JPH0628230Y2 - 超音波振動子の振動制御装置 - Google Patents
超音波振動子の振動制御装置Info
- Publication number
- JPH0628230Y2 JPH0628230Y2 JP1989063125U JP6312589U JPH0628230Y2 JP H0628230 Y2 JPH0628230 Y2 JP H0628230Y2 JP 1989063125 U JP1989063125 U JP 1989063125U JP 6312589 U JP6312589 U JP 6312589U JP H0628230 Y2 JPH0628230 Y2 JP H0628230Y2
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- JP
- Japan
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- circuit
- phase difference
- ultrasonic transducer
- signal
- resistance value
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
- B06B1/0223—Driving circuits for generating signals continuous in time
- B06B1/0238—Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave
- B06B1/0246—Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave with a feedback signal
- B06B1/0261—Driving circuits for generating signals continuous in time of a single frequency, e.g. a sine-wave with a feedback signal taken from a transducer or electrode connected to the driving transducer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、超音波加工を行なうための超音波振動子の振
動制御装置に係り、とくに超音波振動子の駆動電圧及び
駆動電流の位相差をゼロにするようにその駆動周波数を
制御するための振動制御装置に関するものである。
動制御装置に係り、とくに超音波振動子の駆動電圧及び
駆動電流の位相差をゼロにするようにその駆動周波数を
制御するための振動制御装置に関するものである。
一般に、超音波振動装置１は、例えば第３図に示すよう
に、発振回路２で発生される自走周波数０のパルス信
号に基づいて、駆動回路３から出力される該周波数０
の高周波パルス信号をトランス４を介して、超音波振動
子５に印加することにより、この超音波振動子５を自走
周波数０で超音波振動させて、超音波加工を行なうよ
うにしている。
に、発振回路２で発生される自走周波数０のパルス信
号に基づいて、駆動回路３から出力される該周波数０
の高周波パルス信号をトランス４を介して、超音波振動
子５に印加することにより、この超音波振動子５を自走
周波数０で超音波振動させて、超音波加工を行なうよ
うにしている。
ここで、実際に超音波加工を行なっているときには、加
工に伴って超音波振動子５に負荷が加えられると、該超
音波振動子５の振動周波数は１に変動してしまうの
で、超音波振動子５の駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉに位相
のずれが生ずる（第４図参照）こととなり、効率が低下
してしまう。そのため、自走周波数０に対する超音波
振動子５の振動周波数１を圧電素子６等により検出し
て、発振回路２にフィードバックすることにより、該発
振回路２は、その自走周波数を０から１へ変更する
ようにしている。
工に伴って超音波振動子５に負荷が加えられると、該超
音波振動子５の振動周波数は１に変動してしまうの
で、超音波振動子５の駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉに位相
のずれが生ずる（第４図参照）こととなり、効率が低下
してしまう。そのため、自走周波数０に対する超音波
振動子５の振動周波数１を圧電素子６等により検出し
て、発振回路２にフィードバックすることにより、該発
振回路２は、その自走周波数を０から１へ変更する
ようにしている。
しかしながら、このように構成された振動制御回路にお
いては、自走周波数０に対して超音波振動子の振動周
波数１との間に大きな差がある場合、該振動周波数は
１となっているが、電圧及び電流の位相差が大きく、
最適な追尾が行われないことになる。
いては、自走周波数０に対して超音波振動子の振動周
波数１との間に大きな差がある場合、該振動周波数は
１となっているが、電圧及び電流の位相差が大きく、
最適な追尾が行われないことになる。
本考案は、以上の点に鑑み、自走周波数０を変化させ
て振動周波数１に近づけることにより位相差が比較的
大きい場合でも、最適な位相補正が可能である、超音波
振動子の振動制御装置を提供することを目的としてい
る。
て振動周波数１に近づけることにより位相差が比較的
大きい場合でも、最適な位相補正が可能である、超音波
振動子の振動制御装置を提供することを目的としてい
る。
上記目的は、本考案によれば、発振回路と、この発振回
路で発生される駆動周波数に基づいて超音波振動子を駆
動する駆動回路と、その超音波振動子の振動周波数を検
出して該発振回路にフィードバックする振動検出子とを
含む超音波振動子の振動制御回路において、上記発振回
路の自走周波数を決定する抵抗の抵抗値を変化させるよ
うに接続されたＦＥＴ回路が備えられていると共に、超
音波振動子における電圧及び電流に基づいて該電圧及び
電流の相対的な位相差を検出する位相差検出回路と、該
位相差検出回路から入力される位相差に基づいて、この
位相差が所定値以上の場合に信号を出力するしきい値弁
別回路と、このしきい値弁別回路からの信号を積分する
ポンプ回路とを備えており、そのポンプ回路からの出力
信号が所定レベルより高くなったとき上記ＦＥＴ回路の
抵抗値を変化させるように構成したことにより達成され
る。
路で発生される駆動周波数に基づいて超音波振動子を駆
動する駆動回路と、その超音波振動子の振動周波数を検
出して該発振回路にフィードバックする振動検出子とを
含む超音波振動子の振動制御回路において、上記発振回
路の自走周波数を決定する抵抗の抵抗値を変化させるよ
うに接続されたＦＥＴ回路が備えられていると共に、超
音波振動子における電圧及び電流に基づいて該電圧及び
電流の相対的な位相差を検出する位相差検出回路と、該
位相差検出回路から入力される位相差に基づいて、この
位相差が所定値以上の場合に信号を出力するしきい値弁
別回路と、このしきい値弁別回路からの信号を積分する
ポンプ回路とを備えており、そのポンプ回路からの出力
信号が所定レベルより高くなったとき上記ＦＥＴ回路の
抵抗値を変化させるように構成したことにより達成され
る。
この考案によれば、超音波振動子の駆動電圧及び駆動電
流の間の位相差が所定レベルより大きくなったとき、Ｆ
ＥＴの可変抵抗特性を利用して、発振回路の自走周波数
を決定する抵抗の抵抗値を変化させることにより、その
発振回路の自走周波数を変更することができるので、こ
の変化後の抵抗値を上記駆動電圧及び駆動電流の位相差
を低減するような抵抗値に設定しておくことにより、よ
り位相差が小さい状態で位相差の補正をするように発振
回路の自走周波数を制御することが可能になる。
流の間の位相差が所定レベルより大きくなったとき、Ｆ
ＥＴの可変抵抗特性を利用して、発振回路の自走周波数
を決定する抵抗の抵抗値を変化させることにより、その
発振回路の自走周波数を変更することができるので、こ
の変化後の抵抗値を上記駆動電圧及び駆動電流の位相差
を低減するような抵抗値に設定しておくことにより、よ
り位相差が小さい状態で位相差の補正をするように発振
回路の自走周波数を制御することが可能になる。
また、しきい値弁別回路からの信号がポンプ回路により
積分された後にＦＥＴ回路に入力されるようになってい
ることから、位相差が所定レベル以上になってからＦＥ
Ｔの抵抗値変化が行なわれるまでに一定の時間遅れがあ
るため、位相差が瞬間的に所定レベルを越えたような場
合には、ＦＥＴの抵抗値変化は行われず、従って抵抗値
の変化が不用意に行われるようなことがなく、より確実
で且つ最適な自走周波数の制御が可能となる。
積分された後にＦＥＴ回路に入力されるようになってい
ることから、位相差が所定レベル以上になってからＦＥ
Ｔの抵抗値変化が行なわれるまでに一定の時間遅れがあ
るため、位相差が瞬間的に所定レベルを越えたような場
合には、ＦＥＴの抵抗値変化は行われず、従って抵抗値
の変化が不用意に行われるようなことがなく、より確実
で且つ最適な自走周波数の制御が可能となる。
以下、図面に示した実施例に基づいて本考案をさらに詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は本考案による超音波振動子の振動制御装置の一
実施例を示している。
実施例を示している。
この振動制御装置１０は、第３図の超音波振動装置１に
対して付加されるものであり、それぞれ超音波振動子５
の駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉが入力されることにより該
駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの位相に対応する信号を出力
する二つのコンパレータ１１及び１２と、該コンパレー
タ１１，１２からの信号が入力されることにより上記駆
動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの各位相の進みまたは遅れを検
出してＤＣレベルに変換する位相ずれ検出回路１３と、
この位相ずれ検出回路１３からの信号に基づいて該駆動
電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの間の位相差に対応するＤＣレベ
ルの信号を出力する差動アンプ１４と、この差動アンプ
１４からの信号を位相差ゼロに対応する中間値より高い
第一のレベル及びこの中間値より低い第二のレベルと比
較してその第一のレベル以上または第二のレベル以下の
場合にはＨレベルの信号を出力するしきい値弁別回路１
５と、このしきい値弁別回路１５からの信号を積分して
出力するポンプ回路１６と、このポンプ回路１６の出力
が所定レベル以上になったとき発振回路２の自走周波数
０を決定する抵抗２ａの抵抗値を変化させるようにＦ
ＥＴの抵抗値変化を行なうＦＥＴ回路１７とから構成さ
れている。
対して付加されるものであり、それぞれ超音波振動子５
の駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉが入力されることにより該
駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの位相に対応する信号を出力
する二つのコンパレータ１１及び１２と、該コンパレー
タ１１，１２からの信号が入力されることにより上記駆
動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの各位相の進みまたは遅れを検
出してＤＣレベルに変換する位相ずれ検出回路１３と、
この位相ずれ検出回路１３からの信号に基づいて該駆動
電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの間の位相差に対応するＤＣレベ
ルの信号を出力する差動アンプ１４と、この差動アンプ
１４からの信号を位相差ゼロに対応する中間値より高い
第一のレベル及びこの中間値より低い第二のレベルと比
較してその第一のレベル以上または第二のレベル以下の
場合にはＨレベルの信号を出力するしきい値弁別回路１
５と、このしきい値弁別回路１５からの信号を積分して
出力するポンプ回路１６と、このポンプ回路１６の出力
が所定レベル以上になったとき発振回路２の自走周波数
０を決定する抵抗２ａの抵抗値を変化させるようにＦ
ＥＴの抵抗値変化を行なうＦＥＴ回路１７とから構成さ
れている。
上記ＦＥＴ回路１７は、具体的には、例えば第２図に示
すように構成されている。即ち、直列に接続された抵抗
２０及び可変抵抗２１と、これらに並列に接続された抵
抗２２とから構成される発振回路２の抵抗２ａに対し
て、該抵抗２２に直列に挿入されたＦＥＴ２３と、該Ｆ
ＥＴ２３のゲートとアースとの間に挿入され且つベース
にポンプ回路１６からの信号が入力されるトランジスタ
２４とから構成されている。
すように構成されている。即ち、直列に接続された抵抗
２０及び可変抵抗２１と、これらに並列に接続された抵
抗２２とから構成される発振回路２の抵抗２ａに対し
て、該抵抗２２に直列に挿入されたＦＥＴ２３と、該Ｆ
ＥＴ２３のゲートとアースとの間に挿入され且つベース
にポンプ回路１６からの信号が入力されるトランジスタ
２４とから構成されている。
本考案実施例は以上のように構成されており、第３図に
示した従来の超音波振動装置１の場合と同様に、自走周
波数０のパルス信号が発振回路２から駆動回路３に入
力されることにより、この駆動回路３から出力される該
周波数０の高周波パルス信号をトランス４を介して、
超音波振動子５に印加し、それにより、この超音波振動
子５を自走周波数０で超音波振動させて、超音波加工
を行なうと共に、この超音波振動子５の振動周波数１
を圧電素子６等により検出して、発振回路２にフィード
バックすることにより、この発振回路２はその自走周波
数を０から１へ変更するように動作する。
示した従来の超音波振動装置１の場合と同様に、自走周
波数０のパルス信号が発振回路２から駆動回路３に入
力されることにより、この駆動回路３から出力される該
周波数０の高周波パルス信号をトランス４を介して、
超音波振動子５に印加し、それにより、この超音波振動
子５を自走周波数０で超音波振動させて、超音波加工
を行なうと共に、この超音波振動子５の振動周波数１
を圧電素子６等により検出して、発振回路２にフィード
バックすることにより、この発振回路２はその自走周波
数を０から１へ変更するように動作する。
その際、上記超音波振動子５の駆動電圧Ｖ及び駆動電流
Ｉがそれぞれコンパレータ１１，１２に入力されること
によって、該コンパレータ１１，１２からは該駆動電圧
Ｖ及び駆動電流Ｉの位相に対応する信号が出力されるこ
とになり、これらの信号はさらに位相ずれ検出回路１３
にてそれぞれ位相の進みまたは遅れに相当するＤＣレベ
ルの信号に変換される。このＤＣレベルの信号は、差動
アンプ１４にて相互に比較されることにより、該駆動電
圧Ｖ及び駆動電流Ｉの間の位相差に対応するＤＣレベル
の信号として出力される。
Ｉがそれぞれコンパレータ１１，１２に入力されること
によって、該コンパレータ１１，１２からは該駆動電圧
Ｖ及び駆動電流Ｉの位相に対応する信号が出力されるこ
とになり、これらの信号はさらに位相ずれ検出回路１３
にてそれぞれ位相の進みまたは遅れに相当するＤＣレベ
ルの信号に変換される。このＤＣレベルの信号は、差動
アンプ１４にて相互に比較されることにより、該駆動電
圧Ｖ及び駆動電流Ｉの間の位相差に対応するＤＣレベル
の信号として出力される。
上記差動アンプ１４から出力された信号は、しきい値弁
別回路１５にて位相差ゼロに対する中間値であるゼロレ
ベルに対して＋側及び−側の所定レベルである第一のレ
ベルＬ１及び第二のレベルＬ２の二段階で比較され、こ
の第一のレベルＬ１より低く且つ該第二のレベルＬ２よ
り高い場合、即ち位相差が所定レベルより（進みまたは
遅れが）小さい場合に、上記しきい値弁別回路１５は信
号を出力しないので、ポンプ回路１６の出力はゼロのま
まであり、従ってＦＥＴ回路１７は動作しない。
別回路１５にて位相差ゼロに対する中間値であるゼロレ
ベルに対して＋側及び−側の所定レベルである第一のレ
ベルＬ１及び第二のレベルＬ２の二段階で比較され、こ
の第一のレベルＬ１より低く且つ該第二のレベルＬ２よ
り高い場合、即ち位相差が所定レベルより（進みまたは
遅れが）小さい場合に、上記しきい値弁別回路１５は信
号を出力しないので、ポンプ回路１６の出力はゼロのま
まであり、従ってＦＥＴ回路１７は動作しない。
即ち、第２図において、トランジスタ２４のベースには
Ｌレベルの信号が印加されるので、該トランジスタ２４
はオフであり、従ってＦＥＴ２３のゲートには電圧が印
加されるので、このＦＥＴ２３は導通状態に保持され、
従って抵抗２ａは抵抗２０，２１，２２の合成抵抗値で
ある第一の抵抗値に保持されている。このため、圧電素
子等６から周波数１が発振回路２にフードバックされ
ることによって、この発振回路２は、従来と同様にし
て、その自走周波数を０から１へ変更する。
Ｌレベルの信号が印加されるので、該トランジスタ２４
はオフであり、従ってＦＥＴ２３のゲートには電圧が印
加されるので、このＦＥＴ２３は導通状態に保持され、
従って抵抗２ａは抵抗２０，２１，２２の合成抵抗値で
ある第一の抵抗値に保持されている。このため、圧電素
子等６から周波数１が発振回路２にフードバックされ
ることによって、この発振回路２は、従来と同様にし
て、その自走周波数を０から１へ変更する。
ここで、超音波振動子５の駆動電圧Ｖ及び駆動電流Ｉの
間の位相差が大きくなると、差動アンプ１４から出力さ
れた信号が上記しきい値弁別回路１５にて前記第一のレ
ベルＬ１及び第二のレベルＬ２と比較され、該第一のレ
ベルＬ１より高い場合、または該第二のレベルＬ２より
低い場合、即ち位相差が所定レベルより（進みまたは遅
れが）大きくなったときに、このしきい値弁別回路１５
は信号を出力し、この信号がポンプ回路１６によって積
分され、該ポンプ回路１６の出力がＨレベルになったと
きに、ＦＥＴ回路１７が動作して発振回路２の抵抗２ａ
の抵抗値を変化させる。即ち第２図において、トランジ
スタ２４のベースにＨレベルの信号が入力されるので、
該トランジスタ２４はオンとなり、従って該ＦＥＴ２３
のゲートに印加される電圧が低下するので、該ＦＥＴ２
３はその抵抗値が大きくなるため、抵抗２ａは抵抗２
０，２１，２２及びＦＥＴ２３の合成抵抗値である第２
の抵抗値に変化させられる。
間の位相差が大きくなると、差動アンプ１４から出力さ
れた信号が上記しきい値弁別回路１５にて前記第一のレ
ベルＬ１及び第二のレベルＬ２と比較され、該第一のレ
ベルＬ１より高い場合、または該第二のレベルＬ２より
低い場合、即ち位相差が所定レベルより（進みまたは遅
れが）大きくなったときに、このしきい値弁別回路１５
は信号を出力し、この信号がポンプ回路１６によって積
分され、該ポンプ回路１６の出力がＨレベルになったと
きに、ＦＥＴ回路１７が動作して発振回路２の抵抗２ａ
の抵抗値を変化させる。即ち第２図において、トランジ
スタ２４のベースにＨレベルの信号が入力されるので、
該トランジスタ２４はオンとなり、従って該ＦＥＴ２３
のゲートに印加される電圧が低下するので、該ＦＥＴ２
３はその抵抗値が大きくなるため、抵抗２ａは抵抗２
０，２１，２２及びＦＥＴ２３の合成抵抗値である第２
の抵抗値に変化させられる。
これにより、上記発振回路２はその自走周波数が０か
ら２に転換されるので、圧電素子等６から周波数１
が発振回路２にフィードバックされたとき、この発振回
路２は、その自走周波数を２から１に変更すること
となり、自走周波数２に対する電圧及び電流の位相差
は、自走周波数０の場合の電圧及び電流の位相差より
小さくなることから、該発振回路２の周波数１に対す
る追尾精度が向上することとなる。
ら２に転換されるので、圧電素子等６から周波数１
が発振回路２にフィードバックされたとき、この発振回
路２は、その自走周波数を２から１に変更すること
となり、自走周波数２に対する電圧及び電流の位相差
は、自走周波数０の場合の電圧及び電流の位相差より
小さくなることから、該発振回路２の周波数１に対す
る追尾精度が向上することとなる。
以上述べたように、本考案によれば、発振回路の自走周
波数を決定する抵抗の抵抗値を変化させるように接続さ
れたＦＥＴ回路を備えると共に、超音波振動子における
電圧及び電流に基づいて該電圧及び電流の相対的な位相
差を検出する位相差検出回路と、該位相差検出回路から
入力される位相差に基づいてこの位相差が所定値以上の
場合に信号を出力するしきい値弁別回路と、該しきい値
弁別回路からの信号を積分するポンプ回路とを具備して
おり、該ポンプ回路からの出力信号が所定レベルより高
くなったとき上記ＦＥＴ回路の抵抗値を変化させるよ
う、超音波振動子の振動制御回路を構成した。
波数を決定する抵抗の抵抗値を変化させるように接続さ
れたＦＥＴ回路を備えると共に、超音波振動子における
電圧及び電流に基づいて該電圧及び電流の相対的な位相
差を検出する位相差検出回路と、該位相差検出回路から
入力される位相差に基づいてこの位相差が所定値以上の
場合に信号を出力するしきい値弁別回路と、該しきい値
弁別回路からの信号を積分するポンプ回路とを具備して
おり、該ポンプ回路からの出力信号が所定レベルより高
くなったとき上記ＦＥＴ回路の抵抗値を変化させるよ
う、超音波振動子の振動制御回路を構成した。
したがって、超音波振動子の駆動電圧及び駆動電流の間
の位相差が所定レベルより大きくなったとき、ＦＥＴ回
路の抵抗値を変化させて、発振回路の自走周波数を決定
する抵抗の抵抗値を変化させることにより、該発振回路
の自走周波数を変更することができるので、この変化後
の抵抗値を上記駆動電圧及び駆動電流の位相差を低減す
るような抵抗値に設定しておくことにより、より位相差
が小さい状態で位相差の補正をするように発振回路の発
振周波数を制御することが可能になる。
の位相差が所定レベルより大きくなったとき、ＦＥＴ回
路の抵抗値を変化させて、発振回路の自走周波数を決定
する抵抗の抵抗値を変化させることにより、該発振回路
の自走周波数を変更することができるので、この変化後
の抵抗値を上記駆動電圧及び駆動電流の位相差を低減す
るような抵抗値に設定しておくことにより、より位相差
が小さい状態で位相差の補正をするように発振回路の発
振周波数を制御することが可能になる。
また、しきい値弁別回路からの信号がポンプ回路により
積分された後にＦＥＴ回路に入力されるようになってい
ることから、位相差が所定レベル以上になってからＦＥ
Ｔ回路の抵抗値変化が行なわれるまでに一定の時間遅れ
があるため、位相差が瞬間的に所定レベルを超えたよう
な場合には、ＦＥＴ回路の抵抗値変化は行なわれず、従
って抵抗値の変化が不用意に行なわれるようなことがな
く、より確実で且つ最適な発振周波数の制御が可能とな
る。
積分された後にＦＥＴ回路に入力されるようになってい
ることから、位相差が所定レベル以上になってからＦＥ
Ｔ回路の抵抗値変化が行なわれるまでに一定の時間遅れ
があるため、位相差が瞬間的に所定レベルを超えたよう
な場合には、ＦＥＴ回路の抵抗値変化は行なわれず、従
って抵抗値の変化が不用意に行なわれるようなことがな
く、より確実で且つ最適な発振周波数の制御が可能とな
る。
かくして本考案によれば、位相差が比較的大きい場合で
も、最適な位相補正が可能である、極めて優れた超音波
振動子の振動制御装置が提供され得ることとなる。
も、最適な位相補正が可能である、極めて優れた超音波
振動子の振動制御装置が提供され得ることとなる。
第１図は本考案による超音波振動子の振動制御装置の一
実施例を示すブロック図、第２図は第１図の実施例にお
けるＦＥＴ回路の回路構成の一例を示す回路図である。 第３図は従来の超音波振動子の振動制御装置の一例を示
すブロック図、第４図は超音波振動子の駆動電圧Ｖ及び
駆動電流Ｉの位相を示すグラフである。 １０……振動制御装置、２……発振回路、２ａ……抵
抗、３……駆動回路、４……トランス、５……超音波振
動子、６……圧電素子、１１，１２……コンパレータ、
１３……位相ずれ検出回路、１４……差動アンプ、１５
……しきい値弁別回路、１６……ポンプ回路、１７……
ＦＥＴ回路、２０，２１，２２……抵抗、２３……ＦＥ
Ｔ、２４……トランジスタ。
実施例を示すブロック図、第２図は第１図の実施例にお
けるＦＥＴ回路の回路構成の一例を示す回路図である。 第３図は従来の超音波振動子の振動制御装置の一例を示
すブロック図、第４図は超音波振動子の駆動電圧Ｖ及び
駆動電流Ｉの位相を示すグラフである。 １０……振動制御装置、２……発振回路、２ａ……抵
抗、３……駆動回路、４……トランス、５……超音波振
動子、６……圧電素子、１１，１２……コンパレータ、
１３……位相ずれ検出回路、１４……差動アンプ、１５
……しきい値弁別回路、１６……ポンプ回路、１７……
ＦＥＴ回路、２０，２１，２２……抵抗、２３……ＦＥ
Ｔ、２４……トランジスタ。
Claims (1)
- 【請求項１】発振回路と、該発振回路で発生される駆動
周波数に基づいて超音波振動子を駆動する駆動回路と、
該超音波振動子の振動周波数を検出して該発振回路にフ
ィードバックする振動検出子とを含む超音波振動子の振
動制御回路において、 上記発振回路の自走周波数を決定する抵抗の抵抗値を変
化させるように接続されたＦＥＴ回路が備えられている
と共に、超音波振動子における電圧及び電流に基づいて
該電圧及び電流の相対的な位相差を検出する位相差検出
回路と、該位相差検出回路から入力される位相差に基づ
いて、該位相差が所定値以上の場合に信号を出力するし
きい値弁別回路と、該しきい値弁別回路からの信号を積
分するポンプ回路とを備えており、該ポンプ回路からの
出力信号が所定レベルより高くなったとき上記ＦＥＴ回
路の抵抗値を変化させるようにしたことを特徴とする、
超音波振動子の振動制御回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989063125U JPH0628230Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 超音波振動子の振動制御装置 |
| US07/517,348 US5001442A (en) | 1989-05-30 | 1990-05-01 | Oscillation control apparatus for ultrasonic oscillator |
| DE4015087A DE4015087C2 (de) | 1989-05-30 | 1990-05-11 | Oszillationssteuergerät für einen Ultraschallwandler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989063125U JPH0628230Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 超音波振動子の振動制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033481U JPH033481U (ja) | 1991-01-14 |
| JPH0628230Y2 true JPH0628230Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=13220242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989063125U Expired - Lifetime JPH0628230Y2 (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 超音波振動子の振動制御装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5001442A (ja) |
| JP (1) | JPH0628230Y2 (ja) |
| DE (1) | DE4015087C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008126209A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Health & Life Co Ltd | 圧電エネルギ生成システムおよびその生成方法 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5146143A (en) * | 1988-07-26 | 1992-09-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
| DE9013686U1 (de) * | 1990-10-01 | 1990-12-06 | W. Steenbeck & Co. (GmbH & Co.), 2000 Hamburg | Magnetische Abgleichschaltung |
| JPH04200282A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-21 | Nikon Corp | 超音波モータの駆動装置 |
| JPH05328757A (ja) * | 1992-05-21 | 1993-12-10 | Canon Inc | 振動波アクチュエータの駆動装置 |
| JPH06189566A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-07-08 | Canon Inc | 振動波モータの駆動制御装置 |
| DE4400210A1 (de) * | 1994-01-05 | 1995-08-10 | Branson Ultraschall | Verfahren und Einrichtung zum Betrieb eines Generators zur HF-Energieversorgung eines Ultraschallwandlers |
| DE19826549C2 (de) * | 1998-06-15 | 2003-11-13 | Siemens Ag | Ultraschall-Sendekreis |
| JP2001258278A (ja) * | 2000-03-15 | 2001-09-21 | Minolta Co Ltd | トラス型アクチュエータの駆動制御装置 |
| DE602005014762D1 (de) * | 2004-03-17 | 2009-07-16 | Seiko Epson Corp | Vorrichtung, methode und programm zur ansteuerung eines piezoelektrischen aktors und elektronisches bauelement mit einem solchen |
| CN103027708A (zh) * | 2011-10-09 | 2013-04-10 | 北京汇福康医疗技术有限公司 | 超声换能器的工作状态的监控方法及装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4168916A (en) * | 1978-03-24 | 1979-09-25 | Stanley Electric Co., Ltd. | Ultrasonic oscillator device and machine incorporating the device |
| US4277758A (en) * | 1979-08-09 | 1981-07-07 | Taga Electric Company, Limited | Ultrasonic wave generating apparatus with voltage-controlled filter |
| EP0099415A1 (de) * | 1982-07-17 | 1984-02-01 | KRAUTKRÄMER GmbH & Co. | Schaltvorrichtung zur Erzeugung von Zägezahnimpulsen und Verwendung derartiger Schaltungsvorrichtungen in Ultraschallmessgeräten |
| JPH0630734B2 (ja) * | 1983-08-05 | 1994-04-27 | 多賀電気株式会社 | 超音波変換器駆動制御方法 |
| DE3625149A1 (de) * | 1986-07-25 | 1988-02-04 | Herbert Dipl Ing Gaessler | Verfahren zur phasengesteuerten leistungs- und frequenzregelung eines ultraschallwandlers sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
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-
1989
- 1989-05-30 JP JP1989063125U patent/JPH0628230Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-05-01 US US07/517,348 patent/US5001442A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-11 DE DE4015087A patent/DE4015087C2/de not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008126209A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Health & Life Co Ltd | 圧電エネルギ生成システムおよびその生成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4015087C2 (de) | 1996-12-12 |
| DE4015087A1 (de) | 1990-12-06 |
| JPH033481U (ja) | 1991-01-14 |
| US5001442A (en) | 1991-03-19 |
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