JPH06284785A - 位置決めテーブル装置 - Google Patents
位置決めテーブル装置Info
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- JPH06284785A JPH06284785A JP5066993A JP6699393A JPH06284785A JP H06284785 A JPH06284785 A JP H06284785A JP 5066993 A JP5066993 A JP 5066993A JP 6699393 A JP6699393 A JP 6699393A JP H06284785 A JPH06284785 A JP H06284785A
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- Japan
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- coil
- time
- phase
- coils
- positioning table
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 相切り換え時のトルクの低下を極力小さく抑
えることができる。 【構成】 ガイド２にはテーブル天板１が案内部１２を
介してリニアモータコイル４を挟持するように取り付け
られており、テーブル天板１はガイド２によってコイル
の並ぶ方向に摺動自在に案内される。ガイド２側方には
テーブル天板１の位置を検出する位置検出器６が設けら
れている。位置検出器６にはテーブルの位置信号を得る
カウンタユニット７が接続され、カウンタユニット７に
は各コイル相を切り換えるための相切り換えコントロー
ラ９が接続されている。相切り換えコントローラ９に
は、次のコイル相へ通電してからの時間を計測する時間
計測手段１３が接続されている。
えることができる。 【構成】 ガイド２にはテーブル天板１が案内部１２を
介してリニアモータコイル４を挟持するように取り付け
られており、テーブル天板１はガイド２によってコイル
の並ぶ方向に摺動自在に案内される。ガイド２側方には
テーブル天板１の位置を検出する位置検出器６が設けら
れている。位置検出器６にはテーブルの位置信号を得る
カウンタユニット７が接続され、カウンタユニット７に
は各コイル相を切り換えるための相切り換えコントロー
ラ９が接続されている。相切り換えコントローラ９に
は、次のコイル相へ通電してからの時間を計測する時間
計測手段１３が接続されている。
Description
【０００１】
【産業の利用分野】本発明は、工作機械、半導体露光装
置などに使用する位置決めテーブル装置に係り、特にテ
ーブルの位置を検出する位置検出器と、テーブルの位置
に応じて選択的にコイルに通電される多相型のモータを
備えた位置決めテーブル装置に関する。
置などに使用する位置決めテーブル装置に係り、特にテ
ーブルの位置を検出する位置検出器と、テーブルの位置
に応じて選択的にコイルに通電される多相型のモータを
備えた位置決めテーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の位置決めテーブル装置の
概略構成図である。この図に示すような従来の位置決め
テーブル装置は、４相のコイルを一直線上に並べたリニ
アモータコイル１０４を備えている。リニアモータコイ
ル１０４はコイル支持部材１０３に支持されており、リ
ニアモータコイル１０４を構成するコイルの並ぶ方向と
平行に、一対のガイド１０２が設けられている。ガイド
１０２には上下一対のテーブル天板１０１が案内部１１
２を介してリニアモータコイル１０４を挟持するように
取り付けられており、上下一対のテーブル天板１はガイ
ド１０２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自在に案
内される。案内部１１２としては、位置決め精度やメン
テナンス性を考慮し、転がり、摺動、静圧案内などが用
いられる。上下一対のテーブル天板１０１の各々には可
動磁石１０５が取り付けられ、可動磁石１０５は前記コ
イルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして４つ並べ
て構成されている。そして各可動磁石１０５はリニアモ
ータコイル１０４を介して互いに異なる極性どうし向い
合うようにしてテーブル天板１０１に取り付けられてい
る。
概略構成図である。この図に示すような従来の位置決め
テーブル装置は、４相のコイルを一直線上に並べたリニ
アモータコイル１０４を備えている。リニアモータコイ
ル１０４はコイル支持部材１０３に支持されており、リ
ニアモータコイル１０４を構成するコイルの並ぶ方向と
平行に、一対のガイド１０２が設けられている。ガイド
１０２には上下一対のテーブル天板１０１が案内部１１
２を介してリニアモータコイル１０４を挟持するように
取り付けられており、上下一対のテーブル天板１はガイ
ド１０２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自在に案
内される。案内部１１２としては、位置決め精度やメン
テナンス性を考慮し、転がり、摺動、静圧案内などが用
いられる。上下一対のテーブル天板１０１の各々には可
動磁石１０５が取り付けられ、可動磁石１０５は前記コ
イルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして４つ並べ
て構成されている。そして各可動磁石１０５はリニアモ
ータコイル１０４を介して互いに異なる極性どうし向い
合うようにしてテーブル天板１０１に取り付けられてい
る。
【０００３】また、ガイド１０２側方にはテーブル天板
１０１の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出
器１０６が設けられている。位置検出器１０６にはテー
ブルの位置信号を得るカウンタユニット１０７が接続さ
れ、カウンタユニット１０７には各コイル相を切り換え
るための相切り換えコントローラ１０９が接続されてい
る。相切り換えコントローラ１０９は、カウンタユニッ
ト１０７からのテーブルの位置信号に応じて、スイッチ
１１０を切り換え制御するものである。各スイッチ１１
０ごとにはコイル相が電流アンプ１１１を介して接続さ
れており、相切り換えコントローラ１０９によりスイッ
チ１１０が切り換え制御されて各コイルへの通電が切り
換えられる。また、カウンタユニット１０７にはテーブ
ルの目標位置とカウンタユニット１０７から得られる現
在位置との差分を演算し、各スイッチ１０へ指令値とし
て出力するサーボコントローラ１０８が接続されてい
る。
１０１の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出
器１０６が設けられている。位置検出器１０６にはテー
ブルの位置信号を得るカウンタユニット１０７が接続さ
れ、カウンタユニット１０７には各コイル相を切り換え
るための相切り換えコントローラ１０９が接続されてい
る。相切り換えコントローラ１０９は、カウンタユニッ
ト１０７からのテーブルの位置信号に応じて、スイッチ
１１０を切り換え制御するものである。各スイッチ１１
０ごとにはコイル相が電流アンプ１１１を介して接続さ
れており、相切り換えコントローラ１０９によりスイッ
チ１１０が切り換え制御されて各コイルへの通電が切り
換えられる。また、カウンタユニット１０７にはテーブ
ルの目標位置とカウンタユニット１０７から得られる現
在位置との差分を演算し、各スイッチ１０へ指令値とし
て出力するサーボコントローラ１０８が接続されてい
る。
【０００４】ここで、従来の位置決めテーブル装置にお
けるリニアモータコイルの通電パターンを示す。図７は
従来の位置決めテーブル装置に備えられたリニアモータ
コイルの通電パターンを示した図である。図中におい
て、リニアモータコイルを構成する４つのコイルを図中
左から便宜上コイル１乃至コイル４とする。また記号Ａ
およびＢはコイルに流れる電流の向きを示し、記号Ａは
図面正面から見て奥向きの電流の向きを示し、記号Ｂは
図面正面から見て手前向きの電流を示している。
けるリニアモータコイルの通電パターンを示す。図７は
従来の位置決めテーブル装置に備えられたリニアモータ
コイルの通電パターンを示した図である。図中におい
て、リニアモータコイルを構成する４つのコイルを図中
左から便宜上コイル１乃至コイル４とする。また記号Ａ
およびＢはコイルに流れる電流の向きを示し、記号Ａは
図面正面から見て奥向きの電流の向きを示し、記号Ｂは
図面正面から見て手前向きの電流を示している。
【０００５】図７の（ａ）〜（ｈ）に示すように可動磁
石１０５の位置によって通電するコイルおよびそのコイ
ルに流れる電流の向きを切り換え、同一方向に推力を発
生させることで、可動磁石１０５を所定の方向に移動さ
せるとともにテーブルを移動させている。
石１０５の位置によって通電するコイルおよびそのコイ
ルに流れる電流の向きを切り換え、同一方向に推力を発
生させることで、可動磁石１０５を所定の方向に移動さ
せるとともにテーブルを移動させている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では予め定められた位置でコイルを一相ずつ切り換
えていく制御構成のため、切り換え時にトルクがゼロ付
近まで低下してしまうという問題点があった。
来例では予め定められた位置でコイルを一相ずつ切り換
えていく制御構成のため、切り換え時にトルクがゼロ付
近まで低下してしまうという問題点があった。
【０００７】図８はコイル１からコイル２に切り換えた
時のトルクの状態を示した図である。この図の（ａ）に
示すように、例えばコイル１からコイル２に切り換えた
場合、コイル２の電流立ち上がりに時間ΔＴを要するた
め、図８の（ｂ）に示すように合成トルクがゼロ付近ま
で低下してしまう。
時のトルクの状態を示した図である。この図の（ａ）に
示すように、例えばコイル１からコイル２に切り換えた
場合、コイル２の電流立ち上がりに時間ΔＴを要するた
め、図８の（ｂ）に示すように合成トルクがゼロ付近ま
で低下してしまう。
【０００８】こうしたトルクの低下（相の切り換え）が
目標位置付近で発生した場合の問題点を以下に示す。図
９は目標位置付近でトルクの低下がない場合を示したグ
ラフであり、図１０は目標位置付近でトルクの低下（相
の切り換え）がある場合のグラフである。
目標位置付近で発生した場合の問題点を以下に示す。図
９は目標位置付近でトルクの低下がない場合を示したグ
ラフであり、図１０は目標位置付近でトルクの低下（相
の切り換え）がある場合のグラフである。
【０００９】図９に示したトルクの低下のない場合のグ
ラフと比較して、図１０に示したようなグラフでは、ト
ルクの低下があると、目標値の追従性（サーボ特性）が
悪くなる為にテーブルの位置が振動的になっていること
が判る。このため、トルクの低下は位置決め精度の低
下、位置決め時間の延長等や制御系への悪影響を及ぼし
好ましくなかった。
ラフと比較して、図１０に示したようなグラフでは、ト
ルクの低下があると、目標値の追従性（サーボ特性）が
悪くなる為にテーブルの位置が振動的になっていること
が判る。このため、トルクの低下は位置決め精度の低
下、位置決め時間の延長等や制御系への悪影響を及ぼし
好ましくなかった。
【００１０】本発明は上記従来技術にかかる問題点に鑑
みてなされたものであって、相切り換え時のトルクの低
下を極力小さく抑えることができる位置決めテーブル装
置を提供することを目的としている。
みてなされたものであって、相切り換え時のトルクの低
下を極力小さく抑えることができる位置決めテーブル装
置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、テーブルの位置を検出する位置検出手段
と、該テーブルの位置に応じてＮ個のコイルに選択的に
通電される多相型のモータとを備えた位置決めテーブル
装置において、次のコイルに通電した時からの時間を計
測する時間計測手段が設けられたことを特徴とするもの
や、前記時間計測手段により計測される所定時間の間に
は、（Ｎ＋１）個以上のコイルが通電される装置でもよ
く、また前記所定時間は、次に通電したコイルの電流立
ち上がり時間に比例することを特徴とする装置でもよ
い。
の本発明は、テーブルの位置を検出する位置検出手段
と、該テーブルの位置に応じてＮ個のコイルに選択的に
通電される多相型のモータとを備えた位置決めテーブル
装置において、次のコイルに通電した時からの時間を計
測する時間計測手段が設けられたことを特徴とするもの
や、前記時間計測手段により計測される所定時間の間に
は、（Ｎ＋１）個以上のコイルが通電される装置でもよ
く、また前記所定時間は、次に通電したコイルの電流立
ち上がり時間に比例することを特徴とする装置でもよ
い。
【００１２】
【作用】上記構成のとおり本発明では、予め定められた
通電パターンに基づいてコイルを順次切り換えながらテ
ーブルを移動させる際、次のコイルに通電した時からの
時間を時間計測手段により計測し、この計測時間の間に
おいては前のコイルの通電を停止させないことにより、
従来のような切り換え時のトルクの低下が極力小さく抑
えることが可能となる。
通電パターンに基づいてコイルを順次切り換えながらテ
ーブルを移動させる際、次のコイルに通電した時からの
時間を時間計測手段により計測し、この計測時間の間に
おいては前のコイルの通電を停止させないことにより、
従来のような切り換え時のトルクの低下が極力小さく抑
えることが可能となる。
【００１３】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１４】（第１の実施例）図１は本発明の位置決め
テーブル装置の第１実施例の概略構成図である。この図
に示すような本発明の位置決めテーブル装置は、従来技
術と同様に４相のコイルを一直線上に並べたリニアモー
タコイル４を備えている。リニアモータコイル４はコイ
ル支持部材３に支持されており、リニアモータコイル４
を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド２
が設けられている。ガイド２には上下一対のテーブル天
板１が案内部１２を介してリニアモータコイル４を挟持
するように取り付けられており、上下一対のテーブル天
板１はガイド２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自
在に案内される。案内部１２としては、位置決め精度や
メンテナンス性を考慮し、転がり、摺動、静圧案内など
が用いられる。上下一対のテーブル天板１の各々には可
動磁石５が取り付けられ、可動磁石５は前記コイルの並
ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして４つ並べて構成さ
れている。そして各可動磁石５はリニアモータコイル４
を介して互いに異なる極性どうし向い合うようにしてテ
ーブル天板１に取り付けられている。
テーブル装置の第１実施例の概略構成図である。この図
に示すような本発明の位置決めテーブル装置は、従来技
術と同様に４相のコイルを一直線上に並べたリニアモー
タコイル４を備えている。リニアモータコイル４はコイ
ル支持部材３に支持されており、リニアモータコイル４
を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド２
が設けられている。ガイド２には上下一対のテーブル天
板１が案内部１２を介してリニアモータコイル４を挟持
するように取り付けられており、上下一対のテーブル天
板１はガイド２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自
在に案内される。案内部１２としては、位置決め精度や
メンテナンス性を考慮し、転がり、摺動、静圧案内など
が用いられる。上下一対のテーブル天板１の各々には可
動磁石５が取り付けられ、可動磁石５は前記コイルの並
ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして４つ並べて構成さ
れている。そして各可動磁石５はリニアモータコイル４
を介して互いに異なる極性どうし向い合うようにしてテ
ーブル天板１に取り付けられている。
【００１５】また、ガイド２側方にはテーブル天板１の
位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器６が設
けられている。位置検出器６にはテーブルの位置信号を
得るカウンタユニット７が接続され、カウンタユニット
７には各コイル相を切り換えるための相切り換えコント
ローラ９が接続されている。相切り換えコントローラ９
は、カウンタユニット７からのテーブルの位置信号に応
じて、スイッチ１０を切り換え制御するものである。各
スイッチ１０ごとにはコイル相が電流アンプ１１を介し
て接続されており、相切り換えコントローラ９によりス
イッチ１０が切り換え制御されて各コイル相への通電が
切り換えられる。また、カウンタユニット７にはテーブ
ルの目標位置とカウンタユニット７から得られる現在位
置との差分を演算し、各スイッチ１０へ指令値として出
力するサーボコントローラ８が接続されている。
位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器６が設
けられている。位置検出器６にはテーブルの位置信号を
得るカウンタユニット７が接続され、カウンタユニット
７には各コイル相を切り換えるための相切り換えコント
ローラ９が接続されている。相切り換えコントローラ９
は、カウンタユニット７からのテーブルの位置信号に応
じて、スイッチ１０を切り換え制御するものである。各
スイッチ１０ごとにはコイル相が電流アンプ１１を介し
て接続されており、相切り換えコントローラ９によりス
イッチ１０が切り換え制御されて各コイル相への通電が
切り換えられる。また、カウンタユニット７にはテーブ
ルの目標位置とカウンタユニット７から得られる現在位
置との差分を演算し、各スイッチ１０へ指令値として出
力するサーボコントローラ８が接続されている。
【００１６】そして相切り換えコントローラ９には、本
発明の特徴である、次のコイル相へ通電ＯＮした時点か
らの時間を計測する時間計測手段１３が接続されてお
り、時間計測手段１３としてはカウンタ回路によるタイ
マーなどが考えられる。すなわち、カウンタユニット７
から得られるテーブル位置信号よりテーブルが目標位置
に到達したことが判り、相切り換えコントローラ９によ
り次のコイル相が通電ＯＮされると、これと同時に時間
計測手段１３が作動するように構成されており、これに
より時間計測手段１３に予め設定されている時間におい
て前のコイル相の通電ＯＦＦを遅らせることが可能とな
る。
発明の特徴である、次のコイル相へ通電ＯＮした時点か
らの時間を計測する時間計測手段１３が接続されてお
り、時間計測手段１３としてはカウンタ回路によるタイ
マーなどが考えられる。すなわち、カウンタユニット７
から得られるテーブル位置信号よりテーブルが目標位置
に到達したことが判り、相切り換えコントローラ９によ
り次のコイル相が通電ＯＮされると、これと同時に時間
計測手段１３が作動するように構成されており、これに
より時間計測手段１３に予め設定されている時間におい
て前のコイル相の通電ＯＦＦを遅らせることが可能とな
る。
【００１７】以上のことにより、本発明の位置決めテー
ブル装置における通電パターンは図２に示すようにな
る。図２は本発明の位置決めテーブル装置の通電パター
ンによる可動磁石の移動軌跡を示した図である。
ブル装置における通電パターンは図２に示すようにな
る。図２は本発明の位置決めテーブル装置の通電パター
ンによる可動磁石の移動軌跡を示した図である。
【００１８】図２の（ａ）〜（ｈ）に示すように、従来
の１相ずつコイルを切り換えるシーケンスの間に、上述
した時間計測手段により所定時間の間において２相のコ
イルに通電ＯＮするシーケンスが付加されている。
の１相ずつコイルを切り換えるシーケンスの間に、上述
した時間計測手段により所定時間の間において２相のコ
イルに通電ＯＮするシーケンスが付加されている。
【００１９】ここで相切り換え時において前記時間計測
手段を用いたときのトルクの状態を図３を参照して説明
する。図３は本発明のテーブル位置決め装置の第１実施
例における相切り換え時のトルクの状態を示したグラフ
である。
手段を用いたときのトルクの状態を図３を参照して説明
する。図３は本発明のテーブル位置決め装置の第１実施
例における相切り換え時のトルクの状態を示したグラフ
である。
【００２０】図３の（ａ）に示すように、例えばコイル
１からコイル２に切り換えた場合、コイル２へ通電ＯＮ
した時点で時間計測手段を作動させて、コイル２が電流
立ち上がりに時間ΔＴ要している間にコイル１の通電Ｏ
ＦＦを時間Δｔだけ遅らせることができる。このため、
図３の（ｂ）に示すように合成トルクの低下を従来と比
べて極力小さく抑えることができる。またこのための時
間Δｔは、コイルの電流立ち上がり時間ΔＴに合わせて
最適に調整（比例）する必要がある。
１からコイル２に切り換えた場合、コイル２へ通電ＯＮ
した時点で時間計測手段を作動させて、コイル２が電流
立ち上がりに時間ΔＴ要している間にコイル１の通電Ｏ
ＦＦを時間Δｔだけ遅らせることができる。このため、
図３の（ｂ）に示すように合成トルクの低下を従来と比
べて極力小さく抑えることができる。またこのための時
間Δｔは、コイルの電流立ち上がり時間ΔＴに合わせて
最適に調整（比例）する必要がある。
【００２１】（第２の実施例）図４は本発明の位置決め
テーブル装置の第２の実施例の概略構成図である。本実
施例の装置は第１の実施例に示す装置構成とほとんど同
様であるので、本実施例では第１の実施例と異なる構成
について説明する。
テーブル装置の第２の実施例の概略構成図である。本実
施例の装置は第１の実施例に示す装置構成とほとんど同
様であるので、本実施例では第１の実施例と異なる構成
について説明する。
【００２２】本発明の位置決めテーブル装置は、相切り
換えの為に位置検出器６とは別に磁気式や光学式の位置
検出素子１４を配置する場合が考えられる。
換えの為に位置検出器６とは別に磁気式や光学式の位置
検出素子１４を配置する場合が考えられる。
【００２３】例えば図４に示すように、本発明の装置に
備えられたリニアモータコイル４を構成する各コイルの
中心部には、磁界を検出できるホール素子１４がそれぞ
れ配置されている。各ホール素子１４は相切り換えコン
トローラ９と接続されており、ホール素子１４に対する
磁界が可動磁石５によって加えられると、ホール素子１
４は忠実に可動磁石５の磁極の位置を検出して電気信号
に変換し、この電気信号を相切り換えコントローラ９に
出力する。これにより相切り換えコントローラ９は、第
１実施例と同様にテーブルの位置に応じてコイル相を順
次通電ＯＮすることが可能となる。
備えられたリニアモータコイル４を構成する各コイルの
中心部には、磁界を検出できるホール素子１４がそれぞ
れ配置されている。各ホール素子１４は相切り換えコン
トローラ９と接続されており、ホール素子１４に対する
磁界が可動磁石５によって加えられると、ホール素子１
４は忠実に可動磁石５の磁極の位置を検出して電気信号
に変換し、この電気信号を相切り換えコントローラ９に
出力する。これにより相切り換えコントローラ９は、第
１実施例と同様にテーブルの位置に応じてコイル相を順
次通電ＯＮすることが可能となる。
【００２４】そして相切り換えコントローラ９には、本
発明の特徴である、次のコイル相へ通電ＯＮした時点か
らの時間を計測する時間計測手段１３が接続されてお
り、時間計測手段１３としてはカウンタ回路によるタイ
マーなどが考えられる。すなわち、ホール素子１４から
得られるテーブル位置信号より目標位置に到達したこと
が判り、相切り換えコントローラ９により次のコイル相
が通電ＯＮされると、これと同時に時間計測手段１３が
作動するように構成されており、これにより時間計測手
段１３に予め設定されている時間において前のコイル相
の通電ＯＦＦを遅らせることが可能となる。
発明の特徴である、次のコイル相へ通電ＯＮした時点か
らの時間を計測する時間計測手段１３が接続されてお
り、時間計測手段１３としてはカウンタ回路によるタイ
マーなどが考えられる。すなわち、ホール素子１４から
得られるテーブル位置信号より目標位置に到達したこと
が判り、相切り換えコントローラ９により次のコイル相
が通電ＯＮされると、これと同時に時間計測手段１３が
作動するように構成されており、これにより時間計測手
段１３に予め設定されている時間において前のコイル相
の通電ＯＦＦを遅らせることが可能となる。
【００２５】このため、本実施例においてもトルクの低
下を従来と比べて極力小さく抑えることができる。
下を従来と比べて極力小さく抑えることができる。
【００２６】以上説明した第１および第２の実施例にお
いては、位置検出器６として光学式または磁気式のリニ
アスケールを使用したが、半導体露光装置などの高精度
な位置決めテーブル装置においては高分解能なレーザ測
長器を使用したほうがより好ましい。
いては、位置検出器６として光学式または磁気式のリニ
アスケールを使用したが、半導体露光装置などの高精度
な位置決めテーブル装置においては高分解能なレーザ測
長器を使用したほうがより好ましい。
【００２７】また第１および第２の実施例では、通常１
個のコイルに通電し相切り換え時には２個のコイルに通
電する場合を示したが、リニアモータコイルの構成によ
っては、通常Ｎ個のコイルに通電し相切り換え時に（Ｎ
＋１）個以上のコイルに通電する場合も当然考えられ
る。
個のコイルに通電し相切り換え時には２個のコイルに通
電する場合を示したが、リニアモータコイルの構成によ
っては、通常Ｎ個のコイルに通電し相切り換え時に（Ｎ
＋１）個以上のコイルに通電する場合も当然考えられ
る。
【００２８】さらに本発明は図５に示す円状に多相のモ
ータコイルを備えた回転型のステージ装置においても適
用可能である。図５は回転型ステージ装置の斜視図であ
る。この図に示すような回転テーブル天板１５下部に可
動磁石１６を配置し、位置検出器１８より得られる位置
信号に応じて、分割されたモータコイル１７上を回転す
るステージにおいても、本発明の時間計測手段が同様に
適用できる。
ータコイルを備えた回転型のステージ装置においても適
用可能である。図５は回転型ステージ装置の斜視図であ
る。この図に示すような回転テーブル天板１５下部に可
動磁石１６を配置し、位置検出器１８より得られる位置
信号に応じて、分割されたモータコイル１７上を回転す
るステージにおいても、本発明の時間計測手段が同様に
適用できる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したような本発明では、時間計
測手段を設け、これにより切り換え時のトルクの低下を
小さく抑えることで、位置決め精度、位置決め時間等や
制御系に悪影響を及ぼすことがなくなる。
測手段を設け、これにより切り換え時のトルクの低下を
小さく抑えることで、位置決め精度、位置決め時間等や
制御系に悪影響を及ぼすことがなくなる。
【図１】本発明の位置決めテーブル装置の第１実施例の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】本発明の位置決めテーブル装置の通電パターン
による可動磁石の移動軌跡を示した図である。
による可動磁石の移動軌跡を示した図である。
【図３】本発明のテーブル位置決め装置の第１実施例に
おける相切り換え時のトルクの状態を示したグラフであ
る。
おける相切り換え時のトルクの状態を示したグラフであ
る。
【図４】本発明の位置決めテーブル装置の第２の実施例
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図５】回転型ステージ装置の斜視図である。
【図６】従来の位置決めテーブル装置の概略構成図であ
る。
る。
【図７】従来の位置決めテーブル装置に備えられたリニ
アモータコイルの通電パターンを示した図である。
アモータコイルの通電パターンを示した図である。
【図８】図８はコイル１からコイル２に切り換えた時の
トルクの状態を示した図である。
トルクの状態を示した図である。
【図９】目標位置付近でトルクの低下がない場合を示し
たグラフである。
たグラフである。
【図１０】目標位置付近でトルクの低下（相の切り換
え）がある場合のグラフである。
え）がある場合のグラフである。
１ テーブル天板 ２ ガイド ３ コイル支持部材 ４ リニアモータコイル ５，１６ 可動磁石 ６ サーボコントローラ ７ カウンタユニット ８ サーボコントローラ ９ 相切り換えコントローラ １０ スイッチ １１ 電流アンプ １２ 案内部 １３ 時間計測手段 １４ ホール素子 １５ 回転テーブル天板 １７ モータコイル １８ 位置検出器（ロータリーエンコーダー）
Claims (3)
- 【請求項１】 テーブルの位置を検出する位置検出手段
と、該テーブルの位置に応じてＮ個のコイルに選択的に
通電される多相型のモータとを備えた位置決めテーブル
装置において、 次のコイルに通電した時からの時間を計測する時間計測
手段が設けられたことを特徴とする位置決めテーブル装
置。 - 【請求項２】 前記時間計測手段により計測される所定
時間の間には、（Ｎ＋１）個以上のコイルが通電される
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決めテーブル装
置。 - 【請求項３】 前記所定時間は、次に通電したコイルの
電流立ち上がり時間に比例することを特徴とする請求項
２の位置決めテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5066993A JPH06284785A (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 位置決めテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5066993A JPH06284785A (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 位置決めテーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06284785A true JPH06284785A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=13332045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5066993A Pending JPH06284785A (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 位置決めテーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06284785A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6984945B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-01-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor apparatus |
-
1993
- 1993-03-25 JP JP5066993A patent/JPH06284785A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6984945B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-01-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor apparatus |
| US6995528B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-02-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor apparatus |
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