JPH06283601A - ラジカル反応による精密切断方法および精密切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ラジカル反応によって切断加工する際、厚肉
な被切断物であっても、供給した反応ガスによって生じ
る生成ガスを反応ガスのガス流によって速やかにプラズ
マ外へ排出し、加工速度が低下しないようにする。 【構成】 ラジカル反応によって被切断物Ｍに形成され
る切断溝Ｍａの溝底Ｍｂに対し、ノズル２３に形成した
斜め分流路７６の噴出口７６ａから反応ガスを斜めに噴
出させながら、かつ揺動機構により被切断物Ｍをワイヤ
電極Ｗの長さ方向に揺動させる。ガス流の反転・乱流の
発生が、反応ガスを溝底Ｍｂに十分いきわたらせるとと
もに生成ガスの排出を促進し、加工速度の低下は生じな
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ラジカル（遊離基）反
応を利用して、例えば、半導体デバイス製造用シリコン
単結晶やゲルマニウム単結晶、ガリウム−ひ素化合物、
或いは通常の機械的方法では切断が困難なセラミック
ス、ガラスなどの比較的厚肉の材料を精度よく切断する
のに適した精密切断装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコン単結晶等の切断には、従来、ダ
イヤモンドホイールによるダイシング加工方法が採用さ
れているが、この方法による切断では、表面に塑性加工
層の残留、微細クラックの発生等によりウェハー品質が
低下し、製造されたウェハーの歩留り低下の原因となっ
ている。

【０００３】このような問題点を解消するために、ラジ
カル反応を利用した精密加工方法が提案されている（特
開平１−１２５８２９号公報）。このラジカル反応によ
る精密加工方法は、反応ガスの雰囲気中に配した被加工
物近傍で、放電又はレーザ光励起により反応ガスを活性
化させてラジカルを生成し、該ラジカルと被加工物の構
成原子又は分子とをラジカル反応させて被加工物を加工
するものである。

【０００４】そして、上記の公開公報には、加工方法の
一例として、ワイヤ供給用ボビンに巻かれたワイヤ電極
をワイヤ引取りボビンに巻き取りながら該ワイヤ電極に
電圧を印加し、ワイヤ電極と被切断物間に放電を発生さ
せて反応ガスを活性化させ、該反応ガスによりラジカル
を生成して該ラジカルと被切断物の構成原子又は分子と
をラジカル反応させ、被切断物をワイヤ電極に対して該
ワイヤ電極を横切る方向に相対的に移動させて被切断物
を切断するラジカル反応による精密切断方法が開示され
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記方法においては、
切断加工部に対して反応ガスを適当量供給するとととも
に、その反応ガスによって生じる生成ガスをプラズマ外
へ速やかに排出することにより、投入した高周波電力が
生成ガスの再分解に使われる現象を未然に防ぐようにし
ている。ところが、特に、被切断物が厚肉で、切断加工
が深部へ進行した場合には、反応ガスの供給が不十分に
なってガス流による生成ガスの排出が起きにくくなるこ
とによって生成ガスの再分解が発生し、その結果、プラ
ズマの減少あるいは消滅が誘発されて加工速度の低下を
招く。

【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あって、厚肉な被切断物であっても供給した反応ガスに
よって生じる生成ガスを速やかにプラズマ外へ排出する
ガス流を生じせしめ加工速度の低下を防ぐことのできる
ラジカル反応による精密切断方法および精密切断装置を
提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するためになされたもので、請求項１のラジカル反応
による精密切断方法は、ワイヤ電極に電圧を印加し、ワ
イヤ電極と被切断物間に放電を発生させることにより、
薄板状のノズルより噴出させた反応ガスを活性化させ、
該反応ガスによりラジカルを生成して該ラジカルと被切
断物の構成原子または分子とをラジカル反応させ、被切
断物をワイヤ電極に対して該ワイヤ電極を横切る方向に
相対的に移動させて被切断物を切断する方法であって、
前記ラジカル反応によって前記被切断物に形成される切
断溝の溝底に対して前記ノズルより噴出させる反応ガス
を斜めに噴出させながら、かつ該ノズルを被切断物に対
してワイヤ電極の長手方向に相対的に揺動させることを
特徴としている。

【０００８】また、請求項２のラジカル反応による精密
切断装置は、ワイヤ電極に電圧を印加し、ワイヤ電極と
被切断物間に放電を発生させることにより、薄板状のノ
ズルより噴出させた反応ガスを活性化させ、該反応ガス
によりラジカルを生成して該ラジカルと被切断物の構成
原子または分子とをラジカル反応させ、被切断物をワイ
ヤ電極に対して該ワイヤ電極を横切る方向に相対的に移
動させて被切断物を切断する装置であって、前記ノズル
は、エッチングによりガス流路が形成された２枚の金属
製薄板が相互に固着されてなり、かつ前記ワイヤ電極に
対向させられる一側縁には、ガス流路に連通するととも
に一側縁に対して所定角度をもった斜めの噴出口が形成
されており、該ノズルが、前記噴出口を前記ワイヤ電極
に向けた状態で該ワイヤ電極と略平行に配されているこ
とを特徴としている。

【０００９】また、請求項３においては、請求項２のラ
ジカル反応による精密切断装置において、前記ノズルと
前記被切断物を支持する支持部材の少なくとも一方に、
被切断物に対してノズルをワイヤ電極の長手方向に相対
的に揺動させる揺動機構が付設されていることを特徴と
している。

【００１０】

【作用】本発明のラジカル反応による精密切断方法によ
れば、ラジカル反応によって被切断物に形成される切断
溝の溝底に対してノズルより噴出させる反応ガスを斜め
に噴出させながら、かつノズルを被切断物に対してワイ
ヤ電極の長手方向に相対的に揺動させることにより、ノ
ズルから供給される反応ガスによって生じる生成ガスが
速やかにプラズマ外へ排出され、このため、特に溝底が
深部に至った場合でもその溝底に反応ガスが十分かつ均
一に供給され、もって溝底の反応生成物が確実かつ速や
かに排除される。その結果、切断溝の幅が均一に形成さ
れるとともに、加工速度の低下が生じるおそれがない。
また、この揺動によってノズルの特定部分が常にプラズ
マによって加熱されることが防止でき、その結果、ノズ
ルの変形の発生が防げ、これによって加工溝の蛇行が生
じるおそれがない。

【００１１】また、本発明のラジカル反応による精密切
断装置によれば、ノズルの一側縁に斜めに形成された噴
出口からワイヤ電極に向けて反応ガスが噴出されて切断
溝の溝底に供給され、さらにノズルを揺動機構により被
切断物に対してワイヤ電極の長手方向に相対的に揺動さ
せることにより、上記方法が的確に実施される。

【００１２】

【実施例】図１ないし図７は本発明に係るラジカル反応
による精密切断装置の一実施例を示す。これら図におい
て符号１はフレームであり、三つのチャンバＣａ、Ｃ
ｂ、Ｃｃを有する。第１のチャンバＣａにはワイヤ電極
Ｗの供給装置２が、また中央の第２のチャンバＣｂには
切断装置３が、更に第３のチャンバＣｃにはワイヤ電極
Ｗの引取り装置４がそれぞれ設けられている。

【００１３】ワイヤ電極Ｗの供給装置２は、１ないし複
数本（本実施例では３本）のワイヤ電極Ｗが個別に巻か
れているワイヤ供給用ボビン５、ダンサーローラ６、ブ
レーキドラム７、および位置決めローラ８を主体として
構成されている。ワイヤ供給用ボビン５のワイヤ電極Ｗ
は、ダンサーローラ６、ブレーキドラム７、外部ローラ
１０、ブレーキドラム７の順に巻き付けられ、位置決め
ローラ８に引き出される。ワイヤ供給用ボビン５は逆相
ブレーキ用モータ１１の回転軸１２に着脱自在に取り付
けられており、ワイヤ電極Ｗの引出し供給時における回
転に逆相ブレーキ用モータ１１で抵抗が掛けられる。

【００１４】ダンサーローラ６はエンコーダ１３の回動
アーム１４に取り付けられている。エンコーダ１３は、
回動アーム１４の回動角からワイヤ供給用ボビン５とブ
レーキドラム７間のワイヤ電極Ｗの張力を検出し、その
検出信号を逆相ブレーキ用モータ１１に出力する。逆相
ブレーキ用モータ１１はエンコーダ１３の検出信号に従
ってブレーキ力を変え、ワイヤ供給用ボビン５とブレー
キドラム７間のワイヤ電極Ｗの張力を一定に保つ。ブレ
ーキドラム７には電磁ブレーキ１５が付設されており、
ブレーキドラム７の回転に抵抗を掛ける。

【００１５】切断装置３は、前後（図１では左右）各一
対の案内ローラ１６・１７、１８・１９と、これら案内
ローラ１６・１７、１８・１９の間に配設された給電ブ
ラシ２１、２２と、反応ガスを供給するノズル２３と、
被切断物Ｍを支持する支持部材２５と、支持部材２５を
揺動させる揺動機構６０（図５）とを主体として構成さ
れている。チャンバＣｂ内には、基台２６が、フレーム
１を構成する底板１ａに下から挿通された固定ピン２７
に固定されて設けられている。そしてこの基台２６の垂
直板２８には、上下部材２９（図４）が調節ねじ３０に
よって上下に調節自在に取り付けられ、また、この上下
部材２９には、横移動部材３１が調節ねじ３２によっ
て、案内ローラ１６・１７、１８・１９の並び方向と直
交する水平方向（図１で紙面に垂直な方向）に調節自在
に取り付けられている。各案内ローラ１６・１７、１８
・１９は外周面にワイヤ電極Ｗの本数と同数の案内溝を
有する。

【００１６】切断装置３の案内ローラ１６・１７、１８
・１９は、横移動部材３１に回転自在に取り付けられて
おり、供給装置２の位置決めローラ８からフレーム１の
隔壁１ｂに設けられたシール機構３４を通してチャンバ
Ｃｂ内に送り込まれたワイヤ電極Ｗを水平に案内し、他
の隔壁１ｃに設けられたシール機構３５を通してチャン
バＣｃに送り出す。また各給電ブラシ２１、２２は、取
付部材３６に揺動自在に取り付けられた揺動部材３７に
固定され、案内ローラ１６・１７、および案内ローラ１
８・１９の中間においてワイヤ電極Ｗに接触している。
揺動部材３７はブラシ揺動用モータ３８によって給電ブ
ラシ２１、２２と一緒にワイヤ電極Ｗと直交する水平方
向に動かされる。取付部材３６はワイヤ電極Ｗの長手方
向に調節自在とされている。

【００１７】反応ガスのノズル２３は、案内ローラ１７
・１８の間において取付部材３６に水平に取り付けられ
ている。このノズル２３は、後で詳述するが、ラジカル
反応で被切断物Ｍに形成される切断溝Ｍａの溝幅よりも
薄く平板状に形成され、その側縁（下縁）にその長手方
向のほぼ全長に沿ってスリット状の噴出口２３ａを有す
る。ノズル２３の噴出口２３ａは案内ローラ１７、１８
間のワイヤ電極Ｗと所定の間隔をあけて平行にされてい
る。また、ノズル２３は、塩素やフッ素系等の反応ガス
のボンベ（図示せず）にパイプを介して連結されてお
り、反応ガスを噴出口２３ａから切断溝Ｍａの溝底Ｍｂ
に噴出する。

【００１８】また、被切断物Ｍの支持部材２５は上下用
サーボモータ４０によって上下に動かされるロッド４１
にベース板６１と送り板６２とを介して支えられてい
る。上下用サーボモータ４０は、切断の進行に合わせて
被切断物Ｍをロッド４１と支持部材２５等を介して上昇
させる。ロッド４１が貫通された底板１ａの部分にはベ
ローズ４２が設けられ、その貫通部分を気密にしてい
る。送り板６２は、ワイヤ電極Ｗの走行方向と直交する
水平方向に移動自在にベース板６１の上に設けられてお
り、送り用モータ６３によって動かされて被切断物Ｍを
切断幅だけ前進させる。

【００１９】支持部材２５は送り板６２上に設けられた
レール６２ａにスライダー２５ａを嵌合させてワイヤ電
極Ｗの長手方向（走行方向）に揺動自在に設けられてい
る。送り板６２には被切断物揺動用モータ６４が設けら
れており、該モータ６４の出力軸に結合されたボールス
クリュ６５を支持部材２５に設けられたナット６６に螺
入させている。被切断物Ｍは、前記モータ６４の正逆回
転によって支持部材２５とともにワイヤ電極Ｗの長手方
向にノズル２３に対して揺動させられる。本実施例の場
合、モータ６４と、ボールスクリュ６５、ナット６６等
が前記揺動機構６０を構成する。

【００２０】ワイヤ電極Ｗの引取り装置４は、複数のガ
イドローラ４３、４４、４５、４６と、ワイヤ電極Ｗと
同数の引取りローラ４７と、引取り用モータ４８と、ピ
ンチローラ４９とを主体として構成されている。引取り
用モータ４８は引取りローラ４７を回転させる。ピンチ
ローラ４９は上下に回動自在とされたレバー５１の先端
に取り付けられ、ばね５２によって引取りローラ４７に
圧接されている。

【００２１】中央のワイヤ電極Ｗは、ガイドローラ４
３、４５に、また両側のワイヤ電極Ｗはガイドローラ４
３、４４、４６にそれぞれ案内されて、引取りローラ４
７とピンチローラ４９の間にそれぞれ挟み込まれてお
り、引取り用モータ４８による引取りローラ４７の回転
でワイヤ供給用ボビン５から引取りローラ４７に引き取
られる。引取りローラ４７の下には、ロールカッタ５３
が設けられている。ロールカッタ５３は、引取りローラ
４７に引き取られた用済みのワイヤ電極Ｗを所定の長さ
に切断する。

【００２２】符号５５は吸引ノズルであり、この吸引ノ
ズル５５は、その先端を案内ローラ１７、１８間のワイ
ヤ電極Ｗの下に配した状態で各隔壁１ｂ、１ｃを貫通し
て設けられ、水平移動用ステッピングモータ５６によっ
て動かされる支承部材５７に取り付けられている。水平
移動用ステッピングモータ５６は、上下用サーボモータ
４０に同期して作動し、上下用サーボモータ４０によっ
て上昇させられる被切断物Ｍの切断溝Ｍａの端部に吸引
ノズル５５の先端を常時一致させる。各隔壁１ｂ、１ｃ
と吸引ノズル５５との間にはベローズ５８が設けられ、
その部分を気密にしている。

【００２３】上記吸引ノズル５５には、真空ポンプ（図
示せず）が連結されている。真空ポンプは、ラジカル反
応で生じた反応生成物と余剰反応ガスを、切断溝Ｍａの
溝底Ｍｂから吸引ノズル５５を介して吸い取る。真空ポ
ンプによる吸引は、中央のチャンバＣｂ内の気圧が左右
のチャンバＣａ、Ｃｃの気圧より僅かに低くて反応ガス
がチャンバＣｂから外に洩れない程度とされる。各チャ
ンバＣａ、Ｃｂ、Ｃｃの外壁には適宜点検窓５９が設け
られる。

【００２４】次に、前述のノズル２３について図８ない
し図１０を参照して説明する。このノズル２３は、図８
に示すように、切断時に被切断物Ｍがその中央部分を通
過するノズル本体７０と、このノズル本体７０の両端部
に固定された固定用治具７１とを有している。

【００２５】ノズル本体７０は、片面にエッチングによ
り略対称な状態でガス流路７２が形成された２枚の金属
製薄板７０ａが、ガス流路７２の面を相互に向かい合わ
せて固着されてなるもので、ガス流路７２は、図９に示
すように、ノズル本体７０の上側部分に形成された長手
方向に延びる主流路７３と、ノズル本体７０の下側部分
に形成され上記主流路７３から分岐する複数の分流路７
４とから構成され、さらに複数の分流路７４は、ノズル
本体７０の長手方向中央に形成された中央分流路７５と
その両側の斜め分流路７６とからなる。これら分流路７
５、７６は、いずれもノズル本体７０のワイヤ電極Ｗに
対向させられる一側縁にスリット状に開口しており、そ
の開口部が反応ガスの噴出口７５ａ、７６ａとされてい
る。

【００２６】中央分流路７５は、ノズル本体７０の一端
縁に対して直交して延びている。各斜め分流路７６は、
中央分流路７５を中心として線対称に配置され、主流路
７３に接続された上端側よりも下流側がノズル本体７０
の長手方向端部側に向くように傾斜されるとともに、互
いに平行な状態でノズル本体７０の一端縁に対して所定
角度θをもって延びている。上記斜め分流路７６の傾斜
角度θは、ワイヤ電極Ｗに供給される電力の大きさにも
よるが、４０°〜７０°、好ましくは４５°〜６５°の
範囲で設定される。上記の場合、両端の斜め分流路７６
の各噴出口７６ａ間の距離は、被切断物Ｍにおける最大
切断幅の２倍以上に設定されている。なお、完成された
ノズル本体７０の厚さは、通常０．３〜１．０ｍｍ程度
である。

【００２７】ノズル本体７０の両端部に固定された各固
定用治具７１には、円筒状のガス導入口７７がそれぞれ
設けられている。これらガス導入口７７は、固定用治具
７１側の一端が、前記ガス流路７２における主流路７３
の端部にそれぞれ連通しており、他端が反応ガスのボン
ベ（図示略）にパイプ等を介して連結されている。

【００２８】以上が本実施例の精密切断装置の構成であ
り、本実施例では、供給装置２、切断装置３、引取り装
置４等が各３組設けられ、被切断物Ｍの３個所を同時に
切断する構成とされているが、必要に応じそれらの組数
を増減させることができる。また、ワイヤ供給用ボビン
５やダンサーローラ６、ブレーキドラム７、シール機構
３４、３５等のワイヤ電極Ｗの移送系はすべて絶縁され
ていることは言うまでもなく、その絶縁静電容量は、な
るべく小さい方が好ましい。また、各チャンバＣａ、Ｃ
ｂ、Ｃｃ内で発生した電磁波によって、モータ類の誤動
作や焼損などの危険性があるため、モータ類および配線
には電磁波防止のシールド対策が施される。

【００２９】次に、上記のように構成された本発明に係
るラジカル反応による精密切断装置の作用を説明する
が、その作用は、本発明の切断方法の一実施例である。

【００３０】引取り用モータ４８で引取りローラ４７を
回転駆動し、ワイヤ供給用ボビン５に巻かれたワイヤ電
極Ｗを引取りローラ４７に引き取りながら、ノズル２３
から反応ガスを供給し、また被切断物揺動用モータ６４
で被切断物Ｍをワイヤ電極Ｗの長手方向に揺動させると
ともに、給電ブラシ２１、２２を通じてワイヤ電極Ｗに
電圧を印加し、ワイヤ電極Ｗと被切断物Ｍとの間に放電
を発生させる。放電によって反応ガスが活性化してラジ
カルを生成し、該ラジカルは被切断物Ｍの構成原子又は
分子とラジカル反応する。この結果、被切断物Ｍに溝Ｍ
ａが穿設され、被切断物Ｍが切断されるようになる。

【００３１】被切断物Ｍを揺動させるにあたっては、図
１１ないし図１２に示すように、ノズル２３における両
端の斜め分流路７６の各噴出口７６ａ間を、被切断物Ｍ
の切断溝Ｍａの溝底Ｍｂが往復するようにする。ノズル
２３から供給される反応ガスは、ワイヤ電極Ｗに吹き付
けられてこれを均等に冷却し、局部的な温度上昇を防止
するため、ワイヤ電極Ｗに投入可能な電力が増大し、加
工エネルギーが高くなる効果が生じる。

【００３２】なお、給電に際してブラシ揺動用モータ３
８は給電ブラシ２１、２２をワイヤ電極Ｗと直交する水
平方向に揺動させ、給電ブラシ２１、２２の局部摩耗を
防止する。また、被切断物Ｍの切断の進行に従って上下
用サーボモータ４０を作動させ、被切断物Ｍを上昇させ
る。また、吸引ノズル５５で溝底Ｍｂの余剰反応ガスと
該ガスによって排出される反応生成物を吸引し、中央の
チャンバＣｂの気圧をチャンバＣａ、Ｃｃよりも僅かに
低くする。このため、反応生成物によって放電が止るこ
とがなく、ラジカル反応、つまり切断が円滑に行われる
とともに、反応ガスの外部への漏洩が防止される。この
際、吸引ノズル５５は、被切断物Ｍの外周面に沿って相
対移動するように、被切断物Ｍの上昇に同期してステッ
ピングモータ５６で水平に動かす。

【００３３】さて、上記ノズル２３および被切断物Ｍの
揺動は、最も重要な切断溝Ｍａの溝底Ｍｂへの反応ガス
の均一な供給を促進するとともに、溝底Ｍｂの反応生成
物を排除して切断加工を円滑に行わせる。

【００３４】すなわち、ノズル２３に対して被切断物Ｍ
が往復揺動する過程において、形成された中央分流路７
５の片側（図１１ないし図１３でＡ側）の各斜め分流路
７６に対向しているときには、その噴出口７６ａから斜
め分流路７６の傾斜角にもとづいて斜めに反応ガスが溝
底Ｍｂに噴出し、他側（図１１ないし図１３でＢ側）に
移動したときには、前記片側とは逆の角度で他側の斜め
分流路７６の噴出口７６ａから斜めに反応ガスが溝底Ｍ
ｂに供給される。つまり、ノズル２３に対して被切断物
Ｍを上記のように揺動させることにより、反応ガスのガ
ス流の方向が交互に反転することになり、加えて被切断
物Ｍが揺動することにより、ガス流の気圧が激しく変動
してワイヤ電極Ｗと溝底Ｍｂとの間に乱流が生じ、この
ため、特に溝底Ｍｂが深部に至った場合でも、その溝底
Ｍｂに反応ガスが十分かつ均一に供給され、もって溝底
Ｍｂの反応生成物が確実かつ速やかに排除されるように
なる。その結果、切断溝Ｍａの幅が均一に形成されると
ともに、一定した加工速度が得られ加工速度の低下が生
じるおそれがない。

【００３５】ノズル２３の斜め分流路７６（噴出口７６
ａ）の角度と加工速度の関係を、電極に供給する電力を
変えて行った実験によると、斜め分流路７６（噴出口７
６ａ）の角度を前記の如く好ましい範囲、特に４５〜６
０度の場合において、速い加工速度が得られている。

【００３６】なお、上記実施例のノズル２３におけるノ
ズル本体７０のガス流路７２は、主流路７３から、ノズ
ル本体７０の長手方向の中間を境にして左右対称に複数
の斜め分流路７６が形成されているが、図１４に示すよ
うに、一方向に向けて斜め分流路７６を形成し、その先
端開口部が反応ガスの噴出口７６ａとした構成でもよ
い。

【００３７】また、上記実施例においては、被切断物Ｍ
を揺動機構６０によってワイヤ電極Ｗの長手方向に揺動
させているが、本発明はこれに限定されず、ノズルを揺
動機構によって揺動させる構成であってもよく、要はノ
ズル２３と被切断物Ｍとをワイヤ電極Ｗの長手方向に相
対的に揺動させる構成であればよい。したがって、ノズ
ル２３と被切断物Ｍとを揺動させる構成であってもよ
い。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のラジカル
反応による精密切断方法および精密切断装置によれば、
ラジカル反応によって被切断物に形成される切断溝の溝
底に対しノズルより噴出させる反応ガスを斜めに噴出さ
せながら、さらにはノズルと被切断物とをワイヤ電極の
長手方向に相対的に揺動させる構成とすることにより、
ノズルから供給される反応ガスによって生じる生成ガス
が速やかにプラズマ外へ排出され、このため、特に溝底
が深部に至った場合でもその溝底に反応ガスが十分かつ
均一に供給され、もって溝底の反応生成物が確実かつ速
やかに排除され、その結果、切断溝の幅が均一に形成さ
れるとともに、加工速度の低下が生じるおそれがないと
いった効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のラジカル反応による精密切断装置の一
実施例を示す正断面図である。

【図２】同平断面図である。

【図３】同側断面図である。

【図４】案内ローラと給電ブラシ等の関係を示す外観図
である。

【図５】被切断物を揺動させる揺動機構の一例を示す外
観図である。

【図６】ワイヤ電極とノズルおよび被切断物の関係を示
す側面図である。

【図７】図６の（VII−VII）線部分の断面図である。

【図８】ノズルの斜視図である。

【図９】ノズル内部のガス流路を示す正面図である。

【図１０】ノズルの斜め分流路から噴出する反応ガスの
ガス流の状態を説明する正面図である。

【図１１】被切断物を揺動機構により揺動させている一
状態を示す正面図および平面図である。

【図１２】被切断物を揺動機構により揺動させている一
状態を示す斜視図である。

【図１３】同他の状態を示す斜視図である。

【図１４】ノズル内部のガス流路の変形例を示す正面図
である。

【符号の説明】

２３ ノズル ２５ 支持部材 ６０ 揺動機構 ７０ａ 金属製薄板 ７２ ガス流路 ７６ 斜め分流路 ７６ａ 噴出口 Ｍ 被切断物 Ｍａ 切断溝 Ｍｂ 溝底 Ｗ ワイヤ電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市村 稔 神奈川県横浜市磯子区新磯子町27番地 株 式会社新潟鉄工所横浜開発センター製品開 発部内 (72)発明者 吉田 健 神奈川県横浜市磯子区新磯子町27番地 株 式会社新潟鉄工所横浜開発センター材料構 造研究部内 (72)発明者 城野 義巳 神奈川県横浜市磯子区新磯子町27番地 株 式会社新潟鉄工所横浜開発センター材料構 造研究部内 (72)発明者 西村 晃 神奈川県横浜市磯子区新磯子町27番地 株 式会社新潟鉄工所横浜開発センター材料構 造研究部内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤ電極に電圧を印加し、ワイヤ電極
   と被切断物間に放電を発生させるとともに薄板状のノズ
   ルより噴出させた反応ガスを活性化させ、該反応ガスに
   よりラジカルを生成して該ラジカルと被切断物の構成原
   子または分子とをラジカル反応させ、被切断物をワイヤ
   電極に対して該ワイヤ電極を横切る方向に相対的に移動
   させて被切断物を切断する方法であって、 前記ラジカル反応によって前記被切断物に形成される切
   断溝の溝底に対して前記ノズルより噴出させる反応ガス
   を斜めに噴出させながら、かつ該ノズルを被切断物に対
   してワイヤ電極の長手方向に相対的に揺動させることを
   特徴とするラジカル反応による精密切断方法。
2. 【請求項２】 ワイヤ電極に電圧を印加し、ワイヤ電極
   と被切断物間に放電を発生させるとともに薄板状のノズ
   ルより噴出させた反応ガスを活性化させ、該反応ガスに
   よりラジカルを生成して該ラジカルと被切断物の構成原
   子または分子とをラジカル反応させ、被切断物をワイヤ
   電極に対して該ワイヤ電極を横切る方向に相対的に移動
   させて被切断物を切断する装置であって、 前記ノズルは、エッチングによりガス流路が形成された
   ２枚の金属製薄板が相互に固着されてなり、かつ前記ワ
   イヤ電極に対向させられる一側縁には、ガス流路に連通
   するとともに一側縁に対して所定角度をもった斜めの噴
   出口が形成されており、 該ノズルが、前記噴出口を前記ワイヤ電極に向けた状態
   で該ワイヤ電極と略平行に配されていることを特徴とす
   るラジカル反応による精密切断装置。
3. 【請求項３】 請求項２のラジカル反応による精密切断
   装置において、前記ノズルと前記被切断物を支持する支
   持部材の少なくとも一方に、被切断物に対してノズルを
   ワイヤ電極の長手方向に相対的に揺動させる揺動機構が
   付設されていることを特徴とする請求項２記載のラジカ
   ル反応による精密切断装置。