前記電極の断線の有無を判断することを特徴とする
静電チャック電極検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5070151A JPH06281686A (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 静電チャック電極検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5070151A JPH06281686A (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 静電チャック電極検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281686A true JPH06281686A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=13423298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5070151A Pending JPH06281686A (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 静電チャック電極検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06281686A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006010662A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Creative Technology:Kk | 静電チャックの検査方法 |
-
1993
- 1993-03-29 JP JP5070151A patent/JPH06281686A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006010662A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Creative Technology:Kk | 静電チャックの検査方法 |
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