JPH0628286B2 - Linear semiconductor integrated circuit - Google Patents
Linear semiconductor integrated circuitInfo
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- JPH0628286B2 JPH0628286B2 JP63202199A JP20219988A JPH0628286B2 JP H0628286 B2 JPH0628286 B2 JP H0628286B2 JP 63202199 A JP63202199 A JP 63202199A JP 20219988 A JP20219988 A JP 20219988A JP H0628286 B2 JPH0628286 B2 JP H0628286B2
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Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は、半導体集積回路に関し、特にカスタムICの
要求に答えらえる様に、機種展開の容易なパターン・レ
イアウトを有する半導体集積回路に関するものであり、
更には干渉を防止した半導体集積回路に関すものであ
る。The present invention relates to a semiconductor integrated circuit, and more particularly, to a semiconductor integrated circuit having a pattern layout that allows easy model expansion so as to meet the requirements of custom ICs. Is something
Furthermore, the present invention relates to a semiconductor integrated circuit that prevents interference.
(ロ) 従来の技術 一般に、特開昭59−84542号公報(H01L 2
1/76)の如く、複数個の回路ブロックを同一の半導
体基板上に形成する半導体集積回路技術は、第11図の
構成となっている。(B) Conventional Technology In general, JP-A-59-84542 (H01L 2
1/76), a semiconductor integrated circuit technology for forming a plurality of circuit blocks on the same semiconductor substrate has a configuration shown in FIG.
第11図は、半導体チップ(1)の概略平面図であり、a
乃至fは回路ブロックを示す。これらの回路ブロック
は、夫々取り扱う周波数および信号レベルが異なり、機
能も夫々異なる。FIG. 11 is a schematic plan view of the semiconductor chip (1).
Reference characters f to f denote circuit blocks. These circuit blocks have different frequencies and signal levels to be handled, and also have different functions.
この回路ブロックは、第12図の如くP-型の半導体基
板(2)上のN型の領域(3)に形成され、各回路ブロック
は、その周辺に隣接する高濃度のP+型の領域(4)によっ
て区画されている。ここではブロックbとブロックcで
示してある。This circuit block is formed in the N type region (3) on the P − type semiconductor substrate (2) as shown in FIG. 12, and each circuit block is adjacent to the periphery of the high concentration P + type region. It is divided by (4). Here, it is shown by block b and block c.
この区画用のP+型の領域(4)は、その一端をP-型の半
導体基板(2)に接するとともに、他端は半導体表面の酸
化膜(5)を通してグランドライン(6)にオーミック接続さ
れる。The P + type region (4) for this partition has one end in contact with the P − type semiconductor substrate (2) and the other end ohmic-connected to the ground line (6) through the oxide film (5) on the semiconductor surface. To be done.
グランドライン(6)は、各ブロックから集積回路の中央
部にまとめ、左端にあるグランドボンディングパッドG
NDに延在されている。The ground line (6) is collected from each block in the central part of the integrated circuit, and the ground bonding pad G at the left end
Has been extended to ND.
次に各ブロック回路の電源ライン(Vcc)は、第11図
に示すように、集積回路の外周部にまとめ、夫々個別に
電源ボンディングパッドに接続される。Next, the power supply line (Vcc) of each block circuit is gathered on the outer peripheral portion of the integrated circuit and individually connected to the power supply bonding pad, as shown in FIG.
一方、回路ブロックa乃至fは、機能が異なるため、ブ
ロック内に存在する素子数が異なり、ブロック・サイズ
が夫々異なってしまう構成となっている。On the other hand, since the circuit blocks a to f have different functions, the number of elements existing in the block is different and the block sizes are different.
(ハ) 発明が解決しようとする課題 前述の如く、回路ブロックa乃至fのサイズが異なるの
で、この回路ブロック全てを効率良く、半導体チップ
(1)内に収めるためには、各回路ブロックの大きさが相
互的に働いてしまい、同一チップ内への集積を難しくし
ている問題があった。(C) Problem to be Solved by the Invention As described above, since the circuit blocks a to f have different sizes, all the circuit blocks are efficiently and
In order to fit within (1), there is a problem that the size of each circuit block interacts with each other, which makes integration on the same chip difficult.
また回路ブロックaを削除し、例えば特性を改良した別
の回路ブロックa′を入れたり、第11図の回路ブロッ
ク構成に、更に別の機能を有する回路ブロックgを追加
しようとした場合、各ブロックの大きさが異なるので全
てのパターンを作り直す必要があった。Further, when the circuit block a is deleted and another circuit block a'having improved characteristics is inserted, or a circuit block g having another function is added to the circuit block configuration of FIG. It was necessary to recreate all the patterns because the size of was different.
従って近年、製品の寿命が非常に短かくなって来ている
中で、ユーザの希望する独自回路を、あるチップ内に組
み込もうとすると、ユーザは短絡期を希望するにもかか
わらず、回路パターンを作り直すために非常に長い納期
を必要としなければならない問題を有していた。Therefore, in recent years, when the life of the product has become extremely short, if the user wants to embed a unique circuit desired by a user in a certain chip, the user desires a short circuit period, but the circuit It had a problem that it needed a very long delivery time to recreate the pattern.
また回路ブロック間の信号配線やフィードバックライン
等の配線は、高周波の回路ブロックからの不要輻射によ
って干渉を生じる問題を有していた。In addition, signal wiring between circuit blocks and wiring such as a feedback line have a problem of causing interference due to unnecessary radiation from high frequency circuit blocks.
(ニ) 課題を解決するための手段 本発明は、斯る課題に鑑みてなされ、半導体チップの中
央に、この半導体チップを第1および第2の領域に分割
し、この第1および第2の領域を区画ラインで実質的に
同一のサイズの多数のマットに分割し、複数の機能の異
なる電子ブロック回路を整数個のマットに集積し、また
分割領域に形成した第2のグランドラインおよび第2の
電源ライン以外に、配線の領域を設け、この配線を電子
回路ブロック間の信号線やフィードバックラインとし、
この配線上にシールドメタルを設けることで解決するも
のである。(D) Means for Solving the Problems The present invention has been made in view of the problems, and divides the semiconductor chip into a first region and a second region at the center of the semiconductor chip. The area is divided into a large number of mats having substantially the same size by division lines, a plurality of electronic block circuits having different functions are integrated into an integer number of mats, and the second ground line and the second ground line formed in the divided area are formed. In addition to the power supply line, a wiring area is provided, and this wiring is used as a signal line or a feedback line between electronic circuit blocks,
The solution is to provide a shield metal on this wiring.
また前記第1および第2の領域に夫々第2および第3の
分割領域を設け、前記分割領域と同様にシールドされた
配線を設けることで解決するものである。Further, the problem is solved by providing second and third divided regions in the first and second regions, respectively, and providing shielded wiring similarly to the divided regions.
(ホ) 作用 本発明に依れば、区画ラインで半導体チップ上面を実質
的に同一サイズの多数のマットに分割し、複数の機能の
異なる電子回路ブロックを整数個のマット内に収容する
ことにより、電子回路ブロック毎の設計を行え且つ電子
回路ブロックを一定の素子数で分割しマット毎の設計が
行える様になる。従って電子回路ブロック毎に分割して
並行設計が可能であり、設計期間の大幅短縮を図れる。
また回路変更も電子回路ブロック毎に且つマット毎に行
えるので、IC全体の設計変更は不要となる。(E) Operation According to the present invention, the upper surface of the semiconductor chip is divided into a large number of mats having substantially the same size by the division line, and the electronic circuit blocks having a plurality of different functions are housed in an integer number of mats. Thus, it becomes possible to design each electronic circuit block and divide the electronic circuit block into a certain number of elements to design each mat. Therefore, it is possible to divide each electronic circuit block for parallel design, and it is possible to significantly reduce the design period.
Further, the circuit can be changed for each electronic circuit block and for each mat, so that it is not necessary to change the design of the entire IC.
一方、分割領域は半導体チップを第1および第2の領域
に分割し、半導体チップの左側より右側へ延在されてお
り、この領域を有効に使うことで配線を他の電極と交差
することなく設けられる。つまり第1図ではマットEか
らマットJの間、またはマットKからマットMの間の分
割領域は、縦方向に第1および第2の延長電極が設けら
れていないので、前記配線をこの領域内で任意に設けら
れる。また第2および第3の分割領域も同様に縦方向に
設けられる。On the other hand, the divided region divides the semiconductor chip into the first and second regions and extends from the left side to the right side of the semiconductor chip. By effectively using this region, the wiring does not intersect with other electrodes. It is provided. That is, in FIG. 1, the divided regions between the mat E and the mat J or between the mat K and the mat M are not provided with the first and second extension electrodes in the vertical direction, so that the wiring is arranged in this region. Can be provided arbitrarily. Similarly, the second and third divided regions are also provided in the vertical direction.
更にはこの配線にシールド電極を設けることで、この配
線に隣接する領域からの不要輻射を受けず、干渉を防止
できる。Furthermore, by providing a shield electrode on this wiring, it is possible to prevent interference without receiving unnecessary radiation from a region adjacent to this wiring.
(ヘ) 実施例 先ず第1図を参照して本発明の実施例を詳述する。ここ
では説明の都合上、本発明の特徴の1つであるマット分
割の構成を述べてゆく。(F) Example First, an example of the present invention will be described in detail with reference to FIG. For convenience of description, the structure of mat division, which is one of the features of the present invention, will be described here.
半導体チップ(10)上面を二点鎖線で示す分割領域(11)を
用いて、実質的に同一形状で、第1および第2の領域(1
2),(13)に2等分し、夫々の領域(12),(13)は、A〜
J,K〜Tのマットに分割されている。A〜J,K〜T
の各マット間には電源ラインとグランドラインを隣接し
て並列に延在させた区画ライン(14)で区分されている。Using the divided region (11) indicated by the chain double-dashed line on the upper surface of the semiconductor chip (10), the first and second regions (1
2) and (13) are divided into two, and the respective areas (12) and (13) are A to
It is divided into mats J, K to T. A ~ J, K ~ T
Each mat is divided by a partition line ( 14 ) in which a power line and a ground line are adjacently extended in parallel.
区画ライン(14)を形成する電源ラインおよびグランドラ
インの配列は、各マットA〜J,K〜Tの左側に電源ラ
インを設け、右側にグランドラインが設けられる。従っ
て両端の区画ライン(14)のみが電源ラインまたはグラン
ドラインの一方で形成され、中間の区画ラインは両方で
構成されている。各マットA〜J,K〜Tに隣接する電
源ラインおよびグランドラインは、夫々のマットに集積
され、回路ブロックへの電源供給を行っている。Regarding the arrangement of the power supply line and the ground line forming the partition line ( 14 ), the power supply line is provided on the left side of each of the mats A to J and K to T, and the ground line is provided on the right side. Therefore, only the partition lines ( 14 ) at both ends are formed by one of the power supply line and the ground line, and the intermediate partition line is constituted by both. Power supply lines and ground lines adjacent to the mats A to J and K to T are integrated in the respective mats to supply power to the circuit blocks.
第1の領域(12)は、第3の領域(15)であるマットA〜マ
ットD、第4の領域(16)であるマットE〜マットJに、
第2の分割領域(17)によって分割している。また第2の
領域(13)は、第5の領域(18)であるマットK〜マット
M、第6の領域(19)であるマットN〜マットTに、第3
の分割領域(20)によって分割している。The first area (12) includes mats A to D that are the third area (15) and mats E to J that are the fourth area (16).
It is divided by the second divided area (17). Further, the second area (13) is provided with mats K to M which are the fifth areas (18), mats N to T which are the sixth areas (19), and third areas.
It is divided by the divided area (20).
マットA〜マットDの第1の電源ライン(21)は、マット
の上端に形成された第3の電源ライン(22)に接続され、
電源パッドVCC1に延在されている。またマットE〜マ
ットJの第1の電源ライン(23)は、マットの上端に形成
された第3の電源ライン(24)に接続され、点でハッチン
グした第2層目の電極(25)によってクロスオーバーし、
第3の領域(15)の第3の電源ライン(22)と接続されてい
る。The first power supply line (21) of the mats A to D is connected to the third power supply line (22) formed at the upper end of the mat,
It extends to the power supply pad V CC1 . Further, the first power supply line (23) of the mats E to J is connected to the third power supply line (24) formed at the upper end of the mat, and the second layer electrode (25) hatched by dots is used. Cross over,
It is connected to the third power supply line (22) in the third region (15).
一方、マットA〜マットDの第1のグランドライン(26)
は、マットの下端に形成された第2のグランドライン(2
7)に接続され、第2の延長電極(28)を介してグランドパ
ッドGND1に延在されている。またマットE〜マット
Jの第1のグランドライン(29)は、マットの下端に形成
された第2のグランドライン(30)に接続され、点でハッ
チングした第2層目の電極(31)によってクロスオーバー
し、第3の領域(15)の第2のグランドライン(27)と接続
されている。On the other hand, the first ground line of the mats A to D (26)
Is the second ground line (2
7) and extends to the ground pad GND1 via the second extension electrode (28). Further, the first ground lines (29) of the mats E to J are connected to the second ground line (30) formed at the lower end of the mat, and the second layer electrodes (31) hatched by dots are used. It crosses over and is connected to the second ground line (27) of the third region (15).
またマットK〜マットMは、後で明らかとなるが、V
CC1,VCC2,NGD1,NGD2とは別の電源およびグ
ランドパッドを用いている。Mats K to M are V, which will become clear later.
Power supply and ground pads different from CC1 , V CC2 , NGD1 and NGD2 are used.
またマットN〜マットTの第1の電源ライン(32)は、マ
ットの上端に形成された第2の電源ライン(33)に接続さ
れ、第1の延長電極(34)によって電源パッドVCC2に延
在されている。前記マットN〜Tの第1のグランドライ
ン(35)は、マットの下端に形成された第3のグランドラ
イン(36)に接続され、グランドパッドGND2に延在さ
れている。またマットEの左側辺より右回りに半導体チ
ップ周辺にグランドライン(37)が延在され、グランドパ
ッドGND2に接続している。The first power supply line (32) of the mat N to mat T is connected to the second power supply line (33) formed at the upper end of the mat and is connected to the power supply pad V CC2 by the first extension electrode (34). It has been extended. The first ground line (35) of the mats N to T is connected to the third ground line (36) formed at the lower end of the mat and extends to the ground pad GND2. Further, a ground line (37) extends in the clockwise direction from the left side of the mat E and is connected to the ground pad GND2.
上述した区画ライン(14)で区分される各マットA〜J,
K〜Tは、実質的に同一の大きさの形状に形成され、具
体的には幅をNPNトランジスタ6個が並べられるよう
に設定され、長さは、設計上容易な一定の素子数、例え
ば約100素子がレイアウトできるように設定されてい
る。このマットの大きさについては、IC化する電子回
路ブロックにより、設計し易い素子数に応じて任意に選
択できる。Each of the mats A to J divided by the division line ( 14 ) described above
K to T are formed in a shape of substantially the same size, and specifically, the width is set so that six NPN transistors are arranged, and the length is a fixed number of elements which is easy to design, for example, It is set so that about 100 elements can be laid out. The size of this mat can be arbitrarily selected according to the number of elements that can be easily designed by an electronic circuit block to be integrated into an IC.
マット内に集積される回路素子は、トランジスタ、ダイ
オード、抵抗およびコンデンサにより構成され、通常の
PN分離によって分離され、各素子の結線は、2層配線
の1層目の電極層によって接続され、例外的に2層目の
電極でクロスオーバーされている。The circuit elements integrated in the mat are composed of transistors, diodes, resistors and capacitors, and are separated by normal PN separation, and the wiring of each element is connected by the first electrode layer of the two-layer wiring, with the exception of The electrodes of the second layer are crossed over.
次に第8図Aおよび第8図Bを参照して、マット内に集
積される回路素子と区画ライン(14)について具体的に説
明する。Next, with reference to FIGS. 8A and 8B, the circuit elements integrated in the mat and the partition line ( 14 ) will be specifically described.
第8図AはマットB付近の拡大上面図である。左の一点
鎖線で示した区画ライン(40)は、マットAとマットBの
間に設けられる区画ライン(14)であり、右の一点鎖線で
示した区画ライン(41)は、マットBとマットCの間に設
けられる区画ライン(14)である。そしてこの区画ライン
(40),(41)の間には、点線で示したトランジスタ(42)、
ダイオード(43)、抵抗(44)およびコンデンサ(45)が集積
されている。図面ではこれらの素子が粗になっている
が、実際は高密度に集積されている。またマット内の素
子間の配線は、一点鎖線で示す第1層目の電極層(46)で
実質的に形成され、マットAとマットBおよびマットB
とマットCのマット間の配線、例えば信号ラインやフィ
ードバックラインが実線で示す第2層目の電極層(47)で
形成されている。そしてこれらの第1層目および第2層
目の電極層(46),(47)は×印で示したコンタクト領域で
接続されている。FIG. 8A is an enlarged top view of the vicinity of the mat B. The division line ( 40 ) indicated by the left-hand dashed line is the division line ( 14 ) provided between the mat A and the mat B, and the division line ( 41 ) indicated by the right-hand dashed line is the mat B and the mat. It is a division line ( 14 ) provided between C. And this division line
Between ( 40 ) and ( 41 ), the transistor (42) shown by the dotted line,
A diode (43), a resistor (44) and a capacitor (45) are integrated. Although these elements are rough in the drawing, they are actually densely integrated. The wiring between the elements in the mat is substantially formed by the first electrode layer (46) indicated by the alternate long and short dash line.
Wiring between the mat and the mat of the mat C, for example, a signal line and a feedback line are formed by the second electrode layer (47) shown by solid lines. The first and second electrode layers (46) and (47) are connected to each other at the contact regions indicated by the cross marks.
第8図Bは第8図AにおけるA−A′線の断面図であ
る。P型の半導体基板(48)上にN型のエピタキシャル層
(49)が積層されており、このエピタキシャル層(49)表面
より前記半導体基板(48)に到達するP+型の分離領域(5
0)が形成され、多数のアイランド領域が形成されてい
る。このアイランド領域(51)内にはNPNトランジスタ
(42)、ダイオード(43)、抵抗(44)およびコンデンサ(45)
等が作られており、NPNトランジスタ(42)のコレクタ
領域(52)と前記半導体基板(48)との間にはN+型の埋込
み領域(53)が形成されている。前記エピタキシャル層(4
9)の表面には例えばCVD法によりシリコン酸化膜(54)
が形成され、このシリコン酸化膜(54)上には、第1層目
の電極層(46)が形成されている。またこの第1層目の電
極層(46)を覆うように、例えばPIX等の絶縁膜(55)が
形成され、この絶縁膜(55)上に第2層目の電極層(47)が
形成されている。また電源ライン(56)およびグランドラ
イン(57)は、前記分離領域(50)上に設けられ、グランド
ライン(57)はこの分離領域(50)とオーミンクコンタクト
しており、基板電位の安定化をはかっている。FIG. 8B is a sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 8A. N type epitaxial layer on P type semiconductor substrate (48)
(49) are laminated, and a P + -type isolation region (5) that reaches the semiconductor substrate (48) from the surface of the epitaxial layer (49) is formed.
0) is formed, and many island regions are formed. An NPN transistor is provided in this island region (51).
(42), Diode (43), Resistor (44) and Capacitor (45)
Etc. are made, and an N + type buried region (53) is formed between the collector region (52) of the NPN transistor (42) and the semiconductor substrate (48). The epitaxial layer (4
A silicon oxide film (54) is formed on the surface of 9) by, for example, the CVD method.
And a first electrode layer (46) is formed on the silicon oxide film (54). An insulating film (55) such as PIX is formed so as to cover the first electrode layer (46), and a second electrode layer (47) is formed on the insulating film (55). Has been done. The power supply line (56) and the ground line (57) are provided on the isolation region (50), and the ground line (57) is in ohmic contact with the isolation region (50) to stabilize the substrate potential. I am measuring.
更に具体的には、第1図の如く第1の領域(12)にはA〜
Jの10個のマットを形成し、第2の領域(13)にはK〜
Tの10個のマットを形成し、マットを約100素子集
積できる実質的に同一スペースにし、各マット間は区画
ライン(14)で区分している。More specifically, as shown in FIG. 1, in the first area (12), A to
10 mats of J are formed, and K to K are formed in the second area (13).
Ten mats of T are formed, and the mats are formed in substantially the same space where about 100 elements can be integrated, and each mat is divided by a partition line ( 14 ).
斯上した20個のマット内には第9図に示すAM/FM
ステレオチューナー用1チップICが形成される。第9
図はこの電子ブロック回路を説明するブロック図であ
り、FMフロントエンドブロック(60)、FM−IFブロ
ック(61)、ノイズキャンセラーブロック(62)、マルチプ
レックスデコーダーブロック(63)、AMチューナーブロ
ック(64)の計5つの電子回路ブロックから構成されてい
る。各回路ブロックは周知のものであるが、その機能を
簡単に説明する。AM / FM shown in FIG. 9 is contained in the above 20 mats.
A one-chip IC for a stereo tuner is formed. 9th
The figure is a block diagram for explaining this electronic block circuit. The FM front end block (60), FM-IF block (61), noise canceller block (62), multiplex decoder block (63), AM tuner block (64) ), A total of five electronic circuit blocks. Although each circuit block is well known, its function will be briefly described.
先ずFMフロントエンドブロック(60)はFM放送の選局
部分であり、数十MHz〜数百MHzのFM放送信号を受信
し、10.7MHzの中間周波信号に周波数変換するもの
であり、素子数としては約250個を有するのでK〜M
のマットに集積されている。次にFM−IFブロック(6
1)は、この中間周波信号を増幅し、その後検波しオーデ
ィオ信号を得るものであり、素子数としては約430個
を有するのでE〜Iのマットに集積されている。続いて
ノイズキャンセラーブロック(62)は、イグニッションノ
イズ等のパルスノイズを除去するもので、約270個の
素子を有するのでN〜Pのマットに集積されている。更
にマルチプレックスデコーダーブロック(63)は、ステレ
オ信号をステレオ復調するブロックであり、約390個
の素子を有するためQ〜Tのマットに集積されている。
最後に、AMチューナーブロック(64)は、AM放送の選
局部分であり、アンテナ受信したAM放送信号を中間周
波数(450KHz)に変換し、検波してオーディオ出力
を得るものであり、約350個の素子を有するのでA〜
Dのマットで集積される。First, the FM front-end block (60) is a channel selection part of FM broadcasting, receives FM broadcasting signals of several tens of MHz to several hundreds of MHz, and converts them into an intermediate frequency signal of 10.7 MHz. Since it has about 250 pieces, K ~ M
Are collected on the mat. Next, the FM-IF block (6
In 1), the intermediate frequency signal is amplified and then detected to obtain an audio signal. Since it has about 430 elements, it is integrated in the mats E to I. The noise canceller block (62) is for removing pulse noise such as ignition noise. Since it has about 270 elements, it is integrated in the N to P mats. Further, the multiplex decoder block (63) is a block for stereo demodulating a stereo signal, and since it has about 390 elements, it is integrated in the mat of Q to T.
Lastly, the AM tuner block (64) is a channel selection part for AM broadcasting, converts the AM broadcasting signal received by the antenna to an intermediate frequency (450 KHz), and detects it to obtain an audio output. About 350 Since it has the element of
Collected on D mat.
更には第10図A、第10図Bおよび第10図Cに、夫
々AMチューナーブロック(64)、フロントエンドブロッ
ク(60)とFM−IFブロック(61)およびマルチプレック
スデコーダーブロック(63)を更にブロック化した図を示
す。Further, in FIG. 10A, FIG. 10B and FIG. 10C, an AM tuner block (64), a front end block (60), an FM-IF block (61) and a multiplex decoder block (63) are further added, respectively. A block diagram is shown.
先ず第10図AのAMチューナーブロック(64)内の局部
発振回路(OSC)(65)がマットAに、混合回路(MI
X)(66)がマットBに、自動利得制御回路(AGC)(6
7)、高周波増幅回路(RF)(68)および中間周波増幅回
路(IF)(69)がマットCに、検波回路(DET)(70)
がマットDに実質的に集積され、第1図の如く電源パッ
ドVCC1よりたこ足状に4本延在された第3の電源ライ
ン(22)を介し、A〜Dのマットの第1の電源ライン(21)
にVCCを供給している。またクランドパッドGND1は
マットMとマットNの間に設けられたたこ足状の4本の
第2の延長電極(28)を介して一端第1の分割領域(11)上
の第2のグランドライン(27)に接続され、夫々の第2の
グランドライン(27)はA〜Dのマットの第1のグランド
ライン(26)に接続されている。First, the local oscillation circuit (OSC) (65) in the AM tuner block (64) of FIG.
X) (66) is on mat B, and automatic gain control circuit (AGC) (6
7), the high frequency amplifier circuit (RF) (68) and the intermediate frequency amplifier circuit (IF) (69) are on the mat C, and the detection circuit (DET) (70)
Of the mats A to D are substantially integrated on the mat D, and through the third power supply line (22) extending from the power supply pad V CC1 in the shape of a octopus as shown in FIG. Power line (21)
Is supplied with V CC . In addition, the ground pad GND1 is provided with a second ground line on the first divided region (11) via one of four second extension electrodes (28) in the shape of octopus legs provided between the mat M and the mat N. (27), and each second ground line (27) is connected to the first ground line (26) of the mats A to D.
次に第10図Bの高周波増幅回路(71)、混合回路(72)お
よび局部発振回路(73)で構成されるフロントエンドブロ
ック(60)は、数μVと極めて小さいレベルの信号を扱う
ため、他の回路ブロック特にFM−IFブロック(61)か
らの干渉を嫌い、またこのブロック内にある局部発振回
路(73)がそれ自身発振し、不要輻射を発生させる。その
ため特にFM−IFブロック(61)と離間させ、OSCブ
ロック(73)が一番干渉を嫌うため別の電源VCC3,
VCC4,GND3,GND4を用いている。Next, the front end block (60) composed of the high frequency amplifier circuit (71), the mixing circuit (72) and the local oscillator circuit (73) of FIG. 10B handles a signal of a very small level of several μV. Dislikes the interference from other circuit blocks, especially the FM-IF block (61), and the local oscillator circuit (73) in this block oscillates itself to generate unnecessary radiation. Therefore, in particular, it is separated from the FM-IF block (61), and the OSC block (73) is most reluctant to interfere, so another power supply V CC3 ,
We are using the V CC4, GND3, GND4.
すなわちFM−IFブロック(61)と対角線状にあるK〜
Mのマットに集積され、一番コーナとなるマットKに局
部発振回路(73)を集積し、その両側には別のパッドV
CC4およびGND4を通して第1の電源ラインおよびグ
ランドラインが設けてある。また他のL,Mのマット
は、VCC3およびGND3を通して、夫々の第1の電源
ラインおよびグランドラインが設けてある。That is, the K- which is diagonal to the FM-IF block (61)
The local oscillator circuit (73) is integrated on the mat K, which is the corner of the mat, and the other pads V are provided on both sides of the local oscillator circuit (73).
A first power supply line and a ground line are provided through CC4 and GND4. The other L and M mats are provided with the respective first power supply line and ground line through V CC3 and GND 3 .
一方、中間周波増幅回路(74)、検波回路(75)およびSメ
ータ(76)等で構成されるFM−IFブロック(61)は、E
〜Iのマットに集積され、検波回路(75)がマットIに、
Sメータ(76)等がマットGに、更には中間周波増幅回路
(74)中のリミッタ回路およびミュート回路等が、E,F
とGのマットに実質的に集積されている。On the other hand, the FM-IF block (61) including the intermediate frequency amplification circuit (74), the detection circuit (75), the S meter (76), etc.
~ Integrated on the mat I, the detection circuit (75) on the mat I,
The S meter (76) etc. is on the matte G, and further the intermediate frequency amplifier circuit
The limiter circuit and mute circuit in (74) are E, F
And G are practically integrated on the mat.
ここでは利得が80〜100dbと極めて高いリミッタ回
路と信号レベルの大きい検波回路(75)、前記リミッタ回
路と信号レベルの大きいSメータ(76)は帰還による発振
を生じ、検波回路(75)とSメータ(76)は相互干渉による
特性悪化が生じるため、マットE,F,Gの第1の電源
ライン(23)は、1本の第3の電源ライン(24)に、マット
H,Iの第1の電源ライン(23)は、1本の第3の電源ラ
イン(24)に接続されている。またマットJはGユーザか
らのオプション回路を集積されるものであり、この第1
の電源ライン(23)も1本の第3の電源ライン(24)に接続
されている。Here, a limiter circuit having a very high gain of 80 to 100 dB and a detection circuit (75) having a large signal level, and the limiter circuit and an S meter (76) having a large signal level generate oscillation due to feedback, and the detection circuit (75) and S Since the characteristic of the meter (76) deteriorates due to mutual interference, the first power supply line (23) of the mats E, F, G is connected to one third power supply line (24) and the first power supply line (24) of the mats H, I. One power supply line (23) is connected to one third power supply line (24). In addition, the matte J is an integrated circuit of optional circuits from the G user.
The power supply line (23) is also connected to one third power supply line (24).
またE〜Jのマットにある第1のグランドライン(29)
は、グランドパッドGND1から第2の延長電極(28)が
延在されて一端接続された第2のグランドライン(27)
と、前述と同様に接続されている。The first ground line (29) on the E to J mats
Is a second ground line (27) to which the second extension electrode (28) extends from the ground pad GND1 and is connected at one end.
And are connected in the same manner as described above.
続いて、第10図Cのマルチプレックスデコーダーブロ
ック(63)の直流増幅回路(77)、デコーダ回路(78)、ラン
プドライバー回路(79)がマットQとマットRに、また位
相比較回路(80)、ローパスフィルタ回路(81)、電圧制御
発振器(82)および分周回路(83)等がマットSとマットT
に実質的に集積されている。また電源パッドVCC2より
たこ足状に3本延在された第1の延長電極(34)は、AM
チューナーブロック(64)とFM−IFブロック(61)との
間を通り、第1の分割領域(11)上の第2の電源ライン(3
3)へ一端接続される。そして1本がマットQとRへ、1
本がマットSとTへ、更に1本がノイズキャンセラーブ
ロック(62)となるN〜Pのマットへ伸びている。Then, the DC amplifier circuit (77), the decoder circuit (78), and the lamp driver circuit (79) of the multiplex decoder block (63) of FIG. 10C are arranged on the mat Q and the mat R, and the phase comparison circuit (80). , A low pass filter circuit (81), a voltage controlled oscillator (82), a frequency divider circuit (83), etc.
Are virtually integrated into. In addition, the first extension electrodes (34) extending from the power supply pad V CC2 in the shape of octopuses are
It passes between the tuner block (64) and the FM-IF block (61), and the second power line (3) on the first divided region (11).
One end is connected to 3). And one to mat Q and R 1
A book extends to the mats S and T, and one extends to the mats N to P which become the noise canceller block (62).
一方、グランドパッドGND2はたこ足状に2本の第3
のグランドライン(36)に接続され、前述と同様に、N〜
Pのマット、Q,Rのマット、S,Tのマットへ伸びて
いる。On the other hand, the ground pad GND2 has two octopus-like third pads.
Connected to the ground line (36) of
It extends to the mat of P, the mat of Q, R, and the mat of S, T.
更にブロック間の相互干渉の防止を目的としてパッドV
CC1,VCC2、パッドGND1,GND2を夫々分け使用
し、パッドVCC1,VCC2は1本のリードに接続され、パ
ッドGND1,GND2は1本のリードに接続されてい
る。これはパッドVCC1の変動を直接パッドVCC2に伝え
ることを防止し、しかも金属細線を2本用いることで、
この金属細線のインピーダンスを低下させている。その
ためリードに入ったパルスノイズ等を、前記インピーダ
ンスを介して増幅させず、電圧変動を防止することがで
きる。Further, for the purpose of preventing mutual interference between blocks, pad V
CC1 and V CC2 and pads GND1 and GND2 are separately used, the pads V CC1 and V CC2 are connected to one lead, and the pads GND1 and GND2 are connected to one lead. This prevents the fluctuation of the pad V CC1 from being directly transmitted to the pad V CC2 , and by using two thin metal wires,
The impedance of this thin metal wire is lowered. Therefore, the pulse noise or the like that has entered the leads is not amplified through the impedance, and voltage fluctuations can be prevented.
以上がマット分割の説明であり、この特徴点を一例して
みる。例えばAMチューナーブロック(64)が不要であれ
ば、A〜Dのマットに、マルチプレックスデコーダーブ
ロック(63)となる4つのマットをそのまま集積化し、余
ったマットQとマットRに例えばマットIとJを集積化
する。従ってI,J,S,Tのマットが余分となるの
で、このマットを削除すればマットの配置が四角形のチ
ップ内に整然と収納することができる。ここではマット
内の1層目の配線はそのまま使い、マット間の配線およ
びブロック間の配線のみを考えれば良い。The above is a description of mat division, and an example of this characteristic point will be described. For example, if the AM tuner block (64) is not needed, four mats that will be the multiplex decoder block (63) are integrated as they are in the mats A to D, and the mats I and J are put in the remaining mats Q and R, for example. To be integrated. Therefore, the I, J, S, and T mats become redundant, so that by removing this mat, the mats can be neatly housed in a rectangular chip. Here, the wiring of the first layer in the mat is used as it is, and only the wiring between the mats and the wiring between the blocks may be considered.
またFM−IFブロック(61)の一部改良の際は、例えば
改良部となるマットFのみを取り出して改良すれば良
く、他のマットE,G,Hはそのまま使うことができ
る。またユーザのオプションとなる別のブロックを追加
する時は、全部のマットはそのまま使い、このブロック
に必要な数だけマットを追加すれば良いし、またここで
はマットJをこのオプション用マットとしている。Further, when the FM-IF block (61) is partially improved, for example, only the mat F which is an improved part may be taken out and improved, and the other mats E, G and H can be used as they are. When adding another block which is an option for the user, all the mats are used as they are, and the required number of mats may be added to this block. Here, the mat J is used as this option mat.
つまり同一寸法のマットをマトリックス状に形成してあ
るため、入替え、追加、および削除が非常に容易とな
る。That is, since mats having the same size are formed in a matrix, replacement, addition, and deletion are very easy.
次にシールド電極について説明をしていく。第1図の斜
線でハッチングした領域がシールド電極であり、このシ
ールド電極の構成を第3図乃至第7図に示した。また太
い実線は配線を示す。Next, the shield electrode will be described. The hatched area in FIG. 1 is the shield electrode, and the configuration of this shield electrode is shown in FIGS. 3 to 7. Also, thick solid lines indicate wiring.
前述したように第1の分割領域(11)には、第2の電源ラ
イン(33)と第2のグランドライン(30)が第1層目に左側
より右側に平行して設けられており、第2の分割領域(1
7)と第3の分割領域(20)には、第1の延長電極(34)と第
2延長電極(28)が第1層目に設けられている。前記第1
の分解領域(11)の幅を広げると、例えばマットFとマッ
トGの第1のグランドランインと接続されている第2の
グランドライン(30)と、マットHとマットIの第1のグ
ランドラインと接続されている第2のグランドライン(3
0)との間隔を広げることができる。従ってマットHより
点fまで配線を設けることができる。またマットJの第
2のグランドライン(30)と、マットSとマットTの第2
の電源ライン(33)との間隔を広げれば、マットEの下方
よりマットJの下方まで配線を設けることができる。As described above, in the first divided region (11), the second power supply line (33) and the second ground line (30) are provided on the first layer in parallel from the left side to the right side, Second divided area (1
A first extension electrode (34) and a second extension electrode (28) are provided on the first layer in 7) and the third divided region (20). The first
If the width of the decomposition area (11) of the mat is expanded, for example, the second ground line (30) connected to the first ground run-in of the mat F and the mat G and the first ground of the mat H and the mat I. The second ground line (3
It is possible to widen the distance from (0). Therefore, wiring can be provided from the mat H to the point f. Also, the second ground line (30) of the mat J and the second ground line of the mat S and the mat T.
Wiring can be provided from below the mat E to below the mat J by widening the distance from the power supply line (33).
このように第1の延長電極(34)と第2の延長電極(28)が
集中している領域を除いて、第1の分割領域(11)を配線
領域として活用できる。前記第2および第3の分割領域
(17),(20)も同様に活用でき、一例をマットMから点
a,b,cを通ってマットEに接続する配線で示した。As described above, the first divided region 11 can be utilized as a wiring region except for the region where the first extension electrode 34 and the second extension electrode 28 are concentrated. The second and third divided areas
Similarly, (17) and (20) can be utilized, and an example is shown by the wiring connecting from the mat M to the mat E through the points a, b and c.
更に配線を詳しく述べると、マットHより延在された配
線は、点fまで水平に延在され、点fから点eまでは垂
直に延在され、第1層目に形成されている。この点eか
ら点dは、前記第2の電源ライン(33)とクロスオーバー
するために第2層目に形成されている。またマットMよ
り延在された配線は、点aより点bまでは水平に延在さ
れ、前記第2の延長電極(28)をクロスオーバーするため
に、第2層目に形成され、この点bより点cまでは点で
ハッチングした第2層目の電極を回避するために、第1
層目に形成されている。前記点cよりマットEまでは、
第1の延長電極(34)をクロスオーバーするために、第2
層目に形成されている。以上の如き構成において、第1
層目に形成されている配線部分は、実質的にすべてシー
ルド電極を第2層目に設けられる。この一例を斜線でハ
ッチングした領域に示す。このシールド電極、配線およ
び半導体基板の関係を図のA−A′線の断面図として第
3図乃至第7図に示す。More specifically, the wiring extending from the mat H extends horizontally to the point f, and extends vertically from the point f to the point e to form the first layer. The points e to d are formed on the second layer in order to cross over the second power supply line (33). The wiring extending from the mat M extends horizontally from the point a to the point b, and is formed in the second layer to cross over the second extension electrode (28). In order to avoid the electrode of the second layer hatched at the points from b to point c, the first
It is formed in the layer. From point c to mat E,
To cross over the first extension electrode (34), the second
It is formed in the layer. In the above configuration, the first
Substantially all of the wiring portion formed in the layer is provided with the shield electrode in the second layer. An example of this is shown in the hatched area. The relationship between the shield electrode, the wiring, and the semiconductor substrate is shown in FIGS. 3 to 7 as a cross-sectional view taken along the line AA 'in the drawings.
また第2図に、前記第1乃至第3の分割領域(11),(1
7),(20)に形成したダミーアイランド(90)を示す。この
ダミーアイランド(90)は、図の如く、4重となっている
が、この数はこの限りではない。このダミーアイランド
(90)は、第3図を見ても判る通りグランド電位が与えら
れる半導体基板(91)に到達しているPK型の分離領域(9
2)で囲まれたN型のエピタキシャル層より成るので、こ
のPN接合により障壁が形成され、リーク電流の防止を
可能とする。Further, in FIG. 2, the first to third divided areas (11), (1
The dummy islands (90) formed in (7) and (20) are shown. The dummy islands (90) are quadruple as shown in the figure, but the number is not limited to this. This dummy island
As can be seen from FIG. 3, (90) is a P K type isolation region (9) reaching the semiconductor substrate (91) to which the ground potential is given.
Since it is composed of the N type epitaxial layer surrounded by 2), a barrier is formed by this PN junction, and it becomes possible to prevent a leak current.
次に第3図乃至第7図の断面図について説明をする。先
ず第3図は、P型の分離領域(92)で囲まれたN型のダミ
ーアイランド(90)が2つあり、このダミーアイランド(9
0)上の第1層目の絶縁膜を介して、配線(93)が設けてあ
る。この配線(93)の両側に第1のシールド電極(94)が設
けてあり、この配線(93)と第1のシールド電極(94)を被
覆するように第2層目の絶縁膜が形成され、更にこの第
2層目の絶縁膜を介して前記第1のシールド電極(94)と
オーミックコンタクトし、第1のシールド電極(94)と配
線(93)を覆うように第2のシールド電極(95)が形成され
ている。ここで第2のシールド電極(95)は、VCCまたは
GNDを印加しても良い。Next, the sectional views of FIGS. 3 to 7 will be described. First, in FIG. 3, there are two N-type dummy islands (90) surrounded by P-type isolation regions (92).
Wiring (93) is provided through the first-layer insulating film above (0). A first shield electrode (94) is provided on both sides of the wiring (93), and a second insulating film is formed so as to cover the wiring (93) and the first shield electrode (94). The second shield electrode (94) and ohmic contact with the first shield electrode (94) through the second insulating film to cover the first shield electrode (94) and the wiring (93). 95) has been formed. Here, V CC or GND may be applied to the second shield electrode (95).
次に第4図は、第3図とほぼ同一であるが、前記第1の
シールド電極(94)が、N型のアイランド領域(90)とオー
ミックコンタクトしている。ここで第2のシールド電極
(95)は、VCCに印加しても良い。Next, FIG. 4 is almost the same as FIG. 3, but the first shield electrode (94) is in ohmic contact with the N-type island region (90). Where the second shield electrode
(95) may be applied to V CC .
続いて第5図は、P型の分離領域(92)に第1のシールド
電極(94)がオーミックコンタクトしており、ダミーアイ
ランド領域(90)に配線が設けられている。そのため第2
のシールド電極(95)はGNDに印加されている。Then, in FIG. 5, the first shield electrode (94) is in ohmic contact with the P-type isolation region (92), and wiring is provided in the dummy island region (90). Therefore the second
The shield electrode (95) is applied to GND.
続いて第6図は、前述した例と異なり3層構造となって
いる。第1層目に形成されている第1のシールド電極(9
4)は、分離領域(92)とオーミックコンタクトしている。
配線(93)は第2層目に形成され、この配線(93)の両側に
第2のシールド電極(95)が、前記第1のシールド電極(9
4)とオーミックコンタクトとして形成され、更に前記第
2のシールド電極(95)と配線(93)を覆うように第3層目
の第3のシールド電極(96)が形成されている。Subsequently, FIG. 6 has a three-layer structure unlike the example described above. The first shield electrode (9
4) is in ohmic contact with the isolation region (92).
The wiring (93) is formed on the second layer, and the second shield electrodes (95) are provided on both sides of the wiring (93).
4) as an ohmic contact, and a third shield electrode (96) of the third layer is formed so as to cover the second shield electrode (95) and the wiring (93).
ここで第1層目の第1のシールド電極(94)は、例えばマ
ット内に形成するポリシリコン低抗体と同じものでも良
い。また前述した構成は、従来から使用されている一芯
のシールド線と同様な効果を生ずる。Here, the first shield electrode (94) of the first layer may be the same as the polysilicon low antibody formed in the mat, for example. In addition, the above-described configuration produces the same effect as that of the one-core shielded wire used conventionally.
更に第7図は、P型の分離領域(92)上に配線(93)とシー
ルド電極が設けられる例であり、ここでは第1のシール
ド電極(94)が分離領域(92)とオーミックコンタクトして
いるが、この限りでない。また第6図の如く3層構造で
も良い。以上配線(93)が第1の分割領域(11)上に設けら
れた場合で説明したが、前記第2および第3の分割領域
(17),(20)も同様に、第3図乃至第7図の構成は実施で
きる。Further, FIG. 7 shows an example in which the wiring (93) and the shield electrode are provided on the P-type isolation region (92). Here, the first shield electrode (94) makes ohmic contact with the isolation region (92). However, this is not the case. A three-layer structure may be used as shown in FIG. In the above description, the wiring (93) is provided on the first divided area (11), but the second and third divided areas are described.
Similarly, the configurations of FIGS. 3 to 7 can be implemented in (17) and (20).
(ト) 発明の効果 以上の説明からも明らかな如く、第1に区画ライン(14)
で半導体チップ(10)上面を実質的に同一サイズの多数の
マットに分割し、複数の機能の異なる電子回路ブロック
を整数個のマットに収容すると、電子回路ブロック毎に
並行して設計ができ、設計期間を大幅に短縮できる。ま
た電子回路ブロックを一定の素子数で分割し、マット毎
の設計が行えるので、マット毎の並行設計もできる。ま
た削除、追加および修正等の回路変更も電子回路ブロッ
ク毎またはブロック毎に設計できるので、ブロック毎ま
たはマット毎の変更のみで足り、IC全体の設計変更が
不要となる。更にはマットを基本ブロックとしてセル化
できるので、一端設計を終了すれば、この後の回路変更
の際、変更するマットのみの修正だけで、他のマットは
そのまま使え信頼性が非常に高くなる。(G) Effect of the invention As is apparent from the above description, firstly, the dividing line ( 14 )
By dividing the upper surface of the semiconductor chip (10) into a large number of mats of substantially the same size and accommodating a plurality of electronic circuit blocks having different functions in an integer number of mats, it is possible to design in parallel for each electronic circuit block The design period can be greatly shortened. Further, since the electronic circuit block is divided into a certain number of elements and the design for each mat can be performed, the parallel design for each mat can also be performed. Further, since circuit changes such as deletion, addition, and correction can be designed for each electronic circuit block or each block, only the change for each block or each mat is sufficient, and the design change of the entire IC is not necessary. Furthermore, since the mat can be made into a cell as a basic block, once the design is completed, other mats can be used as they are, and the reliability can be improved very much by modifying only the mat to be changed when the circuit is changed thereafter.
また分割領域(11),(17),(20)の幅を広げることで、配
線(93)をこの分割領域に設けられる。しかも第2のグラ
ンドライン(30)や第2の電源ライン(33)の位置を変える
ことで、前記第1および第2の延長電極(34),(28)を除
いた第の分割領域(11)に、水平に任意の長さで配線を設
けられる。一方、前記第1および第2の延長電極の位置
を変えることによって、前記第2および第3の分割領域
(17),(20)にも配線が設けられる。Further, the wiring (93) is provided in the divided areas by widening the width of the divided areas (11), (17) and (20). Moreover, by changing the positions of the second ground line (30) and the second power supply line (33), the first divided region (11) excluding the first and second extension electrodes (34), (28). ), The wiring can be provided horizontally with an arbitrary length. On the other hand, by changing the positions of the first and second extension electrodes, the second and third divided regions are formed.
Wiring is also provided in (17) and (20).
第2に、分割領域(11),(17),(20)に形成された分離領
域(92)やダミーアイランド(90)を活用することで、有効
にシールドできる。つまり第3図の如く、第1および第
2のシールド電極(94),(95)を設けることで、上方およ
び側方からの不要輻射を防止できる。また第4図はN型
のアイランド領域(90)、第5図はP型の分離領域(92)と
半導体基板(91)、第6図は第1のシールド電極(94)、第
7図はP型の分離領域(92)によって配線の下層もシール
ドでき、従来より使用されている一芯のシールド線の如
く使用できる。従って電気回路ブロックからの不要輻射
を受けず干渉を防止できる。Secondly, it is possible to effectively shield by utilizing the isolation region (92) and the dummy island (90) formed in the divided regions (11), (17) and (20). That is, by providing the first and second shield electrodes (94) and (95) as shown in FIG. 3, unnecessary radiation from above and from the side can be prevented. 4 is an N-type island region (90), FIG. 5 is a P-type isolation region (92) and semiconductor substrate (91), FIG. 6 is the first shield electrode (94), and FIG. The lower layer of the wiring can also be shielded by the P-type isolation region (92), and it can be used like a single-core shield wire that has been conventionally used. Therefore, interference can be prevented without receiving unnecessary radiation from the electric circuit block.
第1図は、本発明の半導体装置を示す平面図、第2図は
第1図に形成されるダミーアイランドを示す図、第3図
は第1図で用いるシールド電極の一例を示す図、第4図
は第1図で用いるシールド電極の一例を示す図、第5図
は第1図で用いるシールド電極の一例を示す図、第6図
は第1図で用いるシールド電極の一例を示す図、第7図
は第1図で用いるシールド電極の一例を示す図、第8図
AはマットBの部分拡大図、第8図Bは第8図AのA−
A′線における断面図、第9図はAM/FMステレオチ
ューナーブロック回路図、第10図Aは、AMチューナ
ーブロック図、第10図BはFMフロントエンドブロッ
クとFM−IFブロックを説明する図、第10図Cはマ
ルチプレックスデコーダーブロック図、第11図は従来
の半導体集積回路の平面図、第12図は第11図におけ
るブロックbとブロックcの間の断面図である。 (10)……半導体チップ、(11)……分割領域、(12)……第
1の領域、(13)……第2の領域、(14)……区画ライン、
(15)……第3の領域、(16)……第4の領域、(17)……第
2の分割領域、(18)……第5の領域、(19)……第6の領
域、(20)……第3の分割領域、(27),(30)……第2のグ
ランドライン、(33)……第2の電源ライン、(90)……ダ
ミーアイランド、(93)……配線、(94)……第1のシール
ド電源、(95)……第2のシールド電極、(96)……第3の
シールド電極。1 is a plan view showing a semiconductor device of the present invention, FIG. 2 is a view showing a dummy island formed in FIG. 1, FIG. 3 is a view showing an example of a shield electrode used in FIG. 4 is a diagram showing an example of the shield electrode used in FIG. 1, FIG. 5 is a diagram showing an example of the shield electrode used in FIG. 1, and FIG. 6 is a diagram showing an example of the shield electrode used in FIG. FIG. 7 is a diagram showing an example of the shield electrode used in FIG. 1, FIG. 8A is a partially enlarged view of the mat B, and FIG. 8B is A- of FIG. 8A.
A sectional view taken along line A ', FIG. 9 is an AM / FM stereo tuner block circuit diagram, FIG. 10A is an AM tuner block diagram, and FIG. 10B is a diagram for explaining an FM front end block and an FM-IF block, FIG. 10C is a multiplex decoder block diagram, FIG. 11 is a plan view of a conventional semiconductor integrated circuit, and FIG. 12 is a sectional view between block b and block c in FIG. (10) …… Semiconductor chip, (11) …… Divided area, (12) …… First area, (13) …… Second area, (14) …… Division line,
(15) ... third area, (16) ... fourth area, (17) ... second divided area, (18) ... fifth area, (19) ... sixth area , (20) …… third divided area, (27), (30) …… second ground line, (33) …… second power supply line, (90) …… dummy island, (93) ... … Wiring, (94)… First shield power supply, (95)… Second shield electrode, (96)… Third shield electrode.
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/04 A 8427−4M Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location H01L 27/04 A 8427-4M
Claims (4)
体チップを第1の領域および第2の領域に実質的に分割
する分割領域と、 この第1の領域および第2の領域に位置付けられ、実質
的に同じサイズの形状が複数個で成る前記半導体層内に
形成される半導体素子の配置領域(マット)と、 この配置領域(マット)の一側辺に設けられた第1の電
源ラインと、この一側辺と対向する他側辺に設けられた
第1のグランドラインと、 この第1の電源ラインおよび第1のグランドラインを前
記半導体チップ周辺の電源パッドおよびグランドパッド
と電気的に接続するために、この第1の電源ラインおよ
び第1のグランドラインと直交する方向に前記分割領域
に配置された第2の電源ラインおよび第2のグランドラ
インと、 回路の大きさが実質的に異なる機能別に分けられた複数
の電子回路ブロックとより成るリニア電子回路の半導体
素子が前記配置領域(マット)内に形成されるリニア半
導体集積回路であって、 前記機能別に分けられた電子回路ブロックの全ての半導
体素子は、前記配置領域(マット)を単位としてこの電
子回路ブロックの総半導体素子数を分割して得られる複
数個の配置領域(マット)に、実質的に形成され、 前記第2の電源ライン間または前記第2のグランドライ
ン間に、前記マット間をつなぐ信号線を設けることを特
徴としたリニア半導体集積回路。1. A division region that substantially divides the semiconductor chip into a first region and a second region in the center of the semiconductor layer of the semiconductor chip, and is positioned in the first region and the second region, An arrangement region (mat) of semiconductor elements formed in the semiconductor layer, which is formed of a plurality of shapes having substantially the same size; and a first power supply line provided on one side of the arrangement region (mat). A first ground line provided on the other side opposite to the one side, and the first power line and the first ground line are electrically connected to a power pad and a ground pad around the semiconductor chip. In order to achieve this, the second power supply line and the second ground line arranged in the divided region in the direction orthogonal to the first power supply line and the first ground line, and the size of the circuit is substantially A linear semiconductor integrated circuit in which a semiconductor element of a linear electronic circuit including a plurality of electronic circuit blocks divided according to different functions is formed in the arrangement region (mat), All the semiconductor elements are substantially formed in a plurality of placement areas (mats) obtained by dividing the total number of semiconductor elements of the electronic circuit block in units of the placement area (mat). A linear semiconductor integrated circuit characterized in that a signal line connecting between the mats is provided between power supply lines or between the second ground lines.
第1項記載のリニア半導体集積回路。2. The linear semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein a shield electrode is provided on the wiring.
導体層を分離する分離領域が設けられ、この分離領域と
前記シールド電極が電気的に接続される請求項第2項記
載のリニア半導体集積回路。3. The linear semiconductor according to claim 2, wherein the semiconductor layer in the divided region is provided with an isolation region for isolating the semiconductor layer, and the isolation region and the shield electrode are electrically connected. Integrated circuit.
ランドが前記分割領域に設けられ、このダミーアイラン
ドと前記シールド電極が電気的に接続される請求項第2
項記載のリニア半導体集積回路。4. A dummy island completely surrounded by the isolation region is provided in the divided region, and the dummy island and the shield electrode are electrically connected.
A linear semiconductor integrated circuit according to the item.
Priority Applications (5)
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|---|---|---|---|
| JP63202199A JPH0628286B2 (en) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | Linear semiconductor integrated circuit |
| KR1019890011249A KR920005863B1 (en) | 1988-08-12 | 1989-08-05 | Semiconductor integrated circuit |
| EP89114561A EP0354512B1 (en) | 1988-08-12 | 1989-08-07 | Semiconductor integrated circuit |
| DE68929104T DE68929104T2 (en) | 1988-08-12 | 1989-08-07 | Integrated semiconductor circuit |
| US07/684,471 US5160997A (en) | 1988-08-12 | 1991-04-11 | Semiconductor integrated circuit with shield electrodes for protecting the interconnection lines from undesirable radiation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63202199A JPH0628286B2 (en) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | Linear semiconductor integrated circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0251250A JPH0251250A (en) | 1990-02-21 |
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Family
ID=16453607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63202199A Expired - Lifetime JPH0628286B2 (en) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | Linear semiconductor integrated circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628286B2 (en) |
Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPS61292341A (en) * | 1985-06-20 | 1986-12-23 | Toshiba Corp | Semiconductor integrated circuit |
| JPS62293660A (en) * | 1986-06-13 | 1987-12-21 | Hitachi Ltd | Semiconductor integrated circuit device |
| JPS63122154A (en) * | 1986-11-12 | 1988-05-26 | Hitachi Ltd | Semiconductor integrated circuit device |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP63202199A patent/JPH0628286B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0251250A (en) | 1990-02-21 |
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